JPH05277970A

JPH05277970A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH05277970A
Application number: JP4073888A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Shinozaki; 弘行篠崎; Masao Matsumura; 正夫松村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-03-30
Filing date: 1992-03-30
Publication date: 1993-10-26

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送物側のクリンーンな雰囲気を汚染するの
を確実に防止する。【構成】搬送用アームを非接触で旋回、位置決め、昇
降自在に支持し、該アームを歪曲した形状に形成する。
また、前記搬送装置と、該装置から搬送物を受取る磁気
浮上リニア型搬送機とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空等のクリーンな雰
囲気中で搬送物を搬送する搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のかかる装置の代表的なものは図４
に示すように、磁気浮上非接触型回転昇降装置３０と、
その装置３０の回転昇降軸３１に固設されアーム部３３
が矢印方向にリニアモータ３４で駆動されるハンド３２
とからなり、このハンド３２には、リニアモータ用電力
供給線３５が接続されている。そして、アーム部３３に
より被搬送物、例えばウエハキャリア３６内に収められ
た半導体ウエハＷを載置して搬送するようになってい
る。

【０００３】また、別の装置は図５に示すように、ロボ
ット本体３７と、その本体３７に回転昇降されるアーム
３８と、該アームに磁気的にカップリングされたハンド
３９とからなっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のウエハＷ側は、
クリーンな雰囲気であり、前者の装置３０において、回
転昇降機構は、図示しないベローズを介してウエハＷ側
と隔離され、回転機構のベアリング部は、図示しない磁
性流体シールによりシールされ、ウエハＷ側と隔離され
ている。しかし、ペローズの伸縮によりベローズの表面
から金属の微細粉が飛散し、クリーンな雰囲気を汚染す
るおそれがある。また、ベローズの寿命が装置の稼働サ
イクルに影響する。更に、磁性流体シールは、高真空中
で使用すると、樹脂成分の気化による汚染が発生するこ
とがある。

【０００５】また、後者の装置において、磁気的にカッ
プリングされたアーム３８とハンド３９との支持機構の
いずれかに設けた図示しないアクチュエータにエネルギ
を供給する必要があり、発塵源となる。したがって、雰
囲気を汚染することになる。

【０００６】本発明は、搬送物側のクリーンな雰囲気を
汚染を確実に防止する搬送ロボット装置を提供すること
を目的としている。

【０００７】

【先行技術の説明】本発明を理解するために、本出願人
が先に特願平３−４３０８７号において提案した磁気浮
上エレベータについて説明する。

【０００８】以下図面を参照して本発明の実施例を説明
する。

【０００９】図６において、真空等雰囲気に保持された
搬送室１の底部の透孔１ａには、薄肉非磁性材製の円筒
２が固設され、その円筒２は、ベース３に立設され、内
部の空間は真空等雰囲気に保持されている。

【００１０】前記搬送室１内には、搬送台４が設けら
れ、その搬送台４の下面には、円柱５が垂設され、この
円柱５は、円筒２内に環状隙間Ｃを設けて垂下されてい
る。

【００１１】前記円筒２の外周には、上方から順に、浮
上隙間検出用の第１センサ６、ラジアル磁気軸受の第１
浮上用軸受７、積層形磁気軸受の昇降用軸受８、第１浮
上用軸受７と同様な第２浮上用軸受９及び第１センサ６
と同様な第２センサ１０が設けられている。前記センサ
６、７は、図示しない制御ユニットに接続され、その制
御ユニットは、センサ６、７からの信号に基づき、環状
隙間Ｃを常時一定に保つように磁気軸受７、９の電磁コ
イル７ａ、９ａに制御電流を供給するようになってい
る。そして、昇降用軸受８には、アーム１１を介してボ
ールナット１２が設けられ、このボールナット１２に螺
合するボールスクリユー１３は、図示しない駆動モータ
により正逆回転されるようになっている。そして、ボー
ルナット１２、ボールスクリュー１３及び駆動モータに
よって、昇降用軸受８の上下動手段が構成される。

【００１２】他方、円柱５には、図示の搬送台４が下方
の原位置にあるときの昇降用軸受８に対向する位置に、
昇降用磁極１６が設けられている。したがって、円柱５
は、昇降用軸受８の上動によりストロークＳだけ上昇さ
れるようになっている。そして、円柱５には、円柱５が
原位置からストロークＳだけ上昇する際に、それぞれ第
１センサ６、浮上用第１軸受７、浮上用第２軸受９及び
第２センサ１０に対向する第１センサ用磁極１４、第１
軸受用磁極１５、第２軸受用磁極１７及び第２センサ用
磁極１８が設けられている。

【００１３】上記のように構成された磁気浮上エレベー
タにおいて、駆動モータを正逆転して昇降用軸受８を上
下動すると、該軸受８に対向する磁極１６を介し円柱５
がストロークＳの範囲で上下動して搬送台４を昇降させ
る。この際、円柱５は、外部からシールされた円筒２中
を磁気浮上により非接触で昇降するので、真空等雰囲気
が外部環境により汚染されることはない。

【００１４】本発明は、上記の磁気浮上エレベータを好
適に適用したものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、搬送物
を載置するアームは非接触状態で旋回、位置決め及び昇
降が自在に支持され、該アームは水平面内において彎曲
した形状に形成されていることを特徴としている。

【００１６】また、本発明によれば、搬送物を載置する
アームは非接触状態で旋回、位置決め及び昇降が自在に
支持され、該アームは水平面内において彎曲した形状に
形成されている搬送装置と、該搬送装置から搬送物を受
け取る磁気浮上リニア型搬送機とが設けられていること
を特徴としている。

【００１７】上記アームを支持する手段は、前記特願平
３−４３０８７号の磁気浮上エレベータに旋回手段を付
加して構成されている。

【００１８】また、アームは、例えば搬送物の収納位置
側に向けてＬ字状に形成するのが好ましい。

【００１９】

【作用】上記のように構成された搬送装置においては、
アームを昇降してアーム先端に搬送物を載置し、アーム
を磁気浮上リニア型搬送機の側へ回動し、アームを下降
して前記搬送機の搬送台に搬送物を載置し、搬送台を移
動して搬送物を搬送する。

【００２０】

【実施例】図１及び図２において、真空室２５の一部に
は、ウエハキャリヤ等の搬送物収納部２６が突設され、
その収納部２６には、複数の半導体ウエハＷが収納され
ており、真空室２５の内部には、搬送ロボット装置Ａと
磁気浮上リニア型搬送機Ｂとが設けられている。

【００２１】この搬送ロボット装置Ａの回転昇降軸２０
には、アーム２１が固設され、そのアーム２１は、収納
部２６の内部に挿入される形状のＬ字状に形成されてい
る。

【００２２】他方、磁気浮上リニア型搬送機Ｂは、公知
技術によるもので、その搬送台２３は軌道２４上を磁気
浮上により非接触状態で移動されるようになっている。
そして、アーム２１の形状は、矢印ａ方向に旋回してウ
エハＷを載置し、矢印ｂ方向に旋回し、位置２１ａにお
いて搬送台２３にウエハＷを移載できる形状に形成され
ている。

【００２３】図３において、搬送ロボット装置Ａは、図
６に示す磁気浮上エレベータの円柱５を上下に延ばして
回転昇降軸２０を形成し、その軸２０の頂部にアーム２
１を固設し、軸２０の底部と円筒２との間に、公知のス
テッピングモータ機構２２を設けて構成されている。し
たがって、回転昇降軸２０は、外部からシールされ円筒
２中を磁気浮上により非接触でストロークＳの範囲内で
昇降し、かつ、回転されるようになっている。

【００２４】次に搬送の態様を説明する。

【００２５】先ず、搬送ロボット装置Ａの回転昇降軸２
０を回動しながら、アーム２１を搬送するウエハＷの高
さに合せて昇降し、そのウエハＷの下に挿入する。次い
で、アーム２１を少し上昇し、９０度回動して位置２１
ａに移動し、アーム２１を降下してウエハＷを搬送台２
３の上に移載する。そこで、搬送台２３によりウエハＷ
を矢印ｃ方向に搬送した後、搬送台２３を矢印ｄ方向に
移動して図示の原位置に戻す。

【００２６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、発塵源から搬送物を隔離し、汚染防止策の
ゆきとどいたクリーンな搬送装置を提供することができ
る。

【００２７】また、アームを適切な形状（例えばＬ字
状）に曲げることにより、半導体ウエハなど搬送物の旋
回半径を従来より小さくすることができる。

【００２８】また、歪曲したので、関節部を設けること
なく、収納部に出し入れすることができる。

【００２９】また、アームの先端に静電気チャックを設
けることにより、コンパクトにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体構成を示す水平断面
図。

【図２】図１の垂直断面図。

【図３】搬送ロボット装置を示す側断面図。

【図４】従来装置の一例を示す側面図。

【図５】従来装置の他の例を示す側断面図。

【図６】本発明を適用する磁気浮上エレベータを示す側
断面図。

【符号の説明】

Ａ・・・搬送ロボット装置Ｂ・・・磁気浮上リニア型搬送機Ｃ・・・環状隙間Ｗ・・・半導体ウエハ１・・・搬送室２・・・円筒３・・・ベース４・・・搬送台５・・・円柱６・・・第１センサ７・・・第１浮上用軸受８・・・昇降用軸受９・・・第２浮上用軸受１０・・・第２センサ１２・・・ボールナット１３・・・ボールスクリュー１４・・・第１センサ用磁極１５・・・第１軸受用磁極１６・・・昇降用磁極１７・・・第２軸受用磁極１８・・・第２センサ用軸受２０・・・回転昇降軸２１・・・アーム２２・・・リニアモータ機構２３・・・搬送台２４・・・軌道２５・・・真空室２６・・・搬送物収納部３０・・・磁気浮上非接触型回転昇降装置３１・・・回転昇降軸３２・・・ハンド３３・・・アーム部３４・・・リニアモータ３５・・・リニアモータ用電力供給線３６・・・ウエハキャリヤ３７・・・ロボット本体３８・・・アーム３９・・・ハンド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送物を載置するアームは非接触状態で
旋回、位置決め及び昇降が自在に支持され、該アームは
水平面内において歪曲した形状に形成されていることを
特徴とする搬送装置。
【請求項２】搬送物を載置するアームは非接触状態で
旋回、位置決め及び昇降が自在に支持され、該アームは
水平面内において歪曲した形状に形成されている搬送装
置と、該搬送装置から搬送物を受け取る磁気浮上リニア
型搬送機とが設けられていることを特徴とする搬送装
置。