JPH04104196U - 磁気軸受式ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ターボ分子ポンプ本体２と回路ボックス１と
を結ぶ各種ケーブル１３、１４の断線時に、磁気軸受１
０の機能が直ちに停止し、高速回転中のロータ８が落下
して損傷するのを防止する。 【構成】 ロータ８の回転エネルギから電力を発生する
ための電力発生回路１２と、磁気軸受駆動回路１１との
両者をポンプの本体ケーシング７内に収納すると共に、
本体ケーシング７内で両者を接続しておく。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は磁気軸受式ターボ分子ポンプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の磁気軸受式ターボ分子ポンプの全体構成を、図３に示す。これは回路ボ ックス５１とターボ分子ポンプ本体５２とを備えるものである。回路ボックス５ １内には電源回路５３が設けられ、この電源回路５３に入力電源ケーブル５４が 接続されている。この電源回路５３は、ＡＣ入力電力をＤＣ電力に変換するもの で、その出力はモータ駆動回路５５、シーケンス回路５６、磁気軸受駆動回路５ ７に入力されている。上記モータ駆動回路５５は、モータケーブル５８を介して モータ５９に接続し、モータ５９でもってロータ６０を高速回転させるためのも のである。また上記磁気軸受駆動回路５７は、磁気軸受ケーブル６１を介して磁 気軸受６２に接続し、この磁気軸受６２でもってロータ６０を浮上させるように なっている。

【０００３】 また上記回路ボックス５１内には、さらにモータケーブル５８に接続された電 力発生回路６３が収納されているが、この電力発生回路６３は、ロータ６０の回 転エネルギをＤＣ電力に変換し、これを上記磁気軸受駆動回路５７に出力するた めのものである。つまりロータ６０の高速回転中に、停電又は入力電源ケーブル ５４の断線等によって電力供給が停止した際に、上記ロータ６０の回転に起因す る出力電力を磁気軸受６２に供給し、ロータ６０の浮上状態を維持し得るように なっているのである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで上記磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいては、入力電力の停止に対応 した安全対策が施されてはいるが、入力電力状況にかかわらず、磁気軸受ケーブ ル６１の断線または接続部の離脱が生じた場合、あるいは入力電力の停止とモー タケーブル５８の断線または接続部の離脱が同時に生じた場合には、磁気軸受６ ２の作動が直ちに停止し、ロータ６０が高速回転状態のままで落下し、この結果 、大きな損傷を生ずる可能性がある。

【０００５】 また各ターボ分子ポンプにおける磁気軸受６２の特性は、個々に微妙に相違し ているものであるため、磁気軸受駆動回路５７は、個々の磁気軸受６２に対応し た特性になるよう調整を行う必要があるため、ターボ分子ポンプ本体５２や回路 ボックス５１を交換する毎に、上記マッチング作業を行わなければならないとい う煩雑さがある。

【０００６】 この考案は上記従来の欠点を解決するためになされたものであって、その目的 は、特別な構成を付加することなく、上記損傷事故を防止すると共に、ターボ分 子ポンプ本体等の交換時のマッチング作業を不要にし得る磁気軸受式ターボ分子 ポンプを提供することにある。

【０００７】 そこで請求項１の磁気軸受式ターボ分子ポンプは、電源回路にモータ駆動回路 と磁気軸受駆動回路とをそれぞれ並列接続すると共に、上記モータ駆動回路をロ ータ回転用のモータに、上記磁気軸受駆動回路を磁気軸受に接続してこれらを作 動させるべく構成し、さらに上記ロータの回転エネルギから電力を発生するため の電力発生回路を備え、この電力発生回路の出力を上記磁気軸受駆動回路に入力 すべく構成して成る磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいて、上記ロータと磁気軸 受を収納する本体ケーシング内に上記電力発生回路と磁気軸受駆動回路とを収納 し、本体ケーシング内において両回路を接続していることを特徴としている。

【０００８】 また請求項２の磁気軸受式ターボ分子ポンプは、電源回路にモータ駆動回路を 接続して、このモータ駆動回路をロータ回転用のモータに接続する一方、上記電 源回路に電力再生回路を介して磁気軸受駆動回路を接続し、この磁気軸受駆動回 路を磁気軸受に接続して成り、上記電力再生回路は、電源回路から供給された電 力を磁気軸受駆動用に変換する機能と共に、モータの回転エネルギから電力を発 生して上記磁気軸受駆動回路に出力する機能をも有する磁気軸受式ターボ分子ポ ンプにおいて、上記ロータと磁気軸受とを収納する本体ケーシング内に上記電力 再生回路と上記磁気軸受駆動回路とを収納し、本体ケーシング内において両回路 を接続していることを特徴としている。

【０００９】

【作用】

上記請求項１及び請求項２の磁気軸受式ターボ分子ポンプによれば、停電、本 体ケーシングに接続されているケーブルの断線、これらケーブル接続部の離脱等 が生じても、電力発生回路又は電力再生回路、磁気軸受駆動回路、磁気軸受の各 接続状態に影響はなく、ロータが高速回転している間は、磁気軸受が正常に作動 する。また本体ケーシング内に磁気軸受と磁気軸受駆動回路とを対にして収納し てあるので、磁気軸受の特性と磁気軸受駆動回路とのマッチング作業は、初期作 業を行うだけでよく、その後の調整作業は不要である。

【００１０】

【実施例】

図１には、この考案の磁気軸受式ターボ分子ポンプの第１実施例の概略構成を 示している。

【００１１】 図のようにこの磁気軸受式ターボ分子ポンプは、回路ボックス１とターボ分子 ポンプ本体２とを有している。回路ボックス１内には、電源回路３とモータ駆動 回路４とシーケンス回路５とが収納されている。上記電源回路３は、入力電源ケ ーブル６に接続されたもので、ＡＣ入力電力をＤＣ電力に変換して出力する機能 を有しており、その出力は、上記モータ駆動回路４とシーケンス回路５とに入力 されている。

【００１２】 そして上記ターボ分子ポンプ本体２の本体ケーシング７内には、ロータ８、ロ ータ駆動用のモータ９、ロータ浮上用の磁気軸受１０がそれぞれ収納されると共 に、さらに本体ケーシング７内に磁気軸受駆動回路１１と電力発生回路１２との 両者が相互に接続された状態で収納されている。

【００１３】 上記モータ駆動回路４の出力は、モータケーブル１３にて上記モータ９に供給 され、また上記電源回路３からの上記とは別の出力が、磁気軸受ケーブル１４を 介して上記磁気軸受駆動回路１１に供給されている。

【００１４】 上記磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいて、停電や入力電源ケーブル６の断線 、モータケーブル１３や磁気軸受ケーブル１４の断線、各ケーブル接続部の離脱 等が生じたとしても、上記ロータ８が高速回転をしていれば、磁気軸受駆動回路 １１には電力発生回路１２からの電力供給がなされるので、ロータ８の浮上状態 が維持でき、これによりロータ８の落下に起因する損傷事故を防止し得ることに なる。

【００１５】 また上記本体ケーシング７内には、マッチング済みの磁気軸受１０と磁気軸受 駆動回路１１とが対になって収納されているので、ターボ分子ポンプ本体２や回 路ボックス１を交換しても、磁気軸受１０と磁気軸受駆動回路１１とのマッチン グ作業は不要である。

【００１６】 図２にはこの考案の磁気軸受式ターボ分子ポンプの第２実施例を示す。これは 図１の第１実施例における電力発生回路１２に代えて電力再生回路１５を設けた ものである。この電力再生回路１５は、通常は電源回路３から供給された電力を 磁気軸受駆動用に変換して磁気軸受駆動回路１１に供給する機能を有するもので ある。またそれに加えて、磁気軸受ケーブル１４の断線時、あるいはその接続部 の離脱時には、モータ９による発電電力がケーブル１６を介して供給され、その 電力を磁気軸受駆動用に変換して磁気軸受駆動回路１１に供給する機能をもを有 している。したがってこの磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいても、上記第１実 施例と同様な作用、効果が生ずる。なお他の構成部分は、第１実施例と略同様で あるため、同一部分を同一符号で示してその説明を省略する。

【００１７】

【考案の効果】 以上のようにこの考案の磁気軸受式ターボ分子ポンプでは、停電、本体ケーシ ングに接続されているケーブルの断線、これらケーブル接続部の離脱等が生じて も、電力発生回路又は電力再生回路、磁気軸受駆動回路、磁気軸受の各接続状態 に影響はなく、ロータが高速回転している間は、磁気軸受が正常に作動するよう にしてあるので、高速回転しているロータの落下による損傷事故を防止し得る。

【００１８】 また本体ケーシング内に磁気軸受と磁気軸受駆動回路とを対にして収納してあ るので、磁気軸受の特性と磁気軸受駆動回路とのマッチング作業は、初期作業を 行うだけでよいことになり、ターボ分子ポンプの本体側や制御側回路ボックス等 の交換時のマッチング作業を不要にし得るという利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の磁気軸受式ターボ分子ポンプの第１
実施例の全体構成を示す説明図である。

【図２】この考案の磁気軸受式ターボ分子ポンプの第２
実施例の全体構成を示す説明図である。

【図３】従来の磁気軸受式ターボ分子ポンプの全体構成
を示す説明図である。

【符号の説明】

２ ターボ分子ポンプ本体 ３ 電源回路 ４ モータ駆動回路 ７ 本体ケーシング ８ ロータ ９ モータ １０ 磁気軸受 １１ 磁気軸受駆動回路 １２ 電力発生回路 １５ 電力再生回路

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電源回路にモータ駆動回路と磁気軸受駆
   動回路とをそれぞれ並列接続すると共に、上記モータ駆
   動回路をロータ回転用のモータに、上記磁気軸受駆動回
   路を磁気軸受に接続してこれらを作動させるべく構成
   し、さらに上記ロータの回転エネルギから電力を発生す
   るための電力発生回路を備え、この電力発生回路の出力
   を上記磁気軸受駆動回路に入力すべく構成して成る磁気
   軸受式ターボ分子ポンプにおいて、上記ロータと磁気軸
   受を収納する本体ケーシング内に上記電力発生回路と磁
   気軸受駆動回路とを収納し、本体ケーシング内において
   両回路を接続していることを特徴とする磁気軸受式ター
   ボ分子ポンプ。
2. 【請求項２】 電源回路にモータ駆動回路を接続して、
   このモータ駆動回路をロータ回転用のモータに接続する
   一方、上記電源回路に電力再生回路を介して磁気軸受駆
   動回路を接続し、この磁気軸受駆動回路を磁気軸受に接
   続して成り、上記電力再生回路は、電源回路から供給さ
   れた電力を磁気軸受駆動用に変換する機能と共に、モー
   タの回転エネルギから電力を発生して上記磁気軸受駆動
   回路に出力する機能をも有する磁気軸受式ターボ分子ポ
   ンプにおいて、上記ロータと磁気軸受とを収納する本体
   ケーシング内に上記電力再生回路と上記磁気軸受駆動回
   路とを収納し、本体ケーシング内において両回路を接続
   していることを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポン
   プ。