JP6232852B2 - モータ制御装置およびターボ分子ポンプ - Google Patents
モータ制御装置およびターボ分子ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6232852B2 JP6232852B2 JP2013179613A JP2013179613A JP6232852B2 JP 6232852 B2 JP6232852 B2 JP 6232852B2 JP 2013179613 A JP2013179613 A JP 2013179613A JP 2013179613 A JP2013179613 A JP 2013179613A JP 6232852 B2 JP6232852 B2 JP 6232852B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- rotation angle
- axis voltage
- axis
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P7/00—Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors
- H02P7/06—Arrangements for regulating or controlling the speed or torque of electric DC motors for regulating or controlling an individual dc dynamo-electric motor by varying field or armature current
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0261—Surge control by varying driving speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P21/00—Arrangements or methods for the control of electric machines by vector control, e.g. by control of field orientation
- H02P21/04—Arrangements or methods for the control of electric machines by vector control, e.g. by control of field orientation specially adapted for very low speeds
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P21/00—Arrangements or methods for the control of electric machines by vector control, e.g. by control of field orientation
- H02P21/14—Estimation or adaptation of machine parameters, e.g. flux, current or voltage
- H02P21/18—Estimation of position or speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P2203/00—Indexing scheme relating to controlling arrangements characterised by the means for detecting the position of the rotor
- H02P2203/03—Determination of the rotor position, e.g. initial rotor position, during standstill or low speed operation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Ac Motors In General (AREA)
Description
(2)本発明の第2の態様によるモータ制御装置は、第1の態様によるモータ制御装置において、上記回転角推定部は、モータに固有のモータ定数である抵抗r、d軸インダクタンスLd、およびq軸インダクタンスLqと、モータのコイルに流れる電流に基づいて算出されるd軸電流Idおよびq軸電流Iqと、モータのコイルに印加される電圧に基づいて算出されるd軸電圧Vdおよびq軸電圧Vq、ならびにモータの実回転速度ωから、
として、回転角θを推定演算する。
(3)本発明の第3の態様によるモータ制御装置は、さらに、第1の態様のモータ制御装置において、モータの目標回転速度を設定する設定部と、設定部で設定された目標回転速度と速度演算部で演算された実回転速度との偏差に基づいてd軸電圧とq軸電圧を演算するd軸/q軸電圧演算部と、d軸電圧とq軸電圧を三相のa軸電圧とb軸電圧とc軸電圧に変換する二相三相変換部とをさらに備えることが好ましい。このモータ制御装置では、駆動信号生成部は、二相三相変換部で得られたa軸電圧とb軸電圧とc軸電圧とに基づいて駆動信号を生成してスイッチング回路に送出し、回転角推定部は、駆動信号により駆動されるモータのモータ電流から算出されるd軸電流およびq軸電流と、モータのモータ電圧から算出されるd軸電圧およびq軸電圧と、実回転速度とに基づいてモータの回転角を繰り返し推定演算する。
(4)本発明の第4の態様によるモータ制御装置は、第1の態様ないしは第3の態様におけるモータ制御装置は、さらに、演算された実回転速度の高周波成分を除去するローパスフィルタと、ローパスフィルタで高周波成分が除去された実回転速度と目標回転速度との差分を算出する差分器とをさらに有することが好ましい。
