JPH07108160A - トンネル搬送装置 - Google Patents
トンネル搬送装置Info
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- JPH07108160A JPH07108160A JP27615193A JP27615193A JPH07108160A JP H07108160 A JPH07108160 A JP H07108160A JP 27615193 A JP27615193 A JP 27615193A JP 27615193 A JP27615193 A JP 27615193A JP H07108160 A JPH07108160 A JP H07108160A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 処理装置の配置の変更に対して、フレキシブ
ルに対応することのできるトンネル搬送装置を提供す
る。 【構成】 トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送台車
を備え、該搬送台車をトンネル外部から離隔して加速／
減速及び走行停止制御するトンネル搬送装置において、
前記トンネルは複数のトンネルユニット２１，２２の結
合によって構成され、各トンネルユニットは相互に接続
するためのフランジを備え、前記被搬送物の搬送方向に
対して前記トンネルユニット両端のフランジ間の間隔が
一定の加速／減速手段及び走行停止制御手段を備えた停
止トンネルユニット２１と、前記フランジ間の間隔が可
変の加速／減速手段のみを備えた通過トンネルユニット
２２の選択組み合わせにより、前記トンネル搬送路が形
成された。
ルに対応することのできるトンネル搬送装置を提供す
る。 【構成】 トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送台車
を備え、該搬送台車をトンネル外部から離隔して加速／
減速及び走行停止制御するトンネル搬送装置において、
前記トンネルは複数のトンネルユニット２１，２２の結
合によって構成され、各トンネルユニットは相互に接続
するためのフランジを備え、前記被搬送物の搬送方向に
対して前記トンネルユニット両端のフランジ間の間隔が
一定の加速／減速手段及び走行停止制御手段を備えた停
止トンネルユニット２１と、前記フランジ間の間隔が可
変の加速／減速手段のみを備えた通過トンネルユニット
２２の選択組み合わせにより、前記トンネル搬送路が形
成された。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はトンネル搬送装置に係
り、特に半導体製造等に用いられる、外気から遮断され
た清浄雰囲気のトンネル内を、半導体ウエハ等の被搬送
物を搬送台車に搭載して搬送する搬送装置に関するもの
である。
り、特に半導体製造等に用いられる、外気から遮断され
た清浄雰囲気のトンネル内を、半導体ウエハ等の被搬送
物を搬送台車に搭載して搬送する搬送装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造等に関しては、最近、粒子汚
染を防ぐため、或いは酸化等の分子汚染を防ぐために、
ウエハ等の被処理物を、外気に晒すことなく搬送する必
要がでてきている。その１つの方法として、内部にウエ
ハ等を搭載した搬送台車が走行するトンネルで複数の処
理装置間をつなぎ、ウエハを搬送する試みがある。この
ようなトンネル搬送装置の一例が、例えば特開平１−２
２８５３０号公報に開示されている。
染を防ぐため、或いは酸化等の分子汚染を防ぐために、
ウエハ等の被処理物を、外気に晒すことなく搬送する必
要がでてきている。その１つの方法として、内部にウエ
ハ等を搭載した搬送台車が走行するトンネルで複数の処
理装置間をつなぎ、ウエハを搬送する試みがある。この
ようなトンネル搬送装置の一例が、例えば特開平１−２
２８５３０号公報に開示されている。
【０００３】又、この一環としてトンネル内部で粒子汚
染を発生させることのない、トンネル隔壁との機械的な
接触なしに搬送台車を走行させ、ウエハ等を搬送できる
磁気浮上搬送装置が開発されており、これは本出願人に
より特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３／００９３０に詳細に説
明されている。この装置は、例えば十文字方向の分岐搬
送路を備え、主搬送路を走行する搬送台車を直交方向の
分岐搬送路に方向転換して走行させることができる。
又、浮上用電磁石、磁極センサ等ガス発生のおそれがあ
る浮上制御手段及び走行停止制御手段はトンネル外部の
