JPH04212435A - 磁気浮上エレベータ - Google Patents
磁気浮上エレベータInfo
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- JPH04212435A JPH04212435A JP4308791A JP4308791A JPH04212435A JP H04212435 A JPH04212435 A JP H04212435A JP 4308791 A JP4308791 A JP 4308791A JP 4308791 A JP4308791 A JP 4308791A JP H04212435 A JPH04212435 A JP H04212435A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空等の雰囲気中の搬送
台を非接触で昇降させる磁気浮上エレベータに関する。
台を非接触で昇降させる磁気浮上エレベータに関する。
【０００２】
【従来の技術】かかるエレベータの一例を図５について
説明する。図において、例えば真空雰囲気の搬送室３０
には、半導体ウエハＷを載置した搬送台３１がリニアベ
アリング３２を介し上下動自在に設けられ、例えばエア
アクチュエータ３３により上下動されるようになってい
る。そして、搬送台３１の周縁部と搬送室の底部との間
には、ベローズ３４が介装され、真空雰囲気が外部から
シールされている。
説明する。図において、例えば真空雰囲気の搬送室３０
には、半導体ウエハＷを載置した搬送台３１がリニアベ
アリング３２を介し上下動自在に設けられ、例えばエア
アクチュエータ３３により上下動されるようになってい
る。そして、搬送台３１の周縁部と搬送室の底部との間
には、ベローズ３４が介装され、真空雰囲気が外部から
シールされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の装置に
おいては、搬送台３１の昇降によりベローズ３４が伸縮
する。したがって、ベローズ３４の寿命が他の機構に比
べて短くなり、また、伸縮変形によるベローズの微細粉
が発生し、搬送台３１回りの真空雰囲気を汚染する。
おいては、搬送台３１の昇降によりベローズ３４が伸縮
する。したがって、ベローズ３４の寿命が他の機構に比
べて短くなり、また、伸縮変形によるベローズの微細粉
が発生し、搬送台３１回りの真空雰囲気を汚染する。
【０００４】本発明は、真空等の雰囲気を汚染しない長
寿命の磁気浮上エレベータを提供することを目的として
いる。
寿命の磁気浮上エレベータを提供することを目的として
いる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、搬送室
に連通する有底の非磁性材製円筒体の上方から順に半径
方向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受、上下動自在な
積層形磁気軸受、前記ラジアル磁気軸受及び半径方向隙
間検出センサを設け、前記積層形磁気軸受の上下駆動手
段を設け、前記円筒体の内周面に隙間を形成して円柱体
を設け、該円柱体に前記半径方向隙間検出センサ、ラジ
アル磁気軸受及び積層形磁気軸受に対向する磁極をそれ
ぞれ設けると共に、前記円柱体の頂部に搬送台を設けて
いる。
に連通する有底の非磁性材製円筒体の上方から順に半径
方向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受、上下動自在な
積層形磁気軸受、前記ラジアル磁気軸受及び半径方向隙
間検出センサを設け、前記積層形磁気軸受の上下駆動手
段を設け、前記円筒体の内周面に隙間を形成して円柱体
を設け、該円柱体に前記半径方向隙間検出センサ、ラジ
アル磁気軸受及び積層形磁気軸受に対向する磁極をそれ
ぞれ設けると共に、前記円柱体の頂部に搬送台を設けて
いる。
【０００６】また本発明の磁気浮上エレベータは、搬送
室に連通する有底の非磁性材製円筒体の上方から順に上
下動可能な半径方向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受
、積層形磁気軸受、前記ラジアル磁気軸受及び半径方向
隙間検出センサを設け、前記半径方向隙間検出センサ、
前記ラジアル磁気軸受及び前記積層形磁気軸受によりユ
ニットを構成し、該ユニットを上下移動せしめる上下駆
動手段を設け、前記円筒体の内周面に隙間を形成して円
柱体を設け、該円柱体に前記半径方向隙間検出センサ、
ラジアル磁気軸受及び積層形磁気軸受に対向する磁極を
それぞれ設けると共に、前記円柱体の頂部に搬送台を設
けている。
室に連通する有底の非磁性材製円筒体の上方から順に上
下動可能な半径方向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受
、積層形磁気軸受、前記ラジアル磁気軸受及び半径方向
隙間検出センサを設け、前記半径方向隙間検出センサ、
前記ラジアル磁気軸受及び前記積層形磁気軸受によりユ
ニットを構成し、該ユニットを上下移動せしめる上下駆
動手段を設け、前記円筒体の内周面に隙間を形成して円
柱体を設け、該円柱体に前記半径方向隙間検出センサ、
ラジアル磁気軸受及び積層形磁気軸受に対向する磁極を
それぞれ設けると共に、前記円柱体の頂部に搬送台を設
けている。
【０００７】ここで、前記搬送室は、その内部が真空等
の雰囲気となっている。
の雰囲気となっている。
【０００８】更に本発明によれば、円柱体を円筒体の軸
線回りに任意に回動させる回動手段を設けている。
線回りに任意に回動させる回動手段を設けている。
【０００９】上記上下駆動手段は、積層形磁気軸受にア
ームを介して連結されたボールナット、ボールスクリュ
ー及びボールスクリューの駆動モータで構成するのが好
ましい。
ームを介して連結されたボールナット、ボールスクリュ
ー及びボールスクリューの駆動モータで構成するのが好
ましい。
【００１０】
【作用】上記のように構成された磁気浮上エレベータに
おいて、駆動モータを正逆転して積層形磁気軸受を上下
動すると、該軸受に対向する磁極を介し円柱体が上下動
して搬送台を昇降させる。この際、円柱体は、円筒体に
より外部からシールされた円筒体中を磁気浮上により非
接触で昇降するので、真空等雰囲気が外部環境により汚
染されることはない。
おいて、駆動モータを正逆転して積層形磁気軸受を上下
動すると、該軸受に対向する磁極を介し円柱体が上下動
して搬送台を昇降させる。この際、円柱体は、円筒体に
より外部からシールされた円筒体中を磁気浮上により非
接触で昇降するので、真空等雰囲気が外部環境により汚
染されることはない。
【００１１】また、従来装置のベローズのように、変形
する部材がないので、寿命が長くなる。
する部材がないので、寿命が長くなる。
【００１２】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１３】図１において、真空等雰囲気に保持された
搬送室１の底部の透孔１ａには、薄肉非磁性材製の円筒
２が固設され、その円筒２は、ベース３に立設され、内
部の空間は真空等雰囲気に保持されている。
搬送室１の底部の透孔１ａには、薄肉非磁性材製の円筒
２が固設され、その円筒２は、ベース３に立設され、内
部の空間は真空等雰囲気に保持されている。
【００１４】前記搬送室１内には、搬送台４が設けられ
、その搬送台４の下面には、円柱５が垂設され、この円
柱５は、円筒２内に環状隙間Ｃを設けて垂下されている
。
、その搬送台４の下面には、円柱５が垂設され、この円
柱５は、円筒２内に環状隙間Ｃを設けて垂下されている
。
【００１５】前記円筒２の外周には、上方から順に、浮
上隙間検出用の第１センサ６、ラジアル磁気軸受の第１
浮上用軸受７、積層形磁気軸受の昇降用軸受８、第１浮
上用軸受７と同様な第２浮上用軸受９及び第１センサ６
と同様な第２センサ１０が設けられている。前記センサ
６、７は、図示しない制御ユニットに接続され、その制
御ユニットは、センサ６、７からの信号に基づき、環状
隙間Ｃを常時一定に保つように磁気軸受７、９の電磁コ
イル７ａ、９ａに制御電流を供給するようになっている
。そして、昇降用軸受８には、アーム１１を介してボー
ルナット１２が設けられ、このボールナット１２に螺合
するボールスクリユー１３は、図示しない駆動モータに
より正逆回転されるようになっている。そして、ボール
ナット１２、ボールスクリュー１３及び駆動モータによ
って、昇降用軸受８の上下動手段が構成される。
上隙間検出用の第１センサ６、ラジアル磁気軸受の第１
浮上用軸受７、積層形磁気軸受の昇降用軸受８、第１浮
上用軸受７と同様な第２浮上用軸受９及び第１センサ６
と同様な第２センサ１０が設けられている。前記センサ
６、７は、図示しない制御ユニットに接続され、その制
御ユニットは、センサ６、７からの信号に基づき、環状
隙間Ｃを常時一定に保つように磁気軸受７、９の電磁コ
イル７ａ、９ａに制御電流を供給するようになっている
。そして、昇降用軸受８には、アーム１１を介してボー
ルナット１２が設けられ、このボールナット１２に螺合
するボールスクリユー１３は、図示しない駆動モータに
より正逆回転されるようになっている。そして、ボール
ナット１２、ボールスクリュー１３及び駆動モータによ
って、昇降用軸受８の上下動手段が構成される。
【００１６】他方、円柱５には、図示の搬送台４が下方
の原位置にあるときの昇降用軸受８に対向する位置に、
昇降用磁極１６が設けられている。したがって、円柱５
は、昇降用軸受８の上動によりストロークＳだけ上昇さ
れるようになっている。そして、円柱５には、円柱５が
原位置からストロークＳだけ上昇する際に、それぞれ第
１センサ６、浮上用第１軸受７、浮上用第２軸受９及び
第２センサ１０に対向する第１センサ用磁極１４、第１
軸受用磁極１５、第２軸受用磁極１７及び第２センサ用
磁極１８が設けられている。
の原位置にあるときの昇降用軸受８に対向する位置に、
昇降用磁極１６が設けられている。したがって、円柱５
は、昇降用軸受８の上動によりストロークＳだけ上昇さ
れるようになっている。そして、円柱５には、円柱５が
原位置からストロークＳだけ上昇する際に、それぞれ第
１センサ６、浮上用第１軸受７、浮上用第２軸受９及び
第２センサ１０に対向する第１センサ用磁極１４、第１
軸受用磁極１５、第２軸受用磁極１７及び第２センサ用
磁極１８が設けられている。
【００１７】図２において、第１浮上用磁気軸受７を例
に説明すると。該軸受７の８個の継鉄７Ａには、それぞ
れ電磁コイル７ａが、それぞれ図示の矢印ａ、ｂ方向に
巻回され、磁極１６の４個の突部との間に、矢印で示す
磁束Ｆを発生し、磁極１６を介して円柱５を磁気浮上さ
せるようになっている。
に説明すると。該軸受７の８個の継鉄７Ａには、それぞ
