JPH028548Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体の製造装置、表面分析装置等
の超高真空状態の室内へその外部から回転力を導
入する装置に関する。

（従来の技術） 従来、通常の真空圧の真空室内に回転を導入す
る手段として、第１図のように真空室ａと大気側
ｂとを挿通する回転軸ｃの周囲に、ゴムガスケツ
トｄを設けて外部から真空室ａ内に回転を導入す
るウイルソンシールや、第２図のようにベアリン
グｅで支承された回転軸ｃの周囲に、交互に鉄リ
ングｆと磁石ｇを設けて磁性粉を含む磁気流体を
吸引し、回転軸ｃの周囲を密閉する磁気気体シー
ル、或いは第３図のように回転軸ｃの一部をベロ
ーズｈで覆うか、第４図示のように真空壁ｉを介
して磁気カツプリング素子ｊ，ｋを設けて真空室
ａ内に回転導入するものが知られている。

（考案が解決しようとする博課） 前記した第１図示のものでは、真空室ａ内が超
高真空状態になると大気側ｂから真空室ａ内への
ガスの流入を完全に防止することは出来ず、また
第２図乃至第４図のものはベアリングｅからのダ
ストの発生が多いので、清浄な雰囲気を要求され
る超高真空の室内への回転の導入には不向きであ
る。

さらに第２図示のものは磁性流体が真空室ａ内
の汚染の原因ともなり、第３図のベローズｈを設
けると高速の回転を導入出来ず、ベローズｈも短
命で耐久性が悪くなる不都合がある。

本考案は、超高真空の室内への回転を導入する
場合ダストの発生がなく室内を清浄に維持し得、
高速回転を導入出来る装置を提供することを目的
とする。

（課点を解決するための手段） 本考案では前記目的達成のために、超高真空室
の真空壁に該超高真空室内へ上下方向に延びる延
長杆を設けて該延長杆の周囲に筒状の回転体を配
置し、モータにより回転される該超高真空室の外
部の磁気カツプリング素子と、該回転体の一端側
に取付けた磁気カツプリング素子とを該真空壁を
介して対向して設け、該回転体の筒内と延長杆と
に、互に吸引して該回転体を浮上させる浮上用磁
石を夫々設け、該回転体の他端側の筒内とこれに
対応した個所の延長杆とに該回転体の回転に伴う
横振れを防止する横振れ防止用磁石を夫々設ける
ようにした。

（作用） 超高真空室内の回転体は、これと延長杆とに設
けた浮上用磁石により浮上され、外部のモータが
回転されると磁気カツプリング素子同士の磁気結
合により回転体に回転が伝達されるが、その際回
転体はこれの端部を延長杆とに設けた横振れ防止
用磁石により磁気的に支えられて横振れせず、回
転体を無接触状態で安定に回転させることが出来
る。尚、外部のモータとしてステツピングモータ
を使用すれば停止位置を正確に制御することが出
来る。

（実施例） 本考案の実施例を第５図につき説明すると、符
号１は超高真空に真空排気された真空室、２は該
真空室１の槽壁３を連通する回転導入用の開口
部、４は該開口部２を密閉すべく皿形の真空壁５
を槽壁３に取付けるメタルガスケツトフランジで
ある。該真空壁５には超高真空室１内へ上下方向
に延びる延長杆９が設けられ、該延長杆９の周囲
に筒状の回転体８が配置される。該真空壁５の外
部にはステツピングモータ６により回転される磁
気カツプリング素子７ａが設けられ、これと該真
空室１内の筒状の回転体８の端部に取付けた磁気
カツプリング素子７ｂとが磁気的に結合する。該
延長杆９の先端には１対の横振れ防止用磁石１０
ａ，１０ｂの一方を取付け、該回転体８に取付け
た他方の横振れ防止用の磁石との間に磁気吸引力
を生じさせて該回転体８が横振れしないようにし
た。１１ａ，１１ｂは浮上用磁石を示し、該浮上
用磁石の一方は延長杆９の中間部に間隔を存して
設けた１対の電磁石１１ａ，１１ａで構成すると
共に該浮上用磁石の他方を回転体８に固定され両
電磁石１１ａ，１１ａの間隔内に介入する永久磁
石１１ｂで構成した。該電磁石１１ａ，１１ａの
磁力は位置コントロール回路１２により制御され
るものとし、さらに該回路１２はメタルガスケツ
トフランジ４に取付けた位置センサ１３からの信
号で作動する位置検出回路１４の出力信号により
作動するようにした。１５はステツピングモータ
６の駆動制御装置である。

磁気カツプリング素子７ａ，７ｂは第６図示の
ように永久磁石を極性を交互に変えて板面に配設
して構成され、一方の素子７ａと他方の素子７ｂ
は真空壁５を介して互に異極同士が吸引し合つて
磁気的に結合する。

この構成では、回転体８はこれに設けた横振れ
防止用磁石１０ｂと真空壁５に一体の延長杆９に
設けた横振れ防止用磁石１０ａと吸引力により横
振れが防止されると共に通電された電磁石１１
ａ，１１ａと磁石１１ｂとが互に吸引し合つて回
転体８が浮上し、モータ６が回転するとその回転
は磁気カツプリング素子７ａ，７ｂを介して浮上
した回転体８に伝達され、かくて真空室１内に於
いて、回転体８を外部と無接触状態で一定位置を
保持し乍ら回転することが出来、室内の超高真空
を損なわずしかもダストが発生することがない。

該回転体８には必要に応じて半導体基板等を取
付けるために治具が設けられる。

尚、浮上用の電磁石１１ａ，１１ａの磁力を適
当に制御することにより回転体８の位置を上下に
移動させることも出来る。

（考案の効果） このように本考案によるときは、超高真空室内
に真空壁から延びる延長杆の周囲に設けた筒状の
回転体に磁気カツプリングを介して外部のモータ
から回転が与えられるが、該回転体はその内部と
延長杆とに夫々設けた浮上用磁石により浮上され
ると共に該回転体の先端側の内部と延長杆の先端
側とに夫々設けた横振れ防止用磁石により横振れ
防止が与えられるようにしたので無接触で真空室
内に於いて回転され、ダストの発生がなく、横振
れのない正確な回転を行なうことが出来る効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は従来の回転導入装置の断面
図、第５図は本考案の実施例の断面図、第６図は
第５図の−線部分の断面図である。 １……真空室、５……真空壁、６……モータ、
７ａ，７ｂ……磁気カツプリング素子、８……回
転体、９……延長杆、１０ａ，１０ｂ……横振れ
防止用磁石、１１ａ，１１ｂ……浮上用磁石。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 超高真空室の真空壁に該超高真空室内へ上下方
   向に延びる延長杆を設けて該延長杆の周囲に筒状
   の回転体を配置し、モータにより回転される該超
   高真空室の外部の磁気カツプリング素子と、該回
   転体の一端側に取付けた磁気カツプリング素子と
   を該真空壁を介して対向して設け、該回転体の筒
   内と延長杆とに、互に吸引して該回転体を浮上さ
   せる浮上用磁石を夫々設け、該回転体の他端側の
   筒内とこれに対応した個所の延長杆とに該回転体
   の回転に伴う横振れを防止する横振れ防止用磁石
   を夫々設けて成る超高真空用回転導入装置。