大気側に配置され、キャン化された薄い隔壁を通してト
ンネル内部にある搬送台車を浮上制御、及び走行停止制
御する特徴がある。
染を発生させることのない、トンネル隔壁との機械的な
接触なしに搬送台車を走行させ、ウエハ等を搬送できる
磁気浮上搬送装置が開発されており、これは本出願人に
より特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３／００９３０に詳細に説
明されている。この装置は、例えば十文字方向の分岐搬
送路を備え、主搬送路を走行する搬送台車を直交方向の
分岐搬送路に方向転換して走行させることができる。
又、浮上用電磁石、磁極センサ等ガス発生のおそれがあ
る浮上制御手段及び走行停止制御手段はトンネル外部の
大気側に配置され、キャン化された薄い隔壁を通してト
ンネル内部にある搬送台車を浮上制御、及び走行停止制
御する特徴がある。
【０００４】従来、トンネル搬送装置は図５に示すよう
に、複数のトンネルユニット１１がその両端部のフラン
ジ１２により相互に結合されていた。トンネル搬送装置
１０内には、図示しない搬送台車がウエハ等の被搬送物
を搭載してトンネル内を走行移動する。トンネルユニッ
トは、それぞれ基準長さを決め、その一部分に搬送台車
の位置決め／停止機構及び発進機構１７を取り付けてい
た。又、トンネルユニットの各所に搬送台車の加速／減
速機構を取り付けていた。
に、複数のトンネルユニット１１がその両端部のフラン
ジ１２により相互に結合されていた。トンネル搬送装置
１０内には、図示しない搬送台車がウエハ等の被搬送物
を搭載してトンネル内を走行移動する。トンネルユニッ
トは、それぞれ基準長さを決め、その一部分に搬送台車
の位置決め／停止機構及び発進機構１７を取り付けてい
た。又、トンネルユニットの各所に搬送台車の加速／減
速機構を取り付けていた。
【０００５】トンネル搬送装置１０は、バルブ１３を介
して分岐トンネル搬送装置１５に接続され、分岐トンネ
ル搬送装置１５はバルブ１３を介してプロセス装置１４
に接続されている。プロセス装置１４で半導体微細加工
の一工程が終了したウエハは、図示しない搬送台車に搭
載されて分岐トンネル搬送装置１５及び主トンネル搬送
装置１０を通って他のプロセス装置に搬送され、次の工
程のプロセス処理が行われる。
して分岐トンネル搬送装置１５に接続され、分岐トンネ
ル搬送装置１５はバルブ１３を介してプロセス装置１４
に接続されている。プロセス装置１４で半導体微細加工
の一工程が終了したウエハは、図示しない搬送台車に搭
載されて分岐トンネル搬送装置１５及び主トンネル搬送
装置１０を通って他のプロセス装置に搬送され、次の工
程のプロセス処理が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一方、半導体製造にお
いては、微細加工のプロセス処理装置等がどんどん新し
いものに置き換えられたりするため、工場内の装置のレ
イアウトが変わったり拡張されることが、随時発生す
る。そのため、これら処理装置をつなぐトンネル搬送装
置には、これらのレイアウトの変更／拡張等に柔軟に対
応できる能力が要求される。しかしながらこのようなト
ンネル搬送装置の場合には、処理装置の配置が後で変更
になると、トンネル搬送装置の主要部分をほとんど取り
替えなくてはならない。
いては、微細加工のプロセス処理装置等がどんどん新し
いものに置き換えられたりするため、工場内の装置のレ
イアウトが変わったり拡張されることが、随時発生す
る。そのため、これら処理装置をつなぐトンネル搬送装
置には、これらのレイアウトの変更／拡張等に柔軟に対
応できる能力が要求される。しかしながらこのようなト
ンネル搬送装置の場合には、処理装置の配置が後で変更
になると、トンネル搬送装置の主要部分をほとんど取り
替えなくてはならない。
【０００７】本発明は、係る従来技術の問題点に鑑みて
なされたものであり、処理装置の配置の変更に対して、
フレキシブルに対応することのできるトンネル搬送装置
を提供することを目的とする。
なされたものであり、処理装置の配置の変更に対して、
フレキシブルに対応することのできるトンネル搬送装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のトンネル搬送装
置は、トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送台車を備
え、該搬送台車をトンネル外部から離隔して加速／減速
及び走行停止制御するトンネル搬送装置において、前記
トンネルは複数のトンネルユニットの結合によって構成
され、各トンネルユニットは相互に接続するためのフラ
ンジを備え、前記被搬送物の搬送方向に対して前記トン
ネルユニット両端のフランジ間の間隔が一定の加速／減
速手段及び走行停止制御手段を備えた停止トンネルユニ
ットと、前記フランジ間の間隔が可変の加速／減速手段
のみを備えた通過トンネルユニットの選択組み合わせに
より、前記トンネル搬送路が形成されたものである。
置は、トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送台車を備
え、該搬送台車をトンネル外部から離隔して加速／減速
及び走行停止制御するトンネル搬送装置において、前記
トンネルは複数のトンネルユニットの結合によって構成
され、各トンネルユニットは相互に接続するためのフラ
ンジを備え、前記被搬送物の搬送方向に対して前記トン
ネルユニット両端のフランジ間の間隔が一定の加速／減
速手段及び走行停止制御手段を備えた停止トンネルユニ
ットと、前記フランジ間の間隔が可変の加速／減速手段
のみを備えた通過トンネルユニットの選択組み合わせに
より、前記トンネル搬送路が形成されたものである。
【０００９】
【作用】従って、例えば搬送方向の分岐の追加が生じて
も停止トンネルユニットを交換するだけで対応でき、装
置レイアウトの変更を最小限に済ませることができる。
も停止トンネルユニットを交換するだけで対応でき、装
置レイアウトの変更を最小限に済ませることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について添付図面を参
照しながら、詳細に説明する。
照しながら、詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の第１実施例のトンネル搬
送装置の全体構成図である。搬送トンネル１０は、搬送
台車の停止部分は全て一定の長さＬA の直線型停止トン
ネルユニット２１で構成され、その停止トンネルユニッ
ト２１間はプロセス装置の配置に合わせた通過トンネル
ユニット２２でつながれている。直線型停止トンネルユ
ニット２１にはその横壁にプロセス装置１４と気密に接
続するための図示しない開口部を有した接続フランジ２
３を備えている。この開口部を経由して、ウエハ等の被
搬送物を搬送台車からプロセス装置へ、あるいはこの逆
にウエハ等は移送される。
送装置の全体構成図である。搬送トンネル１０は、搬送
台車の停止部分は全て一定の長さＬA の直線型停止トン
ネルユニット２１で構成され、その停止トンネルユニッ
ト２１間はプロセス装置の配置に合わせた通過トンネル
ユニット２２でつながれている。直線型停止トンネルユ
ニット２１にはその横壁にプロセス装置１４と気密に接
続するための図示しない開口部を有した接続フランジ２
３を備えている。この開口部を経由して、ウエハ等の被
搬送物を搬送台車からプロセス装置へ、あるいはこの逆
にウエハ等は移送される。
【００１２】通過トンネルユニット２２では搬送台車は
停止することなく通過するのみなので、搬送台車の加速
／減速機構のみが備えられている。これに対して停止ト
ンネルユニット２１には、加速／減速機構に加えて、搬
送台車を所定の位置に停止及びその位置に保持するため
の、停止／位置決め機構及び発進機構が付加されてい
る。これは搬送台車とプロセス装置１４間でウエハ等の
被搬送物の受け渡しを行うため等に搬送台車の停止が必
要だからである。
停止することなく通過するのみなので、搬送台車の加速
／減速機構のみが備えられている。これに対して停止ト
ンネルユニット２１には、加速／減速機構に加えて、搬
送台車を所定の位置に停止及びその位置に保持するため
の、停止／位置決め機構及び発進機構が付加されてい
る。これは搬送台車とプロセス装置１４間でウエハ等の
被搬送物の受け渡しを行うため等に搬送台車の停止が必
要だからである。
【００１３】図２及び図３には、本発明によるトンネル
ユニットの構成を示す。図２は通過トンネルユニットの
詳細を示している。搬送方向の両端に他のトンネルと接
続する為のフランジ２４を備える。この両フランジ２４
の間隔（Ｌ）は装置の配置に合わせて、自由に変えるこ
とができる。通過トンネルユニット２２には、浮上用電
磁石の磁極２５等の搬送台車の浮上機構及び搬送台車を
走行させる図示しないリニアモータ等の加速／減速機構
が備えられている。
ユニットの構成を示す。図２は通過トンネルユニットの
詳細を示している。搬送方向の両端に他のトンネルと接
続する為のフランジ２４を備える。この両フランジ２４
の間隔（Ｌ）は装置の配置に合わせて、自由に変えるこ
とができる。通過トンネルユニット２２には、浮上用電
磁石の磁極２５等の搬送台車の浮上機構及び搬送台車を
走行させる図示しないリニアモータ等の加速／減速機構
