KR101340833B1 - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

반송 장치가 개시되어 있다. 반송 장치는 단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물, 상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함한다. 메인 레인들 사이에 게재된 서브 레인들로 이루어진 레인 구조물 및 서브 레인을 메인 레인으로부터 분리하는 서브 레인 구동 장치를 이용하여 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리할 수 있도록 하여 서브 레인에 카세트를 적재한 이송 유닛을 로딩한 상태에서 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리하여 메인 레인과 이격된 설비에 카세트를 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 한다.

서브 레일, 메인 레일, 카세트, 분리 유닛

Description

반송 장치{TRANSFERRING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반송 장치를 도시한 평면도이다.

도 2는 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 5는 도 1의 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.

본 발명은 반송 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 반송 경로로부터 레일의 일부를 분리하여 반송 대상물을 반송 경로로부터 원거리 이격된 곳으로 반송하는 반송 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 방대한 데이터를 처리하는 정보처리장치 및 정보처리장치에서 처리된 영상을 표시하는 표시장치가 개발되고 있다.

대표적인 표시장치의 예로서는 액정표시장치, 유기 광 발생 장치, 플라즈마 표시 패널 등을 들 수 있다.

이들 표시장치들을 제조하기 위해서는 모기판(mother glass)이라 불리는 대형 기판들에 복잡한 박막 처리 공정들을 수행하여 복수매의 표시패널들을 형성하는 공정 및 모기판으로부터 표시패널들을 분리하는 공정을 포함한다.

따라서, 표시장치를 제조하기 위해서는 모기판을 여러 박막 처리 장비들로 이송해야 한다. 그러나, 모기판은 깨지기 쉽고 사이즈가 매우 크기 때문에 여러 박막 처리 장비들로 이송하기 매우 어렵다.

이와 같은 이유로 표시패널을 제조하는 대부분 생산 공장에서는 여러 장의 모기판들을 카세트에 적재하고, 모기판들이 수납된 카세트를 여러 박막 처리 장비들로 이송하는 방법이 사용되고 있다.

카세트를 이송하기 위한 장치로는 카세트를 적재하고 지상을 따라 이동하는 자동반송대차(Auto Guided Vehicle, AGV) 및 카세트를 적재하고 공중에 설치된 레일을 통해 이동하는 OHS(Over Head Shuttle) 등이 대표적이다.

이들 중 OHS는 공중에 설치된 레일, 레일을 공중에 고정하기 위해 천장(ceiling)에 설치되어 레일을 지지하는 서포트 유닛, 레일을 따라 이동하며 카세트가 배치되는 이송 유닛을 포함한다.

OHS에 의하여 이송되는 카세트는 특정 박막 처리 장비에서 멈추고, 로봇 암을 이용하여 카세트를 박막 처리 장치로 언로딩 또는 박막 처리 장비에서 처리된 모기판이 수납된 카세트를 로딩한다.

그러나, 모기판이 수납된 카세트를 이송하는 OHS의 경우 OHS의 레일로부터 일정 범위 내에 박막 처리 장비가 배치되어야 하는 제약을 갖는다. OHS의 레일로부 터 일정 범위 밖에 박막 처리 장비가 배치될 경우 OHS로부터 박막 처리 장치로 카세트를 언로딩 또는 박막 처리 장비로부터 카세트를 로딩할 수 없다.

본 발명의 목적은 레일 및 박막 처리 장비 사이의 간격 제한을 받지 않는 반송 장치를 제공함에 있다.

본 발명의 목적을 구현하기 위한 반송 장치는 단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물, 상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반송 장치에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반송 장치를 도시한 평면도이다.

도 1을 참조하면, 반송 장치(400)는 레일 구조물(100), 이송 유닛(200) 및 서브 레일 분류 유닛(300)을 포함한다.

레일 구조물(100)은 적어도 1 개의 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)을 포함한다. 본 실시예에서, 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)을 포함하는 레일 구조 물(100)은, 평면상에서 보았을 때, 폐루프(closed loop) 형상을 갖는다.

메인 레일(10)은, 예를 들어, 한 개로 구성된다. 본 실시예에서, 메인 레일(10)이 한 개로 이루어질 경우, 메인 레일(10)들의 제1 단부(1) 및 제1 단부(1)와 대향하는 제2 단부(2)는 상호 마주보도록 배치된다. 메인 레일(10)의 제1 단부(1) 및 제2 단부(2)는 상호 소정 간격 이격된다. 이와 다르게, 메인 레일(10)들은 2 개 이상으로 구성될 경우, 각 메인 레일(10)들은 폐루프 형상으로 배치되고, 각 메인 레일(10)들의 단부들 역시 마주보도록 배치된다.