(5)本発明の第5の態様は、第1の態様ないしは第4の態様のいずれかのモータ制御装置をターボ分子ポンプに適用したものであり、この第5の態様のターボ分子ポンプは、シャフトとロータ翼が形成されたロータとを有するロータ組立体と、ロータ翼と所定の間隔をあけて配設されたステータ翼と、ロータ組立体を回転させるためのモータと、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のモータ制御装置とを備える。
なお、回転角θに基づいて従来法で算出される回転速度ωに関する問題については後述する。
このように変換された図3(c)に示すパルス波形Pは、周期Tを有している。この周期Tは、パルス変換前の信号波形である図3(a)、(b)に示された回転角θの信号波形の周期でもある。しかし、パルス化することで信号波形のエッジを捉えやすくなり、その結果、周期Tが求めやすくなる。なお、周期Tは、電気角で表された場合の周期である。
なお、パルス変換部207と速度算出部208は速度演算部を構成する。
(1)モータ制御装置200は、モータ回転角検出器を使用せずに、DCブラシレスモータ(以下、モータ)の電流、電圧に基づいてモータの回転角θを繰り返し推定演算する回転角推定部206と、回転角推定部206で繰り返し推定演算される回転角θの信号波形の周期を算出し、周期に基づいてモータ40の実回転速度ωを演算する速度演算部(207、208)と、少なくとも、実回転速度ωと目標回転速度との偏差、および回転角θに基づいて、モータ40を駆動制御する駆動信号を生成する駆動信号生成部205と、駆動信号に基づいてスイッチングされてモータ40へ駆動電力を供給するスイッチング回路211とを備えている。
したがって、繰り返して推定演算される回転角θの周期Tから回転速度ωを算出したことによって、従来の方法より低回転数で起こりやすい回転速度ωの時間変動が低減されるため、精度の高い回転速度が得られ、精度の高いモータ駆動制御を低速回転領域においてもすることができる。
したがって、実施形態のモータ制御装置によれば、精度の高いモータ駆動制御を低速回転領域においても行うことができる。
したがって、回転速度ωの時間変動が低減されたことから適切なローパスフィルタ209が選定されやすくなるため、速度フィードバック制御の応答性を良くすることができる。
したがって、実施形態のようなモータ制御装置200を搭載したターボ分子ポンプは、精度よくモータ40が駆動制御されるため、安定した排気を行うことができる。
12:ロータ、
14:シャフト、
20:ロータ翼、
44:ステータ翼
40:モータ、
100:ターボ分子ポンプ、
200:モータ制御装置、
201:目標速度設定部
202:Vd/Vq演算部
203:第1パラメータ変換部
204:第2パラメータ変換部
205:モータ駆動信号生成部
206:回転角推定部、
207:パルス変換部、
208:速度算出部、
209:ローパスフィルタ、
211:スイッチング回路、
212:電流検出部、
213:電流演算部、
214:電圧検出部、
215:電圧演算部
Claims (5)
- モータ回転角検出器を使用せずに、モータに固有のモータ定数、モータのコイルに流れる電流およびコイルに印加される電圧に基づいて、前記モータの回転角を繰り返し推定演算する回転角推定部と、
前記回転角推定部で繰り返し推定演算される前記回転角の信号波形であって、前記モータ定数の不安定性に起因して時間変化が一定ではない信号波形をパルス化し、前記パルス化した信号波形の周期を算出し、前記周期に基づいて前記モータの実回転速度を演算する速度演算部と、
少なくとも、前記実回転速度と目標回転速度との偏差、および前記回転角に基づいて、前記モータを駆動制御する駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記駆動信号に基づいてスイッチングされて前記モータへ駆動電力を供給するスイッチング回路とを有するモータ制御装置。 - 請求項1に記載のモータ制御装置において、
前記回転角推定部における前記回転角の推定演算は、前記モータに固有のモータ定数である抵抗r、d軸インダクタンスLd、およびq軸インダクタンスLqと、モータのコイルに流れる電流に基づいて算出されるd軸電流Idおよびq軸電流Iqと、モータのコイルに印加される電圧に基づいて算出されるd軸電圧Vdおよびq軸電圧Vq、ならびにモータの実回転速度ωから、
として、回転角θを推定演算するモータ制御装置。 - 請求項1に記載のモータ制御装置において、
前記モータの目標回転速度を設定する設定部と、
前記設定部で設定された目標回転速度と前記速度演算部で演算された実回転速度との偏差に基づいてd軸電圧とq軸電圧を演算するd軸/q軸電圧演算部と、
前記d軸電圧とq軸電圧を三相のa軸電圧とb軸電圧とc軸電圧に変換する二相三相変換部とをさらに備え、
前記駆動信号生成部は、二相三相変換部で得られたa軸電圧とb軸電圧とc軸電圧とに基づいて前記駆動信号を生成して前記スイッチング回路に送出し、
前記回転角推定部は、前記駆動信号により駆動される前記モータのモータ電流から算出されるd軸電流およびq軸電流と、前記モータのモータ電圧から算出されるd軸電圧およびq軸電圧と、前記実回転速度とに基づいて前記モータの回転角を繰り返し推定演算するモータ制御装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のモータ制御装置において、
演算された前記実回転速度の高周波成分を除去するローパスフィルタと、
前記ローパスフィルタで高周波成分が除去された実回転速度と目標回転速度との差分を算出する差分器とをさらに有するモータ制御装置。 - シャフトとロータ翼が形成されたロータとを有するロータ組立体と、
前記ロータ翼と所定の間隔をあけて配設されたステータ翼と、
前記ロータ組立体を回転させるためのモータと、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載のモータ制御装置とを備えるターボ分子ポンプ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013179613A JP6232852B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | モータ制御装置およびターボ分子ポンプ |