が備えられている。
【００１４】一方図３には、各種の停止トンネルユニッ
トが示されている。停止トンネルユニットは、（Ａ）に
示す直線型停止トンネルユニット、（Ｂ）に示す十文字
型トンネルユニット、（Ｃ）に示すＬ型トンネルユニッ
ト、（Ｄ）に示すＴ型トンネルユニット、（Ｅ）に示す
エレベータ型トンネルユニット等がある。これら各種形
状のトンネル停止ユニットは全て相互に置き換え可能と
するようにインタフェースが統一されている。即ち、主
搬送路方向の両フランジ２４間の間隔ＬA は一定で共通
の寸法となっている。勿論、フランジ２４の開口部の寸
法等は全て共通となっている。（Ｅ）に示すエレベータ
型停止トンネルユニットにおいては、主搬送路方向の両
フランジ２４間の間隔の投影面の長さＬA が共通の寸法
となっている。これらの停止トンネルユニットには、そ
れぞれ搬送台車の停止点に停止／位置決め機構及び発進
機構２７を備えている。
トが示されている。停止トンネルユニットは、（Ａ）に
示す直線型停止トンネルユニット、（Ｂ）に示す十文字
型トンネルユニット、（Ｃ）に示すＬ型トンネルユニッ
ト、（Ｄ）に示すＴ型トンネルユニット、（Ｅ）に示す
エレベータ型トンネルユニット等がある。これら各種形
状のトンネル停止ユニットは全て相互に置き換え可能と
するようにインタフェースが統一されている。即ち、主
搬送路方向の両フランジ２４間の間隔ＬA は一定で共通
の寸法となっている。勿論、フランジ２４の開口部の寸
法等は全て共通となっている。（Ｅ）に示すエレベータ
型停止トンネルユニットにおいては、主搬送路方向の両
フランジ２４間の間隔の投影面の長さＬA が共通の寸法
となっている。これらの停止トンネルユニットには、そ
れぞれ搬送台車の停止点に停止／位置決め機構及び発進
機構２７を備えている。
【００１５】Ｌ型、Ｔ型、又は十文字型の分岐搬送路を
有する停止トンネルユニットにおいては、分岐搬送路の
分岐部の位置は、主搬送路方向の両端のフランジから共
通の同一位置に設けられている。即ち、図３（Ｂ）に示
す十文字型トンネルにおいては、主搬送路方向の両フラ
ンジ間の間隔ＬA に対して０．５ＬA の位置に分岐搬送
路中心が設けられている。図３（Ｃ）に示すＬ字型停止
トンネルユニット及び（Ｄ）に示すＴ字型停止トンネル
ユニットにおいても、いずれも分岐搬送路は主搬送路方
向の両フランジ間の間隔ＬA に対して０．５ＬA の位置
に分岐搬送路の中心が設けられている。尚、本実施例に
おいては分岐搬送路の主搬送路方向に対する分岐位置
は、主搬送路両端のフランジ間の中心としたが、フラン
ジ面から０．５ＬA の位置に限らず一定の統一された位
置であれば差し支えない。
有する停止トンネルユニットにおいては、分岐搬送路の
分岐部の位置は、主搬送路方向の両端のフランジから共
通の同一位置に設けられている。即ち、図３（Ｂ）に示
す十文字型トンネルにおいては、主搬送路方向の両フラ
ンジ間の間隔ＬA に対して０．５ＬA の位置に分岐搬送
路中心が設けられている。図３（Ｃ）に示すＬ字型停止
トンネルユニット及び（Ｄ）に示すＴ字型停止トンネル
ユニットにおいても、いずれも分岐搬送路は主搬送路方
向の両フランジ間の間隔ＬA に対して０．５ＬA の位置
に分岐搬送路の中心が設けられている。尚、本実施例に
おいては分岐搬送路の主搬送路方向に対する分岐位置
は、主搬送路両端のフランジ間の中心としたが、フラン
ジ面から０．５ＬA の位置に限らず一定の統一された位
置であれば差し支えない。
【００１６】同様に十文字型、Ｌ型、Ｔ型の分岐搬送路
を有する停止トンネルユニットにおいて、分岐搬送路の
フランジ２８の位置は、主搬送路の中心から共通の同一
の離隔距離に配置されている。即ち、（Ｂ）に示す十文
字型においては、分岐搬送路のフランジ２８は主搬送路
の中心位置から距離ＬB だけ離隔している。同様に、
（Ｃ）に示すＬ字型、（Ｄ）に示すＴ字型においてもそ
れぞれ分岐搬送路のフランジ２８の面は、それぞれ主搬
送路の中心位置から距離ＬB だけ離隔した位置に配置さ
れている。これらの分岐搬送路のフランジ面２８の主搬
送路の中心線からの離隔位置ＬB は、０．５ＬA とする
ことにより十文字型及びＬ字型停止トンネルユニットに
おいては分岐搬送路と主搬送路の寸法が同一となり、互
換性を更に高めることが可能となる。
を有する停止トンネルユニットにおいて、分岐搬送路の
フランジ２８の位置は、主搬送路の中心から共通の同一
の離隔距離に配置されている。即ち、（Ｂ）に示す十文
字型においては、分岐搬送路のフランジ２８は主搬送路
の中心位置から距離ＬB だけ離隔している。同様に、
（Ｃ）に示すＬ字型、（Ｄ）に示すＴ字型においてもそ