れ電磁コイル７ａが、それぞれ図示の矢印ａ、ｂ方向に
巻回され、磁極１６の４個の突部との間に、矢印で示す
磁束Ｆを発生し、磁極１６を介して円柱５を磁気浮上さ
せるようになっている。
【００１８】図３に示すものは、円柱５を回動運動する
手段の一例である。外側の永久磁石２２を図示しない部
材で矢印Ｒで示す様に回動することにより、磁石２４を
介して円柱５が回動するのである。そして、図示しない
部材により、永久磁石２２を所定位置で停止すれば、磁
石２４及び円柱５もその位置で停止し、位置決めが完了
する。なお、回動及び位置決めについては、図３のもの
のみならず、周知の構造を採用できるが、その例示及び
作用の詳細については省略する。
手段の一例である。外側の永久磁石２２を図示しない部
材で矢印Ｒで示す様に回動することにより、磁石２４を
介して円柱５が回動するのである。そして、図示しない
部材により、永久磁石２２を所定位置で停止すれば、磁
石２４及び円柱５もその位置で停止し、位置決めが完了
する。なお、回動及び位置決めについては、図３のもの
のみならず、周知の構造を採用できるが、その例示及び
作用の詳細については省略する。
【００１９】次に作用について説明する。
【００２０】磁気軸受７、９を励磁すると、円柱５は磁
極１５、１７を介して浮上し、円筒２との間には、環状
隙間Ｃが形成される。
極１５、１７を介して浮上し、円筒２との間には、環状
隙間Ｃが形成される。
【００２１】そこで、駆動モータを正転してボールスク
リュー１３を下方から見て反時計方向に回転すると、ボ
ールナット１２を介して昇降用磁気軸受８が上動する。 したがって、昇降用磁極１６を介して円柱５が上動し、
搬送台４に載置された半導体ウエハＷ（図５）を上昇さ
せる。前述と逆に、駆動モータを逆転してボールスクリ
ュー１２を前述と逆に時計方向に回転すると、搬送台５
が降下される。
リュー１３を下方から見て反時計方向に回転すると、ボ
ールナット１２を介して昇降用磁気軸受８が上動する。 したがって、昇降用磁極１６を介して円柱５が上動し、
搬送台４に載置された半導体ウエハＷ（図５）を上昇さ
せる。前述と逆に、駆動モータを逆転してボールスクリ
ュー１２を前述と逆に時計方向に回転すると、搬送台５
が降下される。
【００２２】図４は本発明のその他の実施例を示してい
る。図４の実施例によれば、浮上隙間検出用の第１セン
サ６、ラジアル磁気軸受の第１浮上用軸受７、積層形磁
気軸受の昇降用軸受８、第２浮上用軸受９、第２センサ
１０がハウジング４０に収容されて、単一のユニット５
０を構成している。
る。図４の実施例によれば、浮上隙間検出用の第１セン
サ６、ラジアル磁気軸受の第１浮上用軸受７、積層形磁
気軸受の昇降用軸受８、第２浮上用軸受９、第２センサ
１０がハウジング４０に収容されて、単一のユニット５
０を構成している。
【００２３】この実施例においては、アーム１１はハウ
ジング４０に接続されており、ボールナット１２、ボー
ルスクリュー１３及び駆動モータはユニット４０用の上
下動手段を構成している。
ジング４０に接続されており、ボールナット１２、ボー
ルスクリュー１３及び駆動モータはユニット４０用の上
下動手段を構成している。
【００２４】その他については図１〜３の実施例と同様
なので、詳細な説明は省略する。
なので、詳細な説明は省略する。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、真空等雰囲気の外部環境による汚染を防止
することができる。
ているので、真空等雰囲気の外部環境による汚染を防止
することができる。
【００２６】また、変形する部材をなくし、寿命を長く
することができる。
することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す側断面図。
【図２】昇降用磁気軸受及び磁極を示す搬送方向に直交
する断面図。
する断面図。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図。
【図４】本発明のその他の実施例を示す側断面図。
【図５】従来のエレベータを示す側断面図。
Ｃ・・・環状隙間
１・・・搬送室
２・・・円筒
４・・・搬送台
５・・・円柱
６・・・第１センサ
７・・・第１浮上用軸受
８・・・昇降用軸受
９・・・第２浮上用軸受
１０・・・第２センサ
１２・・・ボールナット
１３・・・ボールスクリュー
１４・・・第１センサ用磁極
１５・・・第１軸受用磁極
１６・・・昇降用磁極
１７・・・第２軸受用磁極
１８・・・第２センサ用軸受
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送室に連通する有底の非磁性材製円
筒体の上方から順に半径方向隙間検出センサ、ラジアル
磁気軸受、上下動自在な積層形磁気軸受、前記ラジアル
磁気軸受及び半径方向隙間検出センサを設け、前記積層
形磁気軸受の上下駆動手段を設け、前記円筒体の内周面
に隙間を形成して円柱体を設け、該円柱体に前記半径方
向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受及び積層形磁気軸
受に対向する磁極をそれぞれ設けると共に、前記円柱体
の頂部に搬送台を設けたことを特徴とする磁気浮上エレ
ベータ。 - 【請求項２】 搬送室に連通する有底の非磁性材製円
筒体の上方から順に上下動可能な半径方向隙間検出セン
サ、ラジアル磁気軸受、積層形磁気軸受、前記ラジアル
磁気軸受及び半径方向隙間検出センサを設け、前記半径
方向隙間検出センサ、前記ラジアル磁気軸受及び前記積
層形磁気軸受によりユニットを構成し、該ユニットを上
下移動せしめる上下駆動手段を設け、前記円筒体の内周
面に隙間を形成して円柱体を設け、該円柱体に前記半径
方向隙間検出センサ、ラジアル磁気軸受及び積層形磁気
軸受に対向する磁極をそれぞれ設けると共に、前記円柱
体の頂部に搬送台を設けたことを特徴とする磁気浮上エ
レベータ。 - 【請求項３】 円柱体を円筒体の軸線回りに任意に回
動させる回動手段を設けた請求項１或いは２のいずれか
に記載の磁気浮上エレベータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4308791A JPH0750734B2 (ja) | 1990-11-14 | 1991-03-08 | 磁気浮上エレベータ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30617690 | 1990-11-14 | ||
| JP2-306176 | 1990-11-14 | ||
| JP4308791A JPH0750734B2 (ja) | 1990-11-14 | 1991-03-08 | 磁気浮上エレベータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04212435A true JPH04212435A (ja) | 1992-08-04 |
| JPH0750734B2 JPH0750734B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=26382841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4308791A Expired - Fee Related JPH0750734B2 (ja) | 1990-11-14 | 1991-03-08 | 磁気浮上エレベータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750734B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5397212A (en) * | 1992-02-21 | 1995-03-14 | Ebara Corporation | Robot with dust-free and maintenance-free actuators |
| JPH08203977A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Seiko Seiki Co Ltd | 真空内上下受渡し装置 |
| EP1387473A2 (de) * | 2002-06-12 | 2004-02-04 | Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. | Vorrichtung zur Bewegung von Einbauteilen in Vakuumanlagen |
| CN105000392A (zh) * | 2015-06-13 | 2015-10-28 | 聂超 | 一种圆盘输送装置及输送方法 |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP4308791A patent/JPH0750734B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5397212A (en) * | 1992-02-21 | 1995-03-14 | Ebara Corporation | Robot with dust-free and maintenance-free actuators |
| JPH08203977A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Seiko Seiki Co Ltd | 真空内上下受渡し装置 |
| EP1387473A2 (de) * | 2002-06-12 | 2004-02-04 | Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. | Vorrichtung zur Bewegung von Einbauteilen in Vakuumanlagen |
| EP1387473A3 (de) * | 2002-06-12 | 2004-10-27 | Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. | Vorrichtung zur Bewegung von Einbauteilen in Vakuumanlagen |
| CN105000392A (zh) * | 2015-06-13 | 2015-10-28 | 聂超 | 一种圆盘输送装置及输送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0750734B2 (ja) | 1995-05-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |