CN111868387A - 真空泵与真空泵的控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵。具备泵主体（11）、配置于泵主体（11）的外侧的电装壳（31），电装壳（31）具有在内部形成有冷却媒介流路（38a）的冷却夹套（36）、具备回路零件（62）而能够进行基于冷却夹套（36）的冷却的电源回路部（33），在冷却夹套（36），电源回路部（33）被能够热移动地安装，冷却夹套（36）具备夹套主体（37）、用于在夹套主体（37）内使冷却水循环的冷却管（38），使冷却管（38）向电源回路部（33）侧部分地露出。

Description

真空泵与真空泵的控制装置

技术领域

本发明例如涉及涡轮分子泵等真空泵与真空泵的控制装置。

背景技术

以往，已知后述的专利文献1所公开的那样的涡轮分子泵装置。专利文献1的涡轮分子泵装置中，如第0010段、图1、图2等所述那样地设置有冷却装置(13)。冷却装置(13)在泵主体(11)与电源装置(14)之间被在轴向上并列地夹装，主要将电源装置(14)内的马达驱动回路的电子零件冷却。并且，该冷却装置(13)具有在内部形成有冷却水通路的夹套主体(13a)和用于借助送水用的泵使冷却水在冷却水通路循环的冷却水入口(13b)及冷却水出口(13c)。

专利文献1：国际公开第2011/111209号公报。

但是，在涡轮分子泵等真空泵中，由于被连接的真空设备的周边空间的情况等，有需要进行小型化的情况。并且，也有需要进行马达驱动回路、控制回路等电装设备的小型化的情况，这样的情况下，电装设备的安装密度变高，电装设备的温度变得容易上升。此外，由于真空泵的高性能化，电装设备的安装密度也变高，电装设备的温度也变得容易上升。因此，即使在使用例如专利文献1所公开的那样的冷却装置的情况下，也需要尽量高效率地进行冷却。并且，由于高效率的冷却，能够延长电装设备的寿命。

此外，为了提高冷却效果，也考虑取代专利文献1所示那样的水冷而进行例如使用冷却风扇的空冷。但是，由于具备冷却风扇，相应地真空泵的外形尺寸变大，小型化变得困难。此外，若使用冷却风扇，则产生的气流在洁净室内扬起灰尘，有变得难以保持清洁的环境的情况。进而，在使用冷却风扇的情况下，若为了排出扬起的灰尘而强化空调(空气调和器)的排气，则综合的能量消耗量相应地增加。由此，在涡轮分子泵等真空泵中，难以为了高效率的冷却而采用空冷，希望采用水冷。

发明内容

本发明是用于解决这样的问题而被作出的，其目的在于，提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵与真空泵的控制装置。

为了实现上述目的的本发明是一种真空泵，其特征在于，具备泵主体、配置于前述泵主体的外侧的控制装置，前述控制装置具有冷却部和电装零件部，前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，能够经由前述铸模部向前述冷却部侧进行热移动。

此外，为了实现上述目的，其他本发明是一种真空泵，其特征在于，在前述回路基板，形成贯通前述回路基板而供前述铸模部进入的贯通部，能够经由前述铸模部及前述贯通部向前述冷却部侧进行热移动。

此外，为了实现上述目的，其他本发明是一种真空泵，其特征在于，前述冷却部在前述回路基板的、相对于安装有前述发热零件的一侧相反的一侧的位置，面向进入前述贯通部的前述铸模部。

此外，为了实现上述目的，其他本发明是一种真空泵，其特征在于，前述冷却部使前述冷却媒介流路朝向前述电装零件部侧部分地露出。

此外，为了实现上述目的，其他本发明是一种真空泵的控制装置，其特征在于，具有冷却部和电装零件部，前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，能够经由前述铸模部向前述冷却部侧进行热移动。

发明效果

根据上述发明，能够提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵和真空泵的控制装置。

附图说明

图1 (a) 是概略地表示本发明的一实施方式的涡轮分子泵的剖视图，(b)是将电装箱放大表示的剖视图，(c)是表示冷却夹套的铅垂部与冷却管的位置关系的说明图。

图2 (a) 是概略地表示冷却夹套、电源回路部的立体图，(b)是概略地表示电源回路部的回路基板的主视图。

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的一实施方式的真空泵。图1(a)将作为真空泵的涡轮分子泵10纵剖来将一部分省略地概略地表示。该涡轮分子泵10例如与半导体制造装置、电子显微镜、质量分析装置等对象设备的真空腔(省略图示)连接。

涡轮分子泵10一体地具备圆筒状的泵主体11、作为电装设备容纳部(控制装置)的箱状的电装壳31。它们中的泵主体11为，图中的上侧为与对象设备侧相连的吸气部12，下侧为与辅助泵等相连的排气部13。并且，涡轮分子泵10除了如图1(a)所示那样的铅垂方向的垂直姿势以外，也能够以倒立姿势、水平姿势甚至倾斜姿势使用。

电装壳31被安装成在泵主体11的侧部即外周面沿径向突出。因此，本实施方式的涡轮分子泵10与例如前述的专利文献1所公开的类型的涡轮分子泵那样地将泵主体与电装设备(电装零件)沿轴向(气体的移送方向)并列地配置的情况相比，实现轴向的紧凑化。并且，本实施方式的涡轮分子泵10即使轴向的空间比较的狭窄也能够设置。

泵主体11具备带台阶的圆筒状的主体罩14。本实施方式中，主体罩14的直径为350mm左右，高度为400mm左右。主体罩14内设置有排气机构部15与旋转驱动部16。它们中的排气机构部15为由涡轮分子泵机构部17与螺纹槽泵机构部18构成的复合型的排气机构部。

涡轮分子泵机构部17与螺纹槽泵机构部18被配置成沿泵主体11的轴向连续，在图1(a)中，在图中的上侧配置有涡轮分子泵机构部17，在图中的下侧配置有螺纹槽泵机构部18。作为涡轮分子泵机构部17、螺纹槽泵机构部18的基本构造，能够采用一般的基本构造，但以下关于基本构造概略地说明。

配置于图1(a)中的上侧的涡轮分子泵机构部17借助多个涡轮叶片进行气体的移送，具备具有既定的倾斜、曲面而放射状地形成的固定翼部19和旋转翼部20。这里，在涡轮分子泵机构部17，固定翼(定子翼)与旋转翼(转子翼)配置成遍及十几级地交替地排列，但为了避免附图变得烦杂，省略关于固定翼与旋转翼的附图标记的记载。此外，图1(a)中同样地为了避免附图变得烦杂，省略表示泵主体11的零件的截面的剖面线的记载。

固定翼部19与主体罩14一体地设置，设置于旋转翼部20的旋转翼进入装备于固定翼部19的上下的固定翼之间。旋转翼部20与图1(a)中仅概略地表示上端部的轮廓的旋转轴(转子轴)21一体化。

该旋转轴21通过下侧的螺纹槽泵机构部18与同样地仅概略地表示轮廓的前述的旋转驱动部16连结。螺纹槽泵机构部18具备转子圆筒部23与螺纹定子24，在转子圆筒部23与螺纹定子24之间形成有作为既定的间隙的螺纹槽部25。转子圆筒部23与旋转轴21连结，能够与旋转轴21一体地旋转。在螺纹槽泵机构部18的后级配置有用于与排气管道连接的排气口26，排气口26的内部与螺纹槽部25在空间上相连。

旋转驱动部16是马达，虽省略图示，但具有形成于旋转轴21的外周的旋转件、配置成包围旋转件的固定件。用于使该旋转驱动部16工作的电力的供给由容纳于前述电装壳31的电源设备、控制设备进行。

旋转轴21的支承上虽省略图示，但使用基于磁悬浮的非接触式的轴承(磁轴承)。因此，在泵主体11，实现进行高速旋转时无摩耗、寿命长且无需润滑油的环境。另外，作为磁轴承，能够采用将径向磁轴承与推力轴承组合的。进而，对于磁轴承，也能够将防止万一的情况的损伤的触底轴承组合使用。

若驱动旋转驱动部16，则与旋转轴21一体的涡轮分子泵机构部17的旋转翼部20及转子圆筒部23旋转。随着旋转翼部20的旋转，从图1(a)中的上侧所示的吸气部12抽吸气体，使气体分子与固定翼部19的固定翼和旋转翼部20的旋转翼碰撞的同时，向螺纹槽泵机构部18侧进行气体的移送。螺纹槽泵机构部18中，将从涡轮分子泵机构部17移送的气体导入转子圆筒部23与螺纹定子24的间隙，在螺纹槽部25内压缩。螺纹槽部25内被压缩的气体从排气部13向排气口26进入，经由排气口26被从泵主体11排出。

接着，对前述的电装壳31进行说明。电装壳31如图1(b)所示，在长方体状的箱罩32内收纳有作为电装设备部(电装零件部)的电源回路部33、同样作为电装设备部的控制回路部34。箱罩32通过将截面为L字形的板金制的罩壁板35、相同地截面为L字形的作为冷却部的冷却夹套36等组合来互相结合来构成。另外，图1(a)中，设置成拆下关闭罩壁板35的两端部(贯通纸面的方向的两端部)的端部堵塞壁板，能够看到电装壳31的内部。作为端部堵塞壁板，例如能够使用两个(2张)矩形的壁板部件等。

冷却夹套36具备夹套主体37与冷却管38。它们中的夹套主体37是一体地具有朝向大致水平的水平部39、朝向大致铅垂的铅垂部40的铸造物。作为冷却夹套36的原材料(浇注材料)能够采用铝等。水平部39使与铅垂部40相连的基端侧朝向泵主体11的外侧（从泵主体11远离的一侧）而使末端侧朝向泵主体11侧。

进而，水平部39的末端侧如图2(a)所示配合泵主体11的外径以圆弧状切口，沿圆弧状的末端部41设置有用于使六角螺栓42(在图1(a)仅图示一个)通过的多个贯通孔43。并且，水平部39的末端侧如图1(a)所示，配置成与主体罩14的下表面44重叠，借助多个六角螺栓42，被相对于泵主体11的下部凸缘45从下方螺栓固定。

如图2(a)所示，铅垂部40具有朝向泵主体11侧的作为冷却面的内侧面46、朝向外侧的同样作为冷却面的外侧面47。在它们中的内侧面46上，前述的电源回路部33与控制回路部34被使电源回路部33在下地上下地配置。电源回路部33与控制回路部34以相对于铅垂部40能够进行热的移动的状态通过螺栓紧固等手段固定。

但是，关于电源回路部33与控制回路部34的配置不限于此，也可以使控制回路部34在下地上下地配置。

这里，图1(a)、(b)中，电源回路部33与控制回路部34概略地用双点划线包围地表示。此外，电源回路部33如图1(b)、图2(a)所示被作为铸模部的铸模树脂74固封。并且，图1(b)中为使铸模树脂74的范围明确而标注双点划线的剖面线来记载铸模树脂74，但关于电源回路部33、铸模树脂74的具体的结构在后说明。

如图2(a)所示，前述的冷却管38被插入(插入铸造) 冷却夹套36的铅垂部40。冷却管38用于将电装壳31的内部冷却，被从外部供给的冷却水(冷却媒介、冷媒)穿过内部的冷却媒介流路38a地循环。冷却管38的直径例如为数mm左右，作为该冷却管38的材质，能够采用不锈钢(SUS)、铜等。

冷却管38在铅垂部40的内部如虚线所示地弯曲成コ字形，具有互相大致水平且平行地延伸的平行部50、连接平行部50的铅垂的连接部51。并且，冷却管38的两端部52、53从铅垂部40的端面54突出仅数mm左右。

这里，本实施方式中，冷却管38的两端部52、53中的图2(a)中的下侧(水平部39侧)的端部53为冷却水(冷却媒介、冷媒)的入口，上侧的端部52为冷却水的出口。但是，冷却水的流通方向不限于此，也可以将上侧的端部52设为入口，将下侧的端部53设为出口。此外，虽省略图示，但能够将管用的接头连接于冷却管38的两端部52、53，经由该接头与冷却水的循环路径连接。

进而，冷却管38使一部分从铅垂部40的内侧面46露出，冷却管38的周向的一部分为从内侧面46突出的露出部55。并且，露出部55位于固定于内侧面46的电源回路部33的背后，与铸模树脂74接触，相对于电源回路部33离开。这里，本实施方式中，仅图2(a)中的上侧的平行部50、连接部51构成露出部55。但是，不限于此，也能够以冷却管38的长度方向的大致全长构成露出部55。

