KR20080016313A - 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치 - Google Patents

오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 물류 장비에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 카세트의 양방향 이송을 위해 오버 헤드 셔틀과 인터페이스 모듈을 롤러를 이용하여 구성한, 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 천정에 설치된 레일을 따라 이동하며, 회전가능한 롤러로 구성된 오버 헤드 셔틀 및 양측 방향으로 회전 가능한 롤러로 구성되며, 상기 오버 헤드 셔틀과 스토커 사이에 위치되는 인터페이스 모듈을 포함한다.

Description

오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치{DELIVERING EQUIPMENT USING OVER HEAD SHUTTLE}
도 1은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치가 클린룸 내의 공정 라인에서 이용되는 상태를 나타내 예시도.
도 2는 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 정면에서 바라본 예시도.
도 3은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 평면에서 바라본 예시도.
도 4는 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치가 클린룸 내의 공정 라인에서 이용되는 상태를 나타내 예시도.
도 5는 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 정면에서 바라본 예시도.
도 6은 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 평면에서 바라본 예시도.
도 7은 본 발명에 적용되는 오버 헤드 셔틀의 일실시예 구성도.
도 8은 본 발명에 적용되는 오버 헤드 셔틀과 인터페이스 모듈의 평면을 나 타낸 예시도.
본 발명은 액정표시장치의 물류 장비에 관한 것으로서, 특히 천정을 통해 카세트를 반송하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있다. 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.또한, LCD는 사용자의 요구에 부응하여 대화면화 및 저소비전력화의 방향으로 진행되고 있다.
한편, 상기 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 '박막트랜지스터 기판'이라 함), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 '칼라필터 기판'이라 함) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
상기와 같은 구조를 갖는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어지며, 각 공정들은 다시 수많 은 단위 공정들로 구성되어 진다.
한편, 상기한 바와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판은 일단 카세트(Casset)에 적재된 후 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle: AGV)에 의해 클린룸 내의 또 다른 공정장비로 이송된다.
그러나, 또 다른 공정장비들에서 이미 공정이 수행되고 있거나, 또는, 상기 카세트에 적재된 기판을 일시 보관하기 위하여 클린룸 내부에는 다수의 스토커들이 배치되어 있다.
이때, 또 다른 공정장비에서의 공정을 대기하기 위하여, 스토커에 적재되어 있는 카세트를 상기 또 다른 공정장비 근처의 스토커로 이송할 필요가 있을 수 있는데, 이러한 경우에는 클린룸 내부가 수많은 공정장비와 스토커들이 배치되어 있는 넓은 공간이기 때문에 상기 무인 반송차(AGV)를 이용하여 반송하는 것이 비효율적일 수도 있다.
따라서, 상기와 같이 스토커에서 또 다른 스토커로 카세트를 이송할 필요가 있는 경우에는 일반적으로 오버 헤드 셔틀(Over Head Shuttle : OHS)이 이용되고 있다. 즉, 오버 헤드 셔틀(OHS)을 이용한 반송장치는 카세트(CST)를 천정을 이용하여 이송하는 장치로서, 카세트(CST)를 오버 헤드 셔틀에 이재하여 목적지로 반송하게 된다.
도 1은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치가 클린룸 내의 공정 라인 에서 이용되는 상태를 나타내 예시도이다.
일반적인 액정표시장치의 공정라인(클린룸)은 도 1에 도시된 바와 같이, 각 공정에 필요한 각종 공정장비(320)들, 상기 공정장비들에 공급될 기판이 적재된 또는 적재될 카세트를 보관하기 위한 다수의 스토커(Stocker)(300), 상기 카세트를 스토커에서 또 다른 스토커로 이동시키기 위한 수단인 오버 헤드 셔틀(100) 및 상기 오버 헤드 셔틀을 가이드 하기 위한 레일(120) 포함하여 구성된다.
