CN100361287C

CN100361287C - 基板传送装置

Info

Publication number: CN100361287C
Application number: CNB2006100547998A
Authority: CN
Inventors: 潘俊斌
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2006-03-10
Filing date: 2006-03-10
Publication date: 2008-01-09
Anticipated expiration: 2026-03-10
Also published as: CN1838397A

Abstract

一种基板传送装置，包括具有不同固定磁性的第一磁性区块交替设置在相对两侧的承载平台，以及具有二组可变磁性的第二磁性区块设置在两侧的传送轨道，其中二组第二磁性区块间的距离大于承载基板的宽度，第二磁性区块与第一磁性区块间的斥力使承载平台能够磁浮于传送轨道之上，并借由改变第二磁性区块的磁性使承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动。

Description

基板传送装置

技术领域

本发明关于一种基板传送装置，且特别是关于一种适用于大尺寸基板的传送装置。

背景技术

近年来，为降低平面显示器(例如液晶显示器或有机电激发光显示器)的生产成本，玻璃基板的尺寸必须大型化，以利进行最有经济效益的切割。玻璃基板尺寸虽然大型化而使重量增加，但是玻璃基板的厚度反而越来越薄，玻璃基板越来越脆弱，容易破裂，这使得基板在传送上面临了更大的挑战。

图1示出传统制作工艺机台内因应制作工艺的需要而承载并传送基板向前或向后移动或晃动的传送装置的俯视示意图。传送装置100具有电机102、齿轮104以及传动轴106，其中电机102借由齿轮104带动传动轴106正转或反转。传动轴106的两端具有承载部108，传送装置100借由承载部108承载基板110(例如玻璃基板)。当电机102带动传动轴106正转时，位于承载部108上的基板110会朝一方向传送，而当电机102带动传动轴106反转时，位于承载部108上的基板110会朝另一方向传送。另外，当电机102反复瞬间交替正、反转时，则可以晃动位于承载部108上的基板110。

随着基板110尺寸增加，传统传送装置100的缺点就逐一浮现。传送装置100借由基板110和承载部108间的摩擦力来带动基板110移动或晃动。基板110尺寸增加，重量也随之增加，基板在移动及晃动时因应力不均及重量过重等因素，使得传统传动轴式的传送装置难以负荷或不易长期保持运转。例如，大尺寸玻璃基板容易因为应力不均而破裂，以及现行传动轴式的基板传送装置了为因应大尺寸玻璃基板进行面板的制作工艺，必须将各种的零件作加大尺寸的设计，各零件会因尺寸过大过重而容易变形、磨损因而产生带动不良而不易使传送装置长期保持运转。

因此，此一技术领域者急需要解决基板传送的问题的解决方案。

发明内容

据上所述，为了解决传统基板传送装置易使玻璃基板因应力不均而破裂或装置本身不易长期保持运转的问题，本发明利用磁浮及磁力互斥吸引的原理来设计传送装置，借以降低玻璃基板尺寸增加后所带来的各种传送上的问题。

本发明所提供的基板传送装置包括承载平台，承载平台具有不同固定磁性的第一磁性区块交替设置在承载平台相对两侧，以及传送轨道，传送轨道具有二组可变磁性的第二磁性区块，设置在传送轨道的两侧，其中二组第二磁性区块间的距离大于承载基板的宽度，第二磁性区块与第一磁性区块间的斥力使承载平台能够磁浮于传送轨道之上，并借由改变第二磁性区块的磁性使承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动。

由于玻璃基板整片放置在承载平台之上，承载平台可绝对保持基板的应力平均，故不至发生玻璃基板承受应力不均而破裂的事情。再者，承载平台是磁浮于传送轨道之上，传送轨道以超距力支撑起承载平台可杜绝传统接触式传送装置中存在的零件摩耗的问题，即使玻璃基板的重量增加亦无碍于本发明所公开的基板传送装置的运作。

此外，传统技术是利用传动轴上的承载部来承载基板，当齿轮为电机所驱动时，特别是在前后晃动时，无可避免地会有些许不规则的振动，这些不规则的振动会导致存在于玻璃基板上的药液(例如在显影制作工艺中的显影剂)分布不均，进而影响已曝光后的光阻层图案化的形成。然而，运用本发明的基板传送装置，不会发生此种机械性的不规则振动，可以确保制作工艺中的平顺度，而可避免药液分布不均。

