JPH024024U - - Google Patents
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- JPH024024U JPH024024U JP8129988U JP8129988U JPH024024U JP H024024 U JPH024024 U JP H024024U JP 8129988 U JP8129988 U JP 8129988U JP 8129988 U JP8129988 U JP 8129988U JP H024024 U JPH024024 U JP H024024U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- rotating device
- rotor
- bearing rotor
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims 2
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 claims 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
図面は本考案装置を示すものであつて、第1〜
6図はそれぞれ実施例を示す断面図、第7図は第
6図の―線断面図、第8図は第6図のA部拡
大図および第9図は第6図のB部拡大図である。 a……回転装置本体、b……チヤンバー、c…
…被搬送物、1……軸受回転子、2……軸受固定
子、3……搬送アーム、4,4a,13,13a
……永久磁石、4b……強磁性体片、5……軸部
、6……スペーサ、7a〜7e……リング部材、
8……第1のシール部材、9……ハウジング、1
0a〜10d……位置センサ、11a〜11d…
…電磁石、12……誘導巻線、12′……モータ
コア、12b……リング状永久磁石、14,14
a……電磁石、15……第2のシール部材。
6図はそれぞれ実施例を示す断面図、第7図は第
6図の―線断面図、第8図は第6図のA部拡
大図および第9図は第6図のB部拡大図である。 a……回転装置本体、b……チヤンバー、c…
…被搬送物、1……軸受回転子、2……軸受固定
子、3……搬送アーム、4,4a,13,13a
……永久磁石、4b……強磁性体片、5……軸部
、6……スペーサ、7a〜7e……リング部材、
8……第1のシール部材、9……ハウジング、1
0a〜10d……位置センサ、11a〜11d…
…電磁石、12……誘導巻線、12′……モータ
コア、12b……リング状永久磁石、14,14
a……電磁石、15……第2のシール部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 外部と隔離されたチヤンバー内または該チヤ
ンバーと連通した場所に配置される軸受回転子と
、 上記軸受回転子をシール部材を介在させて浮上
保持させるための電磁石を有する軸受固定子と、 前記軸受回転子を回転させるための回転機構と
、 からなることを特徴とする回転装置。 2 軸受回転子の軸方向の軸受は軸受回転子の円
周に強磁性体からなるリング部材を設けるととも
に、軸受固定子に上記リング部材とわずかにオフ
セツトして対向させた電磁石を設けて軸支するよ
うにしたことを特徴とする請求項1記載の回転装
置。 3 軸受回転子の軸方向の軸受は軸受回転子の一
方の端部に永久磁石または強磁性体を設けるとと
もに、軸受固定子に永久磁石または強磁性体に対
向させた永久磁石体または該永久磁石体とともに
電磁石を設けて軸支するようにしたことを特徴と
する請求項1記載の回転装置。 4 シール部材はチヤンバー内の環境により腐蝕
等の影響を受けないオーステナイト系ステンレス
スチール、ガラスあるいは合成樹脂等からなる耐
環境性の材質から選ばれたものであることを特徴
とする請求項1ないし3のいずれか1に記載の回
転装置。 5 シール部材は軸受回転子および軸受固定子の
双方に設けられるとともに、上記シール部材取付
部は該シール部材面よりわずかに突出した突出部
が設けられ、かつ互いに対向する突出部間には僅
かな間隙が設けられていることを特徴とする請求
項1ないし4のいずれか1に記載の回転装置。 6 回転機構は軸受固定子に誘導巻線を設け、該
誘導巻線により発生する回転磁界により軸受回転
子を回転させることを特徴とする請求項1ないし
5のいずれか1に記載の回転装置。 7 回転機構は軸受回転子周囲に強磁性体を設け
るとともに、軸受固定子に上記強磁性体に対向し
て回動する永久磁石を設けて構成される磁気カツ
プリングであることを特徴とする請求項1ないし
5のいずれか1に記載の回転装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8129988U JPH024024U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8129988U JPH024024U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH024024U true JPH024024U (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=31306081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8129988U Pending JPH024024U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH024024U (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11303793A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-11-02 | Ebara Corp | 循環ファン装置及び循環ファン駆動用モータ |
JP2006109655A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ |
WO2009104376A1 (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | モーターソリューション株式会社 | スラスト力発生装置及び該スラスト力発生装置を適用した電磁機械 |
WO2010136325A2 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Lageranordnung für ein berührungsloses magnetisches axiallager und röntgenröhre mit diesem lager |
JP2011514652A (ja) * | 2007-07-17 | 2011-05-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
CN102106062A (zh) * | 2007-06-27 | 2011-06-22 | 布鲁克斯自动化公司 | 带有磁性转轴轴承的机器人驱动 |
JP2012528478A (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | ゼミレフ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 基板の微粒子なしハンドリングのためのデバイス |
JP2015039012A (ja) * | 2008-06-27 | 2015-02-26 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 |
JP2017158325A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | セイコー化工機株式会社 | 磁気浮上式電動機とそれを備えた磁気浮上式ポンプ |
JP2018009643A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | マツダ株式会社 | 磁気軸受装置 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP8129988U patent/JPH024024U/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11303793A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-11-02 | Ebara Corp | 循環ファン装置及び循環ファン駆動用モータ |
JP4656381B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2011-03-23 | 日本精工株式会社 | ダイレクトドライブモータ |
JP2006109655A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ |
JP2011526068A (ja) * | 2007-06-27 | 2011-09-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 |
CN102106062A (zh) * | 2007-06-27 | 2011-06-22 | 布鲁克斯自动化公司 | 带有磁性转轴轴承的机器人驱动 |
JP2011514652A (ja) * | 2007-07-17 | 2011-05-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
JP2014123761A (ja) * | 2007-07-17 | 2014-07-03 | Brooks Automation Inc | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
JP2017022426A (ja) * | 2007-07-17 | 2017-01-26 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 |
WO2009104376A1 (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | モーターソリューション株式会社 | スラスト力発生装置及び該スラスト力発生装置を適用した電磁機械 |
JP2015039012A (ja) * | 2008-06-27 | 2015-02-26 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 |
JP2012528478A (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | ゼミレフ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 基板の微粒子なしハンドリングのためのデバイス |
WO2010136325A2 (de) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Lageranordnung für ein berührungsloses magnetisches axiallager und röntgenröhre mit diesem lager |
WO2010136325A3 (de) * | 2009-05-29 | 2011-04-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Lageranordnung mit sich abstossenden permanentmagneten zur entlastung eines elektromagnetischen axiallagers und röntgenröhre mit einer solchen lageranordnung |
CN102449335A (zh) * | 2009-05-29 | 2012-05-09 | 西门子公司 | 适用于无接触磁力轴向轴承的轴承结构和包含该轴承的x射线管 |
JP2017158325A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | セイコー化工機株式会社 | 磁気浮上式電動機とそれを備えた磁気浮上式ポンプ |
JP2018009643A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | マツダ株式会社 | 磁気軸受装置 |
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