상기 클린룸 내부에는 다수의 스토커들이 배치되어 있으며, 각 스토커(300) 주변에는 다수의 공정장비(320)들이 배치되어 있다. 즉, 상기 각 공정장비(320)들은 각 스토커(300) 주변에 배치되어, 상기 스토커로부터 제공되는 카세트에 적재되어 있는 기판을 이용하여 각 공정을 수행하게 되며, 각 공정을 거친 기판들은 다시 카세트에 적재되어 상기 스토커에 보관된다. 이때, 상기 카세트를 공정장비(320)로 반송하거나 또는 공정장비로부터 배출되는 카세트를 상기 스토커(300)로 반송하는 공정은 상기 무인 반송차(AGV)에 의하여 이루어진다.
한편, 상기 스토커(300)에 적재되어 있는 카세트는, 인접된 곳에 배치되어 있는 스토커로 반송될 수도 있으나, 경우에 따라서는 많은 거리가 이격되어 있는 스토커로 이송되어야 할 경우도 있다.
이러한 경우에는, 상기한 바와 같이 무인 반송차(AGV)가 이용되기에는 적절하지 않으며, 따라서, 클린룸의 천장을 따라 배치되어 있는 레일(120)을 따라 이동되는 오버 헤드 셔틀(100)이 이용된다.
도 2는 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반 송 상태를 정면에서 바라본 예시도이며, 도 3은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 평면에서 바라본 예시도이다.
상기한 바와 같이, 오버 헤드 셔틀(100)은 클린룸 내부에서 이격되어 배치되어 있는 각 스토커(300)에 카세트를 이송하기 위한 것으로서, 스토커(300)와 오버 헤드 셔틀(100) 간에 카세트가 운반되는 상태는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같다.
상기 스토커(300)는 카세트를 보관하기 위한 선반(Shelf)(317) 및 상기 카세트를 선반 또는 오버 헤드 셔틀(100)로 로딩(Loading)하기 위한 스토커 아암(Stocker Arm)(318)을 포함하여 구성되어 있다.
한편, 상기 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 카세트(350)를 적재하여 이동하기 위한 오버 헤드 셔틀(100) 및 상기 스토커 아암에 의해 운반된 카세트를 임시적으로 적재하기 위한 적재 포트(OHS Port)(218)와 상기 적재 포트에 놓여진 카세트를 상기 오버 헤드 셔틀로 이재하기 위한 이재 로봇(230)을 포함하여 구성된 인터페이스 모듈부를 포함하여 구성되어 있다. 이때, 상기 오버 헤드 셔틀은 클린룸 천정을 따라 설치되어 있는 레일(120)에 의해 가이드 되며, 상기 레일은 체인에 의하여 클린룸 천장에 고정된다.
상기한 바와 같은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치를 이용하여 스토커에서 또 다른 스토커로 카세트를 반송하는 과정을 간단히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 스토커 아암(318)이 카세트(350)가 적재되어 있는 선반(317)으로부터 카세트(350)를 언로딩(Unloading)하여 상기 인터페이스 모듈부의 적재 포트(218)에 상기 카세트(350)를 로딩하면, 상기 이재 로봇(230)이 상기 카세트를 언로딩하여 상기 오버 헤드 셔틀(100)에 적재한다.
이후, 상기 오버 헤드 셔틀(100)은 상기 레일(120)을 따라 이동해 가다가, 또 다른 스토커의 이재 로봇이 배치되어 있는 위치에 정지하게 된다.
이때, 또 다른 스토커의 이재 로봇이 상기 오버 헤드 셔틀(100) 위에 놓여진 상기 카세트를 언로딩하여 상기 인터페이스 모듈부의 적재 포트(218)에 적재하게 되면, 상기 또 다른 스토커의 스토커 아암(318)이 상기 적재 포트(218)에 놓여진 카세트(350)를 상기 또 다른 스토커의 선반(317)에 적재하게 된다.
