JPH07176593A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH07176593A JPH07176593A JP5344891A JP34489193A JPH07176593A JP H07176593 A JPH07176593 A JP H07176593A JP 5344891 A JP5344891 A JP 5344891A JP 34489193 A JP34489193 A JP 34489193A JP H07176593 A JPH07176593 A JP H07176593A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- tunnel
- transfer device
- valve
- carrier
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- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバ
ルブのバルブケース内に落ちることを防止することがで
きる搬送装置を提供する。 【構成】 外部雰囲気から遮断した状態で搬送台４を搬
送する互いに気密に接続可能な複数の搬送トンネル３
と、相隣接する搬送トンネル３間に設置され搬送トンネ
ル３と気密に接続可能であり、搬送台４が通過可能なゲ
ートバルブ１５とを備えた搬送装置において、搬送トン
ネル３の内部下面に、接続フランジ３ａ近傍に凹部２１
を設けた。
ルブのバルブケース内に落ちることを防止することがで
きる搬送装置を提供する。 【構成】 外部雰囲気から遮断した状態で搬送台４を搬
送する互いに気密に接続可能な複数の搬送トンネル３
と、相隣接する搬送トンネル３間に設置され搬送トンネ
ル３と気密に接続可能であり、搬送台４が通過可能なゲ
ートバルブ１５とを備えた搬送装置において、搬送トン
ネル３の内部下面に、接続フランジ３ａ近傍に凹部２１
を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係り、特に半
導体製造ラインにおいて半導体ウエハの搬送等に好適に
使用される搬送装置に関する。
導体製造ラインにおいて半導体ウエハの搬送等に好適に
使用される搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造設備のクリーンルーム内の搬
送装置として用いる場合には、被搬送物としては半導体
ウエハである場合が多い。この半導体ウエハに搬送中に
粉塵等の不純物が付着すると歩留りが悪化するので、そ
れを防止するため、軌道及び搬送台を隔壁内に収容して
外部雰囲気から遮断することが提案されている。
送装置として用いる場合には、被搬送物としては半導体
ウエハである場合が多い。この半導体ウエハに搬送中に
粉塵等の不純物が付着すると歩留りが悪化するので、そ
れを防止するため、軌道及び搬送台を隔壁内に収容して
外部雰囲気から遮断することが提案されている。
【０００３】次に、従来の搬送装置を用いた半導体製造
設備の例を図３乃至図５を参照して説明する。図３は半
導体製造設備の概略平面図である。搬送装置１は、非磁
性材からなる隔壁で包囲された搬送トンネル３内で搬送
台４を浮上走行させるように構成されている。そして、
搬送装置１の両側には、スパッタ、ＣＶＤ等の成膜装置
やエッチング装置、露光装置等の複数のプロセス装置５
が配設されている。
設備の例を図３乃至図５を参照して説明する。図３は半
導体製造設備の概略平面図である。搬送装置１は、非磁
性材からなる隔壁で包囲された搬送トンネル３内で搬送
台４を浮上走行させるように構成されている。そして、
搬送装置１の両側には、スパッタ、ＣＶＤ等の成膜装置
やエッチング装置、露光装置等の複数のプロセス装置５
が配設されている。
【０００４】図４は図３の搬送装置のＡ−Ａ線断面図で
あり、図４に示されるように、内部が真空状態の搬送ト
ンネル３の上方には制御用電磁石６及び電磁ブレーキ７
が固設されている。一方、搬送トンネル３の下方には、
変位センサ８及びリニアモータ９が固設されている。
あり、図４に示されるように、内部が真空状態の搬送ト
ンネル３の上方には制御用電磁石６及び電磁ブレーキ７
が固設されている。一方、搬送トンネル３の下方には、
変位センサ８及びリニアモータ９が固設されている。
【０００５】搬送台４はアルミニウムからなる外郭部材
１０を備えており、この外郭部材１０はリニアモータ９
と対向する部分で二次導体を構成し、搬送台４は図４の
紙面に対して垂直方向に付勢されるようになっている。
搬送台４の外郭部材１０には、上部両側に磁性材料から
なる板状部材１１，１１が設けられている。また搬送台
４内には載置部材１２が設けられており、この載置部材
１２によって半導体ウエハ１３が移動中に破損しないよ
うに拘束されている。
１０を備えており、この外郭部材１０はリニアモータ９
と対向する部分で二次導体を構成し、搬送台４は図４の
紙面に対して垂直方向に付勢されるようになっている。
搬送台４の外郭部材１０には、上部両側に磁性材料から
なる板状部材１１，１１が設けられている。また搬送台
４内には載置部材１２が設けられており、この載置部材
１２によって半導体ウエハ１３が移動中に破損しないよ
うに拘束されている。
【０００６】前記制御用電磁石６に相対して配置された
変位センサ８は、センサ８から搬送台４までの垂直方向
距離を検出し、検出結果を図示しない浮上制御装置へ出
力する。そして、浮上制御装置は変位センサ８からの出
力に応答して、制御用電磁石６に供給される電流を増減
し、外郭部材１０の板状部材１１に作用する磁気的吸引
力を制御する。以て搬送台４を垂直方向に非接触にて安
定して浮上させることができるようになっている。
変位センサ８は、センサ８から搬送台４までの垂直方向
距離を検出し、検出結果を図示しない浮上制御装置へ出
力する。そして、浮上制御装置は変位センサ８からの出
力に応答して、制御用電磁石６に供給される電流を増減
し、外郭部材１０の板状部材１１に作用する磁気的吸引
力を制御する。以て搬送台４を垂直方向に非接触にて安
定して浮上させることができるようになっている。
【０００７】また制御用電磁石６，６の中央に設けられ
た電磁ブレーキ７は、搬送台４に固定されたブレーキタ
ーゲット（図示せず）と共磁路を形成し、磁気剪断力に
より搬送台４の位置決めを行うようになっている。
た電磁ブレーキ７は、搬送台４に固定されたブレーキタ
ーゲット（図示せず）と共磁路を形成し、磁気剪断力に
より搬送台４の位置決めを行うようになっている。
【０００８】図５は図３のＢ−Ｂ線断面図である。図５
に示されるように、相隣接する搬送トンネル３，３間に
はゲートバルブ１５が設置されている。ゲートバルブ１
５は、バルブケース１６の開口１６ａを開閉するバルブ
板１７と、このバルブ板１７を保持しているバルブステ
ム１８と、このバルブ板１７及びバルブステム１８を往
復動させるためのアクチュエータ１９とからなり、バル
ブステム１８はベローズ２０によって囲まれている。
に示されるように、相隣接する搬送トンネル３，３間に
はゲートバルブ１５が設置されている。ゲートバルブ１
５は、バルブケース１６の開口１６ａを開閉するバルブ
板１７と、このバルブ板１７を保持しているバルブステ
ム１８と、このバルブ板１７及びバルブステム１８を往
復動させるためのアクチュエータ１９とからなり、バル
ブステム１８はベローズ２０によって囲まれている。
【０００９】上記構成のゲートバルブ１５によって、プ
ロセス装置５から搬送トンネル４に向かってガスが洩れ
たりした緊急の場合等に、搬送トンネル３を遮断するこ
とが可能になっている。
ロセス装置５から搬送トンネル４に向かってガスが洩れ
たりした緊急の場合等に、搬送トンネル３を遮断するこ
とが可能になっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前述した構成の搬送装
置においては、ウエハの移載時等に、被搬送物である半
導体ウエハの破片等が搬送トンネル内の下面に落ちてし
まう場合がある。一方、搬送装置が図４及び図５に示す
ような磁気浮上搬送装置の場合には、搬送トンネル３の
内面下面と、搬送台４の下面との隙間は、１mmと非常に
狭く、厚さ０．６mmから０．８mmの半導体ウエハの破片
が下に落ちていると、搬送台４が半導体ウエハの破片を
引きずって走る場合もある。
置においては、ウエハの移載時等に、被搬送物である半
導体ウエハの破片等が搬送トンネル内の下面に落ちてし
まう場合がある。一方、搬送装置が図４及び図５に示す
ような磁気浮上搬送装置の場合には、搬送トンネル３の
内面下面と、搬送台４の下面との隙間は、１mmと非常に
狭く、厚さ０．６mmから０．８mmの半導体ウエハの破片
が下に落ちていると、搬送台４が半導体ウエハの破片を
引きずって走る場合もある。
【００１１】また、搬送トンネル３，３の中間にはゲー
トバルブ１５が設置されており、引きずられた半導体ウ
エハの破片は、図５に示すように、バルブケース１６の
中に落ちてしまう。そのため、半導体ウエハの破片等が
バルブステム１８とベローズ２０との間に引っ掛かっ
て、バルブが作動不良を起こしたり、バルブ板１７のシ
ールに付着して気密性不良を起こしたりする問題が生じ
た。
トバルブ１５が設置されており、引きずられた半導体ウ
エハの破片は、図５に示すように、バルブケース１６の
中に落ちてしまう。そのため、半導体ウエハの破片等が
バルブステム１８とベローズ２０との間に引っ掛かっ
て、バルブが作動不良を起こしたり、バルブ板１７のシ
ールに付着して気密性不良を起こしたりする問題が生じ
た。
【００１２】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバルブの
バルブケース内に落ちることを防止することができる搬
送装置を提供することを目的とする。
で、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバルブの
バルブケース内に落ちることを防止することができる搬
送装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の搬送装置は、外部雰囲気から遮断した状
態で搬送台を搬送する互いに気密に接続可能な複数の搬
送トンネルと、相隣接する搬送トンネル間に設置され該
搬送トンネルと気密に接続可能であり、前記搬送台が通
過可能なゲートバルブとを備えた搬送装置において、前
記搬送トンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部
を設けたことを特徴とするものである。
ため、本発明の搬送装置は、外部雰囲気から遮断した状
態で搬送台を搬送する互いに気密に接続可能な複数の搬
送トンネルと、相隣接する搬送トンネル間に設置され該
搬送トンネルと気密に接続可能であり、前記搬送台が通
過可能なゲートバルブとを備えた搬送装置において、前
記搬送トンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部
を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、搬送ト
ンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部を設けた
ため、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバルブ
のバルブケース内に落ちる前に、前記凹部に捕捉するこ
とができる。したがって、被搬送物の破片等がバルブス
テムとベローズとの間に引っ掛かってバルブが作動不良
を起こしたり、バルブ板のシールに付着して気密性不良
を起こしたりすることがない。
ンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部を設けた
ため、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバルブ
のバルブケース内に落ちる前に、前記凹部に捕捉するこ
とができる。したがって、被搬送物の破片等がバルブス
テムとベローズとの間に引っ掛かってバルブが作動不良
を起こしたり、バルブ板のシールに付着して気密性不良
を起こしたりすることがない。
【００１５】
【実施例】以下、本発明に係る搬送装置の一実施例を図
１及び図２を参照して説明する。図１及び図２におい
て、図３乃至図５の構成要素と同一の作用及び機能を有
する構成要素は同一符号を付して説明する。
１及び図２を参照して説明する。図１及び図２におい
て、図３乃至図５の構成要素と同一の作用及び機能を有
する構成要素は同一符号を付して説明する。
【００１６】本発明に係る搬送装置１は、図３に示す従
来例と同様な平面的な構成になっているため、図３を参
照して説明すると、非磁性材からなる隔壁で包囲された
搬送トンネル３内で搬送台４を浮上走行させるように構
成されている。そして、搬送装置１の両側には、スパッ
タ、ＣＶＤ等の成膜装置やエッチング装置、露光装置等
の複数のプロセス装置５が配設されている。図１は図３
の搬送装置のＡ−Ａ線断面図であり、図１に示されるよ
うに、内部が真空状態の搬送トンネル３の上方には制御
用電磁石６及び電磁ブレーキ７が固設されている。一
方、搬送トンネル３の下方には、変位センサ８及びリニ
アモータ９が固設されている。搬送トンネル３はキャン
化されており、その内部は真空状態になっている。
来例と同様な平面的な構成になっているため、図３を参
照して説明すると、非磁性材からなる隔壁で包囲された
搬送トンネル３内で搬送台４を浮上走行させるように構
成されている。そして、搬送装置１の両側には、スパッ
タ、ＣＶＤ等の成膜装置やエッチング装置、露光装置等
の複数のプロセス装置５が配設されている。図１は図３
の搬送装置のＡ−Ａ線断面図であり、図１に示されるよ
うに、内部が真空状態の搬送トンネル３の上方には制御
用電磁石６及び電磁ブレーキ７が固設されている。一
方、搬送トンネル３の下方には、変位センサ８及びリニ
アモータ９が固設されている。搬送トンネル３はキャン
化されており、その内部は真空状態になっている。
【００１７】搬送台４はアルミニウムからなる外郭部材
１０を備えており、この外郭部材１０はリニアモータ９
と対向する部分で二次導体を構成し、搬送台４は図１の
紙面に対して垂直方向に付勢されるようになっている。
搬送台４の外郭部材１０には、上部両側に磁性材料から
なる板状部材１１，１１が設けられている。また搬送台
４内には載置部材１２が設けられており、この載置部材
１２によって半導体ウエハ１３が移動中に破損しないよ
うに拘束されている。
１０を備えており、この外郭部材１０はリニアモータ９
と対向する部分で二次導体を構成し、搬送台４は図１の
紙面に対して垂直方向に付勢されるようになっている。
搬送台４の外郭部材１０には、上部両側に磁性材料から
なる板状部材１１，１１が設けられている。また搬送台
４内には載置部材１２が設けられており、この載置部材
１２によって半導体ウエハ１３が移動中に破損しないよ
うに拘束されている。
【００１８】前記制御用電磁石６に相対して配置された
変位センサ８は、センサ８から搬送台４までの垂直方向
距離を検出し、検出結果を図示しない浮上制御装置へ出
力する。そして、浮上制御装置は変位センサ８からの出
力に応答して、制御用電磁石６に供給される電流を増減
し、外郭部材１０の板状部材１１に作用する磁気的吸引
力を制御する。以て搬送台４を垂直方向に非接触にて安
定して浮上させることができるようになっている。
変位センサ８は、センサ８から搬送台４までの垂直方向
距離を検出し、検出結果を図示しない浮上制御装置へ出
力する。そして、浮上制御装置は変位センサ８からの出
力に応答して、制御用電磁石６に供給される電流を増減