CN201410320314.XA CN104426449B (zh) | 2013-08-30 | 2014-07-03 | 电动机控制装置以及涡轮分子泵 |
US14/457,216 US9813002B2 (en) | 2013-08-30 | 2014-08-12 | Motor controller and turbo-molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013179613A JP6232852B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | モータ制御装置およびターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050804A JP2015050804A (ja) | 2015-03-16 |
JP6232852B2 true JP6232852B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=52583519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013179613A Active JP6232852B2 (ja) | 2013-08-30 | 2013-08-30 | モータ制御装置およびターボ分子ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9813002B2 (ja) |
JP (1) | JP6232852B2 (ja) |
CN (1) | CN104426449B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017002865B4 (de) | 2016-03-24 | 2021-07-29 | Minebea Mitsumi Inc. | Aufbau eines Axiallüfters |
JP2017229196A (ja) * | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 株式会社リコー | 角度推定装置、モータ制御装置、モータ駆動装置、モータ駆動システム、画像形成装置、及び搬送装置 |
CN107659230B (zh) * | 2016-07-26 | 2021-01-15 | 广州极飞科技有限公司 | 电机矢量控制方法、装置和飞行器 |
JP6681554B2 (ja) * | 2017-02-22 | 2020-04-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 洗濯機のモータ駆動装置 |
CN110957953B (zh) * | 2018-09-25 | 2022-12-20 | 欧姆龙(上海)有限公司 | 交流电机的控制装置和控制方法 |
DE102021127054A1 (de) * | 2021-06-29 | 2022-12-29 | Zf Active Safety Gmbh | Verfahren zum Bestimmen eines Drehwinkelsignals einer Gleichstrommaschine sowie Bremssystem und Programmcode |
CN117989164A (zh) * | 2023-12-27 | 2024-05-07 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种分子泵自动跑脂的控制电路 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08256496A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Aichi Electric Co Ltd | センサレスブラシレスdcモータのインバータ制御装置 |
JP3874865B2 (ja) * | 1996-12-06 | 2007-01-31 | ダイキン工業株式会社 | 圧縮機のトルク制御方法およびその装置 |
JP3402161B2 (ja) * | 1997-11-17 | 2003-04-28 | ダイキン工業株式会社 | ブラシレスdcモータ制御方法およびその装置 |
JP3169892B2 (ja) * | 1998-04-28 | 2001-05-28 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP2003111465A (ja) | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Asmo Co Ltd | 回転パルス検出装置および該回転パルス検出装置を用いた直流電動機 |
JP2006121898A (ja) * | 2001-11-08 | 2006-05-11 | Daikin Ind Ltd | モータ駆動方法およびその装置 |
JP4067949B2 (ja) * | 2002-12-03 | 2008-03-26 | サンデン株式会社 | モータ制御装置 |
JP4118725B2 (ja) | 2003-03-26 | 2008-07-16 | 株式会社テージーケー | モータアクチュエータの制御駆動装置および制御方法 |
JP4434000B2 (ja) | 2004-04-06 | 2010-03-17 | 株式会社デンソー | モータ回転情報検出方法及びモータ回転情報検出装置 |
JP4674516B2 (ja) | 2005-09-27 | 2011-04-20 | 株式会社デンソー | 同期モータの磁極位置推定方法 |
JP2009296788A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Denso Corp | 回転機の回転角度推定装置 |
JP2010169555A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Sanyo Electric Co Ltd | パルス周期計測方法 |
