JPH10159786A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH10159786A JPH10159786A JP8317876A JP31787696A JPH10159786A JP H10159786 A JPH10159786 A JP H10159786A JP 8317876 A JP8317876 A JP 8317876A JP 31787696 A JP31787696 A JP 31787696A JP H10159786 A JPH10159786 A JP H10159786A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】量産性を向上できるとともにアフターサービス
を簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポ
ンプ本体の操作が可能になるターボ分子ポンプを提供す
ること。 【解決手段】回転体の位置を検出する位置センサ７及び
位置センサ７からの信号により磁力をフィードバック制
御し前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分
子ポンプ本体２と、位置センサ７からの信号を用いたフ
ィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持す
るよう構成された磁気軸受制御回路８と磁気軸受駆動回
路９、前記回転体に連結したモータ１３を駆動するモー
タ駆動回路１２及び磁気軸受駆動回路９に電源を供給す
る磁気軸受駆動電源１０とを備えた電源装置１とを具備
したターボ分子ポンプにおいて、電源装置１内の機種間
の互換性を制限する回路３の一部又は全部をターボ分子
ポンプ本体２側に設けた。
を簡略化でき、さらに一種類の電源装置で複数機種のポ
ンプ本体の操作が可能になるターボ分子ポンプを提供す
ること。 【解決手段】回転体の位置を検出する位置センサ７及び
位置センサ７からの信号により磁力をフィードバック制
御し前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分
子ポンプ本体２と、位置センサ７からの信号を用いたフ
ィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持す
るよう構成された磁気軸受制御回路８と磁気軸受駆動回
路９、前記回転体に連結したモータ１３を駆動するモー
タ駆動回路１２及び磁気軸受駆動回路９に電源を供給す
る磁気軸受駆動電源１０とを備えた電源装置１とを具備
したターボ分子ポンプにおいて、電源装置１内の機種間
の互換性を制限する回路３の一部又は全部をターボ分子
ポンプ本体２側に設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、制御磁気軸受形の
ターボ分子ポンプに関する。
ターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の回転体を浮上保持する手
段である電磁石を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面
図である。図５において、４は回転体であり、一対の磁
気軸受（ジャーナル軸受）５ａ，５ｂは回転体４を回転
可能に支持し、位置センサ６ａ，６ｂは回転体４の浮上
位置を検出する。
段である電磁石を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面
図である。図５において、４は回転体であり、一対の磁
気軸受（ジャーナル軸受）５ａ，５ｂは回転体４を回転
可能に支持し、位置センサ６ａ，６ｂは回転体４の浮上
位置を検出する。
【０００３】このような構成により、回転体４の浮上位
置を位置センサ６ａ，６ｂにより検出する。そのとき得
られる検出信号に基づいて磁気軸受５ａ，５ｂに設けら
れた電磁石（不図示）に流す電流値を決め、前記電磁石
から発生する磁力の大きさを制御して回転体４の浮上位
置を中心に保持するようにしている。
置を位置センサ６ａ，６ｂにより検出する。そのとき得
られる検出信号に基づいて磁気軸受５ａ，５ｂに設けら
れた電磁石（不図示）に流す電流値を決め、前記電磁石
から発生する磁力の大きさを制御して回転体４の浮上位
置を中心に保持するようにしている。
【０００４】図６は、上記した磁気軸受の制御回路を示
すブロック図である。図６において、１が電源装置、２
がポンプ本体である。電源装置１内における８が磁気軸
受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆
動電源、１２がモータ駆動回路、３が機種間の互換性を
制限する部分（回路）である。また、ポンプ本体２内に
おける７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータで
ある。
すブロック図である。図６において、１が電源装置、２
がポンプ本体である。電源装置１内における８が磁気軸
受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆
動電源、１２がモータ駆動回路、３が機種間の互換性を
制限する部分（回路）である。また、ポンプ本体２内に
おける７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータで
ある。
【０００５】上記機種間の互換性を制限する部分３の構
成要素である磁気軸受制御回路８のＡ、磁気軸受駆動回
路９のＢは、回転体の浮上位置を中心に保持するための
制御回路（例えば、比例要素、積分要素、微分要素であ
るＰＩＤ制御回路で構成されている）や、数次の回転体
固有振動数を安定化するための位相補償回路や、磁気軸
受の静的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路、
等である。これらはポンプ本体の機種により回転体の構
造、体格、磁気軸受の仕様が異なるため、機種毎に調整
及び設定される。
成要素である磁気軸受制御回路８のＡ、磁気軸受駆動回
路９のＢは、回転体の浮上位置を中心に保持するための
制御回路（例えば、比例要素、積分要素、微分要素であ
るＰＩＤ制御回路で構成されている）や、数次の回転体
固有振動数を安定化するための位相補償回路や、磁気軸
受の静的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路、
等である。これらはポンプ本体の機種により回転体の構
造、体格、磁気軸受の仕様が異なるため、機種毎に調整
及び設定される。
【０００６】また、モータ駆動回路１２のＣは、機種毎
に回転数、容量、出力電圧、等が異なる。通常、これら
の機種間の互換性を制限する部分３は電源装置１内に組
み込まれ、また位置センサ７、電磁石１１及びモータ１
３はポンプ本体２に組み込まれている。
に回転数、容量、出力電圧、等が異なる。通常、これら
の機種間の互換性を制限する部分３は電源装置１内に組
み込まれ、また位置センサ７、電磁石１１及びモータ１
３はポンプ本体２に組み込まれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】一般に磁気軸受を有す
るターボ分子ポンプは、上述したようにポンプ本体２
と、回転体４を浮上制御する磁気軸受制御回路９及び回
転体４に直結されたモータ１３を高速駆動するモータ駆
動回路（例えばインバータ回路）１２を有する電源装置
１の二つのユニットからなる。これら二つのユニットは
磁気軸受制御用のケーブル３１とモータ駆動用のケーブ
ル３２とで接続されている。
るターボ分子ポンプは、上述したようにポンプ本体２
と、回転体４を浮上制御する磁気軸受制御回路９及び回
転体４に直結されたモータ１３を高速駆動するモータ駆
動回路（例えばインバータ回路）１２を有する電源装置
１の二つのユニットからなる。これら二つのユニットは
磁気軸受制御用のケーブル３１とモータ駆動用のケーブ
ル３２とで接続されている。
【０００８】電源装置１は、ポンプ本体２の機種に応じ
て調整または設定される部分を有する。例えば、回転体
４の浮上位置を中心に保持するための制御回路（例えば
比例要素、積分要素、微分要素であるＰＩＤ制御回路で
構成されている）や、回転体４の構造による数次の固有
振動数を安定化するための位相補償回路及びフィルタ回
路（例えばノッチフィルタ、ローパスノッチフィルタ、
ローパスフィルタ、位相フィルタ等）や、磁気軸受の静
的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路や、回転
数に関する補償回路、モータ駆動に関する回路、等がそ
れに当たる。
て調整または設定される部分を有する。例えば、回転体
４の浮上位置を中心に保持するための制御回路（例えば
比例要素、積分要素、微分要素であるＰＩＤ制御回路で
構成されている）や、回転体４の構造による数次の固有
振動数を安定化するための位相補償回路及びフィルタ回
路（例えばノッチフィルタ、ローパスノッチフィルタ、
ローパスフィルタ、位相フィルタ等）や、磁気軸受の静
的剛性を付加するためのバイアス電流印加回路や、回転
数に関する補償回路、モータ駆動に関する回路、等がそ
れに当たる。
【０００９】これらの調整値及び設定値はポンプ本体２
の体格、寸法、磁気軸受（電磁石）の仕様、モータの仕
様毎に異なるため、各機種毎にポンプ本体２とそれに適
合した電源装置１を有し、これらは一対一の組合せとな
る。例えばターボ分子ポンプの場合、ポンプの排気速度
で機種（型式）を分けると、３００Ｌ／ｓ（ターボ分子
ポンプの排気速度は１秒間［ｓ］に窒素ガス等を排気で
きる容量［Ｌ］で表現される）、７００Ｌ／ｓ、１２０
０Ｌ／ｓ、２２００Ｌ／ｓ、３３００Ｌ／ｓ、等の機種
があり、それぞれに専用の電源装置を有している。
の体格、寸法、磁気軸受（電磁石）の仕様、モータの仕
様毎に異なるため、各機種毎にポンプ本体２とそれに適
合した電源装置１を有し、これらは一対一の組合せとな
る。例えばターボ分子ポンプの場合、ポンプの排気速度
で機種（型式）を分けると、３００Ｌ／ｓ（ターボ分子
ポンプの排気速度は１秒間［ｓ］に窒素ガス等を排気で
きる容量［Ｌ］で表現される）、７００Ｌ／ｓ、１２０
０Ｌ／ｓ、２２００Ｌ／ｓ、３３００Ｌ／ｓ、等の機種
があり、それぞれに専用の電源装置を有している。
【００１０】このように電源装置１の機種とポンプ本体
２の機種とは一対一の組合せとなるため、その組合せを
変えると磁気軸受及びモータが正規の機能を失い、安定
した回転が行なえなくなる。
２の機種とは一対一の組合せとなるため、その組合せを
変えると磁気軸受及びモータが正規の機能を失い、安定
した回転が行なえなくなる。
【００１１】前述した機種間一対一の組合せを変更でき
ないこと、すなわち電源装置１とポンプ本体２の機種と
の間に互換性がないことは、ターボ分子ポンプの量産性
を著しく低下させる。また、アフターサービス上の管理
及びトラブル対応等に対して好ましくない。さらに、複
数機種のターボ分子ポンプを使用する場合、これを取り
付けて使用する装置またはプラント等の設備設計が複雑
化し、設備が大型となり、メンテナンスが困難になる。
ないこと、すなわち電源装置１とポンプ本体２の機種と
の間に互換性がないことは、ターボ分子ポンプの量産性
を著しく低下させる。また、アフターサービス上の管理
及びトラブル対応等に対して好ましくない。さらに、複
数機種のターボ分子ポンプを使用する場合、これを取り
付けて使用する装置またはプラント等の設備設計が複雑
化し、設備が大型となり、メンテナンスが困難になる。
【００１２】本発明の目的は、量産性を向上できるとと
もにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電
源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、当
該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置またはプ
ラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安易
化を図ることができるターボ分子ポンプを提供すること
にある。
もにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の電
源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、当
該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置またはプ
ラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安易
化を図ることができるターボ分子ポンプを提供すること
にある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のターボ分子ポンプは以下の如
く構成されている。本発明のターボ分子ポンプは、回転
体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの
信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を
保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、
前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御
により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された
磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連
結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸
受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備え
た電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、前
記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部ま
たは全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた。
達成するために、本発明のターボ分子ポンプは以下の如
く構成されている。本発明のターボ分子ポンプは、回転
体の位置を検出する位置センサ及び該位置センサからの
信号により磁力をフィードバック制御して前記回転体を
保持する磁気軸受とを備えたターボ分子ポンプ本体と、
前記位置センサからの信号を用いたフィードバック制御
により前記回転体を中心位置に保持するよう構成された
磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回路、前記回転体に連
結したモータを駆動するモータ駆動回路及び前記磁気軸
受駆動回路に電源を供給する磁気軸受駆動電源とを備え
た電源装置とを具備したターボ分子ポンプにおいて、前
記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部ま
たは全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けた。
【００１４】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。本発明のターボ分子ポンプによれば、電源装置
内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部を
ターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内
部の回路の一部または全てを前記ターボ分子ポンプ本体
の内部または近傍に設置することになる。これにより、
当該ターボ分子ポンプの機種間の前記電源装置と前記ポ
ンプ本体との間の互換性を制限している要因が解消され
ることになり、磁気軸受及びモータは正規の機能を失う
ことなく安定した回転を行なえ、前記電源装置及び前記
ポンプ本体が個別に生産できるようになり、ターボ分子
ポンプの量産性が向上する。
生じる。本発明のターボ分子ポンプによれば、電源装置
内の機種間の互換性を制限する回路の一部または全部を
ターボ分子ポンプ本体側に設けたので、前記電源装置内
部の回路の一部または全てを前記ターボ分子ポンプ本体
の内部または近傍に設置することになる。これにより、
当該ターボ分子ポンプの機種間の前記電源装置と前記ポ
ンプ本体との間の互換性を制限している要因が解消され
ることになり、磁気軸受及びモータは正規の機能を失う
ことなく安定した回転を行なえ、前記電源装置及び前記
ポンプ本体が個別に生産できるようになり、ターボ分子
ポンプの量産性が向上する。
【００１５】また、電源装置またはポンプ本体が故障し
た際、いずれか故障した方の交換または修理を行なうの
みで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービスが
簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機種の
ポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本体を
取り付けて使用する場合、その装置またはプラント等の
設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型化す
るとともにメンテナンスが安易化される。
た際、いずれか故障した方の交換または修理を行なうの
みで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービスが
簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機種の
ポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本体を
取り付けて使用する場合、その装置またはプラント等の
設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型化す
るとともにメンテナンスが安易化される。
【００１６】
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図
である。図１において図６と同一な部分には同一符号を
付してある。図１において、１が電源装置、２がポンプ
本体である。電源装置１内における８が磁気軸受制御回
路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆動電源、
１２がモータ駆動回路である。また、ポンプ本体２内に
おける７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータ、
３が機種間の互換性を制限している部分である。以上の
ように図１は、機種間の互換性を制限している部分３
を、ポンプ本体２内に組み込んだ構成を示している。
態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示すブロック図
である。図１において図６と同一な部分には同一符号を
付してある。図１において、１が電源装置、２がポンプ
本体である。電源装置１内における８が磁気軸受制御回
路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気軸受駆動電源、
１２がモータ駆動回路である。また、ポンプ本体２内に
おける７が位置センサ、１１が電磁石、１３がモータ、
３が機種間の互換性を制限している部分である。以上の
ように図１は、機種間の互換性を制限している部分３
を、ポンプ本体２内に組み込んだ構成を示している。
【００１７】ポンプ本体２の位置センサ７は、部分３
（Ａ）を介して電源装置１の磁気軸受制御回路８に接続
されている。磁気軸受制御回路８は磁気軸受駆動回路９
を介して磁気軸受駆動電源１０に接続されている。ま
た、磁気軸受駆動回路９はポンプ本体２の部分３（Ｂ）
を介して電磁石１１に接続されている。電源装置１のモ
ータ駆動回路１２は、ポンプ本体２の部分３（Ｃ）を介
してモータ１３に接続されている。
（Ａ）を介して電源装置１の磁気軸受制御回路８に接続
されている。磁気軸受制御回路８は磁気軸受駆動回路９
を介して磁気軸受駆動電源１０に接続されている。ま
た、磁気軸受駆動回路９はポンプ本体２の部分３（Ｂ）
を介して電磁石１１に接続されている。電源装置１のモ
ータ駆動回路１２は、ポンプ本体２の部分３（Ｃ）を介
してモータ１３に接続されている。
【００１８】図２は、上記電源装置を適用したターボ分
子ポンプの縦断側面図である。図２において図１と同一
な部分には同一符号を付してある。位置センサ７からの
出力を基に、ＰＩＤと位相補償の機能を有する磁気軸受
制御回路８及び磁気軸受駆動回路９により電磁石１１の
磁力を制御し、この磁力により回転体４を浮上、保持す
る。
子ポンプの縦断側面図である。図２において図１と同一
な部分には同一符号を付してある。位置センサ７からの
出力を基に、ＰＩＤと位相補償の機能を有する磁気軸受
制御回路８及び磁気軸受駆動回路９により電磁石１１の
磁力を制御し、この磁力により回転体４を浮上、保持す
る。
【００１９】このように本第１の実施の形態では、ター
ボ分子ポンプの機種に応じて調整または設定され機種間
の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路
８、磁気軸受駆動回路９またはモータ駆動回路１２の一
部または全部を一つのユニットにして、ポンプ本体２に
組み込んでいる。
ボ分子ポンプの機種に応じて調整または設定され機種間
の互換性を制限する部分３、すなわち磁気軸受制御回路
８、磁気軸受駆動回路９またはモータ駆動回路１２の一
部または全部を一つのユニットにして、ポンプ本体２に
組み込んでいる。
【００２０】（第２の実施の形態）図３は、本発明の第
２の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示
すブロック図である。図３において図１と同一な部分に
は同一符号を付してある。図３において、１が電源装
置、２がポンプ本体である。電源装置１内における８が
磁気軸受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気
軸受駆動電源、１２がモータ駆動回路である。また、ポ
ンプ本体２内における７が位置センサ、１１が電磁石、
１３がモータである。さらに、互換性を制限している部
分３は、一つのユニット３０として電源装置１から切り
離され、ポンプ本体２外におけるポンプ本体２近傍に設
置されている。
２の実施の形態に係る電源装置とポンプ本体の構成を示
すブロック図である。図３において図１と同一な部分に
は同一符号を付してある。図３において、１が電源装
置、２がポンプ本体である。電源装置１内における８が
磁気軸受制御回路、９が磁気軸受駆動回路、１０が磁気
軸受駆動電源、１２がモータ駆動回路である。また、ポ
ンプ本体２内における７が位置センサ、１１が電磁石、
１３がモータである。さらに、互換性を制限している部
分３は、一つのユニット３０として電源装置１から切り
離され、ポンプ本体２外におけるポンプ本体２近傍に設
置されている。
【００２１】図４は、上記電源装置を適用したターボ分
子ポンプの縦断側面図である。図４において図２と同一
な部分には同一符号を付してある。図４では、互換性を
制限している部分３が電源装置１から切り離され、ポン
プ本体２外に設置されており、ポンプ本体２と制限して
いる部分３とはケーブル３１，３２で接続されている。
このターボ分子ポンプの作用は、上記第１の実施の形態
にて図２に示したターボ分子ポンプと同様である。
子ポンプの縦断側面図である。図４において図２と同一
な部分には同一符号を付してある。図４では、互換性を
制限している部分３が電源装置１から切り離され、ポン
プ本体２外に設置されており、ポンプ本体２と制限して
いる部分３とはケーブル３１，３２で接続されている。
このターボ分子ポンプの作用は、上記第１の実施の形態
にて図２に示したターボ分子ポンプと同様である。
【００２２】なお、本発明は上記各実施の形態のみに限
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。例えば本発明の構成は、コンプレッサ、タービ
ン、工作機械用スピンドル、ポリゴンミラー等の制御磁
気軸受を有する高速回転体とその電源装置で構成される
装置にも適用できる。
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。例えば本発明の構成は、コンプレッサ、タービ
ン、工作機械用スピンドル、ポリゴンミラー等の制御磁
気軸受を有する高速回転体とその電源装置で構成される
装置にも適用できる。
【００２３】（実施の形態のまとめ）実施の形態に示さ
れた構成及び作用効果をまとめると次の通りである。実
施の形態に示されたターボ分子ポンプは、回転体４の位
置を検出する位置センサ７及び該位置センサ７からの信
号により磁力をフィードバック制御して前記回転体４を
保持する磁気軸受５ａ，５ｂとを備えたターボ分子ポン
プ本体２と、前記位置センサ７からの信号を用いたフィ
ードバック制御により前記回転体４を中心位置に保持す
るよう構成された磁気軸受制御回路８と磁気軸受駆動回
路９、前記回転体４に連結したモータ１３を駆動するモ
ータ駆動回路１２及び前記磁気軸受駆動回路９に電源を
供給する磁気軸受駆動電源１０とを備えた電源装置１と
を具備したターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置１
内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部
を前記ターボ分子ポンプ本体２側に設けた。
れた構成及び作用効果をまとめると次の通りである。実
施の形態に示されたターボ分子ポンプは、回転体４の位
置を検出する位置センサ７及び該位置センサ７からの信
号により磁力をフィードバック制御して前記回転体４を
保持する磁気軸受５ａ，５ｂとを備えたターボ分子ポン
プ本体２と、前記位置センサ７からの信号を用いたフィ
ードバック制御により前記回転体４を中心位置に保持す
るよう構成された磁気軸受制御回路８と磁気軸受駆動回
路９、前記回転体４に連結したモータ１３を駆動するモ
ータ駆動回路１２及び前記磁気軸受駆動回路９に電源を
供給する磁気軸受駆動電源１０とを備えた電源装置１と
を具備したターボ分子ポンプにおいて、前記電源装置１
内の機種間の互換性を制限する回路３の一部または全部
を前記ターボ分子ポンプ本体２側に設けた。
【００２４】このように上記ターボ分子ポンプにおいて
は、前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路
３の一部または全部をターボ分子ポンプ本体２側に設け
たので、前記電源装置１内部の回路の一部または全てを
前記ターボ分子ポンプ本体２の内部または近傍に設置す
ることになる。これにより、当該ターボ分子ポンプの機
種間の前記電源装置１と前記ポンプ本体２との間の互換
性を制限している要因が解消されることになり、磁気軸
受５ａ，５ｂ及びモータ１３は正規の機能を失うことな
く安定した回転を行なえ、前記電源装置１及び前記ポン
プ本体２が個別に生産できるようになり、ターボ分子ポ
ンプの量産性が向上する。
は、前記電源装置１内の機種間の互換性を制限する回路
３の一部または全部をターボ分子ポンプ本体２側に設け
たので、前記電源装置１内部の回路の一部または全てを
前記ターボ分子ポンプ本体２の内部または近傍に設置す
ることになる。これにより、当該ターボ分子ポンプの機
種間の前記電源装置１と前記ポンプ本体２との間の互換
性を制限している要因が解消されることになり、磁気軸
受５ａ，５ｂ及びモータ１３は正規の機能を失うことな
く安定した回転を行なえ、前記電源装置１及び前記ポン
プ本体２が個別に生産できるようになり、ターボ分子ポ
ンプの量産性が向上する。
【００２５】また、電源装置１またはポンプ本体２が故
障した際、いずれか故障した方の交換または修理を行な
うのみで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービ
スが簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機
種のポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本
体を取り付けて使用する場合、その装置またはプラント
等の設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型
化するとともにメンテナンスが安易化される。
障した際、いずれか故障した方の交換または修理を行な
うのみで済むので、ターボ分子ポンプのアフターサービ
スが簡略化される。さらに、一種類の電源装置で複数機
種のポンプ本体の操作が可能になり、複数種のポンプ本
体を取り付けて使用する場合、その装置またはプラント
等の設計が簡略化し、前記装置またはプラント等が小型
化するとともにメンテナンスが安易化される。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、量産性を向上できると
ともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の
電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、
当該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置または
プラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安
易化を図ることができるターボ分子ポンプを提供でき
る。
ともにアフターサービスを簡略化でき、さらに一種類の
電源装置で複数機種のポンプ本体の操作が可能になり、
当該ターボ分子ポンプを取り付けて使用する装置または
プラント等の設計の簡略化、小型化、メンテナンスの安
易化を図ることができるターボ分子ポンプを提供でき
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る電源装置とポ
ンプ本体の構成を示すブロック図。
ンプ本体の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る電源装置を適
用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る電源装置とポ
ンプ本体の構成を示すブロック図。
ンプ本体の構成を示すブロック図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る電源装置を適
用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
用したターボ分子ポンプの縦断側面図。
【図５】従来の回転体を浮上保持する手段である電磁石
を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面図。
を用いた磁気軸受部分の構成を示す側面図。
【図６】従来の磁気軸受の制御回路を示すブロック図。
１…電源装置 ２…ポンプ本体 ３…機種間の互換性を制限する部分（回路） ４…回転体 ５ａ，５ｂ…磁気軸受 ６ａ，６ｂ…位置センサ ７…位置センサ ８…磁気軸受制御回路 ９…磁気軸受駆動回路 １０…磁気軸受駆動電源 １１…電磁石 １２…モータ駆動回路 １３…モータ ３０…ユニット ３１…ケーブル ３２…ケーブル
Claims (1)
- 【請求項１】回転体の位置を検出する位置センサ及び該
位置センサからの信号により磁力をフィードバック制御
して前記回転体を保持する磁気軸受とを備えたターボ分
子ポンプ本体と、前記位置センサからの信号を用いたフ
ィードバック制御により前記回転体を中心位置に保持す
るよう構成された磁気軸受制御回路と磁気軸受駆動回
路、前記回転体に連結したモータを駆動するモータ駆動
回路及び前記磁気軸受駆動回路に電源を供給する磁気軸
受駆動電源とを備えた電源装置とを具備したターボ分子
ポンプにおいて、 前記電源装置内の機種間の互換性を制限する回路の一部
または全部を前記ターボ分子ポンプ本体側に設けたこと
を特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08317876A JP3100346B2 (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08317876A JP3100346B2 (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10159786A true JPH10159786A (ja) | 1998-06-16 |
| JP3100346B2 JP3100346B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=18093052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08317876A Expired - Lifetime JP3100346B2 (ja) | 1996-11-28 | 1996-11-28 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3100346B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
-
1996
- 1996-11-28 JP JP08317876A patent/JP3100346B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JPWO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP5778166B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-09-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| US9267392B2 (en) | 2010-10-19 | 2016-02-23 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3100346B2 (ja) | 2000-10-16 |
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