冷却部一般被在冷却管38流动的冷却水冷却，但冷却媒介(冷媒)不限于冷却水，也可以是水以外的流体、冷却气体等其他冷媒。

此外，在本实施方式中，露出部55、铅垂部40的内侧面46与铸模树脂74接触，但不限于此，例如，铅垂部40的内侧面46与铸模树脂74之间也能够部分地或整体地存在既定的间隔的间隙(空间)。

图1(c)表示冷却管38与铅垂部40的位置关系。图中冷却管38的轴心C1与铅垂部40的厚度方向的中心线C2互相在水平方向上分离，冷却管38相对于铅垂部40偏心。并且，冷却管38的大部分通过插入铸造与铅垂部40的原材料(这里是作为浇注材料的铝)无间隙地紧密接触，同时被铅垂部40覆盖。这里，为了形成露出部55，能够在夹套主体37的铸造时将冷却管38配置成如上所述地轴心C1相对于铅垂部40的厚度方向的中心线C2偏心后进行浇注。

此外，不限于此，也可以是，在夹套主体37的铸造时，将冷却管38配置成遍及整周地收纳于铅垂部40内地进行浇注后，将内侧面46切削加工，使得露出部55出现。但是，铅垂部40的厚度相对较薄而冷却管38与外侧面47侧的壁厚不足的情况下，认为由于切削加工时作用于铅垂部40的负荷，冷却管38变得容易从铅垂部40分离。并且，这样的情况下，可以想到切削加工时的负荷的施加程度的调整变难。因此，优选的是，铸造时如图1(c)所示，在使冷却管38相对于铅垂部40偏心的状态下进行插入铸造。

接着，关于前述的电源回路部33，基于图2(a)、(b)进行说明。图2(a)表示形成有前述的铸模树脂74的状态，图2(b)表示形成铸模树脂74前的状态。如图2(b)所示，电源回路部33具备回路基板61，回路基板61处安装有用于驱动泵主体11的回路零件(电气零件、电子零件)62。作为回路基板61，能够采用一般的环氧基板等。回路基板61向铅垂部40的固定例如通过回路基板61的四角处的螺栓固定进行。

此外，作为回路零件62，例如能够列举，变压器、绕组、电容器、滤波器、二极管、FET(场效应晶体管)等那样的。图2(a)、(b)与图1(a)、(b)相比详细地表示回路零件62的情况(省略图示)。这些回路零件62根据其特性作为发热零件。回路零件62产生的热向回路基板61、其周围移动，使周围的温度上升。并且，在回路基板61产生的热的一部分经由用于与铅垂部40的结合的螺栓(省略图示)、后述的铸模树脂74向冷却夹套36侧移动。

这里，回路基板61的各种的回路零件62的安装时，也考虑其高度地确定回路零件62的朝向(也称作“姿势”)。即，如前所述，冷却夹套36位于回路基板61的背面侧(这里为非安装侧)，但在回路基板61的安装侧，回路零件62的高度越高，距冷却夹套36的距离越远。并且，若将高度较大(所谓高背) 的回路零件62以起立状态安装，则基于热传导、热传递的向冷却夹套36的热的移动难以产生，电源回路部33的冷却变难。

因此，在本实施方式中，关于能够确保必要的面积的部位，将回路零件62以平放于回路基板61的状态搭载。这样将回路零件62平放的状态为能够使距回路基板61的高度变低的状态，也能够称作“倒伏状态”等。并且，将回路零件62平放，回路零件62的更多的部分接近冷却夹套36，由此，能够将回路零件62的冷却高效率地进行。

进而，在回路基板61安装有多个金属制的板金部件71。板金部件71的固定能够通过将用于支承板金部件71的部件设置于回路基板61上、或在板金部件71设置螺丝紧固用的肋来进行。作为板金部件71的材质，例如使用铝等。

板金部件71有平板状的、L字形的等，以从回路基板61大致垂直地立起的方式(呈起立姿势的方式)固定于回路基板61。并且，板金部件71使其厚度方向朝向回路基板61的安装面伸展的方向(与回路基板61的厚度方向正交的方向)。通过以这样的朝向安装板金部件71，能够在回路基板61的安装面使板金部件71占有的面积最小化。