れぞれ分岐搬送路のフランジ２８の面は、それぞれ主搬
送路の中心位置から距離ＬB だけ離隔した位置に配置さ
れている。これらの分岐搬送路のフランジ面２８の主搬
送路の中心線からの離隔位置ＬB は、０．５ＬA とする
ことにより十文字型及びＬ字型停止トンネルユニットに
おいては分岐搬送路と主搬送路の寸法が同一となり、互
換性を更に高めることが可能となる。
【００１７】従って、図１に示す本発明の一実施例の中
央の直線型停止トンネルユニット２１を十文字型停止ト
ンネルユニットに変更して、図４に示すように分岐搬送
路を延長してプロセス装置２８を追加する場合でも、停
止トンネルユニットの取り合い間隔を停止トンネルユニ
ット間で等しくしてあるため、中央の直線型停止トンネ
ルユニットを十文字型停止トンネルユニット２９に置換
することによってプロセス装置２８を増設することがで
きる。又、この際、既存のプロセス装置１４及び通過ト
ンネルユニット２２の配置の変更も必要としない。又、
同様に分岐の方向を後から増加或いは削減したい場合に
も、その停止トンネルユニットを変更するだけで、既存
のプロセス装置の配置を変更する必要なしに実行するこ
とができる。尚、プロセス装置１４の位置を主搬送路方
向にずらす必要が生じた場合には、製作コストの低い通
過トンネルユニットのみを交換することによって対処す
ることができる。
央の直線型停止トンネルユニット２１を十文字型停止ト
ンネルユニットに変更して、図４に示すように分岐搬送
路を延長してプロセス装置２８を追加する場合でも、停
止トンネルユニットの取り合い間隔を停止トンネルユニ
ット間で等しくしてあるため、中央の直線型停止トンネ
ルユニットを十文字型停止トンネルユニット２９に置換
することによってプロセス装置２８を増設することがで
きる。又、この際、既存のプロセス装置１４及び通過ト
ンネルユニット２２の配置の変更も必要としない。又、
同様に分岐の方向を後から増加或いは削減したい場合に
も、その停止トンネルユニットを変更するだけで、既存
のプロセス装置の配置を変更する必要なしに実行するこ
とができる。尚、プロセス装置１４の位置を主搬送路方
向にずらす必要が生じた場合には、製作コストの低い通
過トンネルユニットのみを交換することによって対処す
ることができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、トンネル搬送装置を、主搬送
方向のフランジ間の間隔を一定に標準化した直線型、Ｌ
型、Ｔ型、十文字型、エレベータ型からなる停止トンネ
ルユニットと、フランジ間の間隔が可変の通過トンネル
ユニットに分け、又Ｌ型、Ｔ型、十文字型トンネルにお
いて、分岐搬送路の分岐部の位置は、主搬送方向のフラ
ンジから同一の位置（０．５ＬA ）にあるようにし、又
主搬送路に対して、分岐搬送路のフランジ位置も、同一
（ＬB ＝０．５ＬA ）とし、これらの選択組み合わせに
より搬送路を形成するようししたものである。その結
果、レイアウトの変更に対しては、停止位置決め機構を
備えない安価な通過トンネルユニットの長さのみを変更
することによって対処でき、又分岐搬送路の追加が生じ
ても停止トンネルユニットを交換するだけで対応可能と
なり、装置レイアウトの変更を最小限で済ませられる効
果が生じた。又コストがかかり、且つ納期がかかる停止
トンネルユニットを標準化して、前もって用意すること
ができ、納期の短縮も図れる効果が生じた。
方向のフランジ間の間隔を一定に標準化した直線型、Ｌ
型、Ｔ型、十文字型、エレベータ型からなる停止トンネ
ルユニットと、フランジ間の間隔が可変の通過トンネル
ユニットに分け、又Ｌ型、Ｔ型、十文字型トンネルにお
いて、分岐搬送路の分岐部の位置は、主搬送方向のフラ
ンジから同一の位置（０．５ＬA ）にあるようにし、又
主搬送路に対して、分岐搬送路のフランジ位置も、同一
（ＬB ＝０．５ＬA ）とし、これらの選択組み合わせに
より搬送路を形成するようししたものである。その結
果、レイアウトの変更に対しては、停止位置決め機構を
備えない安価な通過トンネルユニットの長さのみを変更
することによって対処でき、又分岐搬送路の追加が生じ
ても停止トンネルユニットを交換するだけで対応可能と
なり、装置レイアウトの変更を最小限で済ませられる効
果が生じた。又コストがかかり、且つ納期がかかる停止
トンネルユニットを標準化して、前もって用意すること
ができ、納期の短縮も図れる効果が生じた。
【図１】本発明の一実施例のトンネル搬送装置の配置を
示す全体構成図。
示す全体構成図。
【図２】本発明の一実施例のトンネル搬送装置の通過ト
ンネルユニットの斜視図。
ンネルユニットの斜視図。
【図３】本発明の一実施例のトンネル搬送装置の各種の
停止トンネルユニットの斜視図であり、（Ａ）直線型、
（Ｂ）十文字型、（Ｃ）Ｌ字型、（Ｄ）Ｔ字型、（Ｅ）
エレベータ型を示す。
停止トンネルユニットの斜視図であり、（Ａ）直線型、
（Ｂ）十文字型、（Ｃ）Ｌ字型、（Ｄ）Ｔ字型、（Ｅ）
エレベータ型を示す。
【図４】本発明の一実施例のトンネル搬送装置の配置の
変更例を示す説明図。
変更例を示す説明図。
【図５】従来のトンネル搬送装置の配置を示す全体構成
図。
図。
１０ トンネル搬送装置 １４ プロセス装置 ２１ 停止トンネルユニット ２２ 通過トンネルユニット Ｌ 通過トンネルユニットの搬送路方向の両端フラン
ジ間の間隔 ＬA 停止トンネルユニットの搬送路方向の両端フラ
ンジ間の間隔 ＬB 停止トンネルユニットの分岐搬送路フランジの
主搬送路中心線に対する間隔
ジ間の間隔 ＬA 停止トンネルユニットの搬送路方向の両端フラ
ンジ間の間隔 ＬB 停止トンネルユニットの分岐搬送路フランジの
主搬送路中心線に対する間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 正夫 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 吉岡 毅 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (10)
- 【請求項１】 トンネル内部に被搬送物を搭載する搬送
台車を備え、該搬送台車をトンネル外部から離隔して加
速／減速及び走行停止制御するトンネル搬送装置におい
て、前記トンネルは複数のトンネルユニットの結合によ
って構成され、各トンネルユニットは相互に接続するた
めのフランジを備え、前記被搬送物の搬送方向に対して
前記トンネルユニット両端のフランジ間の間隔が一定の
加速／減速手段及び走行停止制御手段を備えた停止トン
ネルユニットと、前記フランジ間の間隔が可変の加速／
減速手段のみを備えた通過トンネルユニットの選択組み
合わせにより、前記トンネル搬送路が形成されたもので
あることを特徴とするトンネル搬送装置。 - 【請求項２】 前記停止トンネルユニットは、直線型、
Ｌ型、Ｔ型、十文字型、又はエレベータ型でありそれぞ
れ同一の搬送方向のフランジ間の間隔又は投影長さを有
するものであることを特徴とする請求項１記載のトンネ
ル搬送装置。 - 【請求項３】 前記Ｌ型、Ｔ型、又は十文字型の主搬送
路に対して分岐搬送路を有する停止トンネルユニットに
おいて、前記主搬送路における分岐搬送路の分岐部の位
置は、前記主搬送路方向の前記両端のフランジから、各
ユニットに共通の同一位置にあることを特徴とする請求
項２記載のトンネル搬送装置。 - 【請求項４】 前記Ｌ型、Ｔ型、又は十文字型の主搬送
路に対して分岐搬送路を有する停止トンネルユニットに
おいて、前記主搬送路における分岐搬送路の分岐部の位
置は、前記主搬送路方向の前記両端のフランジ間の中央
の位置にあることを特徴とする請求項３記載のトンネル
搬送装置。 - 【請求項５】 前記Ｌ型、Ｔ型、又は十文字型の分岐搬
送路を有する停止トンネルユニットにおいて、前記分岐
搬送路フランジの位置は、前記主搬送路から各ユニット
に共通の同一位置にあることを特徴とする請求項４記載
のトンネル搬送装置。 - 【請求項６】 前記Ｌ型、Ｔ型、又は十文字型の分岐路
搬送路を有する停止トンネルユニットにおいて、前記分
岐搬送路のフランジの位置は、前記主搬送路方向の両端
のフランジ間の距離の１／２程度主搬送路の中心から離
隔した位置にあることを特徴とする請求項５記載のトン
ネル搬送装置。 - 【請求項７】 前記トンネル搬送装置は磁気浮上搬送装
置であることを特徴とする請求項１乃至６記載のトンネ
ル搬送装置。 - 【請求項８】 前記磁気浮上搬送装置は、前記搬送台車
には磁性材料のターゲットを備え、前記トンネル外部に
備えられた浮上用電磁石の磁気吸引力によりトンネル外
部から浮上させた状態で前記搬送台車を走行させるもの
であることを特徴とする請求項７記載のトンネル搬送装
置。 - 【請求項９】 前記磁気浮上搬送装置はキャン化されて
おり、前記搬送台車の磁気浮上制御及び走行停止制御は
該キャンを通して前記トンネル外部から為されることを
特徴とする請求項８記載のトンネル搬送装置。 - 【請求項１０】 前記トンネル内部の雰囲気は真空であ
り、トンネル外部の雰囲気は大気であることを特徴とす
る請求項９記載のトンネル搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27615193A JP3352787B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | トンネル搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27615193A JP3352787B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | トンネル搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108160A true JPH07108160A (ja) | 1995-04-25 |
| JP3352787B2 JP3352787B2 (ja) | 2002-12-03 |
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ID=17565474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27615193A Expired - Fee Related JP3352787B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | トンネル搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3352787B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000174090A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
| JP2001345365A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ移載装置、及びこれを構成する装置ユニットの接続構造 |
| KR100586773B1 (ko) * | 1998-09-28 | 2006-06-08 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 처리시스템 |
| JP2018040054A (ja) * | 2016-08-25 | 2018-03-15 | ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング | 三次元の対象の積層造形的な製造の為の設備 |
| JP2018154919A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング | 三次元的な物体を付加的に製造するための設備 |
| JP2020515026A (ja) * | 2018-03-09 | 2020-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空処理システムおよび真空処理システムを動作させる方法 |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP27615193A patent/JP3352787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2018154919A (ja) * | 2017-03-17 | 2018-10-04 | ツェーエル・シュッツレヒツフェアヴァルトゥングス・ゲゼルシャフト・ミト・べシュレンクテル・ハフツング | 三次元的な物体を付加的に製造するための設備 |
| CN108621418A (zh) * | 2017-03-17 | 2018-10-09 | Cl产权管理有限公司 | 用于添加式地制造三维物体的系统 |
| CN108621418B (zh) * | 2017-03-17 | 2022-01-25 | Cl产权管理有限公司 | 用于添加式地制造三维物体的系统 |
| US11253923B2 (en) | 2017-03-17 | 2022-02-22 | Concept Laser Gmbh | System for additive production of three-dimensional objects |
| JP2020515026A (ja) * | 2018-03-09 | 2020-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 真空処理システムおよび真空処理システムを動作させる方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3352787B2 (ja) | 2002-12-03 |
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