JP5673497B2 - 一体型ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、請求項1に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、隙間領域に対面するケース壁部の隙間領域側の面に、放熱器を設けたものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、放熱器は、ケース壁部の隙間領域側の面に形成された複数の放熱フィンを有するものである。
請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、隙間領域に加えて、ポンプベースに向けて冷却風を送風するようにしたものである。
図3は本実施の形態の変形例を示す図である。図3(a)はコントロールユニット30をポンプベース4の底面側から見た平面図であり、図3(b)はコントロールユニット30の側面図である。変形例では、ベース板32の上面(隙間領域側の面)に複数の放熱フィン321が形成されている。隙間領域Sに入り込んだ冷却風は、隣接する放熱フィン321の間の隙間322を通過して図示左側に通り抜ける。
Claims (4)
- 回転翼が形成されたロータをモータにより回転して真空排気を行うポンプユニットと、
前記ポンプユニットに固定されて該ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットと、を備えた電源一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプユニットはモータステータが設けられたポンプベースを有し、
前記コントロールユニットは、
前記ポンプベースとの間に隙間領域を形成するように該ポンプベースの底面に固定されたケースと、
前記ケースに収納されるとともに、前記隙間領域に対面するケース壁部の内周面に固定される電子部品と、を有し、
前記隙間領域に冷却風を送風する送風ファンを備えたことを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記隙間領域に対面するケース壁部の隙間領域側の面に、放熱器を設けたことを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項2に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記放熱器は、前記ケース壁部の隙間領域側の面に形成された複数の放熱フィンを有することを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記送風ファンは、前記隙間領域に加えて、前記ポンプベースに向けて冷却風を送風することを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。
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