한편, 상기와 같은 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 스토커 아암(318)으로부터 이재된 카세트를 임시 적재하기 위한 적재 포트(218)와 상기 적재 포트에 놓여진 카세트를 오버 헤드 셔틀로 옮기기 위한 이재 로봇(P&P)(230)이 구비된 인터페이스 모듈부가 요구된다는 문제점이 있다. 즉, 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 한정된 공간인 클린룸에 적재 포트(218)를 구비해야 하는 한편, 이재 로봇(230)의 동작을 위한 작업 공간이 필요하게 되므로, 클린룸 내부의 공간 확보가 문제될 수 있으며, 이재 로봇(230)의 동작을 위한 제어가 요구될 뿐만 아니라, 카세트를 적재 포트(218)로 이송한 후 이재 로봇(230)을 이용하여 또 다시 오버 헤드 셔틀(100)로 옮기는 두 번의 공정을 거쳐야 하므로 작업 공정이 지연된다는 문제점이 있다.
또한, 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 상기한 바와 같이 이재 로봇(230)과 적재 포트(218)가 구비되어야 하므로, 레일(120) 양측에 스토커를 위 치시킨 후 카세트를 양쪽의 스토커로 이송하기 위한 양방향 이송을 구현하기 위해서는 많은 비용이 요구되므로, 그 구현이 어렵다는 문제점이 있다. 따라서, 클린룸 내부의 스토커(300)가 도 1에 도시된 바와 같이 레일(120)의 일측방향으로만 배치가능하기 때문에, 클린룸의 공간활용이 어렵다는 문제점이 있다.
또한, 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 스토커와 스토커 간에 1대1로 카세트를 운반하기 위한 오버 헤드 컨베이어 설치시에도 상기한 바와 같이 이재 로봇이 요구되어 많은 비용이 소모되므로 그 구현이 어렵다는 문제점이 있다.
즉, 상기한 바와 같이, 종래의 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 카세트를 오버 헤드 셔틀에 이재 하기 위한 별도의 카세트 이재 로봇(Robot)을 설치하여야하며, 단방향 대응으로 클린룸 내부의 레이 아웃(Lay-Out) 효율을 저하시킨다는 문제점이 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 카세트의 양방향 이송을 위해 오버 헤드 셔틀과 인터페이스 모듈을 롤러를 이용하여 구성한, 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 천정에 설치된 레일을 따라 이동하며, 회전가능한 롤러로 구성 된 오버 헤드 셔틀 및 양측 방향으로 회전 가능한 롤러로 구성되며, 상기 오버 헤드 셔틀과 스토커 사이에 위치되는 인터페이스 모듈을 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.
도 4는 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치가 클린룸 내의 공정 라인에서 이용되는 상태를 나타내 예시도이다.
본 발명이 적용되는 액정표시장치의 공정라인(클린룸)은 도 4에 도시된 바와 같이, 각 공정에 필요한 각종 공정장비(320)들, 상기 공정장비들에 공급될 기판이 적재된 또는 적재될 카세트를 보관하기 위한 다수의 스토커(Stocker)(300), 상기 카세트를 스토커에서 또 다른 스토커로 이동시키기 위한 수단인 오버 헤드 셔틀(500) 및 상기 오버 헤드 셔틀을 가이드 하기 위한 레일(520) 포함하여 구성된다.
상기 클린룸 내부에는 다수의 스토커들이 배치되어 있으며, 각 스토커(300) 주변에는 다수의 공정장비(320)들이 배치되어 있다. 즉, 상기 각 공정장비(320)들은 각 스토커(300) 주변에 배치되어, 상기 스토커로부터 제공되는 카세트에 적재되어 있는 기판을 이용하여 각 공정을 수행하게 되며, 각 공정을 거친 기판들은 다시 카세트에 적재되어 상기 스토커에 보관된다. 이때, 상기 카세트를 공정장비(300)로 반송하거나 또는 공정장비로부터 배출되는 카세트를 상기 스토커(300)로 반송하는 공정은 상기 종래 기술과 관련하여 설명한 바와 같이 무인 반송차(AGV)에 의하여 이루어진다.
한편, 상기 스토커(300)에 적재되어 있는 카세트는, 인접된 곳에 배치되어 있는 스토커로 반송될 수도 있으나, 경우에 따라서는 많은 거리가 이격되어 있는 스토커로 이송되어야할 경우도 있으며, 이러한 경우에는, 클린룸의 천장을 따라 배치되어 있는 레일(520)을 따라 이동되는 오버 헤드 셔틀(500)이 이용된다.
이때, 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 레일(520)을 따라 이동하다가, 레일 양측에 배치되어 있는 스토커(300)들에 대해 양방향으로 대응할 수 있도록, 롤러로 구성된 오버 헤드 셔틀과 인터페이스 모듈로 구성되어 있다.
또한, 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 상기와 같은 구성들에 의하여 적은 비용으로 간결하게 구성될 수 있기 때문에, 도 4에 도시된 바와 같이 오버 헤드 컨베이어(700)를 이용하여 두 개의 스토커 간에 카세트를 이송할 수도 있다.
도 5는 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 정면에서 바라본 예시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치와 스토커 간의 카세트 반송 상태를 평면에서 바라본 예시도이다.
상기한 바와 같이, 오버 헤드 셔틀(500)은 클린룸 내부에서 이격되어 배치되어 있는 각 스토커(300) 간에 카세트를 이송하기 위한 것으로서, 스토커(300)와 오버 헤드 셔틀(500) 간에 카세트가 이재되는 상태는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같 다.
이때, 상기 스토커(300)는 카세트(350)를 보관하기 위한 선반(Shelf)(317) 및 상기 카세트를 선반 또는 오버 헤드 셔틀(500)로 로딩(Loading)하기 위한 스토커 아암(Stocker Arm)(318)을 포함하여 구성되어 있다.
한편, 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 롤러(510)로 구성되어 상기 레일의 이동 방향 양측으로부터 카세트를 전송받아 반송하기 위한 오버 헤드 셔틀(500) 및 상기 오버 헤드 셔틀과 스토커 양방향으로의 카세트 중계를 위해 롤러로 구성되어 있는 인터페이스 모듈(600)을 포함하여 구성되어 있다. 또한, 본 발명은 스토커와 스토커 간의 1대1 카세트 반송을 위하여 상기 오버 헤드 셔틀 및 스토커와 연결되어 있는 오버 헤드 컨베이어(700)를 더 포함할 수 있다.
상기 오버 헤드 셔틀(500)은 레일(520)을 따라 이동하다가, 상기 레일의 양측 중 적어도 어느 한 쪽에 배치되어 있는 스토커(300)와 카세트 로딩 또는 언로딩 과정을 수행하기 위하여 롤러(510)로 구성되어 있다. 이때, 상기 롤러는 도 5에 도시된 바와 같이, 카세트를 오버 헤드 셔틀(500)로부터 인터페이스 모듈(600)로 이송하는 경우와, 인터페이스 모듈(600)로부터 오버 헤드 셔틀(500)로 이송하는 경우에 따라 각각 그 회전방향이 변하게 되며, 상기와 같은 회전방향의 변동은 미도시된 제어장치에 의하여 제어된다. 한편, 상기 오버 헤드 셔틀(500)은 클린룸의 천정을 따라 배치되어 있는 레일(520)을 통해 가이드되며, 상기 레일(520)은 레일 고정 체인에 의하여 클린룸 천장에 고정된다.
상기 인터페이스 모듈(600) 역시 롤러로 구성되어 있어서, 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 롤러에 의해 이송되어온 카세트를 임시적으로 적재하는 기능을 수행하며, 상기 인터페이스 모듈(600)에 놓여진 카세트는, 상기 인터페이스 모듈(600)이 인접해 있는 스토커(300)의 스토커 암(318)에 의해 반송되어 상기 스토커의 선반(317)에 놓여지게 된다. 또한, 상기 인터페이스 모듈(600)은 상기와 정반대의 공정을 수행할 수도 있다. 즉, 스토커 암(318)에 의해 스토커의 선반으로부터 반송된 카세트는 상기 스토커와 인접되어 있는 인터페이스 모듈(600)에 놓여지게 되며, 상기 카세트는 상기 인터페이스 모듈(600)의 롤러에 의해 상기 오버 헤드 셔틀(500)로 이송된 후 상기 오버 헤드 셔틀(500)에 의해 상기 레일을 타고 각 스토커 사이로 반송된다. 이때, 상기 인터페이스 모듈(600)은 모듈 고정 체인에 의하여 상기 클린룸 천장에 고정될 수도 있으며, 또는 상기 스토커(300)에 설치될 수도 있다.