서브 레일(20)은 메인 레일(10)의 제1 단부(1) 및 제2 단부(2)의 사이에 게재된다. 서브 레일(20)은 메인 레일(10) 중 끊어진 부분을 연결하는 역할을 한다.

메인 레일(10)의 상면에는 그루브 형상의 제1 결합홈(15)이 형성되고, 서브 레일(20)의 상면에는 그루브(groove) 형상의 제2 결합홈(25)이 형성된다. 본 실시예에서, 제1 결합홈(15) 및 제2 결합홈(25)의 내부에는 각각 전자석(17)이 배치될 수 있다.

메인 레일(10)은 지상으로부터 소정 간격 이격된 공중에 배치된다. 메인 레일(10)을 지상으로부터 소장 간격 이격된 공중에 배치하기 위해서, 레일 구조물(100)은 메인 레일 지지부재(30)를 포함한다.

도 2는 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 2를 참조하면, 메인 레일 지지부재(30)는 메인 레일 지지부(32) 및 고정 와이어(34)를 포함한다.

메인 레일 지지부(32)는 메인 레일(10)의 하부에 배치되어 메인 레일(10)을 고정한다. 고정 와이어(34)의 일측 단부는 메인 레일 지지부(32)에 결합되고, 고정 와이어(34)의 일측 단부와 대향하는 타측 단부는 천장(ceiling;35)에 결합된다. 메인 레일 지지부(32) 및 고정 와이어(34)를 포함하는 메인 레일 지지부재(30)에 의하여 메인 레일(10)은 지상으로부터 이격된 공중에 배치된다. 본 실시예에서, 메인 레일 지지부재(30)는 메인 레일(10)에 복수개가 설치된다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 이송 유닛(200)은 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)로 이루어진 레일 구조물(100)을 따라 이동한다. 이송 유닛(200)은, 예를 들어, 복수매의 대형 모기판들이 수납된 카세트(210)를 A 설비로부터 B 설비로 이송한다. 이와 다르게, 이송 유닛(200)은, 예를 들어, 복수매의 대형 모기판들이 수납된 카세트(210)를 B 설비로부터 A 설비로 이송한다.

이송 유닛(200)은 플레이트 형상을 갖고, 이송 유닛(200)의 하부면에는 메인 레일(10)의 제1 결합홈(15) 및 서브 레일(20)의 제2 결합홈(25)에 끼워지는 결합부(215)를 갖는다. 결합부(215)에는 전자석(217)이 배치된다. 이로써, 이송 유닛(200)의 전자석(217) 및 제1 및 제2 결합홈(15,25)의 전자석(17)을 이용하여 이송 유닛(200)은 레일 구조물(100)을 따라 이송된다.

도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 5는 도 1의 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 1 및 도 3을 참조하면, 서브 레일 분리 유닛(300)은 이송 유닛(200)이 로딩 된 서브 레일(20)을 메인 레일(10)로부터 수평 방향으로 분리시킨다. 예를 들 어, 메인 레일(20)이 뻗은 방향을 제1 방향으로 정의하였을 때, 서브 레일(20)은 제1 방향과 실질적으로 수직한 제2 방향으로 이송되어 메인 레일(10)로부터 분리된다.

서브 레일 분리 유닛(300)은 서브 레일 지지부재(310)를 포함한다. 서브 레일 분리 유닛(300)은 서브 레일(20)과 대응하는 위치에 배치되며, 서브 레일(20)이 낙하하는 것을 방지한다.

서브 레일 분리 유닛(300)은 가이드 레일(320) 및 서브 레일 구동 장치(330)를 포함한다.

가이드 레일(320)은 서브 레일 지지부재(310)의 상면에 적어도 2 개가 배치된다. 각 가이드 레일(320)은 서브 레일(10)의 이송 방향과 평행한 방향으로 배치되고, 가이드 레일(320)에 대응하는 서브 레일(10)의 후면에는 가이드 레일(320)과 결합되는 가이드 홈(18)이 형성된다. 서브 레일(10)은 가이드 레일(320)을 따라서 슬라이드 된다.

