JPH05238683A

JPH05238683A - 磁気浮上エレベータ

Info

Publication number: JPH05238683A
Application number: JP4291492A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Shinozaki; 弘行篠崎
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1992-02-28
Filing date: 1992-02-28
Publication date: 1993-09-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】真空等の雰囲気を汚染せず、且つ寿命が長い
磁気浮上エレベータを提供する。【構成】垂直方向にかかる被支持体の自重量を支持す
る磁気軸受機構を超電導材料１９，２０で構成する。超
電導材料１９，２０を冷却すると、ピン止め効果によ
り、円柱５は永久磁石２１，２２を介して浮上し、円筒
２との間には、環状隙間Ｃが形成される。そこで、駆動
モータを正転してボールスクリュー１３を下方から見て
反時計方向に回転すると、アーム１１、ハウジング４０
を介して超電導材料１９，２０が上動する。よって、永
久磁石２１，２２を介して円柱５が上動し、搬送台４に
載置された被支持体が上昇する。駆動モータを逆転して
ボールスクリュー１２を時計方向に回転すると搬送台４
が降下する。又は、前記磁気軸受機構をラジアル磁気軸
受で構成し、移動用磁気軸受機構に超電導材料を用い
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空等の雰囲気中の搬送
台を非接触で昇降させる磁気浮上エレベータに関する。

【０００２】

【従来の技術】かかるエレベータの一例を図３について
説明する。図において、例えば真空雰囲気の搬送室３０
には、半導体ウエハＷを載置した搬送台３１がリニアベ
アリング３２を介し上下動自在に設けられ、例えばエア
アクチュエータ３３により上下動されるようになってい
る。そして、搬送台３１の周縁部と搬送室の底部との間
には、ベローズ３４が介装され、真空雰囲気が外部から
シールされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の装置に
おいては、搬送台３１の昇降によりベローズ３４が伸縮
する。したがって、ベローズ３４の寿命が他の機構に比
べて短くなり、また、伸縮変形によるベローズの微細粉
が発生し、搬送台３１回りの真空雰囲気を汚染する。ま
た、特願平２−３０６１７６号、特願平３−４３０８７
号にある様な、非接触式のエレベータにおいては、永久
磁石と搬送側、被搬送側の両方にあるため（隔壁内
外）、その吸着力が組立を困難にしていた。

【０００４】本発明は、真空等の雰囲気を汚染しない長
寿命の磁気浮上エレベータを提供することを目的として
いる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、被支持
体を隔壁を介して磁気力により支持し、垂直軸方向に移
動停止位置を決める磁気浮上エレベータにおいて、垂直
軸方向にかかる被支持体の自重量を支持する磁気軸受機
構に超電導材料を用いている。

【０００６】また本発明によれば、被支持体を隔壁を介
して磁気力により支持し、垂直軸方向に移動停止位置を
決める磁気浮上エレベータにおいて、垂直軸方向にかか
る被支持体の自重量を支持する磁気軸受機構をラジアル
磁気軸受で構成し、前記被支持体を移動させる移動用磁
気軸受機構に超電導材料を用いている。

【０００７】前記磁気軸受機構に用いた超電導電磁石、
又は磁気軸受機構を構成するラジアル磁気軸受及び移動
用磁気軸受機構に用いた超電導電磁石は一つのハウジン
グに収めて該ハウジングの上下駆動手段を設け、該上下
駆動手段は、ハウジングにアームを介して連結されたボ
ールナット、ボールスクリュー及びボールスクリューの
駆動モータで構成するのが好ましい。

【０００８】

【作用】上記のように構成された磁気浮上エレベータに
おいては、駆動モータを正逆転しケーシングを介して上
下動すると、被支持体は超電導材料のピン止め効果で支
持されて上下動される。この際、被支持体は隔壁により
外部からシールされて非接触に昇降するので真空雰囲気
等が外部環境により汚染されことはない。

【０００９】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。

【００１０】図１において、真空雰囲気に保持された搬
送室１の底部の透孔１ａには、薄肉非磁性材製の円筒２
が固設され、その円筒２は、ベース３に立設され、内部
の空間は真空雰囲気に保持されている。

【００１１】前記搬送室１内には、搬送台４が設けら
れ、その搬送台４の下面には、円柱５が垂設され、この
円柱５は、円筒２内に環状隙間Ｃを設けて垂下されてい
る。

【００１２】前記円柱５の外周には、上下に被支持体の
自重量を支持する磁気軸受機構である環状の超電導材料
１９、２０が設けられている。これらの磁石１９、２０
は、ハウジング４０に収められており、そのハウジング
には、アーム１１を介してボールナット１２が設けら
れ、このボールナット１２に螺合するボールスクリユー
１３は、図示しない駆動モータにより正逆回転されるよ
うになっている。そして、ボールナット１２、ボールス
クリュー１３及び駆動モータによって、超電導材料１
９、２０の上下動手段が構成される。

【００１３】他方、円柱５には、超電導材料１９、２０
に対向する永久磁石２１、２２が設けられている。

【００１４】次に作用について説明する。

【００１５】超電導材料１９、２０を冷却すると、ピン
止め効果により、円柱５は永久磁石２１、２２を介して
浮上し、円筒２との間には、環状隙間Ｃが形成される。

【００１６】そこで、駆動モータを正転してボールスク
リュー１３を下方から見て反時計方向に回転すると、ア
ーム１１、ハウジング４０を介して超電導材料１９、２
０が上動する。したがって、永久磁石２１、２２を介し
て円柱５が上動し、搬送台４に載置された半導体ウエハ
Ｗ（図３）を上昇させる。前述と逆に、駆動モータを逆
転してボールスクリュー１２を前述と逆に時計方向に回
転すると、搬送台４が降下される。

【００１７】図２には、本発明の別の実施例が示されて
いる。

【００１８】前記円筒２の外周には、上方から順に、浮
上隙間検出用の第１センサ６、磁気軸受機構であるラジ
アル磁気軸受の第１浮上用軸受７、移動用磁気軸受機構
である超電導材料８、第１浮上用軸受７と同様な第２浮
上用軸受９及び第１センサ６と同様な第２センサ１０が
設けられている。前記センサ６、１０は、図示しない制
御ユニットに接続され、その制御ユニットは、センサ
６、１０からの信号に基づき、環状隙間Ｃを常時一定に
保つように磁気軸受７、９の電磁コイル７ａ、９ａに制
御電流を供給するようになっている。そして、これらの
部材であるセンサ６、１０、磁石８、磁気軸受７、９は
ハウジング４０に収められている。

【００１９】円柱５には、それぞれ第１センサ６、浮上
用第１軸受７、浮上用第２軸受９及び第２センサ１０に
対向する第１センサ用磁極１４、第１軸受用磁極１５、
第２軸受用磁極１７及び第２センサ用磁極１８が設けら
れており、他は図１と同様に構成されている。この実施
例でも、前記実施例と同様の作用効果がある。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、真空雰囲気の外部環境による汚染を防止す
ることができる。

【００２１】また、組立に際して永久磁石により不用意
な吸着力は作用せず、組立が容易になる。

【００２２】また、変形する部材をなくし、寿命を長く
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す側断面図。

【図２】本発明の別の実施例を示す側面図。

【図３】従来のエレベータを示す側断面図。

【符号の説明】

Ｃ・・・環状隙間１・・・搬送室２・・・円筒４・・・搬送台５・・・円柱６・・・第１センサ７・・・第１浮上用軸受８・・・超電導材料９・・・第２浮上用軸受１０・・・第２センサ１２・・・ボールナット１３・・・ボールスクリュー１４・・・第１センサ用磁極１５・・・第１軸受用磁極１６・・・昇降用磁極１７・・・第２軸受用磁極１８・・・第２センサ用磁極１９、２０・・・超電導材料２１、２２・・・永久磁石３０・・・搬送室３１・・・搬送台３２・・・リニアベアリング３３・・・アクチュエータ３４・・・ベローズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被支持体を隔壁を介して磁気力により支
持し、垂直軸方向に移動停止位置を決める磁気浮上エレ
ベータにおいて、垂直軸方向にかかる被支持体の自重量
を支持する磁気軸受機構に超電導材料を用いたことを特
徴とする磁気浮上エレベータ。
【請求項２】被支持体を隔壁を介して磁気力により支
持し、垂直軸方向に移動停止位置を決める磁気浮上エレ
ベータにおいて、垂直軸方向にかかる被支持体の自重量
を支持する磁気軸受機構をラジアル磁気軸受で構成し、
前記被支持体を移動させる移動用磁気軸受機構に超電導
材料を用いたことを特徴とする磁気浮上エレベータ。