进而，板金部件71能够用于回路零件62的安装。并且，在板金部件71的板面，固定有各种回路零件62中的二极管、其他半导体元件那样地温度容易上升的回路零件。这里，通过将固定于板金部件71的半导体元件的导线部(省略图示)连接于回路基板61的配线，能够确保半导体元件的导通。通过这样地在板金部件71的板面上具备回路零件62，能够在回路基板61扩大回路零件62的能够安装的面积。

此外，在回路基板61，如图2(b)所示，形成有作为形成为长孔状的多个贯通部的狭缝72。这些狭缝72形成于回路基板61的既定位置，将回路基板61贯通。本实施方式中狭缝72形成于从一部分的板金部件71、既定的回路零件62仅以既定程度(例如1mm~数mm左右)离开的部位。

并且，经由狭缝72，回路基板61的安装面侧与非安装侧即背面侧空间上相连，在回路基板61的安装面侧与背面侧，能够进行通过狭缝72的热的移动。另外，狭缝72的开口面积越大，热越变得容易移动。此外，在本实施方式中，将贯通回路基板61的孔作为长孔状的狭缝72，但不限于此，例如能够设为长方形、正方形、圆形、三角形、菱形、梯形等各种各样的形状。进而，贯通回路基板61的孔的配置也不限于回路零件62(这里包括板金部件71)的附近，例如也能够为正下方的位置、交叉的位置等。

此外，回路基板61如前所述地被铸模树脂74固封。该铸模树脂74如图2(a)所示地成形为长方体状，以不产生间隙的方式与回路基板61的回路零件62(这里包括板金部件71)紧密地接触。进而，铸模树脂74以回路基板61的安装面为基准将区域覆盖至既定的高度，从铸模树脂74呈仅高度相对较高的电子零件的上端部分突出的状态。在本实施方式中，作为铸模树脂74使用环氧树脂，但不限于此，例如也可以使用硅等那样的树脂。

铸模树脂74发挥提高关于回路基板61的绝缘性的功能、防滴的功能、防水的功能等。此外，铸模树脂74具有通过与各种的回路零件、回路基板61接触并且进入前述的狭缝72来将电源回路部33冷却的功能。即，铸模树脂74夺取各种回路零件62、回路基板61的热，并且使夺取的热的一部分经由狭缝72来向回路基板61的背面侧移动。

此外，在本实施方式中，进行填充而使得回路基板61、冷却夹套36的铅垂部40、冷却管38的露出部55之间不产生间隙。因此，能够使到达回路基板61的背面侧热进一步经由铸模树脂74向冷却夹套36侧移动。这里，若能够进行充分的冷却，则也可以，在回路基板61与冷却夹套36之间形成未填满铸模树脂74的空间，经由面向冷却夹套36的空间使热移动。

接着，对前述的控制回路部34进行说明。控制回路部34用于进行设置于泵主体11内的马达等机构的控制。该控制回路部34如图1(b)、图2(a)所示，在冷却夹套36的铅垂部40的内侧面46配置于电源回路部33的上方的部位。这里，图2(a)中，控制回路部34由双点划线的长方体概略地表示。

进而，本实施方式的控制回路部34具有二级的层叠构造，具备螺栓固定于冷却夹套36的金属基板(这里是铝基板)86、能够导通地连接至金属基板86上的树脂基板(玻璃环氧基板等)87。并且，虽省略图示，但例如树脂基板87上除了回路零件62以外还安装有根据各种标准规格的连接器等。

在本实施方式中，控制回路部34的发热比电源回路部33少，所以关于控制回路部34不进行电源回路部33那样的树脂固封。但是，根据需要，也可以将控制回路部34除了连接器的连接端都树脂固封。

在控制回路部34处产生的热除了来自与铅垂部40的外侧面47结合的金属基板86移动以外，也从不与铅垂部40直接接触的部分(树脂基板87等)经由金属基板86向铅垂部40移动。

根据以上说明的那样的本实施方式的涡轮分子泵10，将冷却夹套36的冷却管38设置成露出部55从铅垂部40露出。因此，能够将露出部55的外侧的空间、与露出部55接触的部位直接地冷却。此外，能够将铅垂部40的内侧面46侧的冷却高效率地进行。

因此，能够在不使用冷却风扇的情况下进行高效率的冷却。此外，不使用冷却风扇，所以能够使涡轮分子泵10小型化。进而，能够抑制电装壳31的温度上升，能够使涡轮分子泵10的产品寿命长期化。此外，能够高效率地冷却，所以在涡轮分子泵10的前级也可以不将冷却水的温度过多下降。

此外，形成突出的露出部55，所以与将冷却管38遍及整周地覆盖铅垂部40的原材料(浇注材料)的情况相比，能够进行更直接的冷却。进而，能够使铅垂部40的内侧面46接近冷却管38的轴心C1，所以容易使内侧面46的温度下降。此外，能够使铅垂部40的厚度变小，能够实现冷却夹套36的省空间化、轻量化。进而，冷却夹套36的制造时能够减少浇注材料的使用量，能够减少相应的制造成本。

此外，通过铸造将冷却管38装入冷却夹套36，所以能够以低成本使冷却管38的外周面与夹套主体37紧贴。即，例如将夹套主体37通过铝原材料的切削加工制作，在制作的夹套主体37将冷却管38从后固定那样的情况下，在夹套主体37与冷却管38之间容易产生间隙，热阻变高。并且，为了进行高效率的冷却，为了将夹套主体37与冷却管38之间的间隙填充，不得不存在由热传导率高的材质构成的片等，相应地成本上升。但是，本实施方式那样地通过铸造进行冷却管38的装入，由此能够以低成本使冷却管38的外周面与夹套主体37紧贴。

此外，根据本实施方式的涡轮分子泵10，借助铸模树脂74进行电源回路部33的固封，所以能够进行经由铸模树脂74的热的移动。进而，在回路基板61设置贯通的狭缝72，回路基板61的安装面侧与背面侧(这里为非安装侧)经由狭缝72相连，所以经由狭缝72能够进行向回路基板61的背面侧的放热。并且，回路基板61的背面侧面向冷却夹套36的铅垂部40，所以能够使在回路基板61的安装面侧产生的热经由铸模树脂74、狭缝72向冷却夹套36侧移动。

此外，在本实施方式中，在回路基板61与冷却夹套36之间填充有铸模树脂74，所以能够将回路基板61与冷却夹套36之间的热的移动经由铸模树脂74地进行。因此，与从回路基板61至冷却夹套36之间存在空间的情况相比容易使热移动。

另外，这样的使用铸模树脂74、狭缝72的冷却能够进一步提高基于冷却夹套36的水冷的效果。此外，本实施方式那样的冷却也能够称作使基于铸模树脂74、狭缝72的热的移动、基于冷却夹套36的冷却复合的冷却手法。进而，本实施方式那样的冷却为电装壳31内的空间也被冷却夹套36冷却，所以也能够称作使空冷与水冷复合的冷却手法。

此外，本发明除了至此说明的方式以外也能够各种各样地变形。例如，上述的实施方式中将狭缝72设置于回路基板61，但也能够将狭缝72等的贯通部设置于板金部件71，使铸模树脂74进入，在板金部件71的正反侧进行经由贯通部的热的移动。

附图标记说明

10涡轮分子泵(真空泵)

11泵主体

31电装壳(控制装置)

33电源回路部(电装零件部)

34控制回路部(电装零件部)

36冷却夹套(冷却部)

38冷却管

38a冷却媒介流路

40铅垂部

46铅垂部的内侧面(冷却面)

51回路基板

55露出部

62回路零件(发热零件)

72狭缝(贯通部)

74铸模树脂(铸模部)。

Claims (5)

1.一种真空泵，其特征在于，

具备泵主体、配置于前述泵主体的外侧的控制装置，

前述控制装置具有冷却部和电装零件部，

前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，

前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，

在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，

在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，

能够向经由前述铸模部的前述冷却部侧进行热移动。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

在前述回路基板，形成贯通前述回路基板而供前述铸模部进入的贯通部，

能够向经由前述铸模部及前述贯通部的前述冷却部侧进行热移动。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述冷却部在前述回路基板的、相对于安装有前述发热零件的一侧相反的一侧的位置，面向进入前述贯通部的前述铸模部。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述冷却部使前述冷却媒介流路朝向前述电装零件部侧部分地露出。

5.一种真空泵的控制装置，其特征在于，

具有冷却部和电装零件部，

前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，

前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，

在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，

在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，

能够向经由前述铸模部的前述冷却部侧进行热移动。

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