し、外郭部材１０の板状部材１１に作用する磁気的吸引
力を制御する。以て搬送台４を垂直方向に非接触にて安
定して浮上させることができるようになっている。
【００１９】また制御用電磁石６，６の中央に設けられ
た電磁ブレーキ７は、搬送台４に固定されたブレーキタ
ーゲット（図示せず）と共磁路を形成し、磁気剪断力に
より搬送台４の位置決めを行うようになっている。な
お、符号２５は非常用車輪である。
た電磁ブレーキ７は、搬送台４に固定されたブレーキタ
ーゲット（図示せず）と共磁路を形成し、磁気剪断力に
より搬送台４の位置決めを行うようになっている。な
お、符号２５は非常用車輪である。
【００２０】図２は本発明の搬送装置における搬送トン
ネル３の詳細を示す図であり、図２（ａ）はその斜視
図、図２（ｂ）はその断面図である。図２から明らかな
ように、搬送トンネル３の内部下面には、接続フランジ
３ａの近傍に凹部２１が形成されている。この凹部２１
は図１から明らかなように、搬送台４の幅とほぼ等しい
幅ｌに形成されている。また、凹部２１はゲートバルブ
１５に相対する搬送トンネル３に設けられている。
ネル３の詳細を示す図であり、図２（ａ）はその斜視
図、図２（ｂ）はその断面図である。図２から明らかな
ように、搬送トンネル３の内部下面には、接続フランジ
３ａの近傍に凹部２１が形成されている。この凹部２１
は図１から明らかなように、搬送台４の幅とほぼ等しい
幅ｌに形成されている。また、凹部２１はゲートバルブ
１５に相対する搬送トンネル３に設けられている。
【００２１】従って、搬送台４によって半導体ウエハ１
３を搬送中に、半導体ウエハ１３が破損しても、半導体
ウエハ１３の破片はこの凹部２１に捕捉される。そのた
め、図５に示すゲートバルブ１５のバルブケース１６内
に半導体ウエハ１３の破片が落下する恐れがなく、半導
体ウエハ１３の破片がバルブステム１８とベローズ２０
との間に引っ掛かって、バルブが作動不良を起こした
り、バルブ板１７のシールに付着して気密性不良を起こ
したりすることがない。
３を搬送中に、半導体ウエハ１３が破損しても、半導体
ウエハ１３の破片はこの凹部２１に捕捉される。そのた
め、図５に示すゲートバルブ１５のバルブケース１６内
に半導体ウエハ１３の破片が落下する恐れがなく、半導
体ウエハ１３の破片がバルブステム１８とベローズ２０
との間に引っ掛かって、バルブが作動不良を起こした
り、バルブ板１７のシールに付着して気密性不良を起こ
したりすることがない。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送トンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部を設
けたため、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバ
ルブのバルブケース内に落ちる前に、前記凹部に捕捉す
ることができる。したがって、半導体ウエハ等の被搬送
物の破片等がバルブステムとベローズとの間に引っ掛か
ってバルブが作動不良を起こしたり、バルブ板のシール
に付着して気密性不良を起こしたりすることがない。
送トンネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部を設
けたため、半導体ウエハ等の被搬送物の破片がゲートバ
ルブのバルブケース内に落ちる前に、前記凹部に捕捉す
ることができる。したがって、半導体ウエハ等の被搬送
物の破片等がバルブステムとベローズとの間に引っ掛か
ってバルブが作動不良を起こしたり、バルブ板のシール
に付着して気密性不良を起こしたりすることがない。
【図１】本発明に係る搬送装置の断面図である。
【図２】本発明に係る搬送装置における搬送トンネルの
詳細を示す図であり、図２（ａ）は搬送トンネルの斜視
図、図２（ｂ）は搬送トンネルの断面図である。
詳細を示す図であり、図２（ａ）は搬送トンネルの斜視
図、図２（ｂ）は搬送トンネルの断面図である。
【図３】従来の搬送装置を用いた半導体製造装置の概略
平面図である。
平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
１ 搬送装置 ３ 搬送トンネル ４ 搬送台 ５ プロセス装置 ６ 制御用電磁石 ７ 電磁ブレーキ ８ 変位センサ ９ リニアモータ １０ 外郭部材 １１ 板状部材 １２ 載置部材 １３ 半導体ウエハ １５ ゲートバルブ １６ バルブケース １７ バルブ板 １８ バルブステム ２０ ベローズ ２１ 凹部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６１Ｄ 27/00 Ｓ Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｃ Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ (72)発明者 吉岡 毅 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 外部雰囲気から遮断した状態で搬送台を
搬送する互いに気密に接続可能な複数の搬送トンネル
と、相隣接する搬送トンネル間に設置され該搬送トンネ
ルと気密に接続可能であり、前記搬送台が通過可能なゲ
ートバルブとを備えた搬送装置において、前記搬送トン
ネルの内部下面に、接続フランジ近傍に凹部を設けたこ
とを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記凹部は前記ゲートバルブに対して相
対する搬送トンネルに設けられていることを特徴とする
請求項１記載の搬送装置。 - 【請求項３】 前記搬送装置は、前記搬送台を浮上させ
るための複数の磁極と、前記搬送台と軌道との隙間を測
定するセンサと、該センサの出力と目標値との差に応じ
て前記磁極に流す電流を制御する制御装置と、推進力を
発生するリニアモータとを含む磁気浮上型搬送装置であ
ることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。 - 【請求項４】 前記センサ、前記磁極及び前記リニアモ
ータが前記搬送トンネルの外側に配置されていることを
特徴とする請求項３記載の搬送装置。 - 【請求項５】 前記搬送トンネルはキャン化されている
ことを特徴とする請求項４記載の搬送装置。 - 【請求項６】 前記搬送トンネル内は真空であることを
特徴とする請求項１記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5344891A JPH07176593A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5344891A JPH07176593A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07176593A true JPH07176593A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18372799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5344891A Pending JPH07176593A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07176593A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1535313A2 (en) * | 2002-07-22 | 2005-06-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| JP2008516457A (ja) * | 2004-10-09 | 2008-05-15 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理装置 |
| KR101335643B1 (ko) * | 2011-12-07 | 2013-12-03 | 한국기계연구원 | 무동력 트레이를 갖는 자기부상 반송장치 |
| KR20150145082A (ko) * | 2014-06-18 | 2015-12-29 | (주)한화 | 이송 장치 |
| US9570330B2 (en) | 2002-07-22 | 2017-02-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| CN112218971A (zh) * | 2018-05-24 | 2021-01-12 | 应用材料公司 | 用于运输载体的磁悬浮系统、用于磁悬浮系统的载体、用于竖直处理基板的处理系统以及运输载体的方法 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP5344891A patent/JPH07176593A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1535313A2 (en) * | 2002-07-22 | 2005-06-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| JP2005534176A (ja) * | 2002-07-22 | 2005-11-10 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理装置 |
| EP1535313A4 (en) * | 2002-07-22 | 2010-05-26 | Brooks Automation Inc | APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATES |
| JP4712379B2 (ja) * | 2002-07-22 | 2011-06-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理装置 |
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| US8827617B2 (en) * | 2002-07-22 | 2014-09-09 | Brooks Automation Inc. | Substrate processing apparatus |
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