JP6232868B2 - モータ駆動装置および真空ポンプ - Google Patents
モータ駆動装置および真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6232868B2 JP6232868B2 JP2013188098A JP2013188098A JP6232868B2 JP 6232868 B2 JP6232868 B2 JP 6232868B2 JP 2013188098 A JP2013188098 A JP 2013188098A JP 2013188098 A JP2013188098 A JP 2013188098A JP 6232868 B2 JP6232868 B2 JP 6232868B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- motor
- magnetic pole
- electrical angle
- pole electrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/14—Electronic commutators
- H02P6/16—Circuit arrangements for detecting position
- H02P6/18—Circuit arrangements for detecting position without separate position detecting elements
- H02P6/185—Circuit arrangements for detecting position without separate position detecting elements using inductance sensing, e.g. pulse excitation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D15/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems
- F04D15/0066—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or systems by changing the speed, e.g. of the driving engine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0261—Surge control by varying driving speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P21/00—Arrangements or methods for the control of electric machines by vector control, e.g. by control of field orientation
- H02P21/14—Estimation or adaptation of machine parameters, e.g. flux, current or voltage
- H02P21/18—Estimation of position or speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P21/00—Arrangements or methods for the control of electric machines by vector control, e.g. by control of field orientation
- H02P21/24—Vector control not involving the use of rotor position or rotor speed sensors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Control Of Ac Motors In General (AREA)
Description
本発明の好ましい実施の形態によるモータ駆動装置は、複数のスイッチング素子を有してモータを駆動するインバータと、モータ相電圧に関する情報とモータ相電流に関する情報とに基づいて、モータロータの回転速度および磁極電気角を算出する演算部と、前記演算部で算出された磁極電気角の位相遅延を補正して補正後磁極電気角を生成する遅延補正部と、前記回転速度と目標回転速度との差分および前記補正後磁極電気角に基づいて、正弦波駆動指令を生成する駆動指令生成部と、前記正弦波駆動指令に基づいて、前記複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのPWM制御信号を生成するPWM信号生成部と、を備え、前記モータ相電流に関する情報は、ローパスフィルタを介して前記演算部に入力されるモータ相電流検出信号であって、前記遅延補正部は、前記ローパスフィルタのフィルタ特性に起因する位相遅延を補正する進み位相を算出し、該進み位相を磁極電気角に加算して前記補正後磁極電気角を生成し、前記駆動指令生成部は、前記差分に基づいて2相回転座標系における2相電圧指令Vd,Vqを生成し、該2相電圧指令Vd,Vqを前記補正後磁極電気角に基づいて2相固定座標系における2相電圧指令Vα,Vβに変換し、該2相電圧指令Vα,Vβを2相−3相変換して3相電圧指令Vu,Vv,Vwを生成し、該3相電圧指令Vu,Vv,Vwに基づいて前記PWM制御信号を生成し、前記演算部は、前記2相固定座標系における2相電圧指令Vα,Vβの位相を前記進み位相と同一位相量だけ遅延させて得られる推定モータ電圧と、前記モータ相電流検出信号とに基づいて、前記回転速度および前記磁極電気角を算出する。
さらに好ましい実施形態では、前記遅延補正部は、前記演算部で算出された回転速度に応じて進み位相を算出する。