서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일(20)을 가이드 레일(320)을 따라 이송시킨다.

본 실시예에서, 서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일 지지부재(310)상에 배치되며 회전축(332)을 갖는 모터(334)를 포함할 수 있다. 모터(334)의 회전축(332)은 서브 레일(20)의 하면으로부터 돌출된 보스(26)에 나사 결합되어, 회전축(332)의 정/역회전에 따라 서브 레일(20)은 가이드 레일(320)을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.

이와 다르게, 서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일 지지부재(310)상에 고정되며 서브 레일(20)에 결합 된 유압 실린더(미도시)를 포함할 수 있다. 서브 레일 지지부재(310)에 고정된 유압 실린더에 의하여 서브 레일(20)은 가이드 레일(320)을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.

한편, 서브 레일 구동 장치(330)를 이용하여 가이드 레일(320)을 따라 서브 레일(20)을 이송하여, 예를 들어, 도 1에 도시된 B 설비로 카세트(210)를 언로딩 또는 B 설비로부터 카세트(210)를 로딩받기 위해서, 서브 레일(20) 및 B 설비에는 각각 광 통신 유닛(360)이 배치될 수 있다.

또한, 도 4를 참조하면, 레일 구조물(100)상에는 복수개의 이송 유닛(200)이 운행될 수 있고, 서브 레일(20)이 메인 레일(10)로부터 분리된 상태에서 이송 유닛(200)이 운행될 경우, 메인 레일(10)의 분리된 부분을 통해 추락할 수 있다. 본 실시예에서는 이송 유닛(200)의 낙하를 방지하기 위해, 서브 레일(20)이 메인 레일(10)로부터 분리된 상태에서 이송 유닛(200)이 메인 레일(10)의 분리된 부분으로 접근할 경우 이송 유닛(200)의 접근을 감지하는 감지 센서(370)를 포함한다. 감지 센서(370)에 이송 유닛(200)이 감지될 경우, 인터락 신호를 발생시켜 이송 유닛(200)을 강제로 정지시킨다. 본 실시예에서, 감지 센서(370)의 예로서는 초음파 센서 및 근접 센서 등을 들 수 있다.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 메인 레인들 사이에 게재된 서브 레인들로 이루어진 레인 구조물 및 서브 레인을 메인 레인으로부터 분리하는 서브 레 인 구동 장치를 이용하여 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리할 수 있도록 하여 서브 레인에 카세트를 적재한 이송 유닛을 로딩한 상태에서 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리하여 메인 레인과 이격된 설비에 카세트를 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 한다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (9)

1. 단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물;

   상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛; 및

   상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함하고,

   상기 서브 레일의 하부에는 상기 서브 레일을 지지하는 서브 레일 지지부재를 포함하며,

   상기 서브 레일 분리 유닛은 상기 서브 레일 및 상기 서브 레일 지지부재 사이에 게재되며, 상기 서브 레일에 결합된 가이드 레일; 및 상기 서브 레일을 상기 가이드 레일을 따라 이송시키는 서브 레일 구동 장치를 포함하고,

   상기 서브 레일 구동 장치는 상기 서브 레일 지지부재에 배치되며 회전축을 갖는 모터; 및 상기 서브 레일을 이송하기 위하여 상기 회전축 및 상기 서브 레일을 연결하는 스크류를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 레일 구조물은 상기 메인 레일들을 지지하기 위해 천장(ceiling)에 연결된 메인 레일 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 서브 레일 지지부재 상에는 상기 서브 레일 분리 유닛이 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
5. 삭제
6. 삭제
7. 단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물;

   상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛; 및

   상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함하고,

   상기 서브 레일의 하부에는 상기 서브 레일을 지지하는 서브 레일 지지부재를 포함하며,

   상기 서브 레일 분리 유닛은 상기 서브 레일 및 상기 서브 레일 지지부재 사이에 게재되며, 상기 서브 레일에 결합된 가이드 레일; 및 상기 서브 레일을 상기 가이드 레일을 따라 이송시키는 서브 레일 구동 장치를 포함하고,

   상기 서브 레일 구동 장치는 서브 레일 지지부재에 고정되며 상기 서브 레일에 결합 된 유압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 이송 유닛에는 광 통신 유닛이 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 서브 레일과 인접한 각 메인 레일에는 상기 이송 유닛의 위치를 감지하는 위치 감지 센서가 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.

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