JP5468306B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2014-04-09 | 株式会社東芝 | 洗濯機 |
JP2011131643A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Toyota Motor Corp | 電動パワーステアリング装置 |
JP5587812B2 (ja) | 2010-02-24 | 2014-09-10 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 回転検出装置及び回転検出システム |
TWI418135B (zh) * | 2011-02-09 | 2013-12-01 | Delta Electronics Inc | 馬達控制方法與系統及其中之數位信號處理器 |
JP5673497B2 (ja) * | 2011-11-08 | 2015-02-18 | 株式会社島津製作所 | 一体型ターボ分子ポンプ |
JP5768670B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-08-26 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP2013108454A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
-
2013
- 2013-08-30 JP JP2013179613A patent/JP6232852B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-03 CN CN201410320314.XA patent/CN104426449B/zh active Active
- 2014-08-12 US US14/457,216 patent/US9813002B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104426449A (zh) | 2015-03-18 |
JP2015050804A (ja) | 2015-03-16 |
CN104426449B (zh) | 2017-11-14 |
US9813002B2 (en) | 2017-11-07 |
US20150064024A1 (en) | 2015-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6232852B2 (ja) | モータ制御装置およびターボ分子ポンプ | |
KR101087581B1 (ko) | 영구자석형 동기 전동기의 센서리스 제어방법 | |
JP6232868B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
KR102039325B1 (ko) | 유도 전동기의 제정수 추정 방법 | |
Li et al. | High-stability position-sensorless control method for brushless DC motors at low speed | |
JP5277787B2 (ja) | 同期モータ駆動制御装置 | |
JP6036322B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
JP5267848B2 (ja) | モータ制御装置 | |
JP5321792B2 (ja) | 永久磁石形同期電動機の制御装置 | |
JP2005261138A (ja) | 回転子位置推定方法及び装置、モータの制御方法、コンプレッサ、並びにプログラム | |
JP4771998B2 (ja) | 電動機の駆動装置 | |
JP5667153B2 (ja) | 同期電動機の磁極位置検出装置 | |
JP5109790B2 (ja) | 永久磁石形同期電動機の制御装置 | |
JP2015180130A (ja) | 永久磁石形同期電動機の制御装置 | |
KR100981936B1 (ko) | 모터 구동장치 | |
JP2009290962A (ja) | 永久磁石形同期電動機の制御装置 | |
Kraemer et al. | Sensorless vector control of PMSM with observer-based phase current reconstruction using only a DC-link current sensor | |
JP5978924B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
Iepure et al. | Novel motion sensorless control of single phase brushless DC PM motor drive, with experiments | |
JP2020036440A (ja) | 同期リラクタンスモータの制御装置 | |
JP5798513B2 (ja) | 永久磁石同期電動機の初期磁極位置の検出方法および装置、並びに永久磁石同期電動機の制御装置 | |
JP5744151B2 (ja) | 電動機の駆動装置および電動機の駆動方法 | |
JP5228435B2 (ja) | インバータ制御装置とその制御方法 | |
JP2007082380A (ja) | 同期モータ制御装置 | |
JP2020005340A (ja) | モータ制御装置およびその制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171009 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6232852 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |