JPH0648845Y2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0648845Y2 JPH0648845Y2 JP4589688U JP4589688U JPH0648845Y2 JP H0648845 Y2 JPH0648845 Y2 JP H0648845Y2 JP 4589688 U JP4589688 U JP 4589688U JP 4589688 U JP4589688 U JP 4589688U JP H0648845 Y2 JPH0648845 Y2 JP H0648845Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- runner
- stator
- wafer
- motor
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えばイオン注入装置等に用いられるもの
であって、上下、前後および旋回のいわゆる３自由度を
有するウエハ搬送装置に関する。
であって、上下、前後および旋回のいわゆる３自由度を
有するウエハ搬送装置に関する。
この種のウエハ搬送装置の従来例を第３図に示す。
即ち、真空容器６を真空シール機能を有する軸受部22を
通して回転軸24が貫通しており、その真空容器６内側端
部に旋回台16が取り付けられている。
通して回転軸24が貫通しており、その真空容器６内側端
部に旋回台16が取り付けられている。
旋回台16には、ボールねじ12が回転自在に取り付けられ
ており、それに移動台10が螺合させられている。また、
移動台10にはリニア軸受13が取り付けられており、それ
にガイド棒14が通されている。ボールねじ12は、旋回台
16に取り付けられた真空用のモータ20によって、チェー
ン（またはタイミングベルト）17およびスプロケット1
8、19を介して回転されられ、それによって移動台10が
前後させられる。そしてこの移動台10に、第４図も参照
して、ウエハ２を支持するものであってこの例ではフォ
ーク状をしたウエハ支持板８が取り付けられている。
ており、それに移動台10が螺合させられている。また、
移動台10にはリニア軸受13が取り付けられており、それ
にガイド棒14が通されている。ボールねじ12は、旋回台
16に取り付けられた真空用のモータ20によって、チェー
ン（またはタイミングベルト）17およびスプロケット1
8、19を介して回転されられ、それによって移動台10が
前後させられる。そしてこの移動台10に、第４図も参照
して、ウエハ２を支持するものであってこの例ではフォ
ーク状をしたウエハ支持板８が取り付けられている。
一方、回転軸24の真空容器６外側端部には図示しない軸
受を介して支持板28が取り付けられていてこれにモータ
30が取り付けられており、回転軸24はこのモータ30によ
って、チェーン（またはタイミングベルト）25およびス
プロケット26、27を介して回転させられる。
受を介して支持板28が取り付けられていてこれにモータ
30が取り付けられており、回転軸24はこのモータ30によ
って、チェーン（またはタイミングベルト）25およびス
プロケット26、27を介して回転させられる。
また、この回転軸24およびそれに取り付けられた全ての
ものは、エアー式または油圧式のシリンダー32によって
上下させられる。
ものは、エアー式または油圧式のシリンダー32によって
上下させられる。
従って上記機構によれば、ウエハ支持板８を上下、前後
および旋回させることができ、それによってウエハ２の
所望の搬送を行うことができる。例えば、真空容器６内
に設けられたウエハ置台４上にあるウエハ２をすくい上
げてそれを他の場所へ搬送したり、他の場所にあるウエ
ハ２を受け取ってそれをウエハ置台４上に乗せたりする
ことができる。
および旋回させることができ、それによってウエハ２の
所望の搬送を行うことができる。例えば、真空容器６内
に設けられたウエハ置台４上にあるウエハ２をすくい上
げてそれを他の場所へ搬送したり、他の場所にあるウエ
ハ２を受け取ってそれをウエハ置台４上に乗せたりする
ことができる。
ところが、上記のようなウエハ搬送装置においては、
ボールねじ12、リニア軸受13およびチェーン（またはタ
イミングベルト）17等の機械的接触をする部品を用いて
いるため、これらからの発塵が避けられず、これがウエ
ハ２の汚染の原因等になる、ボールねじ12やリニア軸
受13等の軸受は、真空中で用いると、潤滑が難しいた
め、その寿命が著しく短くなる、ウエハ支持板８等を
上下させる動力を、真空シール機能を有する軸受部22を
介して大気側から伝達するようにしているが、この軸受
部22における真空リーク量を零にすることが難しい、と
いう問題がある。
ボールねじ12、リニア軸受13およびチェーン（またはタ
イミングベルト）17等の機械的接触をする部品を用いて
いるため、これらからの発塵が避けられず、これがウエ
ハ２の汚染の原因等になる、ボールねじ12やリニア軸
受13等の軸受は、真空中で用いると、潤滑が難しいた
め、その寿命が著しく短くなる、ウエハ支持板８等を
上下させる動力を、真空シール機能を有する軸受部22を
介して大気側から伝達するようにしているが、この軸受
部22における真空リーク量を零にすることが難しい、と
いう問題がある。
そこでこの考案は、これらの点を改善したウエハ搬送装
置を提供することを目的とする。
置を提供することを目的とする。
この考案のウエハ搬送装置は、立軸形のモータであって
そのスラストおよびラジアルの軸受に磁気軸受を用いた
ものと、このモータの回転軸に取り付けられた直線状の
固定子およびそれに磁気的に無接触で支持される直線状
の走行子を有しており、固定子の内側の底部には第１の
固定子巻線が、両側部には第２の固定子巻線がそれぞれ
設けられており、走行子の底部には第１の走行子導体
が、両側部には第２の走行子導体がそれぞれ設けられて
おり、第１の固定子巻線と第１の走行子導体は相対向し
ていて走行子を固定子から浮上させるスラスト側の磁気
軸受を構成しており、第２の固定子巻線と第２の走行子
導体は相対向していて走行子が固定子に接触しないよう
に保持するサイド側の磁気軸受および走行子を直線駆動
するモータを構成しているリニアモータと、このリニア
モータの走行子に取り付けられていてウエハを支持する
ウエハ支持板とを備えることを特徴とする。
そのスラストおよびラジアルの軸受に磁気軸受を用いた
ものと、このモータの回転軸に取り付けられた直線状の
固定子およびそれに磁気的に無接触で支持される直線状
の走行子を有しており、固定子の内側の底部には第１の
固定子巻線が、両側部には第２の固定子巻線がそれぞれ
設けられており、走行子の底部には第１の走行子導体
が、両側部には第２の走行子導体がそれぞれ設けられて
おり、第１の固定子巻線と第１の走行子導体は相対向し
ていて走行子を固定子から浮上させるスラスト側の磁気
軸受を構成しており、第２の固定子巻線と第２の走行子
導体は相対向していて走行子が固定子に接触しないよう
に保持するサイド側の磁気軸受および走行子を直線駆動
するモータを構成しているリニアモータと、このリニア
モータの走行子に取り付けられていてウエハを支持する
ウエハ支持板とを備えることを特徴とする。
リニアモータの走行子を上下動させることによってそれ
に取り付けたウエハ支持板を上下させることができ、同
走行子を前後動させることによって同ウエハ支持板を前
後させることができ、かつ立軸形のモータを回転させる
ことによってリニアモータひいてはそれに取り付けたウ
エハ支持板を旋回させることができ、それによってウエ
ハの所望の搬送を行うことができる。
に取り付けたウエハ支持板を上下させることができ、同
走行子を前後動させることによって同ウエハ支持板を前
後させることができ、かつ立軸形のモータを回転させる
ことによってリニアモータひいてはそれに取り付けたウ
エハ支持板を旋回させることができ、それによってウエ
ハの所望の搬送を行うことができる。
第１図はこの考案の一実施例に係るウエハ搬送装置を示
す図であり、第２図は第１図のリニアモータ部分の線II
−IIに沿う断面図である。
す図であり、第２図は第１図のリニアモータ部分の線II
−IIに沿う断面図である。
この実施例においては、前述したような真空容器６の内
側に立軸形のモータ40を、その回転軸48にリニアモータ
50を、更にその走行子55の先端部に前述したようなウエ
ハ支持板８をそれぞれ取り付けている。
側に立軸形のモータ40を、その回転軸48にリニアモータ
50を、更にその走行子55の先端部に前述したようなウエ
ハ支持板８をそれぞれ取り付けている。
モータ40は、固定子41、その中に収納された回転子45お
よびそれに取り付けられた回転軸48を有しており、固定
子41の内側の上部には第１の固定子巻線42が、内周部に
は第２の固定子巻線43がそれぞれ設けられており、回転
子45の上部には第１の回転子導体46が、外周部には第２
の回転子導体47がそれぞれ設けられている。
よびそれに取り付けられた回転軸48を有しており、固定
子41の内側の上部には第１の固定子巻線42が、内周部に
は第２の固定子巻線43がそれぞれ設けられており、回転
子45の上部には第１の回転子導体46が、外周部には第２
の回転子導体47がそれぞれ設けられている。
この固定子巻線42と回転子導体46は相対向していてスラ
スト側の磁気軸受を構成しており、固定子巻線42に給電
することによって両者間に吸引力が生じ、その吸引力と
回転子45およびそれに取り付けたものの全重量との関係
で所定のギャップが保たれる。
スト側の磁気軸受を構成しており、固定子巻線42に給電
することによって両者間に吸引力が生じ、その吸引力と
回転子45およびそれに取り付けたものの全重量との関係
で所定のギャップが保たれる。
また、固定子巻線43と回転子導体47も相対向していて、
この例ではラジアル側の磁気軸受および回転モータを構
成しており、固定子巻線43に給電することによって両者
間に例えば吸引力および回転力が生じ、それによって回
転子45のセンターを維持すると共にそれを回転させるこ
とができる。
この例ではラジアル側の磁気軸受および回転モータを構
成しており、固定子巻線43に給電することによって両者
間に例えば吸引力および回転力が生じ、それによって回
転子45のセンターを維持すると共にそれを回転させるこ
とができる。
尚、この例では回転子45の下端中心部内に円錐穴49を、
固定子41のそれに対向する位置に円錐体44を設けてお
り、それによって回転子45等を磁気浮上させないときに
それを支持するようにしている。
固定子41のそれに対向する位置に円錐体44を設けてお
り、それによって回転子45等を磁気浮上させないときに
それを支持するようにしている。
一方、リニアモータ50は、上記回転軸48に取り付けられ
た直線状の固定子51およびその中に収められた直線状の
走行子55を有しており、固定子51の内側の底部には第１
の固定子巻線52が、両側部には第２の固定子巻線53がそ
れぞれ設けられており、走行子55の底部には第１の走行
子導体56が、両側部には第２の走行子導体57がそれぞれ
設けられている。
た直線状の固定子51およびその中に収められた直線状の
走行子55を有しており、固定子51の内側の底部には第１
の固定子巻線52が、両側部には第２の固定子巻線53がそ
れぞれ設けられており、走行子55の底部には第１の走行
子導体56が、両側部には第２の走行子導体57がそれぞれ
設けられている。
この固定子巻線52と走行子導体56は相対向していてスラ
スト側の磁気軸受を構成しており、固定子巻線52には給
電することによって両者間に反発力が生じ、その反発力
と走行子55およびそれに取り付けたものの全重量との関
係で走行子55が固定子51から所定距離浮上する。従っ
て、固定子巻線52に対する給電電力を調整して上記反発
力を調整することによって、走行子55を上下動させるこ
ともできる。
スト側の磁気軸受を構成しており、固定子巻線52には給
電することによって両者間に反発力が生じ、その反発力
と走行子55およびそれに取り付けたものの全重量との関
係で走行子55が固定子51から所定距離浮上する。従っ
て、固定子巻線52に対する給電電力を調整して上記反発
力を調整することによって、走行子55を上下動させるこ
ともできる。
また、固定子巻線53と走行子導体57も相対向していて、
この例ではサイド側の磁気軸受およびリニアモータを構
成しており、固定子巻線53に給電することによって両者
間に例えば反発力および直線駆動力が生じ、それによっ
て走行子55が固定子51の側壁に接触しないように保持さ
れると共に走行子55を前後動させることができる。
この例ではサイド側の磁気軸受およびリニアモータを構
成しており、固定子巻線53に給電することによって両者
間に例えば反発力および直線駆動力が生じ、それによっ
て走行子55が固定子51の側壁に接触しないように保持さ
れると共に走行子55を前後動させることができる。
従って上記構成によれば、リニアモータ50の走行子55を
上下動させることによってそれに取り付けたウエハ支持
板８を上下させることができ、同走行子55を前後動させ
ることによって同ウエハ支持板８を前後させることがで
き、かつモータ40を回転させることによってリニアモー
タ50ひいてはそれに取り付けたウエハ支持板８を旋回さ
せることができ、それによって従来例の場合と同様に、
ウエハ２の所望の搬送を行うことができる。
上下動させることによってそれに取り付けたウエハ支持
板８を上下させることができ、同走行子55を前後動させ
ることによって同ウエハ支持板８を前後させることがで
き、かつモータ40を回転させることによってリニアモー
タ50ひいてはそれに取り付けたウエハ支持板８を旋回さ
せることができ、それによって従来例の場合と同様に、
ウエハ２の所望の搬送を行うことができる。
しかもこのウエハ搬送装置においては、従来のものと違
ってボールねじや機械的な軸受等を用いていないので、
発塵が全く無くなり、ウエハ２の汚染の心配も無くな
る。
ってボールねじや機械的な軸受等を用いていないので、
発塵が全く無くなり、ウエハ２の汚染の心配も無くな
る。
また、同じくボールねじや機械的な軸受等を用いていな
いので、真空中で用いるときのそれらの寿命の問題も無
くなる。
いので、真空中で用いるときのそれらの寿命の問題も無
くなる。
また、真空容器６内で全ての駆動力を発生させることが
できるので、真空シール部が不要になり、従ってそれに
おける真空リークの問題も無くなる。
できるので、真空シール部が不要になり、従ってそれに
おける真空リークの問題も無くなる。
更にこのウエハ搬送装置は、各部品をチェーン等の動力
伝達機構を用いずに直接駆動する方式であるため、部品
点数が減り動作の信頼性が向上すると共に、バックラシ
ュ等が無いためウエハ２の位置決め精度も向上する。
伝達機構を用いずに直接駆動する方式であるため、部品
点数が減り動作の信頼性が向上すると共に、バックラシ
ュ等が無いためウエハ２の位置決め精度も向上する。
尚、ウエハ支持板８の形状は、必ずしもフォーク状であ
る必要は無く、単なる板状でも良い。またウエハ支持板
８に、必要に応じて、ウエハ２を吸着する真空チャック
機能を付加しても良い。
る必要は無く、単なる板状でも良い。またウエハ支持板
８に、必要に応じて、ウエハ２を吸着する真空チャック
機能を付加しても良い。
また、このウエハ搬送装置は、真空中のみならず大気中
でも使用することができるのは勿論である。
でも使用することができるのは勿論である。
以上のようにこの考案のウエハ搬送装置においては、機
械的な軸受等を用いていないので、発塵が全く無くな
り、かつ真空中で用いるときのそれらの寿命の問題も無
くなる。
械的な軸受等を用いていないので、発塵が全く無くな
り、かつ真空中で用いるときのそれらの寿命の問題も無
くなる。
また、真空容器内で全ての駆動力を発生させることがで
きるので、真空シール部が不要になり、従ってそれにお
ける真空リークの問題も無くなる。
きるので、真空シール部が不要になり、従ってそれにお
ける真空リークの問題も無くなる。
更に、直接駆動方式を採用しているため、部品点数が減
り動作の信頼性が向上すると共に、バックラッシュ等が
無くなりウエハの位置決め精度も向上する。
り動作の信頼性が向上すると共に、バックラッシュ等が
無くなりウエハの位置決め精度も向上する。
第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ搬送装置を
示す図である。第２図は、第１図のリニアモータ部分の
線II−IIに沿う断面図である。第３図は、従来のウエハ
搬送装置の一例を示す図である。第４図は、ウエハ支持
板の一例を示す平面図である。 ２……ウエハ、６……真空容器、８……ウエハ支持板、
40……立軸形のモータ、41……固定子、45……回転子、
48……回転軸、50……リニアモータ、51……固定子、55
……走行子。
示す図である。第２図は、第１図のリニアモータ部分の
線II−IIに沿う断面図である。第３図は、従来のウエハ
搬送装置の一例を示す図である。第４図は、ウエハ支持
板の一例を示す平面図である。 ２……ウエハ、６……真空容器、８……ウエハ支持板、
40……立軸形のモータ、41……固定子、45……回転子、
48……回転軸、50……リニアモータ、51……固定子、55
……走行子。
Claims (1)
- 【請求項１】立軸形のモータであってそのスラストおよ
びラジアルの軸受に磁気軸受を用いたものと、このモー
タの回転軸に取り付けられた直線状の固定子およびそれ
に磁気的に無接触で支持される直線状の走行子を有して
おり、固定子の内側の底部には第１の固定子巻線が、両
側部には第２の固定子巻線がそれぞれ設けられており、
走行子の底部には第１の走行子導体が、両側部には第２
の走行子導体がそれぞれ設けられており、第１の固定子
巻線と第１の走行子導体は相対向していて走行子を固定
子から浮上させるスラスト側の磁気軸受を構成してお
り、第２の固定子巻線と第２の走行子導体は相対向して
いて走行子が固定子に接触しないように保持するサイド
側の磁気軸受および走行子を直線駆動するモータを構成
しているリニアモータと、このリニアモータの走行子に
取り付けられていてウエハを支持するウエハ支持板とを
備えることを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4589688U JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4589688U JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153638U JPH01153638U (ja) | 1989-10-23 |
| JPH0648845Y2 true JPH0648845Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31272187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4589688U Expired - Lifetime JPH0648845Y2 (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648845Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006518917A (ja) * | 2003-02-21 | 2006-08-17 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | 直線走査モータを用いて注入角度を調整可能にするイオンビーム注入装置用の加工物支持構造体 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3625127B2 (ja) * | 1997-10-24 | 2005-03-02 | シャープ株式会社 | 基板搬送装置並びに真空装置 |
| DE102004037622A1 (de) * | 2004-08-02 | 2006-02-23 | Leybold Optics Gmbh | Prozesssystem sowie Vorrichtung zum Transport von Substraten |
| US8283813B2 (en) * | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
| KR20180014247A (ko) * | 2007-07-17 | 2018-02-07 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치 |
| JP5353107B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2013-11-27 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
| JP2010192685A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| DE102009038756A1 (de) * | 2009-05-28 | 2010-12-09 | Semilev Gmbh | Vorrichtung zur partikelfreien Handhabung von Substraten |
| JP2013243312A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
-
1988
- 1988-04-04 JP JP4589688U patent/JPH0648845Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006518917A (ja) * | 2003-02-21 | 2006-08-17 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | 直線走査モータを用いて注入角度を調整可能にするイオンビーム注入装置用の加工物支持構造体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01153638U (ja) | 1989-10-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4354039B2 (ja) | 駆動装置 | |
| US7578649B2 (en) | Dual arm substrate transport apparatus | |
| JPH0648845Y2 (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| KR880010475A (ko) | 웨이퍼 운반장치 | |
| KR0129582B1 (ko) | 다중 기판 전달 장치 | |
| WO2001034503A1 (en) | Rotating shuttle payload platform | |
| JPH0671041B2 (ja) | 真空室内搬送装置 | |
| JPH0623687A (ja) | ロボット | |
| KR101525056B1 (ko) | 비접촉식 이송 가이드 | |
| US6279490B1 (en) | Epicyclic stage | |
| JP2506356B2 (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| TW200909322A (en) | Substrate transporting device | |
| JPS63114887A (ja) | ワ−ク搬送ロボツト | |
| JP2528677B2 (ja) | 磁気浮上型搬送装置 | |
| CN215557203U (zh) | 一种输送机构 | |
| JPS6144550A (ja) | 回転装置 | |
| JPS62264846A (ja) | 無接触推進装置 | |
| CN217675363U (zh) | 自由分度设备 | |
| JPH0743055Y2 (ja) | キャリア昇降装置 | |
| KR20230107521A (ko) | 기판 이송 및 처리 시스템 | |
| JPH0728691Y2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| CN117819180A (zh) | 一种输送系统 | |
| JPH0130426Y2 (ja) | ||
| JP2591894Y2 (ja) | 部品搬送装置 | |
| JPH04264749A (ja) | ウエハ移送ロボット |