JPH07123528A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH07123528A JPH07123528A JP28577193A JP28577193A JPH07123528A JP H07123528 A JPH07123528 A JP H07123528A JP 28577193 A JP28577193 A JP 28577193A JP 28577193 A JP28577193 A JP 28577193A JP H07123528 A JPH07123528 A JP H07123528A
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- Japan
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- levitation
- magnetic
- pallet
- carrier
- displacement sensor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 トンネル内搬送等の目視不可能な場合におい
ても搬送台位置を容易に特定し、搬送台の起動を速やか
に行なうことのできる磁気浮上搬送装置を提供する。 【構成】 搬送台を磁気力により浮上させる浮上磁極３
と、該磁極３と組をなす変位センサ４を等間隔で軌道１
に沿って固設し、該変位センサ４により検出された搬送
台２と該浮上磁極３の距離を浮上制御装置によって、該
浮上磁極３が該搬送台２に作用する磁気力を制御して前
記搬送台２を浮上させ、該搬送台２の移動に伴い前記浮
上磁極３系を切り替え該搬送台２を非接触支持する磁気
浮上搬送装置において、前記搬送台２が浮上を開始する
際に、前記変位センサ４の出力を順次検出して、前記搬
送台２の位置を検出する手段を備えた。
ても搬送台位置を容易に特定し、搬送台の起動を速やか
に行なうことのできる磁気浮上搬送装置を提供する。 【構成】 搬送台を磁気力により浮上させる浮上磁極３
と、該磁極３と組をなす変位センサ４を等間隔で軌道１
に沿って固設し、該変位センサ４により検出された搬送
台２と該浮上磁極３の距離を浮上制御装置によって、該
浮上磁極３が該搬送台２に作用する磁気力を制御して前
記搬送台２を浮上させ、該搬送台２の移動に伴い前記浮
上磁極３系を切り替え該搬送台２を非接触支持する磁気
浮上搬送装置において、前記搬送台２が浮上を開始する
際に、前記変位センサ４の出力を順次検出して、前記搬
送台２の位置を検出する手段を備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気浮上搬送装置に係
り、特に搬送台を磁気力により浮上させ走行制御するに
際して、浮上開始時の該搬送台の軌道上における位置を
特定する技術に関する。
り、特に搬送台を磁気力により浮上させ走行制御するに
際して、浮上開始時の該搬送台の軌道上における位置を
特定する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は、磁気浮上搬送装置の概要を示
す。磁気浮上搬送装置の軌道１には、浮上用電磁石の磁
極（浮上磁極）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅが等間隔
で軌道に沿って列設されている。軌道１の下面１Ａに
は、浮上磁極の鉛直方向下部に浮上磁極と対向して変位
センサ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが同様に列設され
ている。搬送台２には、例えば半導体ウエハなどの被搬
送物が搭載され、軌道１に沿って搬送台２が走行するこ
とにより被搬送物が搬送される。搬送台２の上面には、
磁性体２Ａが備えられており、浮上磁極３ａ，３ｂ，…
の電磁石に励磁電流が印加されることにより、搬送台２
の磁性体２Ａに磁気吸引力を作用させ、搬送台２は浮上
する。変位センサ４ａ，４ｂ…は、搬送台２の下面２Ｂ
との距離を測定する変位センサであり、その測定された
距離に基づいて浮上磁極の励磁電流が制御される。
す。磁気浮上搬送装置の軌道１には、浮上用電磁石の磁
極（浮上磁極）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅが等間隔
で軌道に沿って列設されている。軌道１の下面１Ａに
は、浮上磁極の鉛直方向下部に浮上磁極と対向して変位
センサ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅが同様に列設され
ている。搬送台２には、例えば半導体ウエハなどの被搬
送物が搭載され、軌道１に沿って搬送台２が走行するこ
とにより被搬送物が搬送される。搬送台２の上面には、
磁性体２Ａが備えられており、浮上磁極３ａ，３ｂ，…
の電磁石に励磁電流が印加されることにより、搬送台２
の磁性体２Ａに磁気吸引力を作用させ、搬送台２は浮上
する。変位センサ４ａ，４ｂ…は、搬送台２の下面２Ｂ
との距離を測定する変位センサであり、その測定された
距離に基づいて浮上磁極の励磁電流が制御される。
【０００３】すなわち、選択器１０によって選択された
例えば変位センサ４ｂの出力は位置検出器１１により検
出され、搬送台２の浮上位置を検出し、浮上制御装置１