本发明的基板传送装置是借由承载平台的下方磁力系统(例如具有二组可变磁性的第二磁性区块的传送轨道)所带来的斥力以及承载基板的承载平台本身的重量来达成传送系统在垂直方向的平衡，并借由改变第二磁性区块的磁性使承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动，进而使基板得以顺利进行各种制作工艺。

附图说明

为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，附图的简单说明如下：

图1示出在传统制作工艺机台内因应制作工艺的需要而承载传送基板或前或后的移动或晃动的传送装置的俯视示意图；

图2示出本发明的玻璃基板传送装置的优选实施例的侧视图；

图3示出由图2中I-I’剖面方向的示意图；

图4示出另一实施例中具有不同磁性区块配置组成的传送轨道；

图5A及图5B示出借由改变传送轨道的磁性区块的磁性而使承载平台朝特定方向前进的方法；以及

图6A及图6B示出将基板自承载平台的上表面装/卸载的装置。

主要元件符号说明

100、200：传送装置

102：电机

104：齿轮

106：传动轴

108：承载部

110、210：基板

202：承载平台

204、206、212、212a、212b、214：磁性区块

208：传送轨道

216：装载基座

218：凸出物

220：通孔

具体实施方式

以下将借由各实施例并配合附图来详细解说本发明的基板传送装置。

请参照图2，图2示出依照本发明优选实施例的一种玻璃基板传送装置的侧视图。玻璃基板传送装置200包括承载平台202以及传送轨道208，玻璃基板210置于承载平台202之上。承载平台202具有不同固定磁性的磁性区块204、206交替设置在承载平台202下方。在本实施例中，磁性区块204为N极磁性，磁性区块206则为S极磁性；当然，反之亦可。

传送轨道208为可变磁性的磁性区块212、214，其中磁性区块212、214可具有不同的磁性。请参见图3，图3示出由图2I-I’剖面方向的示意视图。磁性区块204设置在承载平台202的两侧，磁性区块212则分设于承载平台202外侧的下方，且两磁性区块212间的距离大于承载平台202的宽度。此种设计可使磁性区块212对磁性区块204的斥力F和水平(垂直)面成一夹角。斥力可分解成水平分力Fx及垂直分力Fy，垂直分力Fy能使承载平台202磁浮于传送轨道208之上，而水平分力Fx则使承载平台202稳定的磁浮于传送轨道208之上。

图4示出另一实施例中具有不同磁性区块配置组成的传送轨道。如图4所示，磁性区块212可一分为二，磁性区块212a对磁性区204的斥力Fy能使承载平台202磁浮于传送轨道208之上，磁性区块212b对磁性区204的斥力Fx则使承载平台202稳定的磁浮于传送轨道208之上。传送轨道的磁性区块尚可运用其他不同的配置，但均为产生向上和向内的磁斥力，以使承载平台稳定的磁浮于传送轨道之上。

图5A及图5B示出借由改变传送轨道的磁性区块的磁性而使承载平台朝特定方向前进的方法。基板210位于承载平台202之上，承载平台202具有不同固定磁性的磁性区块204、206。在本实施例中，磁性区块204为N型磁性，而磁性区块206为S型磁性。传送轨道208为可变磁性的磁性区块212、214，其中在图5A的阶段磁性区块212为N型磁性，磁性区块214则为S型磁性。磁性区块212对磁性区块204的斥力以及磁性区块214对磁性区块204的引力会使承载平台202朝箭头的方向移动；同样地，磁性区块214对磁性区块206的斥力以及磁性区块212对磁性区块206的引力亦会使承载平台202朝箭头的方向移动。

请参见图5B，当承载平台202的磁性区块204、206移动分别滑过磁性区块212及214时，磁性区块212及214的磁性反转，磁性区块212转变为S型磁性而磁性区块214转变为N型磁性，磁性区块214对磁性区块204的斥力以及磁性区块212对磁性区块204的引力会使承载平台202朝箭头的方向移动；同样地，磁性区块212对磁性区块206的斥力以及磁性区块214对磁性区块206的引力亦会使承载平台202朝箭头的方向加速移动。