즉, 상기 인터페이스 모듈(600)은 상기 오버 헤드 셔틀(500)과 스토커 암(318) 간의 카세트 이재 과정을 중재하기 위한 것으로서, 본 발명은 상기 인터페이스 모듈(600)과 오버 헤드 셔틀(500)을 롤러로 구성함으로써, 카세트 이재를 위한 이재 로봇 및 적재 포트를 별도로 구성할 필요가 없게 되어, 클린룸 내부의 공간활용도 및 이재 공정을 단축시킬 수 있게 되며, 상기 인터페이스 모듈(600) 및 오버 헤드 셔틀(500) 모두가 양방향으로 회전가능한 롤러로 구성되어 있기 때문에, 도 4의 제3 스토커 및 제4 스토커와 같이 레일(520)을 기준으로 양쪽에 배치되어 있는 스토커에 대하여도 카세트를 이재할 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치를 이용하여 스토커에서 또 다른 스토커로 카세트를 반송하는 과정을 간단히 설명하면 다 음과 같다.
먼저, 스토커 아암(318)이 카세트(350)가 적재되어 있는 선반(317)으로부터 카세트(350)를 언로딩(Unloading)하여 상기 인터페이스 모듈(600)에 올려 놓게 되면, 미도시된 제어장치에 의하여 상기 인터페이스 모듈(600)의 롤러가 오버 헤드 셔틀(500) 쪽으로 회전하게 되며, 이로인해 상기 카세트가 상기 오버 헤드 셔틀(500) 쪽으로 이송된다. 이때, 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 롤러는 상기 인터페이스 모듈의 롤러와 같은 방향으로 회전됨으로, 상기 카세트가 상기 인터페이스 모듈로부터 오버 헤드 셔틀로 이송된다.
상기 카세트가 상기 오버 헤드 셔틀(500)로 완전히 이송되면, 상기 오버 헤드 셔틀(500)은 상기 레일(520)을 따라 이송되며, 이후 상기 오버 헤드 셔틀(500)이 또 다른 스토커의 인터페이스 모듈(600)이 위치에 있는 장소에 정지되면, 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 롤러가 상기 또 다른 스토커의 인터페이스 모듈(600) 쪽으로 회전되므로 상기 카세트가 상기 또 다른 스토커의 인터페이스 모듈(600) 쪽으로 이송되며, 이 후 상기 또 다른 스토커의 스토커 암(318)이 상기 인터페이스 모듈(600)에 놓여진 카세트를 상기 또 다른 스토커의 선반(317)으로 이재하게 된다. 이때, 상기 인터페이스 모듈(600)의 롤러 역시 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 롤러의 회전방향으로 회전되어 상기 카세트가 보다 쉽게 이송될 수 있도록 한다.
여기서, 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 롤러는 상기한 바와 같이 그 회전방향이 바뀌어 질 수 있으므로, 레일(520)을 경계로 하여 좌/우에 배치되어 있는 인터페이스 모듈(600)로 카세트를 이송할 수 있으며, 따라서, 도 4의 제3 스토커와 제4 스터커처럼 배치되어 있는 공간에서 카세트를 제3 스토커 또는 제4 스토커 중 어느 하나로 이송할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 상기와 같이 레일(520)의 좌우에 배치되어 있는 인터페이스 모듈(600)을 이용하여 카세트를 레일(520)의 좌우 방향으로 자유롭게 이송시킬 수 있음으로, 상기 인터페이스 모듈(600)을 포함한 오버 헤드 컨베이어를 이용하여, 도 4에 도시된 제1 스토커 및 제2 스토커 간에 카세트를 직접 반송시킬 수도 있다는 특징을 가지고 있다.
즉, 도 4 및 도 5에서 상기 오버 헤드 컨베이어(700)는 상기 제1 스토커(300) 및 제2 스토커(도 5에서는 제2 스토커는 도시되어 있지 않음) 간에 카세트를 직접 반송시킬 수 있도록 하기 위한 것으로서, 상기 오버 헤드 컨베이어는 상기 인터페이스 모듈(600)과 같이 롤러로 구성될 수 있다. 따라서, 상기 제1 스토커(300)로부터 인터페이스 모듈(600)을 통해 오버 헤드 셔틀(500)로 이송된 카세트는, 다시 상기 컨베이어 모듈로 이송된 후, 상기 컨베이어를 따라 제2 스토커로 이송되며, 최종적으로 상기 제2 스토커의 스토커 암에 의해 이재되어 상기 제2 스토커의 선반에 놓여지게 된다.
여기서, 상기 오버 헤드 컨베이어(700)는 다양한 형태로 구성될 수 있다.
예를 들어, 상기 오버 헤드 컨베이어(700)는 상기한 바와 같이 롤러로 구성된 하나의 컨베이어로 구성될 수 있으나(제1 실시예), 상기한 바와 같은 인터페이스 모듈 및 일반적인 컨베이어를 포함하여 구성될 수도 있다. 즉, 상기 오버 헤드 셔틀(500)을 경계로 상기 인터페이스 모듈(600)과 대칭적으로 배치되어 있는 컨베 이어용 인터페이스 모듈(710)을 이용하여 상기 오버 헤드 셔틀(500)로부터 이송된 카세트는 다시 컨베이어(720)를 통해 이송된 후 제2 스토커의 스토커 암에 의하여 이재될 수도 있다(제2 실시예). 이때, 상기 제2 실시예에 있어서, 상기 컨베이어(720)는 턴 유닛을 포함하고 있어서 상기 스토커의 진행 방향을 변경할 수도 있다.
또한, 본 발명에 적용되는 상기 오버 헤드 컨베이어(700)는, 상기 제2 실시예에 적용되는 컨베이어의 끝단에 또 다른 컨베이어용 인터페이스 모듈을 더 구비할 수도 있다. 즉, 상기 제2 실시예에서는 오버 헤드 셔틀(500)과 인접되어 있는 위치에만 컨베이어용 인터페이스 모듈(710)이 구비되어 있는 것으로 설명되었으나, 제3 실시예에서는, 상기 컨베이어가 제2 스토커와 인접하게 되는 부분에 또 다른 컨베이어용 인터페이스 모듈(710)을 구비함으로써, 제2 스토커의 스토커 암이 상기 오버 헤드 컨베이어(700)로부터 용이하게 카세트를 이재해 가도록 할 수도 있다.
한편, 상기 컨베이어용 인터페이스 모듈(710)은, 상기 인터페이스 모듈(600)과 구조와 기능이 동일한 것으로서, 단지 스토커(300)와 오버 헤드 셔틀(500) 사이에 위치되는 것이냐 아니면 오버 헤드 셔틀(500)과 컨베이어(720) 사이에 위치되는 것이냐의 차이만 있을 뿐이다.
또한, 상기 각 실시예에서, 상기 컨베이어(720)는 카세트를 이재할 수 있는 이재 로봇을 포함하여 구성될 수도 있다.
도 7은 본 발명에 적용되는 오버 헤드 셔틀의 일실시예 구성도이며, 도 8은 본 발명에 적용되는 오버 헤드 셔틀과 인터페이스 모듈의 평면을 나타낸 예시도이 다.
먼저, 본 발명에 적용되는 오버 헤드 셔틀(500)은 천정을 따라 연결되어 있는 레일(520) 위를 이동하면서 카세트를 이송하기 위한 것으로서, 상기 오버 헤드 셔틀(500)의 표면에는 롤러(510)가 구비되어 있어서 상기와 같은 기능을 수행하게 된다. 여기서, 상기 레일(520)은 클린룸의 천정에 고정되어 있는 오버 헤드 체인에 고정되어 있는 지지대(530)에 의해 지지되고 있다.
한편, 상기 오버 헤드 셔틀(500)과 인터페이스 모듈(600)을 평면에서 바라본 상태는 도 8과 같다. 즉, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 오버 헤드 셔틀(500) 및 인터페이스 모듈(600)의 평면 각각에는 다수의 롤러(510, 610)가 구비되어 있다.
이때, 상기 인터페이스 모듈(600)은 상기 롤러(610) 외에도 파티클 흡입부(620) 및 집진 롤러(630)를 더 포함할 수도 있다. 즉, 상기 오버 헤드 셔틀(500)을 통해 반송되는 카세트는 다수의 장비들(선반, 스토커 암, 오버 헤드 셔틀 등)을 거치게 되므로, 그 밑바닥에는 미세한 파티클(particle) 등이 묻어 있을 수 있으며, 이러한 파티클들은 결굴 클린룸을 오염시키게 되는바, 본 발명은 상기와 같은 파티클을 제거하기 위하여, 상기 인터페이스 모듈(600)에 파티클 흡입부(620)와 집진 롤러(630)를 구비할 수도 있다.
상기 파티클 흡입부(620)는 미도시된 진공장치에 의해 상기 카세트의 밑면 공기를 흡입하기 위한 것으로서, 이로인해 상기 카세트 밑면에 부착되어 있던 파티클들이 제거될 수 있다. 상기 파티클 흡입부(620)는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 오버 헤드 셔틀(500)과 접촉되는 위치에 형성되는 것이 바람직하나 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 집진 롤러(630)는 상기 파티클 흡입부(620)에 의해 흡입되지 못한 파티클들을 그 이송중에 제거하기 위한 것으로서, 파티클을 집진할 수 있는 물질들이 부착되어 있는 롤러로 구성될 수 있다.
즉, 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치는, 양방향으로 회전가능한 롤러를 오버 헤드 셔틀 및 인터페이스 모듈에 설치함으로써, 클린룸에서의 스토커 배열 위치에 상관없이 카세트를 반송할 수 있다는 특징을 가지고 있다.
상술된 바와 같은 본 발명은 레일의 좌우에 배치되어 있는 스토커로 양방향 카세트 전송이 가능함으로, 클린룸 내부에서의 스토커 배치를 보다 다양하게 할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 스토커와 오버 헤드 셔틀 사이에 별도의 카세트 이재 로봇을 구비할 필요가 없으므로, 제조 단가를 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 카세트 반송에 따른 공정 시간을 줄일 수 있다는 우수한 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (7)

  1. 천정에 설치된 레일을 따라 이동하며, 회전가능한 롤러로 구성된 오버 헤드 셔틀 및
    양측 방향으로 회전 가능한 롤러로 구성되며, 상기 오버 헤드 셔틀과 스토커 사이에 위치되는 인터페이스 모듈
    을 포함하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 인터페이스 모듈은, 모듈 체인을 통해 천정에 고정되거나 또는 상기 스토커에 고정되는 것을 특징으로 하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 오버 헤드 셔틀의 상기 롤러는, 상기 레일의 양측 방향으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 레일을 경계로 하여 상기 오버 헤드 셔틀의 양측에는 두 개의 스토커와 각각 인접되어 있는 두 개의 인터페이스 모듈이 각각 위치되는 것을 특징으로 하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 레일을 경계로, 제1 스토커와 인접되어 있는 상기 인터페이스 모듈이 위치된 반대측에 위치되어, 상기 제1 스토커와 또 다른 제2 스토커간에 카세트를 반송시킬 수 있는 오버 헤드 컨베이어를 더 포함하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 오버 헤드 컨베이어는 상기 제1 스토커와 인접해 있는 인터페이스 모듈로부터 상기 오버 헤드 셔틀을 통해 이송되어온 카세트를 상기 제2 스토커로 전송하는 것을 특징으로 하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 오버 헤드 컨베이어는,
    상기 카세트를 이송하기 위한 컨베이어와,
    상기 인터페이스 모듈 및 상기 컨베이어와 동일 선상에 위치되도록 상기 오버 헤드 셔틀과 인접되게 위치되는 컨베이어용 인터페이스 모듈을 포함하는 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송장치.
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