２により浮上磁極３ｂの励磁電流が制御され、搬送台２
は目標浮上位置に制御される。このようにして、搬送台
２は、浮上磁極３ｂ，３ｃ，３ｄにより浮上懸架され
る。軌道１には図示しないリニアモータが備えられ、搬
送台２に水平方向の駆動力を与え、搬送台２は浮上磁極
３ａ，３ｂ…に浮上懸架された状態で軌道１に沿って走
行する。搬送台２の走行に伴い、搬送台を浮上懸架する
浮上磁極は、浮上制御装置１２の指令に基づき選択器１
０により次々に切り替えられる。
例えば変位センサ４ｂの出力は位置検出器１１により検
出され、搬送台２の浮上位置を検出し、浮上制御装置１
２により浮上磁極３ｂの励磁電流が制御され、搬送台２
は目標浮上位置に制御される。このようにして、搬送台
２は、浮上磁極３ｂ，３ｃ，３ｄにより浮上懸架され
る。軌道１には図示しないリニアモータが備えられ、搬
送台２に水平方向の駆動力を与え、搬送台２は浮上磁極
３ａ，３ｂ…に浮上懸架された状態で軌道１に沿って走
行する。搬送台２の走行に伴い、搬送台を浮上懸架する
浮上磁極は、浮上制御装置１２の指令に基づき選択器１
０により次々に切り替えられる。
【０００４】なお、軌道１の図示しないトンネル隔壁内
は真空等の高清浄度の雰囲気となっており、浮上磁極の
電磁石、変位センサあるいはリニアモータ等は真空トン
ネル隔壁外部に配置されている。このため半導体ウエハ
等の被搬送物は、極めて清浄なトンネル空間内を、磁気
浮上された状態でトンネル隔壁と非接触で走行するた
め、機械的な接触による摩耗粉（粒子）の発生というよ
うな問題がなく、極めて高清浄度の環境下でのウエハ等
の搬送を行なうことができる。係る磁気浮上搬送装置の
一例が、本出願人により国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３
／００９３０に詳細に開示されている。
は真空等の高清浄度の雰囲気となっており、浮上磁極の
電磁石、変位センサあるいはリニアモータ等は真空トン
ネル隔壁外部に配置されている。このため半導体ウエハ
等の被搬送物は、極めて清浄なトンネル空間内を、磁気
浮上された状態でトンネル隔壁と非接触で走行するた
め、機械的な接触による摩耗粉（粒子）の発生というよ
うな問題がなく、極めて高清浄度の環境下でのウエハ等
の搬送を行なうことができる。係る磁気浮上搬送装置の
一例が、本出願人により国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３
／００９３０に詳細に開示されている。
【０００５】又、特開昭６２−２０３５０３号公報によ
れば、搬送路に沿って列設されたセンサを、搬送台の走
行前に正常に作動するかどうかを確認する技術が開示さ
れている。
れば、搬送路に沿って列設されたセンサを、搬送台の走
行前に正常に作動するかどうかを確認する技術が開示さ
れている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような磁気浮上搬送装置においては、その起動時に、す
なわち搬送台を最初に浮上させる時に搬送台位置を検出
し、搬送台を浮上させるべき浮上磁極と変位センサを特
定する必要がある。また搬送台位置を目視不可能な、例
えば密閉されたトンネル内搬送では搬送台位置を特定す
ることが困難な場合がある。
ような磁気浮上搬送装置においては、その起動時に、す
なわち搬送台を最初に浮上させる時に搬送台位置を検出
し、搬送台を浮上させるべき浮上磁極と変位センサを特
定する必要がある。また搬送台位置を目視不可能な、例
えば密閉されたトンネル内搬送では搬送台位置を特定す
ることが困難な場合がある。
【０００７】本発明は係る従来技術の問題点に鑑みてな
されたものであり、例えばトンネル内搬送等の目視不可
能な場合においても搬送台位置を容易に特定し、搬送台
の起動を速やかに行なうことのできる磁気浮上搬送装置
を提供することを目的とする。
されたものであり、例えばトンネル内搬送等の目視不可
能な場合においても搬送台位置を容易に特定し、搬送台
の起動を速やかに行なうことのできる磁気浮上搬送装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、搬送台を磁気力により浮上させる浮上磁極と、該
磁極と組をなす変位センサを等間隔で軌道に沿って固設
し、該変位センサにより検出された搬送台と該浮上磁極
の距離を浮上制御装置によって、該浮上磁極が該搬送台
に作用する磁気力を制御して前記搬送台を浮上させ、該
搬送台の移動に伴い前記浮上磁極系を切り替え該搬送台
を非接触支持する磁気浮上搬送装置において、前記搬送
台が浮上を開始する際に、前記変位センサの出力を順次
検出して、前記搬送台の位置を検出する手段を備えたこ
とを特徴とする。
置は、搬送台を磁気力により浮上させる浮上磁極と、該
磁極と組をなす変位センサを等間隔で軌道に沿って固設
し、該変位センサにより検出された搬送台と該浮上磁極
の距離を浮上制御装置によって、該浮上磁極が該搬送台
に作用する磁気力を制御して前記搬送台を浮上させ、該
搬送台の移動に伴い前記浮上磁極系を切り替え該搬送台
を非接触支持する磁気浮上搬送装置において、前記搬送
台が浮上を開始する際に、前記変位センサの出力を順次
検出して、前記搬送台の位置を検出する手段を備えたこ
とを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の磁気浮上搬送装置は、搬送台の位置を
検出する手段を備えたことから、人手により搬送台位置
を特定し浮上制御装置に入力することなく、自動的にか
つ確実に搬送台位置を検出できる。特に、目視困難な真
空トンネル内搬送等での搬送台の起動を容易に行うこと
ができる。
検出する手段を備えたことから、人手により搬送台位置
を特定し浮上制御装置に入力することなく、自動的にか
つ確実に搬送台位置を検出できる。特に、目視困難な真
空トンネル内搬送等での搬送台の起動を容易に行うこと
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面を参照し
ながら説明する。本発明の磁気浮上搬送装置において
は、搬送台の浮上を開始する際に、変位センサの出力を
順次検出して搬送台の位置を検出する手段を備えてい
る。図１において、搬送台２は、浮上磁極３ｂ，３ｃ，
３ｄの直下にトンネル（軌道）の下面１Ａに接触して停
止していたものとする。選択器１０は、軌道に列設され
た変位センサ４ａ，４ｂ，４ｃ…を浮上制御装置１２の
プログラムに従い位置検出器１１の指令に基づいて選択
する。
ながら説明する。本発明の磁気浮上搬送装置において
は、搬送台の浮上を開始する際に、変位センサの出力を
順次検出して搬送台の位置を検出する手段を備えてい
る。図１において、搬送台２は、浮上磁極３ｂ，３ｃ，
３ｄの直下にトンネル（軌道）の下面１Ａに接触して停
止していたものとする。選択器１０は、軌道に列設され
た変位センサ４ａ，４ｂ，４ｃ…を浮上制御装置１２の
プログラムに従い位置検出器１１の指令に基づいて選択
する。
【００１１】選択された変位センサ４ａ，４ｂ…の出力
信号をあらかじめ設定した比較電圧と比較して、選択し
た変位センサ４ａ，４ｂ…上の搬送台２の有無を検出す
る。位置検出器１１は、搬送台２が存在すると判断した
変位センサ４ｂ，４ｃ，４ｄのあらかじめ設定した番号
を浮上制御装置１２に伝達する。浮上制御装置１２は、
搬送台の停止位置を変位センサ４ｂ，４ｃ，４ｄの番号
が伝達されることから、搬送台２の停止位置を認識し、
浮上に用いる浮上磁極３ｂ，３ｃ，３ｄ及び変位センサ
４ｂ，４ｃ，４ｄを選択することができる。
信号をあらかじめ設定した比較電圧と比較して、選択し
た変位センサ４ａ，４ｂ…上の搬送台２の有無を検出す
る。位置検出器１１は、搬送台２が存在すると判断した
変位センサ４ｂ，４ｃ，４ｄのあらかじめ設定した番号
を浮上制御装置１２に伝達する。浮上制御装置１２は、
搬送台の停止位置を変位センサ４ｂ，４ｃ，４ｄの番号
が伝達されることから、搬送台２の停止位置を認識し、
浮上に用いる浮上磁極３ｂ，３ｃ，３ｄ及び変位センサ
４ｂ，４ｃ，４ｄを選択することができる。
【００１２】図２及び図３は、搬送台の有無を検出する
手段を説明するものである。変位センサ４から搬送台下
面２Ｂまでの距離をｄとして、変位センサの出力ＶS の
特性を図３に示す。搬送台２の下面２Ｂが、変位センサ
４の検出面４Ａに近接すれば変位センサ４の出力信号は
小さくなり、ｄ＝０となれば出力信号ＶS はＶI とな
る。逆に搬送台２の下面２Ｂが変位センサ４の検出面４
Ａから離れると変位センサの出力信号ＶS は大きくな
り、変位センサ４の検出面４Ａ上に搬送台２が存在しな
い時には、変位センサの出力信号ＶS はＶ0 となる。そ
こで比較電圧ＶC をＶ0 より若干小さく設定し、その比
較により搬送台の有無を検出することができる。それぞ
れの変位センサ４ａ，４ｂ，４ｃ…についての比較信号
ＶC を位置検出器１１に記憶し、選択器１０で選択した
変位センサ４に対応させて用いる。
手段を説明するものである。変位センサ４から搬送台下
面２Ｂまでの距離をｄとして、変位センサの出力ＶS の
特性を図３に示す。搬送台２の下面２Ｂが、変位センサ
４の検出面４Ａに近接すれば変位センサ４の出力信号は
小さくなり、ｄ＝０となれば出力信号ＶS はＶI とな
る。逆に搬送台２の下面２Ｂが変位センサ４の検出面４
Ａから離れると変位センサの出力信号ＶS は大きくな
り、変位センサ４の検出面４Ａ上に搬送台２が存在しな
い時には、変位センサの出力信号ＶS はＶ0 となる。そ
こで比較電圧ＶC をＶ0 より若干小さく設定し、その比
較により搬送台の有無を検出することができる。それぞ
れの変位センサ４ａ，４ｂ，４ｃ…についての比較信号
ＶC を位置検出器１１に記憶し、選択器１０で選択した
変位センサ４に対応させて用いる。
【００１３】又、比較電圧ＶC をＶI より若干大きく設
定し、その比較により搬送台の有無を検出してもよい。
このように、本発明の趣旨を逸脱することなく、種々の
変形実施例が可能である。なお、各図中同一符号は、同
一又は相当部分を示す。
定し、その比較により搬送台の有無を検出してもよい。
このように、本発明の趣旨を逸脱することなく、種々の
変形実施例が可能である。なお、各図中同一符号は、同
一又は相当部分を示す。
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の磁気浮上
搬送装置によれば、人手により搬送台の停止位置を浮上
制御装置に入力することなく、自動的にかつ確実に搬送
台位置を検出して起動することができる。また、目視困
難な密閉されたトンネル軌道での搬送台位置を確実に特
