JP5778166B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
これらの半導体は、きわめて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
このプレート201は、ポンプ本体100の底面と制御ユニット200の上面とを兼ねている。但し、プレート201は2枚で構成等されることも可能である。
そして、固定翼123の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ125a、125b、125c・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
ネジ溝131aの螺旋の方向は、回転体103の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口133の方へ移送される方向である。
ネジ付きスペーサ131に移送されてきた排気ガスは、ネジ溝131aに案内されつつ排気口133へと送られる。
ポンプ本体100側のケーシングの開口を塞ぐようにプレート201を配設し、このプレート201が制御ユニット200側のケーシングをも兼ねる基板ユニット構造とした。プレート201に貫通固定された端子210のピン207に対しAMB制御基板209と大気側接続基板211とを直接ハンダ付けして一体化している。従って、プレート201はポンプ本体100と制御ユニット200との間に一枚の配設で済む。
13 ソルダカップ
100 ポンプ本体
102 回転翼
104 上側径方向電磁石
105 下側径方向電磁石
106A、B 軸方向電磁石
107 上側径方向センサ
108 下側径方向センサ
109 軸方向センサ
111 金属ディスク
113 ロータ軸
121 モータ
122 ステータコラム
123 固定翼
125 固定翼スペーサ
127 外筒
129 ベース
131 スペーサ
133 排気口
149 水冷管
200 制御ユニット
201 プレート
203 略四角形の板状底面部
205 胴部
207 ピン
208 支持部材
209 AMB制御基板
210 端子
211 大気側接続基板
212 小穴
213 電解コンデンサ
215 ヒートシンク
221、223 Oリング
300 制御装置
301 底部空間
Claims (4)
- 底面にプレート(201)を有する真空ポンプ本体(100)と、
該プレート(201)を筐体の一部とする制御ユニット(200)と、
前記プレート(201)を貫通して両面に露出部分を残しつつ取り付けられた複数のピン(207)と、
該ピン(207)の前記真空ポンプ本体(100)側の露出部分に取り付けられ前記真空ポンプ本体(100)内部の真空雰囲気中に配設される第1の基板(209)と、
前記ピン(207)の前記制御ユニット(200)側の露出部分に取り付けられ前記制御ユニット(200)内部の大気雰囲気中に配設される第2の基板(211)とを備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記第2の基板(211)に電解コンデンサ(213)が取り付けられたことを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記真空ポンプ本体(100)のベース部(129)に水冷管(149)を備えたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の真空ポンプ。
- 前記プレート(201)と前記真空ポンプ本体(100)との間及び該プレート(201)と前記制御ユニット(200)の筐体の壁との間にシール部材(221、223)を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空ポンプ。
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