JP2013100760A - 一体型ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプユニット20はモータ6のモータステータが設けられたポンプベース4を有し、コントロールユニット30は、モータステータが設けられたポンプベース4との間に隙間領域Sを形成するようにポンプベース4の底面に固定されたケース(ベース板32およびケーシング33)を有している。電子部品304が実装された基板301,302は、隙間領域Sに対面するケース壁部であるベース板32の内周面に固定されている。そして、ファン34により隙間領域Sに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板32の部分から効果的にケース外に放熱される。
【選択図】図1
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、隙間領域に対面するケース壁部の隙間領域側の面に、放熱器を設けたものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、放熱器は、ケース壁部の隙間領域側の面に形成された複数の放熱フィンを有するものである。
請求項4の発明は、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、隙間領域に加えて、ポンプベースに向けて冷却風を送風するようにしたものである。
図3は本実施の形態の変形例を示す図である。図3(a)はコントロールユニット30をポンプベース4の底面側から見た平面図であり、図3(b)はコントロールユニット30の側面図である。変形例では、ベース板32の上面(隙間領域側の面)に複数の放熱フィン321が形成されている。隙間領域Sに入り込んだ冷却風は、隣接する放熱フィン321の間の隙間322を通過して図示左側に通り抜ける。
Claims (4)
- 回転翼が形成されたロータをモータにより回転して真空排気を行うポンプユニットと、
前記ポンプユニットに固定されて該ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットと、を備えた電源一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプユニットはモータステータが設けられたポンプベースを有し、
前記コントロールユニットは、
前記ポンプベースとの間に隙間領域を形成するように該ポンプベースの底面に固定されたケースと、
前記ケースに収納されるとともに、前記隙間領域に対面するケース壁部の内周面に固定される電子部品と、を有し、
前記隙間領域に冷却風を送風する送風ファンを備えたことを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記隙間領域に対面するケース壁部の隙間領域側の面に、放熱器を設けたことを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項2に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記放熱器は、前記ケース壁部の隙間領域側の面に形成された複数の放熱フィンを有することを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の一体型ターボ分子ポンプにおいて、
前記送風ファンは、前記隙間領域に加えて、前記ポンプベースに向けて冷却風を送風することを特徴とする一体型ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011244444A JP5673497B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 一体型ターボ分子ポンプ |
CN201210362051.XA CN103089668B (zh) | 2011-11-08 | 2012-09-20 | 一体型涡轮分子泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011244444A JP5673497B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 一体型ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013100760A true JP2013100760A (ja) | 2013-05-23 |
JP5673497B2 JP5673497B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=48202651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011244444A Active JP5673497B2 (ja) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | 一体型ターボ分子ポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JP5673497B2 (ja) |
CN (1) | CN103089668B (ja) |
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CN103089668A (zh) | 2013-05-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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