定できるため、例えば極度の清浄度が要求される環境、
或いは高温下の環境等での被搬送物の搬送に好適な磁気
浮上搬送装置が実現される。
搬送装置によれば、人手により搬送台の停止位置を浮上
制御装置に入力することなく、自動的にかつ確実に搬送
台位置を検出して起動することができる。また、目視困
難な密閉されたトンネル軌道での搬送台位置を確実に特
定できるため、例えば極度の清浄度が要求される環境、
或いは高温下の環境等での被搬送物の搬送に好適な磁気
浮上搬送装置が実現される。
【図１】磁気浮上搬送装置の構成を説明する説明図。
【図２】変位センサと搬送台の位置関係を説明する説明
図。
図。
【図３】変位センサの出力特性を示す説明図。
１ 軌道 ２ 搬送台 ３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ 浮上磁極 ４，４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ 変位センサ １０ 選択器 １１ 位置検出器 １２ 浮上制御装置
Claims (4)
- 【請求項１】 搬送台を磁気力により浮上させる浮上磁
極と、該磁極と組をなす変位センサを等間隔で軌道に沿
って固設し、該変位センサにより検出された搬送台と該
浮上磁極の距離を浮上制御装置によって、該浮上磁極が
該搬送台に作用する磁気力を制御して前記搬送台を浮上
させ、該搬送台の移動に伴い前記浮上磁極系を切り替え
該搬送台を非接触支持する磁気浮上搬送装置において、
前記搬送台が浮上を開始する際に、前記変位センサの出
力を順次検出して、前記搬送台の位置を検出する手段を
備えたことを特徴とする磁気浮上搬送装置。 - 【請求項２】 前記浮上磁極及び変位センサはトンネル
隔壁外部に配置されており、該隔壁を介して前記搬送台
を浮上制御するものであることを特徴とする請求項１記
載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項３】 前記トンネル隔壁内が真空であることを
特徴とする請求項２項記載の磁気浮上搬送装置。 - 【請求項４】 前記変位センサの信号を基準信号と比較
して前記搬送台の有無を検出することを特徴とする請求
項１記載の磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28577193A JPH07123528A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28577193A JPH07123528A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07123528A true JPH07123528A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17695852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28577193A Pending JPH07123528A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07123528A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015158A1 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Casem (Asia) Pte Ltd | Die bonder and method for detecting misaligned workpieces |
| CN100361287C (zh) * | 2006-03-10 | 2008-01-09 | 友达光电股份有限公司 | 基板传送装置 |
| CN109154062A (zh) * | 2016-05-18 | 2019-01-04 | 应用材料公司 | 用于传输载具或基板的设备及方法 |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP28577193A patent/JPH07123528A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003015158A1 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-20 | Casem (Asia) Pte Ltd | Die bonder and method for detecting misaligned workpieces |
| CN100361287C (zh) * | 2006-03-10 | 2008-01-09 | 友达光电股份有限公司 | 基板传送装置 |
| CN109154062A (zh) * | 2016-05-18 | 2019-01-04 | 应用材料公司 | 用于传输载具或基板的设备及方法 |
| CN109154062B (zh) * | 2016-05-18 | 2021-10-26 | 应用材料公司 | 无接触对齐载具组件的方法、处理载具组件的基板的方法、和无接触对齐载具组件的设备 |
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