若需对图5A中向箭头方向移动的承载平台202做减速的操作，可将图5A中所示的磁性区块212及214的磁性反转，磁性区块212对磁性区块204的引力以及磁性区块214对磁性区块204的斥力使承载平台202减速，甚至可完全停止。此时，如图5A所示，若继续在磁性区块212及214上加上适当的磁性以提供所需的磁力，又可使承载平台202重新朝箭头方向加速前进。借由上述反复的操作，可使承载平台202在传送轨道208上往复移动。另外，在承载平台202以所需要的速度运动时，磁性区块212及214可同时变成同一磁性，由于承载平台202磁浮于传送轨道208上，且承载平台202与传送轨道208间无摩擦力，如此可使承载平台202在传送轨道208上等速移动。

请参照图6A及图6B。图6A及图6B示出将基板自承载平台的上表面装/卸载的装置。如图6A所示，装载基座216位于承载平台202的下方，装载基座216具有多个凸出物218，凸出物218可经由承载平台202的通孔220伸出承载平台202的上表面之上。当机械手臂(未示出)将基板210自基板承载架取下时，装载基座216的凸出物218由承载平台202的通孔220伸出承载平台202的上表面之上，机械手臂将基板210置于突出物218之上。如图6B所示，装载基座216向下降，当突出物218的顶端降至承载平台202的上表面之下时，基板210被放置于承载平台202的上表面之上。此时，装载基座216继续向下降，直到凸出物218完全脱出通孔220为止。当基板210要从承载平台202之上被卸载下来时，可以将装载基座216升起而使凸出物218由承载平台202的通孔220伸出承载平台202的上表面之上而顶起基板210，再以机械手臂将基板210移开。凸出物218可为针状、块状或长条状。通孔220可与凸出物218配合或略大于突出物218均可。

由上述本发明所公开的基板传送装置的实施例可知，玻璃基板是整片放置在承载平台之上，承载平台可绝对保持基板的应力平均，故不至发生玻璃基板承受应力不均而破裂的事情。承载平台磁浮于传送轨道之上，传送轨道以超距力支撑起承载平台可杜绝传统接触式传送装置中存在的零件摩耗的问题，即使玻璃基板的重量增加亦无碍于本发明所公开的基板传送装置的运作。

虽然本发明已以优选实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何业内人士，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，例如将磁性区块的位置略做调整或是在不同磁性区块上使用不同强度的磁性，以使承载平台做特殊的运动模式；此外，虽然上述实施例以玻璃基板为例来解说本发明的应用，但其他形式的基板亦适用。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims

1.一种基板传送装置，至少包括：

一承载平台，具有多个不同固定磁性的第一磁性区块交替设置在该承载平台相对两侧；以及

一传送轨道，具有二组可变磁性的第二磁性区块设置在该传送轨道的两侧，其中该二组第二磁性区块间的距离大于承载基板的宽度，该些第一磁性区块与该些第二磁性区块间的斥力使该承载平台磁浮于该传送轨道之上。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，该些可变磁性的第二磁性区块的磁性是使该承载平台朝特定方向做加速、减速、等速、往复移动的运动或停止运动。

3.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，该些第一磁性区块包括N型磁性第一磁性区块与S型磁性第一磁性区块。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，该N型磁性第一磁性区块与该S型磁性第一磁性区块交替排列。

5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，该些第二磁性区块包括N型磁性第二磁性区块与S型磁性第二磁性区块。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，该N型磁性第二磁性区块与该S型磁性第二磁性区块交替排列。

7.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，多个该N型磁性第二磁性区块与单一该S型磁性第二磁性区块交替排列。

8.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，多个该S型磁性第二磁性区块与单一该N型磁性第二磁性区块交替排列。

9.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，多个该S型磁性第二磁性区块与多个该N型磁性第二磁性区块交替排列。

10.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，另包括一装载基座，其位于该承载平台的下方，该装载基座具有多个凸出物，其中该承载平台具有多个通孔，该些凸出物可经由该些通孔伸出该承载平台的上表面。

11.根据权利要求10所述的基板传送装置，其特征在于，该些凸出物可为针状、块状或长条状。