本発明の好ましい実施の形態によるモータ駆動装置は、複数のスイッチング素子を有してモータを駆動するインバータと、モータ相電圧に関する情報とモータ相電流に関する情報とに基づいて、モータロータの回転速度および磁極電気角を算出する演算部と、前記演算部で算出された磁極電気角の位相遅延を補正して補正後磁極電気角を生成する遅延補正部と、前記回転速度と目標回転速度との差分および前記補正後磁極電気角に基づいて、正弦波駆動指令を生成する駆動指令生成部と、前記正弦波駆動指令に基づいて、前記複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのPWM制御信号を生成するPWM信号生成部と、モータ相電圧を検知するモータ相電圧検知部と、前記モータ相電圧検知部から出力されるモータ相電圧検知信号をローパスフィルタ処理するローパスフィルタと、前記インバータのスイッチング素子のグランド側に設けられたシャント抵抗によりモータ相電流を検知する、スリーシャント方式の電流検知部と、前記電流検知部から出力されアナログデジタル変換されたモータ相電流検知信号を、前記ローパスフィルタによる前記モータ相電圧検知信号の位相遅延と等価な位相だけ、デジタル処理にて遅延させる信号遅延処理部と、を備え、前記モータ相電圧に関する情報は、前記ローパスフィルタでフィルタ処理された後にアナログデジタル変換されたモータ相電圧検知信号であり、前記モータ相電流に関する情報は、前記信号遅延処理部から出力される位相補正後電流検知信号であり、前記遅延補正部は、前記ローパスフィルタのフィルタ特性に起因する前記位相遅延を補正する進み位相を算出し、該進み位相を磁極電気角に加算して前記補正後磁極電気角を生成する。
なお、前記デジタル処理を、デジタルローパスフィルタによるローパスフィルタ処理としても良い。
本発明の好ましい実施の形態による真空ポンプは、排気機能部が形成されたポンプロータと、ポンプロータを回転駆動するモータと、モータを駆動する上記実施形態によるモータ駆動装置と、を備える。
−第1の実施の形態−
図1は、本実施の形態の真空ポンプにおけるポンプユニット1の構成を示す図である。真空ポンプは、図1に示すポンプユニット1と、ポンプユニット1を駆動するコントロールユニット(不図示)とを備えている。なお、図1に示す真空ポンプは、磁気浮上式ターボ分子ポンプである。
図11,12は、本発明の第2の実施の形態を説明する図である。図11、12は、それぞれ第1の実施の形態における図4、5に対応する図である。以下では、第1の実施の形態と異なる部分を中心に説明する。
N=φ(ω)×(fs/ω) ・・・(7)
但し、式7の右辺が整数でない場合は、最も近い整数をNとする。また、単位は、ω[rad/s],fs[Hz],φ[rad]である。
上述した第1及び第2の実施の形態では、モータステータ10のU,V,W相コイルに流れる電流(モータ相電流)を検知する電流センサ(検知部50)として、例えば、ホール効果を利用したカレントトランス(CT)方式などの電流センサを想定している。本実施の形態では、より安価な電流センサを用いることで、より低コストなモータ駆動装置を提供するようにした。なお、モータ相電圧の検出に関しては、上述した第1の実施の形態と同様である。
Claims (6)
- 複数のスイッチング素子を有してモータを駆動するインバータと、
モータ相電圧に関する情報とモータ相電流に関する情報とに基づいて、モータロータの回転速度および磁極電気角を算出する演算部と、
前記演算部で算出された磁極電気角の位相遅延を補正して補正後磁極電気角を生成する遅延補正部と、
前記回転速度と目標回転速度との差分および前記補正後磁極電気角に基づいて、正弦波駆動指令を生成する駆動指令生成部と、
前記正弦波駆動指令に基づいて、前記複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのPWM制御信号を生成するPWM信号生成部と、を備え、
前記モータ相電圧に関する情報は、前記モータの3相のコイルの各端子電圧が電圧検知部で検出され第1ローパスフィルタを介して入力されるモータ相電圧検知信号で、前記モータ相電流に関する情報は第2ローパスフィルタを介して入力されるモータ相電流検知信号であって、
前記遅延補正部は、前記第1ローパスフィルタのフィルタ特性に起因する位相遅延を補正する進み位相を算出し、該進み位相を磁極電気角に加算して前記補正後磁極電気角を生成し、
前記第2ローパスフィルタのフィルタ特性を、前記モータ相電圧検知信号に適した前記第1ローパスフィルタのフィルタ特性に合わせるように設定する、モータ駆動装置。 - 複数のスイッチング素子を有してモータを駆動するインバータと、
モータ相電圧に関する情報とモータ相電流に関する情報とに基づいて、モータロータの回転速度および磁極電気角を算出する演算部と、
前記演算部で算出された磁極電気角の位相遅延を補正して補正後磁極電気角を生成する遅延補正部と、
前記回転速度と目標回転速度との差分および前記補正後磁極電気角に基づいて、正弦波駆動指令を生成する駆動指令生成部と、
前記正弦波駆動指令に基づいて、前記複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのPWM制御信号を生成するPWM信号生成部と、を備え、
前記モータ相電流に関する情報は、ローパスフィルタを介して前記演算部に入力されるモータ相電流検出信号であって、
前記遅延補正部は、前記ローパスフィルタのフィルタ特性に起因する位相遅延を補正する進み位相を算出し、該進み位相を磁極電気角に加算して前記補正後磁極電気角を生成し、
前記駆動指令生成部は、前記差分に基づいて2相回転座標系における2相電圧指令Vd,Vqを生成し、該2相電圧指令Vd,Vqを前記補正後磁極電気角に基づいて2相固定座標系における2相電圧指令Vα,Vβに変換し、該2相電圧指令Vα,Vβを2相−3相変換して3相電圧指令Vu,Vv,Vwを生成し、該3相電圧指令Vu,Vv,Vwに基づいて前記PWM制御信号を生成し、
前記演算部は、前記2相固定座標系における2相電圧指令Vα,Vβの位相を前記進み位相と同一位相量だけ遅延させて得られる推定モータ電圧と、前記モータ相電流検出信号とに基づいて、前記回転速度および前記磁極電気角を算出する、モータ駆動装置。 - 請求項2に記載のモータ駆動装置において、
前記遅延補正部は、前記演算部で算出された回転速度に応じて前記進み位相を算出する、モータ駆動装置。 - 複数のスイッチング素子を有してモータを駆動するインバータと、
モータ相電圧に関する情報とモータ相電流に関する情報とに基づいて、モータロータの回転速度および磁極電気角を算出する演算部と、
前記演算部で算出された磁極電気角の位相遅延を補正して補正後磁極電気角を生成する遅延補正部と、
前記回転速度と目標回転速度との差分および前記補正後磁極電気角に基づいて、正弦波駆動指令を生成する駆動指令生成部と、
前記正弦波駆動指令に基づいて、前記複数のスイッチング素子をオンオフ制御するためのPWM制御信号を生成するPWM信号生成部と、
モータ相電圧を検知するモータ相電圧検知部と、
前記モータ相電圧検知部から出力されるモータ相電圧検知信号をローパスフィルタ処理するローパスフィルタと、
前記インバータのスイッチング素子のグランド側に設けられたシャント抵抗によりモータ相電流を検知する、スリーシャント方式の電流検知部と、
前記電流検知部から出力されアナログデジタル変換されたモータ相電流検知信号を、前記ローパスフィルタによる前記モータ相電圧検知信号の位相遅延と等価な位相だけデジタル処理にて遅延させる信号遅延処理部と、を備え、
前記モータ相電圧に関する情報は、前記ローパスフィルタでフィルタ処理された後にアナログデジタル変換されたモータ相電圧検知信号であり、
前記モータ相電流に関する情報は、前記信号遅延処理部から出力される位相補正後電流検知信号であり、
前記遅延補正部は、前記ローパスフィルタのフィルタ特性に起因する前記位相遅延を補正する進み位相を算出し、該進み位相を磁極電気角に加算して前記補正後磁極電気角を生成する、モータ駆動装置。 - 請求項4に記載のモータ駆動装置において、
前記デジタル処理はデジタルローパスフィルタによるローパスフィルタ処理である、モータ駆動装置。 - 排気機能部が形成されたポンプロータと、
前記ポンプロータを回転駆動するモータと、
前記モータを駆動する請求項1乃至5のいずれか一項に記載のモータ駆動装置と、を備える真空ポンプ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013188098A JP6232868B2 (ja) | 2012-10-23 | 2013-09-11 | モータ駆動装置および真空ポンプ |
US14/054,097 US9515589B2 (en) | 2012-10-23 | 2013-10-15 | Motor driving device and vacuum pump |
CN201310495910.7A CN103780189B (zh) | 2012-10-23 | 2013-10-21 | 电动机驱动装置及真空泵 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012233596 | 2012-10-23 | ||
JP2012233596 | 2012-10-23 | ||
JP2013188098A JP6232868B2 (ja) | 2012-10-23 | 2013-09-11 | モータ駆動装置および真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014103841A JP2014103841A (ja) | 2014-06-05 |
JP6232868B2 true JP6232868B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=50485502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013188098A Active JP6232868B2 (ja) | 2012-10-23 | 2013-09-11 | モータ駆動装置および真空ポンプ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9515589B2 (ja) |
JP (1) | JP6232868B2 (ja) |
CN (1) | CN103780189B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7115854B2 (ja) | 2015-04-09 | 2022-08-09 | ハウニ・マシイネンバウ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | たばこ加工産業の吸着ベルトコンベヤ及びロッド製造機並びにたばこ加工産業の材料ロッドの材料特性を測定するための使用及び方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3009586B1 (fr) * | 2013-08-06 | 2015-08-28 | Snecma | Dispositif d'alimentation en ergol de moteur-fusee |
EP3256728B1 (en) | 2015-02-13 | 2021-04-07 | Fluid Handling LLC. | No flow detection means for sensorless pumping control applications |
JP6557512B2 (ja) * | 2015-05-20 | 2019-08-07 | キヤノン株式会社 | モータ制御装置、シート搬送装置、原稿読取装置及び画像形成装置 |
CN105141200B (zh) * | 2015-08-04 | 2019-04-09 | 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 | 一种永磁同步电机的驱动电路及驱动方法 |
JP6745659B2 (ja) * | 2016-07-07 | 2020-08-26 | キヤノン株式会社 | モータ制御装置、シート搬送装置及び画像形成装置 |
JP6465848B2 (ja) | 2016-09-21 | 2019-02-06 | キヤノン株式会社 | モータ制御装置、シート搬送装置及び画像形成装置 |
KR101904101B1 (ko) * | 2016-12-26 | 2018-10-05 | 효성중공업 주식회사 | Mmc 컨버터 출력단 직류성분 제거방법 |
WO2019184975A1 (zh) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | 南京德朔实业有限公司 | 电动工具及其控制方法 |
JP7134059B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2022-09-09 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 回転角検出装置、回転角検出方法およびプログラム |
DE102019100638B4 (de) | 2019-01-11 | 2024-04-25 | Tdk-Micronas Gmbh | Strommesssystem für einen kommutierten Motor |
KR102347842B1 (ko) * | 2019-08-22 | 2022-01-05 | 엘지전자 주식회사 | 단상 bldc 모터의 회전자 자극 위치 검출 방법 및 장치 |
EP3812582A1 (de) * | 2019-10-21 | 2021-04-28 | Burckhardt Compression AG | Kolbenverdichter und verfahren zum betrieb desselben |
CN112994560B (zh) * | 2019-12-16 | 2022-10-11 | 山东大学 | 方波电机矢量控制算法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0797907B2 (ja) | 1986-09-22 | 1995-10-18 | 株式会社日立製作所 | Pwmインバータの電流制御装置 |
JPH0349588A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-03-04 | Omron Corp | 離散時間型acモータ制御装置 |
JPH08280199A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-10-22 | Nippon Soken Inc | 永久磁石界磁同期電動機のセンサレス制御装置 |
JPH08256496A (ja) | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Aichi Electric Co Ltd | センサレスブラシレスdcモータのインバータ制御装置 |
JPH09224399A (ja) * | 1996-02-15 | 1997-08-26 | Nippon Soken Inc | 誘導モータの制御装置 |
US6121736A (en) * | 1998-07-10 | 2000-09-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Control apparatus for motor, and motor unit having the control apparatus |
JP3419725B2 (ja) * | 1999-01-27 | 2003-06-23 | 松下電器産業株式会社 | 位置センサレスモータ制御装置 |
JP4249916B2 (ja) * | 2000-09-18 | 2009-04-08 | エドワーズ株式会社 | ブラシレスモータの制御回路、ブラシレスモータ装置、及び真空ポンプ装置 |
JP4395313B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2010-01-06 | 日本精工株式会社 | モータ駆動制御装置および電動パワーステアリング装置 |
DE102004042077A1 (de) * | 2004-08-31 | 2006-03-30 | Texas Instruments Deutschland Gmbh | Integrierte Schaltung zur Verwendung mit einem externen Hall-Sensor, und Hall-Sensormodul |
GB0427832D0 (en) * | 2004-12-20 | 2005-01-19 | Boc Group Plc | Degassing molten metal |
JP4294602B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2009-07-15 | パナソニック株式会社 | 多相モータのロータ磁極位置検出装置及びそれを備えたモータ駆動装置並びにモータ駆動方法 |
JP2007006566A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | モータ制御装置 |
JP4674516B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-04-20 | 株式会社デンソー | 同期モータの磁極位置推定方法 |
JP2008092784A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-04-17 | Mitsuba Corp | ブラシレスモータの駆動装置及びブラシレスモータの始動方法並びにブラシレスモータのロータ停止位置検出方法 |
JP2008088879A (ja) | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Anest Iwata Corp | 真空排気装置 |
JP5170505B2 (ja) * | 2007-02-07 | 2013-03-27 | 株式会社ジェイテクト | モータ制御装置 |
EP2197104B1 (en) * | 2007-09-27 | 2018-01-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Controller of rotary electric machine |
JP5291997B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2013-09-18 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 超音波モータ制御装置 |
JP5317849B2 (ja) * | 2009-06-25 | 2013-10-16 | サンデン株式会社 | モータ制御装置 |
JP5682157B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2015-03-11 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ用モータ駆動装置およびポンプシステム |
-
2013
- 2013-09-11 JP JP2013188098A patent/JP6232868B2/ja active Active
- 2013-10-15 US US14/054,097 patent/US9515589B2/en active Active
- 2013-10-21 CN CN201310495910.7A patent/CN103780189B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7115854B2 (ja) | 2015-04-09 | 2022-08-09 | ハウニ・マシイネンバウ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | たばこ加工産業の吸着ベルトコンベヤ及びロッド製造機並びにたばこ加工産業の材料ロッドの材料特性を測定するための使用及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103780189A (zh) | 2014-05-07 |
CN103780189B (zh) | 2017-04-26 |
JP2014103841A (ja) | 2014-06-05 |
US20140112801A1 (en) | 2014-04-24 |
US9515589B2 (en) | 2016-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6232868B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
JP6036322B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
US9605681B2 (en) | Vacuum pump | |
TWI559672B (zh) | 角度估計控制系統 | |
WO2007001007A1 (ja) | 電力変換制御装置、電力変換制御方法、および電力変換制御用プログラム | |
TWI525981B (zh) | 用於永磁電動機的無感測器式磁場導向控制系統、方法和設備 | |
JP2014147170A (ja) | 真空ポンプ用モータ駆動装置および真空ポンプ | |
WO2021171679A1 (ja) | モータ駆動装置およびそれを用いた空気調和機の室外機、モータ駆動制御方法 | |
WO2014028435A1 (en) | Sensorless field-oriented control (foc) without current sampling for motors | |
JP5511700B2 (ja) | インバータ装置、ファン駆動装置、圧縮機駆動装置および空気調和機 | |
JP7145968B2 (ja) | モータ駆動装置 | |
JP2013101000A (ja) | 検出装置、駆動装置 | |
JP6953763B2 (ja) | モータ制御装置 | |
WO2006043584A1 (ja) | モータ駆動装置 | |
JP5978924B2 (ja) | モータ駆動装置および真空ポンプ | |
JP6156162B2 (ja) | モータ制御装置 | |
JP2003111480A (ja) | 電動機駆動装置 | |
JP2012186911A (ja) | モータ制御装置 | |
JP5798513B2 (ja) | 永久磁石同期電動機の初期磁極位置の検出方法および装置、並びに永久磁石同期電動機の制御装置 | |
Konghirun | A resolver-based vector control drive of permanent magnet synchronous motor on a fixed-point digital signal processor | |
JP6422796B2 (ja) | 同期機制御装置及び駆動システム | |
JP2010252504A (ja) | ターボ分子ポンプおよびその駆動方法 | |
JP6468373B2 (ja) | 真空ポンプ用モータ駆動装置および真空ポンプ | |
JP4918891B2 (ja) | 電動機付ターボチャージャ制御システム | |
JP2010193667A (ja) | モータ制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170725 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171009 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6232868 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |