JPS61210292A - タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｅ産業上の利用分野］ 本発明は、ロータを回転駆動するロータシャフトを非接
触で５軸制御可能に軸支するターボ分子ポンプの磁気軸
受装置に関するものである。

〔従来の技術」 従来、ターボ分子ポンプ（以下、ＴＭＰと略称する）の
シャフトに適用されている軸受構造としては、ロータ（
動ｊＫ）をロータ室内で一体に高速回転するロータシャ
フトを、該シャフトに回転動力を与える機械室内におい
てオイルベアリングにより軸支するようにするのが最も
一般的である。

ところで、この種ロータ等の回転部材を超高速回転する
回転機構においては、一般に軸受構造として摩擦抵抗の
少ない安定した軸承状態の下でシャフトに円滑な高速回
転が保証され、さらに軸受寿命が長くトラブルを発生し
難いメインテナンスフリーのものが要求されると同時に
、特にＴＭＰの場合では炭化水素等による雰囲気の汚染
がないクリーンな真空を得べく油潤滑を必要としないで
済むものが希求されている。

かかる点より、緑近ではＴＭＰ用の軸受装置として、従
来使用されてきた接触形のポールベアリング等に代えて
、非接触形のもの特に磁気軸受を利用してシャフトを浮
上軸支するようにしたものも案出されてさている。しか
して、現状においてＴＭＰに用いられているこの種の磁
気軸受装置の１１４について述べると、以下のような種
類のものが列挙される。まず、従来のＴＭＰと駆動方式
をＪ（通ずるロータをロータシャフトで直接回転せしめ
るようにしたタイプのＴＭＰに関しては、不完全磁気軸
受ではあるが最も構造簡易なものとして、ラジアル方向
は従来と同じくポールベアリングで軸支ざぜる一方、ア
キシャル方向のみロータシャフトを軸端のスラスト磁気
軸受（スラスト制御センナを備えた能動形スラスト磁気
軸受または永久磁石）で磁気浮上させるようにした１軸
制御可能なものがある。また、より高級なものとしては
、ロータシャフトを完全に浮Ｅさせてこれをラジアル方
向の２軸とアキシャル方向の１軸で３軸制御可能に軸支
するようにしたものも既に提案されている。すなわち、
このものはロータシャフトを支承するラジアル制御セン
ナを備えた１個の２軸能動形ラジアル磁気軸受と軸端に
おけるスラスト磁気軸受（この場合永久磁石を使用する
のが通例である）とにより、ロータシャフトをこれら３
軸方向から制御可能に軸支するようにしたものである０
次に又、従来の一般的なＴＭＰ、！−駆動方式を異にし
、その固定シャフトの外周に別体の外輪ロータを配置し
、この外輪ロータを固定シャフトの軸心まわりに非接触
で回転させるようにしたいわゆる外輪回転形タイプのＴ
ＭＰに関しては、その外輪ロータを固定シャフトに対し
非接触に保持して軸支するために、さらに高級な５軸制
御可能な磁気軸受装置を使用している例もある。すなわ
ち、この場合にはその外輪ロータの軸受部を、各ラジア
ル制御センサを備えた２債の２軸能動形ラジアル磁気軸
受とスラスト制御センサを備えた１個の能動形スラスト
磁気軸受とによって、ラジアル方向の４軸とアキシャル
方向の１輪の計５輌の方向から制御し、より完全な軸受
制御をなし得るものとしている。

ＴＭＰに利用されている既知の磁気軸受装置には以上の
ようなものがあるが、しかし、これらのものでは次のよ
うな点で改善すべき問題点ないしは不都合がある。まず
、前者に掲げた汎用タイプのＴＭＰにおけるａ５Ｌ軸受
装置については、ｌ軸制御系のものは勿論のこと、３軸
制御系のものでもロータシャフトを位置決めする制御精
度が不完全であり、このためシャフトの超高速化を企図
する上では未だ十分信頼性に欠けるという問題があるこ
とである。一方、後者に掲げた外輪回転形タイプのｒＭ
Ｐで適用されている５軸１ｔｉｌｌＷ系のものについて
は、コスト的には高くついても、磁気軸受装置自体とし
ては優秀な軸受性＆’を発揮できる特徴がある。しかし
、この種外輪回転杉タイプのものでは、構造上その外輪
ａ−タを固定シャフト　　、に対してオーバーハングさ
せなければならない制約等からポンプサイズや内部構造
の面で大型複雑化を免れないし、また外輪ロータの動バ
ランスの設定が難かしくなり、ポンプ全体の組立ても非
常に面倒なものとなるなどの克服しがたい不都合を内在
している。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、このように一長一短ある従来技術を基に、Ｔ
ＭＰに適用すべきより現実的でしかもそのコスト増に見
合うより多くの利点を有する磁気軸受装置を新たに提供
する目的でなされたものである。すなわち１本発明は基
本的には、ＴＭＰに既述の外輪回転形タイプのものがも
つ諸欠点を蒙らないところのロータをロータシャフトで
直接回転する駆動方式を踏襲しているとともに、このタ
イプのＴＭＰのロータシャフトをより完全な位置決め精
度を可能にする５軸制御可能な磁気軸受により浮Ｊ二軸
支させるようにし、さらに併せてこの磁気軸受を組込ん
だＴＭＰの機械室内の構成を改良工夫して、その組立、
分解の便や一層の制御精度の向１が図れるようにした優
秀な軸受性能と組立分解等の簡便性の双方に資する磁気
軸受装置を提供せんとするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、このような目的を達成するために、ロータ室
内でロータシャフトにロータを固着している一方、この
ロータシャフトを回転駆動する機械室内において、該シ
ャフトの長手方向に間隔をおいたシャフトまわりに配置
され各々該シャフトをラジアル方向に浮上する２個の２
軸能動形ラジアル磁気軸受と、この各２軸能動形ラジア
ル磁気軸受近傍の前記シャフトまわりに配置されて該シ
ャフトの軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変
位量に応じてそれぞれ前記２軸能動形ラジアル磁気軸受
の磁気浮力を可変するラジアル制御センサと、前記シャ
フトの反ロータ側端部に着脱ｏ（能に繋着されるスラス
ト軸支部を挟んで配置され該シャフトをアキシャル方向
に浮上する歯動形スラスト磁気軸受と、前記シャフトの
スラスト軸支部における反ロータ側端に対面して配置さ
れ該シャフトのアキシャル変位を検出するとともにこの
変位量に応じて前記能動形スラスト磁気軸受の磁気浮力
を可変するスラスト制御センサとを設けて、前記ロータ
シャフトを５軸制御で軸支させるとともに、このロータ
シャフトの外径を反ロータ側部位に至る程径小なものに
形成し前記スラスト軸支部を離脱した状態で前記ロータ
と一体に該ロータシャフトを機械室内に挿脱可能に挿通
し、ざらにこの組立条件を満たす範囲で前記ラジアル制
御センサを該シャフトの軸心から外遠方位置に設けるよ
うにしたことを特徴としている。

Ｌ作用」 このように構成した磁気軸受装置であれば、ロータシャ
フトの長手方向２側所における各ラジアル方向ｚ軸とア
キシャル方向１輪、計５軸の方向からシャフトの位置を
制御できるものとなるから、その制御精度は今までの３
輪以下の制御系のものに比べるとそれだけで飛躍的に改
善されるばかりでなく、特に各ラジアル制御センナをシ
ャフトの軸心から外遠方位置に設けるように１夫してい
るのでシャフトの傾動に伴なう微小なラジアル変位に対
するラジアル制御センナの感度を有効に高めることがで
き、このため一層高精度な制御が実現できるものとなっ
ている。また、ロータシャフトの制御特性が向上される
のみならず、そのスラスト軸支部を離脱した状態では、
ロータシャフトがロータと一体に機械室内に挿脱可能で
あるから、その組立分解作業が非常に簡便なものとされ
、さらに、ロータシャフトとロータと一体にして動バラ
ンスを調整修正した後、この回転軸系をそのまま組込ん
で組み立てることも容易であるから、ＴＭＰ回転軸系に
動バランスをとることが簡単確実になし得るという利点
をもっている。

Ｅ′３１施Ｍｌ 以下１本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は１本発明に係る磁気軸受装置を備えたＴＭＰの
構成例を示し、図において、上方の外枠ケースＣ内にロ
ータ室（真空室）Ｒを、ｒ方のモータハウジングＨ内に
機械室Ｍを設けている。しかして、：Ｅずロータ室Ｒ内
では、ロータｌの外周から突設されるロータ塩（動翼）
２とケースＣ内周から突設されるステータ翼（静貧）３
とを交互に配置して所要のタービンｇｔ月を構成してい
るとともに９機械室Ｍからロータ室Ｒ内に延出されてい
るロータシャフト４の上端部４Ａに締着ポルト５ａで該
ロータ１を−・体回転可老に固着している。一方、この
ロータシャフト４を所定の軸心まわりに回転駆動する機
械室Ｍの内部には、該ロータシャフト４に回転動力を与
えるビルドインモータ６と、各制御センサを具備してロ
ータシャフト４をラジアル方向とアキシャル方向の５軸
で非接触でかつ位＃　ＦｆＡ＃　１１１１能に軸支する
上動形磁気軸受（２個のラジアル磁気軸受７，８と１備
のスラスト磁気軸受９）と、さらにロータシャフト４を
直接軸支し得るタッチベアリング１４．１５とを設けて
いる。この機械室Ｍ内部の構成を詳説すると、まず機械
室Ｍをその軸心方向に貫通しているロータシャフト４の
長手方向中途部におけるシャフト４まわりにビルドイン
モータ６を配設している。このモータ６は、ハウジング
Ｈの内面に固定されたモータステータ６ａとロータシャ
フト４の外面に固定され該ンヤフト４と一体回転するモ
ータロータ６ｂとからなる。この駆動用モータ６を上下
に挟むロータシャフト４の長手方向に間隔をおいたシャ
フト４まわりに、その近傍に各ラジアル制御センサ１０
．１１を付帯してシャフト４をラジアル方向に浮上する
上下−組の２軸能動形ラジアルｍ気軸受７，８を配置し
ている。この２軸岨動形ラジアル磁気軸受７，８は、第
３図に示すように、各々ロータシャフト４を垂直に切る
平面上でその軸心０と交叉しかつ互いに直交する２軸（
′１２・　ｙ１２）・　（Ｘ、　　靭）の方体１に２対
の電磁コイルを対向状に配置して構成されるもので、こ
れらのコイルに通電される高周波電流に応じてロータシ
ャフト４に対する磁気浮力を０■変することができ、ロ
ータシャフト４の輛・ＯＯを前記２軸の方向から自在に
調整できるようになっている。そして、このラジアル磁
気軸受７．８は、ロータシャフト４の対面するラジアル
軸支部４Ｃ１４ｄとの間にある微小な隙間（例えば片側
０．１ｅｍ程度Ｊを設定してハウジングＨ側に位置決め
固定されている。また、この上下の２軸能動形ラジアル
磁気軸受７．８近傍のロータシャフト４まわりに、これ
ら両ラジアル磁気軸受７．８を間に挟むようにして前記
ラジアル制Ｖ４−ｅンサｔｏ、ｉｉを配置している。こ
のラジアル制御センサｔｏ、、１１は、それぞれの位置
におけるロータシャフト４の軸心０の前記２軸（ち、ｙ
、、）　ｔ　　（Ｘ３４、−）方向におけるラジアル変
位を検出するとともに、この検出変位信号をＴＭＰの電
源ユニット（図示せずンに内蔵されている前記ラジアル
磁気軸受７，８の各電磁コイルに対する給電手段にフィ
ードバックし、それぞれ対応する前記ラジアル磁気軸受
７．８の２軸方向の磁気浮力をその検出変位量に応じて
ａ（変してロータシャフト４の軸心を制御するためのも
のである。より具体的には、前記ラジアル磁気軸受７．
８の各電磁コイルと対応する位相位置に、各々シャフト
４の対面するラジアルセンシング部４ｂ、４ｅとの近接
８硫変化で前記２軸（Ｘ、ｚ。

７１２）　、（ＸＭ、ＶＨ）方向の各ラジアル変位を感
知する渦電流式センナ等を配置してなるものである。

さらに、この機械室Ｍに挿通ずるロータシャフト４の反
ロータ側端部に、このシャフト４と別体に形成され該シ
ャフト４に着脱可能に緊着されるスラスト軸支部１２を
設けているとともに、このスラスト軸支部１２を上下゛
から近接挟持するようにしてシャフト４をアキシャル方
向に浮上するための能動形スラスト磁気軸受（電磁コイ
ル）９．９を配置している。すなわち、１１記スラスト
軸支部１２は中心に軸貫通孔を穿った鍔状部材からなり
、この鍔状部材をロータシャフト４の下端の小径軸端部
４Ｂに嵌挿しさらにキャップナラ）５ｂを螺着してロー
タシャフト４の下端部から直立状に突設され、前記ナツ
ト５ｂを介してロータシャフト４の軸端部４Ｂに着脱可
能に緊着されている。そして、前記スラスト磁気軸受９
は、このスラスト軸支部１２を組立状態の下でその上下
円周部においである微小な隙間（例えば片側０．３０ｍ
ｍ程度）を設定して上下一対に近接配置されている。こ
の能動形スラスト磁気軸受９は、やはりロータシャフト
４の前記スラスト軸支部１２を挟んで対設される電磁コ
イルに通電しその電流変化によってロータシャフト４に
対する磁気浮力を可変することができ、第３図に示すよ
うに、ロータシャフト４をアキシャル方向の１輌（Ｚ）
　方向に自在に位置調整できるようになっている。また
、この能動形スラスト磁気軸受９には、該スラスト磁気
軸受９の磁気浮力をロータシャフト４のアキシャル変位
に応じて可変すべくスラスト制御センサ１３を付帯して
設けている。このスラスト制御センサ１３は、ロータシ
ャフト４に緊着されている前記スラスト軸支部９の反ロ
ータ側端、即ち前記キャップナツト５ｂの下端と対面す
るモータハウジングＨの底蓋部内面上で該ナツト下端面
に近接配置される。このスラスト制御センサ１３には、
前記ラジアル制御センサ７．８と同様の渦電流式センナ
等が利用されるとともに、該センナ１３は前記スラスト
軸支部１２を挟んだ状態で前記スラスト磁気軸受９を内
蔵している軸受ブロー２りＢの下端に固設されたホルダ
１６の上に位置決め保持されている。そして、このスラ
スト制御センサ１３は、ロータシャフト４の前記１軸（
２）方向におけるアキシャル変位を検出するとともに。

前記ラジアル制御センサ７．８と同じくその検出変位信
号をＴＭＰの電源ユニットに内蔵されたスラストｍ気軸
受９の各電磁コイルに対する給電手段にフィードバック
し、そのアキシャル（２）方向の磁気浮力をその検出変
位量に応じて可変してロータシャフト４のスラストを制
御できるようにしている。

したがって、これら２個のラジアル磁気軸受７．８とス
ラスト磁気軸受９とにより、ロータシャフト４は、第３
図のように、間隔をおいた２ト而におけるラジアル方向
の各２軸（Ｘ１ｔ−７１ｚＪ、（ｘ、、　７５４）と・
アキシャ）し方向のｌ軸（Ｚ）計５軸で制＃ｎ■能に軸
支されている。

また、前記タッチベアリング１４．１５は、停電などの
緊急時やロータシャフト４を磁気浮トする必要のない運
転停＋ｈ時などにシャフト４を軸支させるためのもので
あって、前記モータ６、前記ラジアル磁気軸受７，８お
よびｍｊ記ラジアル制御センサ１０．１１を間に挟むロ
ータ側と反ロータ側とで、各ロータシャフト４の所定の
ベアリング支承部４ａ、４ｆに対面して配設されている
。そして、１万ロータ側のター、チベアリング１４は。

前記モータハウジングＨ側に固定されてシャフト４をラ
ジアル方向に支承し、下方反ロータ側のタッチベアリン
グ１５は前記軸受ブロックＢに固持されてシャフト４を
ラジアル方向とアキシャル方向に支承する役割を担って
いる。なお、これらタッチベアリング１４．１５とロー
タシャフト４との間の間隙は、前記ラジアル磁気軸受７
，８および前記スラスト磁気軸受９の各設定間隙よりも
小さく設定され、ＴＭＰの停止時などでは該タッチベア
リング１４．１５がロータシャフト４を直接軸支するよ
うになっている。

しかして、かかる構成要素からなる磁気軸受装置では、
図示の如く、その機械室Ｍ内でロータシャフト４まわり
に上方ロータ側から、順に、前記タッチベアリング１４
．前記ラジアル制御センサ１０．前記ラジアル磁気軸受
７．前記モータステータ６ａ、前記ラジアル磁気軸受８
．前記ラジアル制御センサ１１および前記タッチベアリ
ング１５が配置され、さらにロータシャフト４の下方反
ロータ側端部にＷ看された前記スラスト軸支部１２に前
記スラスト磁気軸受９と前記スラスト制御センサ１３が
配置されている。そして、この磁気軸受装置を設けた機
械室Ｍ内をその軸心方向に挿通しているロータシャフト
４には、前記ベアリング支承部４ａ　、４ｆ、前記ラジ
アルセンシング部４ｂ、４ｅおよび前記ラジアル軸支部
４ｃ、４ｄにそれぞれ該シャフト４と別体のリング部材
を一体回転ムｆ能に外嵌固定してこれら各部に所要の隙
間寸法を与えているとともに、第２図に示すように、ロ
ータシャフト４に固設されるこれらのリング部材および
前記モータロータ６ｂの外径寸法に、０１＞［）２≧Ｄ
３≧Ｄ４≧Ｄ５≧Ｄ６＞０７なる関係を与えるようにし
ている。すなわち、ロータシャフト４の技手方向各部に
おける外径をロータ側から反ロータ側に至る程径小なも
のに形成しているＣＩｔ械室Ｍ内のシャフト挿通空間も
上広下狭になっている）。そして、このロータシャフト
４は、その下端部に緊着される鍔状の前記スラスト軸支
部１２を前記チー２ト５ｂの螺合を解除して離脱した状
態では、前記ロータ１を取り付けたままで該ロータｌと
一体にロータ室Ｒ側から機械室Ｍ内に挿脱できるように
ようになっている。

さらに、このような組立条件を満たすことを前提として
、＠記うジアル制御センサｌＯ，ｌｌはロータシャフト
４の軸心Ｏからできるだけ離れて円周位置に配置するよ
うにされており、このため前記前記ラジアルセンシング
部４ｂ　、４ｅは前′述のように、別体のリング部材を
嵌着してそれら各部位の外径寸法が径大（Ｄ２．Ｄ６）
なものになるように工夫している。

なお、第１図において、１７と１８はこのＴＭＰの吸気
口と排気口であり、１９は機械室Ｍ内への電源導入部を
示す。

以上の構成を具備してなる磁気軸受装置の作用、効果に
ついて説明すると、まず第１にこの軸受装置では、その
磁気軸受７．８および９の磁気浮力で軸支されるロータ
シャフト４の位置決め制御精度が非常に高く、シャフト
４を常に最適の非接触状態で軸承できるのが特徴である
。すなわち、このものではロータシャフト４の長手方向
に間隔をおいた２個所に配設された２軸能動形ラジアル
ｌａ気軸受７，８とシャフト４の軸端１個所に配設され
た能動形スラスト磁気軸受９とで、萌述のように各ラジ
アル方向の２軸（ｘ１２、ｙ、、）　。

（Ｘ、、ｙ−とアキシャル方向のｌ軸（２）、計５軸の
方向からそれぞれシャフト４の変位を検出し該シャフト
４をフィードバック制御するようにしているから、ロー
タシャフト４のラジアル方向とアキシャルカ向の変位並
びにその傾動を的確に修正して該シャフト４を絶えず所
定の軸心位置に収束保持することが可能であり、既存の
３軸以下の制御系のものに比べるとそれだけで制御精度
が飛躍的に改善されるものとなる。モして又、この５軸
制御装置においては、特にそのラジアル制御センサ１Ｏ
１１１をロータシャフト４の軸心Ｏから外遠方位置に設
けるようにしているので、シャフト４の傾動に伴なう微
小なラジアル変位に対しても各ラジアル制御センサ１０
．１１が鋭敏に感知することができ、このセンシング性
能向上によりシャフト４の振動などに対する制御精度の
一層の向上を可能ならしめている。

また、このものでは第２に、ＴＭＰ全体としての組立１
分解が非常に簡便なものとなり、さらにロータｌを含む
回転系の動バランスの調整修正が容易化されるのが特徴
である。すなわち、ロータシャフト４はその下端のスラ
スト軸支部１３を離脱した状態ではロータｌと一体に機
械室Ｍ内に挿脱Ω■能なものであるので、ｉｕ立時には
ロータ取付状態でロータシャフト４をその収容空間に挿
入するだけでモー２トできるし、分解時には逆に軸受装
置を組み外すことなく、ロータｌごとシャフト４を機械
室Ｍから抜き取るようにすれば足り、いずれも作業がき
わめて簡囃になし得る。そして、このようにロータシャ
フト４とロータｌとが一体に組立分解できるものである
から、前記スラスト軸叉部１３を除いた回転軸系の殆ど
を一体に組立てた状態で、まずその動バランスを勤バラ
ンス機で調整修正し、その後この動バランスをとった組
立品をそのまま組込むことができ、ＴＭＰ回転軸系の動
バランスを確保する上で非常に好都合なものとなる利点
がある。

本発明は、好適には上記実施例に示したように実施され
るものであるが、ロータ室Ｒや機械室Ｍの具体的な内部
構成は、５軸制御可能な磁気軸受装置を具備かつ叙述の
ような特定の配置組立条件を満足するものであれば、必
ずしも図示例のものに限らないことは勿論である。

［発明の効果］ 本発明は、以上に述べたように、ロータをロータシャフ
トで直接回転する駆動方式のＴＭＰに適用される磁気軸
受装置として、特にそのロータシャフトの制御精度に優
れ、しかもその組立分解が簡便で回転軸系の動バランス
の調整も容易となる特徴を兼備したものを提供すること
ができたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すＴＭＰｍ気軸受気組受
装置図である。第２図はこの磁気軸受装置の機械室内お
ける構成部材の配置と寸法関係を説明するための概略図
である。第３図は本発明に係る５軸制御の概要を示す説
明図である。 Ｃ・・・外枠ケース　　ＲＩＩ　１１１１０−タ室Ｈ・
・・モータハウジング、Ｍ・拳・機械室１・・φロータ ４・・・ロータシャフト ４ａ、４ｂ、４ｃ、６ｂ、４ｄ、４ｅ、４ｆ−・・ロー
タシャフトの長子方向部位 ６・・骨ビルドインモータ ７．８・・−２４ｌＩ能動形ラジアル磁気軸受９・・・
能動形スラスト磁気軸受 １０．１１・・・ラジアル制御センサ １２・・・スラスト軸支部 １３・・・スラスト制御センナ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ロータ室内でロータシャフトにロータを固着している一
   方、このロータシャフトを回転駆動する機械室内におい
   て、該シャフトの長手方向に間隔をおいたシャフトまわ
   りに配置され各々該シャフトをラジアル方向に浮上する
   ２個の２軸能動形ラジアル磁気軸受と、この各２軸能動
   形ラジアル磁気軸受近傍の前記シャフトまわりに配置さ
   れて該シャフトの軸心のラジアル変位を検出するととも
   にこの変位量に応じてそれぞれ前記２軸能動形ラジアル
   磁気軸受の磁気浮力を可変するラジアル制御センサと、
   前記シャフトの反ロータ側端部に着脱可能に繋着される
   スラスト軸支部を挟んで配置され該シャフトをアキシャ
   ル方向に浮上する能動形スラスト磁気軸受と、前記シャ
   フトのスラスト軸支部における反ロータ側端に対面して
   配置され該シャフトのアキシャル変位を検出するととも
   にこの変位量に応じて前記能動形スラスト磁気軸受の磁
   気浮力を可変するスラスト制御センサとを設けて、前記
   ロータシャフトを５軸制御で軸支させるとともに、この
   ロータシャフトの外径を反ロータ側部位に至る程径小な
   ものに形成し前記スラスト軸支部を離脱した状態で前記
   ロータと一体に該ロータシャフトを機械室内に挿脱可能
   に挿通し、さらにこの組立条件を満たす範囲で前記ラジ
   アル制御センサを該シャフトの軸心から外遠方位置に設
   けるようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプの磁
   気軸受装置。