JPH06179524A

JPH06179524A - 磁気浮上真空搬送装置

Info

Publication number: JPH06179524A
Application number: JP21362492A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Kajiyama; 雅章梶山; Masayoshi Hirose; 政義廣瀬; Norio Kimura; 憲雄木村; Masaru Nakaniwa; 勝中庭; Katsuaki Usui; 克明臼井
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-07-18
Filing date: 1992-07-18
Publication date: 1994-06-28

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送対象物の汚染を抑えることができるとと
もに高真空を達成することができる磁気浮上真空搬送装
置を提供する。【構成】隔壁で形成され内部が真空状態に保持された
真空トンネル１と、真空トンネル１内に配置された搬送
台３と、搬送台３を非接触状態にて浮上支持する複数の
浮上用電磁石４と、搬送台３を走行移動させるリニアモ
ータ６と、搬送台３の垂直方向距離を検出する変位セン
サ８とを備えた磁気浮上真空搬送装置において、浮上用
電磁石４、リニアモータ６及び変位センサ８を真空トン
ネル１の外側に配置するとともに浮上用電磁石４、リニ
アモータ６及び変位センサ８を隔壁２を貫通して真空ト
ンネル１内にその一部が露出した薄肉キャップ５，７，
９に収納した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気浮上真空搬送装置に
係り、真空中でウエハ等の搬送対象物を載置する搬送台
を磁力により浮上させて軌道に対して非接触状態にして
走行せしめる磁気浮上真空搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、加工、各種
処理等の工程間のウエハの移送・授受を一貫して真空中
で行う要求が高まっている。特に、半導体製品は不純物
に汚染されると品質不良となり易いので、高度に清浄化
された真空中で搬送することが好ましい。このため、真
空中でウエハ等の搬送対象物を載置する搬送台を磁力に
より浮上させて軌道に対して非接触状態にして走行せし
める磁気浮上真空搬送装置が従来から提案されている。

【０００３】図４は従来の磁気浮上真空搬送装置を示す
説明図である。図４において、搬送台２１は隔壁で形成
された搬送用真空トンネル２２内に配置されている。そ
して、搬送台２１を浮上せしめかつ垂直方向制御及び水
平方向案内を行う複数の電磁石２３と、搬送台２１を走
行移動させるリニアモータ２４と、搬送台の垂直方向距
離を検出する変位センサ２５とが真空トンネル２２内に
配設されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図４に示す従来の磁気
浮上真空搬送装置においては、真空トンネル２２内に電
磁石２３、リニアモータ２４及び変位センサ２５が配置
されていたため、真空トンネル２２内を真空にした時、
電磁石２３、リニアモータ２４及び変位センサ２５を構
成する各構成部品から種々のガスが放出されたり微粒子
が発生するため、搬送対象物を汚染させるという問題点
があった。半導体製造設備においては、搬送対象物とし
てはウエハである場合が多く、搬送中にウエハに汚染物
が付着すると製品の歩留りが悪化する恐れがあった。ま
た前記ガス放出によって、真空度を低下させ高真空が得
られないという問題点があった。

【０００５】そこで、前記電磁石２３、リニアモータ２
４及び変位センサ２５をそれぞれ薄板で包囲してキャン
化し、真空トンネル２２内に配置する方法が考えられる
が、この方法も制御用のケーブルの処理問題や各コイル
のメンテナンス上の問題等があり、このキャン化によっ
て新たな問題点が発生するという欠点があった。

【０００６】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、浮上用電磁石、リニアモータ及び変位センサ等を真
空トンネルの外側に配置し、これらを薄肉の容器状の収
納部材に収納することにより搬送対象物の汚染を抑える
ことができるとともに高真空を達成することができる磁
気浮上真空搬送装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため本発明の磁気浮上真空搬送装置は、隔壁で形成され
内部が真空状態に保持された真空トンネルと、該真空ト
ンネル内に配置された搬送台と、該搬送台を非接触状態
にて浮上支持する複数の浮上用電磁石と、前記搬送台を
走行移動させるリニアモータと、前記搬送台の垂直方向
距離を検出する変位センサとを備えた磁気浮上真空搬送
装置において、前記浮上用電磁石、リニアモータ及び変
位センサを前記真空トンネルの外側に配置するとともに
前記浮上用電磁石、リニアモータ及び変位センサを前記
隔壁を貫通して真空トンネル内にその一部が露出した薄
肉の容器状の収納部材に収納したことを特徴とするもの
である。

【０００８】

【作用】前述した構成からなる本発明によれば、真空ト
ンネル内から搬送台以外の構成部品を全て大気側に出し
たため、各部品からのガスの発生が抑えられるとともに
微粒子の発生が最小限に抑られ、搬送対象物の汚染を最
小限に抑えることができ、かつ高真空を達成することが
できる。また、浮上用電磁石、リニアモータ及び変位セ
ンサを真空トンネルの外側に配置したため、コイルや変
位センサのメンテナンスの容易化を図ることができる。
しかも、これらの部品のメンテナンスを真空を保持した
ままで行うことが可能となる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明に係る磁気浮上真空搬送装置の
一実施例を図１乃至図３を参照して説明する。図１にお
いて、磁気浮上真空搬送装置は、隔壁２によって形成さ
れ内部が真空状態に保持された真空トンネル１と、真空
トンネル１内に配置された搬送台３とを備えている。真
空トンネル１の上部には左右に搬送台３を非接触状態に
て浮上支持する浮上用電磁石４，４が配設されている。
これら浮上用電磁石４，４は大気側に設けられるととも
にそれぞれ薄肉の容器状の収納部材を構成する薄肉キャ
ップ５，５に収納されている。薄肉キャップ５は隔壁２
を貫通してその底部が真空トンネル１内に露出して配置
されている。

【００１０】図２は浮上用電磁石４（コイルは省略して
いる）及び薄肉キャップ５の詳細を示す図であり、薄肉
キャップ５はその上部にフランジ部５ａを有しており、
このフランジ部５ａによって隔壁２にボルト１０によっ
て固定されている。そして、隔壁２とフランジ部５ａと
の間にはＯリング１１が介装され、真空トンネル１内の
真空をシールするようになっている。また薄肉キャップ
５の底部５ｂは浮上用電磁石４の磁力を妨げないように
薄肉（ｔ＝１〜２mm) に形成されている。そして、薄肉
キャップ５の材料は、セラミックスなどの非金属材料ま
たは常磁性で電気抵抗がアルミと比べて大きい金属材
料、例えばステンレススチール（ＳＵＳ３０４）を用い
る

【００１１】一方、真空トンネン２の下部には、搬送台
３を走行移動させるリニアモータ６が配設されている。
リニアモータ６は大気側に設けられるとともに薄肉の容
器状の収納部材を構成する薄肉キャップ７に収納されて
いる。薄肉キャップ７は隔壁２を貫通してその頂部が真
空トンネル２内に露出して配置されている。また薄肉キ
ャップ７の材料は、セラミックスなどの非金属材料また
は常磁性で電気抵抗がアルミと比べて大きい金属材料、
例えばステンレススチール（ＳＵＳ３０４）を用いる。

【００１２】また、真空トンネル１の底部には、左右に
変位センサ８が配置されており、この変位センサ８は隔
壁２を貫通して真空トンネル１内にその頂部が露出した
薄肉の容器状の薄肉キャップ９に収納されている。変位
センサ８は渦電流センサからなり、薄肉キャップ９は渦
電流センサのセンシング作用を妨げないようにセラミッ
クスによって形成されている。図３は変位センサ８と薄
肉キャップ９の詳細を示す図であり、薄肉キャップ９は
フランジ部９ａを有し、このフランジ部９ａと隔壁２と
の間には真空トンネル１内の真空をシールするためのＯ
リング１１が介装されている。そして、薄肉キャップ９
の頂部９ｂの肉厚は薄肉（ｔ＝１〜２mm) に設定されて
おり、変位センサ８と搬送台３との距離が変位センサ８
のセンシング範囲内に入るようにしている。

【００１３】図示はされていないが、浮上用電磁石４、
リニアモータ６及び変位センサ８は、搬送台進行方向
（図１の紙面に直角な方向）に等間隔にて設置されてい
る。そして、電磁ブレーキ（図示せず）が搬送台３が停
止するべき位置に設けられている。

【００１４】前述のように構成された磁気浮上真空搬送
装置によれば、変位センサ８は該センサから搬送台３ま
での垂直方向距離を検出し、検出結果を図示しない浮上
制御装置へ出力する。この浮上制御装置は変位センサ８
からの出力に応答して、浮上用電磁石４に供給される電
流を増減し、搬送台３に作用する磁気的吸引力を制御す
る。以て搬送台３を垂直方向に非接触にて安定して浮上
させることができる。そして、リニアモータ６により搬
送台３を進行方向（図１の紙面に直角な方向）に付勢し
走行せしめる。

【００１５】本実施例によれば、浮上用電磁石４、リニ
アモータ６及び変位センサ８が真空トンネル１の外側に
配設されており、かつ浮上用電磁石４、リニアモータ６
及び変位センサ８は、それぞれ隔壁２を貫通して真空ト
ンネル１内にその一部が露出した薄肉の容器状の薄肉キ
ャップ５，７，９に収納されている。したがって、真空
トンネル１内には搬送台３以外の構成部品が配置されて
いないため、真空トンネル１内でのガスの発生が抑えら
れるとともに微粒子の発生が抑えられ、搬送対象物の汚
染が防止される。また本実施例によれば、真空トンネル
１内でのガスの発生が抑制できるため、高真空が達成で
きる。

【００１６】実施例の説明においては、薄肉キャップと
隔壁との間をシールするためにＯリングを用いたが、薄
肉キャップと隔壁との間にメタルシールを介装してもよ
いし、また薄肉キャップを隔壁に溶接して真空トンネル
内の真空をシールすることもできる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
空トンネル内から搬送台以外の構成部品を全て大気側に
出したため、各部品からのガスの発生が抑えられるとと
もに微粒子の発生が最小限に抑られ、搬送対象物の汚染
を最小限に抑えることができ、かつ高真空を達成するこ
とができる。

【００１８】また、浮上用電磁石、リニアモータおよび
変位センサを真空トンネルの外側に配置したため、コイ
ルや変位センサのメンテナンスの容易化を図ることがで
きる。しかも、これらの部品のメンテナンスを真空を保
持したままで行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置の一実施例
を示す断面図である。

【図２】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における浮
上用電磁石と薄肉キャップとを示す拡大断面図である。

【図３】本発明に係る磁気浮上真空搬送装置における変
位センサと薄肉キャップを示す拡大断面図である。

【図４】従来の磁気浮上真空搬送装置を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１真空トンネル２隔壁３搬送台４浮上用電磁石５薄肉キャップ６リニアモータ７薄肉キャップ８変位センサ９薄肉キャップ１１Ｏリング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中庭勝東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者臼井克明東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隔壁で形成され内部が真空状態に保持さ
れた真空トンネルと、該真空トンネル内に配置された搬
送台と、該搬送台を非接触状態にて浮上支持する複数の
浮上用電磁石と、前記搬送台を走行移動させるリニアモ
ータと、前記搬送台の垂直方向距離を検出する変位セン
サとを備えた磁気浮上真空搬送装置において、前記浮上
用電磁石、リニアモータ及び変位センサを前記真空トン
ネルの外側に配置するとともに前記浮上用電磁石、リニ
アモータ及び変位センサを前記隔壁を貫通して真空トン
ネル内にその一部が露出した薄肉の容器状の収納部材に
収納したことを特徴とする磁気浮上真空搬送装置。