JP2007508492A - ターボ分子真空ポンプ - Google Patents
ターボ分子真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007508492A JP2007508492A JP2006534793A JP2006534793A JP2007508492A JP 2007508492 A JP2007508492 A JP 2007508492A JP 2006534793 A JP2006534793 A JP 2006534793A JP 2006534793 A JP2006534793 A JP 2006534793A JP 2007508492 A JP2007508492 A JP 2007508492A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic bearing
- circuit
- vacuum pump
- container
- radial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0489—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of five degrees of freedom, e.g. two radial magnetic bearings combined with an axial bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/068—Mechanical details of the pump control unit
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/047—Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C35/00—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
Description
Claims (11)
- 能動の磁気ベアリングを有するターボ分子真空ポンプであって、主真空チャンバ(116)を規定している容器(110)と、この容器(110)内に装着されているロータ(120)と、このロータ(120)を前記容器(110)に対して回転させるための電気モータ(107)と、少なくとも1つのアキシャル磁気ベアリング(103)と、前記ロータ(120)を前記容器(110)に支持させるための少なくとも1つのラジアル磁気ベアリング(101,102)と、前記容器(110)に対する前記ロータ(120)の軸方向の位置を検出するための少なくとも1つの軸方向検出器(106)と、前記容器(110)に対する前記ロータ(120)の径方向の位置を検出するための少なくとも1つの径方向検出器(104,105)と、前記容器(110)の壁中に装着された気密で耐漏洩の電気コネクタ(180)と、前記電気モータ(107)、前記アキシャル磁気ベアリング(103)、前記ラジアル磁気ベアリング(101,102)に関連付けられた離れた外部の電気回路との接続を与える少なくとも1つの電気ケーブル(183,184)とを具備するターボ分子真空ポンプにおいて、前記電気モータ(107)、アキシャル磁気ベアリング(103)、並びにラジアル磁気ベアリング(101,102)に関連付けられ、離れた外部の電気回路は、前記電気モータ(107)と、前記アキシャル磁気ベアリング(103)と、前記ラジアル磁気ベアリング(101,102)とに電力を供給するための一般的な電源回路(191)を有することと、前記軸方向検出器(106)と前記径方向検出器(104,105)とによって出力される信号をベースにして、前記アキシャル磁気ベアリング(103)と前記ラジアル磁気ベアリング(101,102)を制御するための回路(194)が、所定の樹脂中に埋め込まれ、主真空チャンバ(116)内で前記容器(110)中に位置されていることと、前記耐漏洩の電気コネクタ(180)と、前記離れた外部の電気回路(191,192)との接続を与えている前記電気ケーブル(183,184)とは、各々が、10本未満の複数の接続電線を有していることとを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
- 前記離れた外部の電気回路は、この真空ポンプの外部のシステムに接続インターフェースを与えている回路(192)を更に有することを特徴とする請求項1のターボ分子真空ポンプ。
- この真空ポンプが、前記容器の外側でこの容器(110)の底壁(202)に装着されている、前記モータを制御するための回路(193)を有していることと、接続用の前記電気ケーブル(183,184)が、耐漏洩の電気コネクタ(180)並びに前記電気モータを制御するための回路(193)間の第1の接続ケーブル(184)と、前記電気モータを制御するための回路(193)並びに前記離れた外部の電気回路(191,192)間の第2の接続ケーブル(183)とを有していることと、前記第1の接続ケーブル(184)は、10本未満の複数の接続電線を有し、一方、前記第2の接続ケーブルは、5本未満の複数の接続電線を有していることとを特徴とする請求項1又は2のターボ分子真空ポンプ。
- 第1の接続ケーブル(184)は、8本未満の複数の接続電線を有し、一方、第2の接続ケーブル(183)は、4本未満の複数の接続電線を有していることを特徴とする請求項3のターボ分子真空ポンプ。
- 前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とを制御するための回路(194)は、前記容器(110)の底壁に位置されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
- このポンプの外部の冷却回路(203)が、前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とを制御するための回路(194)を収容している前記容器(110)の部分を囲んでいることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
- 前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とを制御するための回路(194)は、前記容器(110)の壁に面した下面と、前記容器(110)の内部に面した上面とを有するプレート(208)を備え、前記下面は、前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とに電力を供給するための複数の電源コンポーネントを支持し、前記上面は、前記軸方向検出器(106)と径方向検出器(104,105)とによって出力される信号を処理するための複数のコンポーネントを支持していることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
- 前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とを制御するための回路(194)は、アルミニウムハウジング内に位置されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
- 前記アキシャル磁気ベアリング(103)とラジアル磁気ベアリング(101,102)とを制御するための回路(194)は、前記容器内で、この容器(110)の着脱可能な底壁(202)上に装着されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
- 前記容器(110)の底壁は、アルミニウムで形成されていることを特徴とする請求項3又は9のターボ分子真空ポンプ。
- 前記電気モータ(107)の両側に位置された2つのラジアル磁気ベアリング(101,102)を有していることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1のターボ分子真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0312111 | 2003-10-16 | ||
FR0312111A FR2861142B1 (fr) | 2003-10-16 | 2003-10-16 | Pompe a vide turbo moleculaire |
PCT/FR2004/002616 WO2005038263A1 (fr) | 2003-10-16 | 2004-10-14 | Pompe a vide turbo-moleculaire |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007508492A true JP2007508492A (ja) | 2007-04-05 |
JP5230938B2 JP5230938B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=34385216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006534793A Active JP5230938B2 (ja) | 2003-10-16 | 2004-10-14 | ターボ分子真空ポンプ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7436093B2 (ja) |
EP (1) | EP1682778B1 (ja) |
JP (1) | JP5230938B2 (ja) |
CA (1) | CA2542732C (ja) |
FR (1) | FR2861142B1 (ja) |
WO (1) | WO2005038263A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008096622A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
CN102562621A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 诺沃皮尼奥内有限公司 | 用于涡轮机的导管和方法 |
JP2012145100A (ja) * | 2010-12-23 | 2012-08-02 | Nuovo Pignone Spa | ターボ機械の電気的接続及びその方法 |
JP2013090572A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Soc De Mecanique Magnetique | 熱処理なしに腐食環境での使用のためのジャケット付き電磁気機械ステーター |
JPWO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2024029097A1 (ja) * | 2022-08-05 | 2024-02-08 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | ターボ圧縮機、及びこれを備えているターボ冷凍機 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE483114T1 (de) | 2005-08-24 | 2010-10-15 | Mecos Traxler Ag | Magnetlagereinrichtung mit verbesserter gehäusedurchführung bei vakuum |
DE102006016405A1 (de) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Antriebsgerät |
DE102006036493A1 (de) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
AT505598B1 (de) * | 2006-12-19 | 2015-05-15 | Manfred Dipl Ing Dr Schrödl | Magnetlagereinrichtung |
DE202007012070U1 (de) * | 2007-08-30 | 2009-01-08 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Stromdurchführung einer Vakuumpumpe |
WO2009146189A1 (en) | 2008-04-17 | 2009-12-03 | Christopher Sortore | High-speed permanent magnet motor and generator with low-loss metal rotor |
CN102017369B (zh) | 2008-04-18 | 2013-11-13 | 森克罗尼公司 | 带有集成电子设备的磁性推力轴承 |
US8513826B2 (en) * | 2008-06-26 | 2013-08-20 | Ed Mazur | Wind turbine |
FR2936287B1 (fr) * | 2008-09-22 | 2018-06-22 | Soc De Mecanique Magnetique | Pompe turbomoleculaire a montage souple |
US8221098B2 (en) * | 2009-03-09 | 2012-07-17 | Honeywell International Inc. | Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor |
US9583991B2 (en) | 2009-06-24 | 2017-02-28 | Synchrony, Inc. | Systems, devices, and/or methods for managing magnetic bearings |
EP2586121B1 (en) | 2010-06-23 | 2019-12-11 | Synchrony, Inc. | Split magnetic thrust bearing |
CN103201519B (zh) * | 2010-10-19 | 2016-03-16 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
JP2012097655A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Nippon Densan Corp | 送風ファン |
US20120112608A1 (en) * | 2010-11-04 | 2012-05-10 | Remy Technologies, L.L.C. | Electric machine having an integrated inverter |
US20120112576A1 (en) * | 2010-11-04 | 2012-05-10 | Remy Technologies, L.L.C. | Inverter for an electric machine |
FR2974175B1 (fr) | 2011-04-14 | 2013-10-11 | Mecanique Magnetique Sa | Dispositif de detection de la position axiale d'un arbre tournant et application a une pompe turbo-moleculaire |
ITCO20110020A1 (it) * | 2011-05-25 | 2012-11-26 | Nuovo Pignone Spa | Metodi e sistemi per condotti a bassa tensione privi di olio |
CN102425557B (zh) * | 2011-12-08 | 2014-09-03 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法 |
FR2994021B1 (fr) | 2012-07-27 | 2014-08-22 | Mecanique Magnetique Sa | Connecteur electrique etanche pour paliers magnetiques |
CN105443403A (zh) * | 2015-05-28 | 2016-03-30 | 天津市安正电力高分子材料有限公司 | 一种硅烷交联电缆料生产线用水环真空泵节水装置 |
US9989049B2 (en) * | 2015-12-11 | 2018-06-05 | Funai Electric Co., Ltd. | Microfluidic pump |
JP6948147B2 (ja) * | 2017-04-18 | 2021-10-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト |
JP7199870B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2023-01-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | センサ、電磁石ユニットおよび真空ポンプ |
JP7454928B2 (ja) * | 2019-08-23 | 2024-03-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット |
EP3683449B1 (de) * | 2019-12-18 | 2022-02-09 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Magnetlager und vakuumgerät |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103234A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Ntn Corp | 磁気軸受スピンドル |
JPH10103288A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2001218478A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Toshiba Kyaria Kk | 電力変換基板装置及びその製造方法 |
JP2001349295A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Seiko Instruments Inc | ターボ分子ポンプ、及びターボ分子ポンプシステム |
JP2002276587A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ターボ分子ポンプ |
JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2003269370A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
JP2003293981A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-15 | Ntn Corp | ターボ分子ポンプシステム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2349033C3 (de) * | 1973-09-29 | 1984-08-30 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Turbomolekularpumpe |
DE2457783C2 (de) * | 1974-12-06 | 1986-10-09 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetische Lagerung |
JPH01195994A (ja) * | 1988-01-31 | 1989-08-07 | Shimadzu Corp | 磁気軸受ターボ分子ポンプの制御装置 |
JPH0389020A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-04-15 | Nippon Thompson Co Ltd | 磁性流体軸受 |
US5469007A (en) * | 1993-12-07 | 1995-11-21 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Magnetic bearing arrangement |
FR2747431B1 (fr) * | 1996-04-15 | 1998-07-03 | Soc D Mecanique Magnetique | Pompe turbomoleculaire a paliers magnetiques actifs |
US6793466B2 (en) * | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
DE10114969A1 (de) * | 2001-03-27 | 2002-10-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
-
2003
- 2003-10-16 FR FR0312111A patent/FR2861142B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-10-14 US US10/575,305 patent/US7436093B2/en active Active
- 2004-10-14 JP JP2006534793A patent/JP5230938B2/ja active Active
- 2004-10-14 WO PCT/FR2004/002616 patent/WO2005038263A1/fr active Application Filing
- 2004-10-14 EP EP04791528A patent/EP1682778B1/fr active Active
- 2004-10-14 CA CA2542732A patent/CA2542732C/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103234A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Ntn Corp | 磁気軸受スピンドル |
JPH10103288A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2001218478A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Toshiba Kyaria Kk | 電力変換基板装置及びその製造方法 |
JP2001349295A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Seiko Instruments Inc | ターボ分子ポンプ、及びターボ分子ポンプシステム |
JP2002276587A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ターボ分子ポンプ |
JP2003269370A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ポンプ装置 |
JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2003293981A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-15 | Ntn Corp | ターボ分子ポンプシステム |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008096622A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP5156649B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2013-03-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JPWO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP5778166B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-09-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP2012145100A (ja) * | 2010-12-23 | 2012-08-02 | Nuovo Pignone Spa | ターボ機械の電気的接続及びその方法 |
CN102562621A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-11 | 诺沃皮尼奥内有限公司 | 用于涡轮机的导管和方法 |
JP2013090572A (ja) * | 2011-10-20 | 2013-05-13 | Soc De Mecanique Magnetique | 熱処理なしに腐食環境での使用のためのジャケット付き電磁気機械ステーター |
WO2024029097A1 (ja) * | 2022-08-05 | 2024-02-08 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | ターボ圧縮機、及びこれを備えているターボ冷凍機 |
JP7460705B2 (ja) | 2022-08-05 | 2024-04-02 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | ターボ圧縮機、及びこれを備えているターボ冷凍機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070132327A1 (en) | 2007-06-14 |
FR2861142B1 (fr) | 2006-02-03 |
US7436093B2 (en) | 2008-10-14 |
CA2542732A1 (en) | 2005-04-28 |
FR2861142A1 (fr) | 2005-04-22 |
JP5230938B2 (ja) | 2013-07-10 |
WO2005038263A1 (fr) | 2005-04-28 |
EP1682778B1 (fr) | 2012-09-05 |
CA2542732C (en) | 2012-02-21 |
EP1682778A1 (fr) | 2006-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5230938B2 (ja) | ターボ分子真空ポンプ | |
US7713087B2 (en) | Terminal structure and vacuum pump | |
EP2631486B1 (en) | Vacuum pump | |
JP5628167B2 (ja) | 真空ポンプ | |
US9534506B2 (en) | Reducing the influence of thermal expansion of connector pins on a substrate in a vacuum pump | |
JP2001241393A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2002276587A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
CN109790846B (zh) | 真空泵及应用于该真空泵的防水构造、控制装置 | |
EP1837521A1 (en) | Structure for connecting end parts and vacuum system using the structure | |
EP1344941B1 (en) | RPM control for a vacuum pump system | |
EP1460294A2 (en) | Magnetic bearing device and turbo molecular pump with the magnetic bearing device mounted thereto | |
JP2019132253A (ja) | 真空ポンプ | |
US20030175131A1 (en) | Vacuum pump | |
US20210396233A1 (en) | Glanded pump with ring capacitor | |
JP2005291040A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP7244328B2 (ja) | 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置 | |
JP2020065383A (ja) | 真空用リニアモータおよび真空処理装置 | |
JP2003254286A (ja) | 真空ポンプ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100818 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110601 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110831 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120321 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130321 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5230938 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |