KR100689072B1 - 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치 - Google Patents

디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100689072B1
KR100689072B1 KR1020050018418A KR20050018418A KR100689072B1 KR 100689072 B1 KR100689072 B1 KR 100689072B1 KR 1020050018418 A KR1020050018418 A KR 1020050018418A KR 20050018418 A KR20050018418 A KR 20050018418A KR 100689072 B1 KR100689072 B1 KR 100689072B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
clean room
roller conveyor
cassette
lifter
lifter car
Prior art date
Application number
KR1020050018418A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050029720A (ko
Inventor
이동헌
Original Assignee
이동헌
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이동헌 filed Critical 이동헌
Priority to KR1020050018418A priority Critical patent/KR100689072B1/ko
Publication of KR20050029720A publication Critical patent/KR20050029720A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100689072B1 publication Critical patent/KR100689072B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G7/00—Devices for assisting manual moving or tilting heavy loads
    • B65G7/02—Devices adapted to be interposed between loads and the ground or floor, e.g. crowbars with means for assisting conveyance of loads
    • B65G7/04—Rollers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233—Position of the article
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 관한 것이다. 종래의 장치에서는 리프터 카와 크린 룸 사이에서 부품 카세트를 이재하는 이재기가 부품 카세트의 중량에 의해 처지면서 부품 카세트가 미끄러져 추락함에 따라 부품의 손상을 초래할 뿐만 아니라 한 층의 크린 룸에 1단의 카세트 적재대만을 설치하고 있기 때문에 공장부지 활용도가 떨어지는 문제점이 있었다. 본 발명은 리프터카 내와 크린룸내에 롤러 컨베이어를 설치하여 부품 카세트를 반송이재 할 수 있도록 한 것으로 크린룸내의 고정롤러 컨베이어와 리프터카 내의 이동롤러 컨베이어의 수평을 정확히 맞출 수 있는 수평 맞춤 수단을 구비함으로서 안전하게 부품카세트를 반송이재할 수 있으며, 각 층의 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치함으로써 공장부지 활용도를 높일 수 있으면서도 카세트의 반송이재를 안전하게 수행할 수 있고, 크린룸 도어와 리프터카 도어의 개폐 소요시간을 단축함으로써 전체적인 이재에 소요되는 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING CASSETTE OF DISPLAY DEVICE}
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치의 실시례를 도시하는 것으로,
도 1은 종단면도,
도 2는 횡단면도,
도 3은 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정을 보인 것으로,
도 3a는 리프터 카가 크린룸 도어의 정위치에 정지하고, 카세트가 크린 룸 내의 롤라 컨베이어 상에 적재된 상태를 보인 종단면도,
도 3b는 크린룸 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 3c는 크린룸 도어가 열린 후, 리프터카 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 3d는 리프터카 내의 롤러 콘베어가 크린룸 내 롤러 컨베이어의 끝단까지 전진한 상태를 보인 종단면도,
도 3e는 리프터카 내의 롤러 컨베이어가 서서히 상승 또는 하강하여 크린룸 내 롤러 컨베이어와 수평이 정확히 맞도록 이동 정지한 상태를 보인 종단면도,
도 3f는 2개의 롤러 컨베이어가 구동하여 카세트를 리프터카 내부로 반송하는 상태를 보인 종단면도,
도 3g는 카세트가 리프터카 내의 이동 롤러 컨베이어에 이송 완료된 상태를 보인 종단면도,
도 3h는 리프터카 내의 롤러 컨베이어가 카세트를 실은 상태로 리프터카 내로 후진한 상태를 보인 종단면도,
도 3i는 리프터카 내의 롤러 컨베이어가 하강하고, 리프터카 도어와 크린룸 도어가 닿힌 상태를 보인 종단면도,
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10: 크린 룸 20: 고정 롤러 컨베이어
21: 컨베이어 베이스 22: 프레임 (22a, 22b)
23: 롤러 24: 지지대
25: 모터 (Moter) 26: 체인 (Chain)
30: 승강로 40: 리프터 카
45: 높이 감지 센서(45a,45b)
50: 크린룸 도어 60: 리프터카 도어
70: 반송이재장치 71: 이동롤러 컨베이어
72: 전후진 이동용 안내레일(72a,72b)
73: 전후진 이동용 안내편(73a, 73b, 73c, 73d)
74: 베이스 판 75: 상하이동용 액튜에이터
76: 상하이동용 안내부쉬 및 축 (76a, 76b, 76c, 76d)
77: 전후진 이동용 액튜에이터
본 발명은 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치에 관한 것으로, 특히 부품을 안전하게 이재할 수 있음과 아울러 각 층별로 다단 적재가 가능하게 되는 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치에 관한 것이다.
통상적으로 디스플레이 제품, 예컨대 액정디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display) 및 피디피(PDP; Plasma Display Panel) 제품은 크린 룸(clean room)에서 제조공정이 이루어지게 되며, 크린 룸은 공장건물이 다 층으로 설치되어 디스플레이 제품을 구성하는 부품이나 반 조립품 등을 각 층의 크린 룸으로 반송하면서 디스플레이 제품을 제조하게 된다.
상기 부품이나 반 조립품은 카세트에 수납된 상태로 반송되며, 각 층간의 반송을 위하여 크린 룸들의 일측에는 승강로를 설치하고, 이 승강로에는 리프터 카(lifter car)를 승강 가능하게 설치하며, 이 리프터 카 또는 크린 룸에는 리프터 카와 크린룸 간에 카세트(cassette)를 이동시키는 이재 장치를 설치하고 있다. 또한 크린 룸과 승강로의 경계벽에는 크린룸 출입구가 형성되고, 리프터 카의 크린룸쪽 벽에는 리프터카 출입구가 형성되며. 이들 출입구는 각각 크린룸 도어와 리프터 카 도어에 의해 개폐된다.
종래 장치에 의해 부품이나 반 조립품을 수납한 카세트를 각 층의 크린 룸으 로 이재하는 과정을 설명한다.
리프터 카를 승강시켜 원하는 크린 룸의 위치에 정지시킨 상태에서 먼저, 크린룸 도어를 열면, 크린 룸 내에는 일정 압력을 유지하도록 청정공기로 채워져 있으므로 이 크린 룸 내의 청정공기가 크린룸 출입구를 통해 상기 경계벽과 리프터 카 사이의 틈새로 유출되면서 승강로측의 공기가 크린 룸으로 유입되는 것을 방지하게 되며, 이 상태에서 리프터카 도어를 열면. 크린 룸 내의 청정공기가 리프터 카의 내부로 유입되어 승강로 내부 공기나 리프터 카의 내부공기가 크린룸 쪽으로 유입되는 것을 방지하게 된다. 여기서 승강로는 통상적으로 크린 룸보다는 낮은 등급이지만 어느 정도 크린 룸의 조건을 유지하는 것이다.
상기 도어들이 개방되면, 리프터 카 또는 크린룸에 설치된 이재기의 팔이 신장하면서 출입구들을 통해 크린 룸 내 또는 리프터 카내로 진입하게 되고, 카세트를 크린 룸 내 또는 리프터 카내로 이재하게 된다.
카세트가 이재 완료되면 이재기 팔은 수축하면서 크린룸 내부 또는 리프터 카의 내부로 복귀하게 되어 카세트를 이재 완료하게 된다.
카세트가 이재완료되면, 먼저 리프터카 도어를 닫고, 이어서 크린룸 도어를 닫는다.
도어들이 닫히면 리프터 카는 승강로를 따라 승강하여 카세트를 이재하고자 하는 크린 룸에 정지하게 되고, 상술한 바와 마찬가지로 먼저, 크린룸 도어가 열리고 이어서 리프터카 도어가 열리게 되며. 카세트가 안착된 이재기 팔이 신장하면서 크린 룸의 내부 또는 리프터 카 내부로 진입하여 카세트를 이재시키게 되며, 이후 상술한 바와 같이 반복하여 리프터 카도어가 닫히며, 이어서 크린룸 도어가 닫히게 된다.
이로서 어느 하나의 크린 룸에 있던 카세트를 원하는 크린 룸으로 이재하게 되는 것이다.
그러나 종래의 장치에서는 상술한 카세트 이재기를 각층 크린 룸 내에 설치하고, 리프터 카 내에 카세트 적재대를 설치하므로 고가의 이재기를 여러 대 필요로 하고 있으며, 만일 상술한 바와 같이 종래의 이재기를 리프터 카 내에 설치하여 운영한다면 이재기의 팔이 외팔보 형태로 된 2개의 팔로 구성되어 있기 때문에 카세트의 중량에 따라 이재기 팔의 처짐 현상이 발생하게 되고, 이에 더하여 리프터 카를 승강 안내하기 위하여 승강로에 설치된 가이드 레일(guide rail)과 리프터 카에 설치되어 상기 가이드 레일에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)간의 공차에 의해 리프터 카 전체가 크린룸쪽으로 기울어지게 되어 이재기 팔의 처짐이 더욱 커지게 되며, 이러한 이재기 팔이 처짐에 따라 카세트 내의 부품이 이동하게 됨에 따른 부품의 손상은 물론 카세트가 이재기 팔에서 미끄러져서 크린 룸의 바닥으로 추락함에 따른 부품의 손상을 초래하게 되는 문제점이 있었다.
특히, 최근 액정디스플레이 제품은 초대형화되어가고 있는 실정이며, 특히 액정디스플레이 및 피디피 제품은 100인치급 초대형이 개발되었다.
이와 같이 초대형 디스플레이 제품의 경우 예컨대 이어 사용되는 유리기판을 수납하는 카세트는 그 크기가 폭(W) 2,500mm × 길이(L) 3,000mm × 높이(H) 2,000mm이고, 중량이 2,000kg이상으로 초대형의 중량물이므로 이재기 팔의 자체 처짐은 30~50mm이상이 되고, 리프터 카의 기울어짐에 따른 이재기의 처짐이 60mm이상으로 되어 결과적으로 이재기의 처짐이 80~100mm이상으로 크게 나타나기 때문에 이제기 팔의 처침에 따른 카세트의 이재가 심각한 문제로 대두되고 있다.
또한 종래에는 디스플레이 제품의 초대형화에 따라 각 크린 룸에 1단의 카세트 적재대를 설치하였으나, 1단 적재를 할 경우 공장부지 활용도가 떨어지기 때문에 각층 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하여 2단 적재가 가능하도록 크린 룸의 활용도를 높이는 추세임은 물론, 각 층 내의 공장배치도 점점 복잡화 되어 출입구가 승강로의 일측에 만 설치되지 않고, 180˚반대편에도 설치되고 있다.
그러나 이와 같이 다단 적재가 가능하도록 각 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하였을 경우 상단의 카세트 적재대에 대한 카세트의 이재 과정에서 상술한 이재기의 처짐에 따른 카세트의 추락 사고가 발생할 우려가 있고, 또한 다단으로 올리기 위한 고가설비가 필요하게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 출원인이 2004년 7월 14일 특허 출원번호 10-2004-0054878로 슬라이드 이재방식의 카세트 반송 장치를 출원한바 있으나, 이 또한 구조가 복잡하고 고가의 비용이 소요되는 문제가 있었다.
상술한 이재기 방식이외에 소형 반송물을 상술한 바와 같이 각 층간에 반송하는 경우에는 크린룸 측과, 리프터카 측모두에 롤러 컨베이어(Roller Conveyor)를 설치 사용하는 경우가 일반적이나, 상술한 바와 같이 본 발명에서 적용하고자 하는 카세트는 대형이고, 중량물임은 물론 건물높이가 50m이상의 고층에서도 적용하여야 하므로, 카세트가 있을 때와 없을 때, 카세트 간의 무게차이 등에 의해 리프터 카를 상하로 잡고 있으면서 이동시키는 와이어로프(Wire rope)의 늘어남의 차이 등으로 인해, 크린룸 내의 고정 롤러 컨베이어와 리프터 카 내의 이동롤러 컨베이어의 수평을 정확히 맞출 수 없는 문제점이 있어 카세트 내의 유리기판에 충격을 주지 않고, 안정되게 카세트를 반송할 수가 없어 본 출원인의 특허출원번호 10-2004-0098282로 2개의 롤러 컨베이어 수평을 맞추어 줄 수 있는 카세트 반송이재 장치를 출원한 바 있으나, 이 또한 카세트의 이동하중이 리프터 카에 무리하게 작용하는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 카세트를 보다 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 각 층의 크린 룸을 다단 적재가 가능하고, 복층화 하면서도 카세트를 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 크린 룸과 리프터 카 간의 카세트 이동 동작이 신속하게 이루어져 카세트 이재 시간을 단축할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재하는 카세트 적재대와, 상기 크린 룸의 내부에 설치되며 베이스와 이 베이스에 설치되는 프레임과 이 프레임에 회전 가능하게 지지되는 복수개의 롤러로 구성되어 적재된 카세트를 반송하는 고정롤러 컨베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터 카의 내부에 설치되며 상기 고정롤러 컨베이어와 동일한 구조의 베이스와 이 베이스에 설치되는 프레임과 이 프레임에 회전 가능하게 지지되는 복수개의 롤러로 구성되는 이동롤러 컨베이어를 포함하여 전후진 및 상하 이동하는 이동롤러 컨베이어 방식 이재장치를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 있어서, 상기 고정롤러 컨베이어의 베이스의 크린룸 도어측 끝단부와 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스의 리프터카 도어측 끝단부에 서로 마주보도록 설치된 한쌍의 높이감지센서들과; 상기 리프터카의 바닥과 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스 사이에 설치되어 상기 한쌍의 높이감지센서들의 감지신호에 따라 승강 작동하여 상기 이동롤러 컨베이어를 승강 작동시켜서 고정롤러 컨베이어와 이동롤러 컨베이어의 수평을 정확히 맞추기 위한 상하 이동수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스를레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치를 제공한다.
상기 고정롤러 컨베이어가 각 크린 룸별로 좌우 및 1단 또는 2단으로 구성되고, 상기 크린룸 출입구는 좌우 및 1단 또는 2단의 고정롤러 컨베이어에 대응하며 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 출입구로 형성되며, 상기 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 출입구에는 각각 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 도어가 설치된다.
상기 상하 이동수단은 상기 리프터카의 바닥과 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스 사이에 설치되어 상기 이동롤러 컨베이어를 상하이동시키는 상하이동용 액츄에이터로 구성된다.
이하, 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 첨부도면에 도시한 실시례에 따라서 상세히 설명한다.
〈실시례〉
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 실시례를 도시한 것으로, 도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 3은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면이다.
본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성된 크린 룸(10)과, 상기 크린 룸(10)의 내부에 설치되어 카세트(C)를 적재 및 반송하는 고정 롤러컨베이어(20)와, 상기 크린 룸(10)의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로(30)와, 상기 승강로(30)에 승강 가능하게 설치되는 리프터 카(40)와, 상기 리프터 카(40)에 설치된 이동 롤러컨베이어(71)를 상하 및 전후진으로 이동시킬 수 있는 카세트 반송이재장치(70)가 설치되어, 상기 크린 룸(10)에 설치된 고정 롤러컨베이어(20)와 상기 이동 롤러컨베이어(71)의 수평 맞춤 수단으로 구성된다.
상기 크린 룸(10)은 통상적으로 청정공기가 지속적으로 유입되어 일정한 압력을 유지하는 상태로 되어 있으며, 리프터 카(40)의 내부는 세미 크린 룸(semi-clean room)으로 구성되어 있다.
상기 크린 룸(10)과 승강로(30) 사이의 경계벽(11)에는 크린룸 출입구(12)가 형성되고, 리프터 카(40)의 크린 룸(10)측면에는 리프터카 출입구(41)가 형성되어 있고, 상기 크린룸 출입구(12)와 리프터카 출입구(41)에는 각각 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 설치되어 있다.
상기 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)는 상하 방향으로 개폐 작동되도록 설치되며, 에어시린더 또는 권취모터와 이 에어시린더 또는 권취모터에 권취되는 로프 등으로 구성되는 통상적인 엘리베이터 등의 종래 기술에서 채용하고 있는 상하 개폐식 도어 구동수단에 의해 개폐되는 것이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 고정 롤러 컨베이어(20)는 다수개의 동일롤러(23)를 롤러 상호간 및 구동부와를 체인 또는 벨트에 의해 구동시키는 모터(25)가 설치되어 구성되고, 프레임(22a, 22b)이 서로 일정 거리만큼 이격된 상태로 좌우 한 쌍으로 컨베이어 베이스(21)위에 설치되어 구성되고, 크린룸(10)의 바닥면 또는 2단 지지대위에 컨베이어 지지대(24)에 의해 고정결합 되는 것으로 구성된다. 여기서 롤러 컨베이어의 구동방법 등은 통상적인 종래기술에서 채용하고 있는 방법이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 승강로(30)에는 상기 리프터 카(40)를 승강 구동하기 위한 수단이 설치된다.
상기 리프터 카(40)를 승강 구동시키는 수단은 통상적인 엘리베이터에서와 같아, 승강로(30)의 최상단의 기계실(31)과, 상기 승강로(30)의 일측에 형성되는 균형추 승강로(32)와, 상기 기계실(31)에 설치되는 권상기(33)와, 상기 균형추 승강로(32)에 승강 가능하게 설치되는 균형추(34)와, 상기 권상기(33)에 권취되어 그 하단이 리프터 카(40)의 상단에 고정되는 권상로프(R1)와, 상기 리프터 카(40)의 상단과 균형추(34)의 상단을 연결하는 균형로프(R2), 상기 리프터 카(40)의 하단과 균형추(34)의 하단을 연결하는 보상체인으로 연결된다.
상기 승강로(30)의 양측벽에는 가이드 레일(guide rail)(35)이 설치되며, 상기 리프터 카(40)의 양측면에는 상기 가이드 레일(35)에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)(36)가 설치된다. 또한 상기 균형추 승강로(32)에는 가이드 레일(37)이 설치되며, 상기 균형추(34)에는 상기 가이드 레일(37)에 안내되는 가이드 슈(38)가 설치된다.
상기 반송이재 장치(70)는 다수개의 롤러(71c)를 롤러 상호간 및 구동부와를 체인 또는 벨트에 의해 구동시키는 모터(미도시)가 설치되어 구성되고, 프레임(71a, 71b)이 서로 일정 거리만큼 이격된 상태로 좌우 한 쌍으로 컨베이어 베이스(71d)위에 설치되어 구성되는 이동롤러 콘베이어(71)와, 리프터카(40) 밑면위에 이동 롤러 컨베이어(71)의 전후진 이동용 안내레일(72a, 72b)과 전후진 이동용안내편 (73a, 73b, 73c, 73d)과 전후진 이동수단으로서의 전후진 이동용 액튜에이터(77)가 고정 설치되고, 전후진 이동용안내편(73)들 위에 고정된 베이스스판(74)위에 이동용 롤러컨베이어(71)의 상하 이동용 안내부시 및 축(76a, 76b, 76c, 76d)과 전후진 이동용 액튜에이터(77)가 이동용 롤러컨베이어 (71) 하부에 고정설치되어, 구성되어 있다.
상기 이동롤러 컨베이어(71)의 프레임(71a,71b), 롤러(71c) 및 베이스(71d)와 고정롤러 컨베이어(20)의 프레임(22a,22b), 롤러(23) 및 베이스(21)는 서로 동일한 구조로 구성되며, 상기 이동롤러 컨베이어(71)의 프레임(71a,71b)의 양 끝단부와 상기 고정롤러 컨베이어(20)의 프레임(22a,22b)의 양 끝단부에는 서로 마주보는 위치에 높이감지센서(45a, 45b)가 각각 설치된다.
또한 상기 고정롤러 컨베이어(20)와 이동롤러 컨베이어(71)의 높이를 일치시키기 위하여 상기 리프터카(40)의 바닥과 상기 이동롤러 컨베이어(71)의 베이스(71d) 사이에 설치되어 상기 이동롤러 컨베이어(71)를 상하이동시키기 위한 상하 이동수단이 구비된다.
상기 상하 이동수단은 상기 리프터카(40)의 바닥과 이동롤러 컨베이어(71)의 베이스(71d) 사이에 설치되는 상하이동용 액츄에이터(75)로 구성된다.
상기 상하 이동수단, 즉 상하이동용 액츄에이터(75)는 상기 높이감지센서(45a, 45b)의 감지신호에 따라 작동하게 된다.
상기 전후진 이동용 안내레일(72a, 72b)은 통상적인 엘엠 가이드 레일(Linear Motion guide rail)이 사용되며, 상기 전후진 이동용 안내편(73)은 엘엠 가이드 블록(Linear Motion guide block)이 사용된다.
상기 상하이동용 안내부시 및 축 (76a, 76b, 76c, 76d)은 통상적인 원형 볼 부시(Ball Bush) 및 샤프트(shaft)가 사용된다.
상기 전후진 및 상하이동용 액츄에이터(77,75)로서는 모터와 볼스크루, 모터와 편심캠 또는 공압실린더나 유압실린더를 사용할 수 있으며, 상하 이동용 액튜에이터(75)는 한 쌍의 높이 감지센서(45a, 45b)가 인식한 높이 차이를 없애줄 수 있는 양 만큼 작동할 수 있는 것으로서, 이는 통상적인 선형 액츄에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 한 쌍의 높이 감지센서(45a, 45b)는 근접스위치, 광센서, 리미트 스위치, 에리어 센서 등을 사용할 수 있으며, 2개의 롤러 컨베이어(20, 71)의 높이 차이를 0.5mm 이내로 유지할 수 있는 수준의 센서이면 어떠한 것이라도 사용 가능하며, 이는 통상적인 센서류의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하, 본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 의한 카세트의 이재 과정을 설명한다.
도 3a와 같이 리프터카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 컨베이어(20)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 닫힌 상태에서, 카세트(C)를 다른 크린 룸(10)으로 반송이재함에 있어서는, 도 3b에 도시한 바와 같이 크린룸 도어(50)를 열면, 크린 룸(10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 승강로(30)로 유출되어 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 된다. 이때 리프터카 (40)의 정지정도는 일반적으로 ±2mm이내이다.
이 상태에서 도 3c에 도시한 바와 같이 리프터카 도어(60)를 열면, 크린 룸(10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 리프터 카(40)와 승강로(30)로 유출되어 리프터 카(40) 및 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 됨과 아울러 리프터 카(40)의 내부도 크린 룸(10)에 상당하는 조건으로 유지된다.
이 상태에서 도 3d와 3e에 도시한 바와 같이 반송이재장치(70)의 이동롤러 컨베이어(71)가 전후진 이동수단인 전후진 이동용 액튜에이터(77)와 전후진 이동용 안내레일 및 안내편(72, 73)에 의해 크린룸내 고정 롤러 컨베이어(20)의 끝단부 까지 이동정지한 후, 한 쌍의 높이 감지센서(45a, 45b)가 인식한 높이차 만큼 상하 이동용 액튜에이터(75)가 작동하여 이동롤러 컨베이어(71)를 서서히 하강 또는 상승시켜 고정롤러 컨베이어(20)와 이동롤러 컨베이어(71)의 수평이 정확히 맞도록 한다.
이상태에서 3f에서 도시한 바와같이 고정롤러 컨베이어(20)와 이동롤러 컨베이어(71)를 동시에 가동하여 카세트(c)를 이동롤러 컨베이어(71)의 상부 정위치까지 이동시켜 도 3g의 상태와 같이 카세트(3)를 이동완료 시킨다.
이때, 이동이 진행되면서 카세트c)의 중량도 리프터카(40) 쪽으로 이동하게 되므로, 리프터카(40)를 수직방향으로 잡고 있는 와이어 로프가 이동되는 하중량에 비례하여 길이가 늘어나게 되어 이동롤러 컨베이어(71)와 고정롤러 컨베이어(20)에 높이 차이가 서서히 발생하게 되는데, 이 서서히 발생되는 높이 차이를 한 쌍의 높이 감지센서(45a, 45b)가 인식하여, 바로바로 높이차만큼 상하 이동용 액튜에이터(75)를 작동시켜 이동롤러 컨베이어(75)와 고정롤러 컨베이어(20)의 높이 차이가 발생하지 않도록 한다.
이 상태에서 도 3h에 도시한 바와같이 카세트 반송이재 장치(70)의 이동롤러 컨베이어(71)가 카세트(c)를 실은 상태에서 리프터카(40) 내부로 후진하여 정위치로 되돌아간다.
이 상태에서 도 3i에 도시한 바와 같이 이동롤러 컨베이어(71)가 카세트(c)를 실은 상태로 하강하여 정위치로 되돌아가고, 리프터카 도어(60)와 크린룸 도어(50)를 닫는다.
이러한 과정을 통해서 크린룸(10)내에 있던 카세트(c)를 리프터카(40)내로 반송이재 완료시킨 후, 리프터카(40)를 다른층 또는 다른단으로 이동시켜, 상술한 역순으로 반송이재 하면 다른단 또는 다른층 크린룸(10)내로 카세트(c)를 반송이재 완료시킬 수 있는 것이다.
또한, 이동 롤러 컨베이어(71)의 전후진 이동수단은 이동 롤러 컨베이어(71)와 고정 롤러 컨베이어(20)간의 거리를 최대한 가깝게 하여 카세트(c)의 반송을 원활하게 하기 위한 수단이나, 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)의 개폐에 간섭이 없는 위치까지 고정 롤러 컨베이어(20)와 이동 롤러 컨베이어(71)를 가깝게 연장 설치하면, 전후진 이동수단을 설치 구성하지 않아도 본 발명의 목적인 카세트(c)의 반송이재를 할 수 있는 것이다.
이상과 같이 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치에 의하면 초대형 디스플레이 제품용 부품 카세트를 이재하는 경우에도 종래의 이재기가 처지는 일이 있었던 것과는 달리, 고정 롤러 컨베이어와 이동 롤러 컨베이어의 수평을 유지 시키면서 안전하게 카세트를 반송이재 할 수 있게 되어, 디스플레이 제품용 부품의 손상 없이 안전하게 이재반송 작업을 수행할 수 있게 되는 것이다.
또한 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의하면 각 층의 크린 룸을 다단 적재가 가능한 복층화 하면서도 카세트를 반송이재 할 수 있어 디스플레이 제품용 부품의 손상 없이 안전하게 이재작업을 수행할 수 있게 되는 것이다.
또한 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치에 의하면 크린룸 도어와 리프터카 도어를 개폐에 소요되는 시간을 단축함으로써 크린 룸과 리프터 카 간의 카세트 이동 동작이 신속하게 이루어지고, 이에 따라 전체적인 카세트 이재 시간을 단축할 수 있게 되는 것이다.
또 상술한 실시례들에서는 승강로의 일측에만 크린 룸이 구비된 예에 대하여 설명하였으나, 승강로의 양측에 크린룸이 구비된 경우에도 적용할 수 있으며, 이 경우 리프터카 도어를 양측에 설치하고, 리프터카 내의 롤러 컨베이어를 역회전시킬 수 있는 수단을 구비함으로써 양측 크린 룸에 대한 반송이재가 가능하게 되는 것이다.

Claims (3)

  1. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재하는 카세트 적재대와, 상기 크린 룸의 내부에 설치되며 베이스와 이 베이스에 설치되는 프레임과 이 프레임에 회전 가능하게 지지되는 복수개의 롤러로 구성되어 적재된 카세트를 반송하는 고정롤러 컨베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 결쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터 카의 내부에 설치되며 상기 고정롤러 컨베이어와 동일한 구조의 베이스와 이 베이스에 설치되는 프레임과 이 프레임에 회전 가능하게 지지되는 복수개의 롤러로 구성되는 이동롤러 컨베이어를 포함하여 전후진 및 상하 이동하는 이동롤러 컨베이어 방식 이재장치를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 있어서,
    상기 고정롤러 컨베이어의 베이스의 크린룸 도어측 끝단부와 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스의 리프터카 도어측 끝단부에 서로 마주보도록 설치된 한쌍의 높이감지센서들과;
    상기 리프터카의 바닥과 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스 사이에 설치되어 상기 한쌍의 높이감지센서들의 감지신호에 따라 승강 작동하여 상기 이동롤러 컨베이어를 승강 작동시켜서 고정롤러 컨베이어와 이동롤러 컨베이어의 수평을 정확히 맞추기 위한 상하 이동수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고정롤러 컨베이어가 각 크린 룸별로 좌우 및 1단 또는 2단으로 구성되고, 상기 크린룸 출입구는 좌우 및 1단 또는 2단의 고정롤러 컨베이어에 대응하며 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 출입구로 형성되며, 상기 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 출입구에는 각각 좌우 및 1단 또는 2단의 크린룸 도어가 설치됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상하 이동수단은 상기 리프터카의 바닥과 상기 이동롤러 컨베이어의 베이스 사이에 설치되어 상기 이동롤러 컨베이어를 상하이동시키는 상하이동용 액츄에이터로 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
KR1020050018418A 2005-03-05 2005-03-05 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치 KR100689072B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050018418A KR100689072B1 (ko) 2005-03-05 2005-03-05 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050018418A KR100689072B1 (ko) 2005-03-05 2005-03-05 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050029720A KR20050029720A (ko) 2005-03-28
KR100689072B1 true KR100689072B1 (ko) 2007-03-08

Family

ID=37386249

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050018418A KR100689072B1 (ko) 2005-03-05 2005-03-05 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100689072B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100934547B1 (ko) * 2008-01-31 2009-12-29 이동헌 다층 다단간 운반물 반송이재 장치
KR102020558B1 (ko) 2019-01-14 2019-09-10 다이이치코리아 주식회사 반송이재장치 및 이를 이용한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재시스템

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101340786B1 (ko) * 2006-08-18 2013-12-11 엘지디스플레이 주식회사 오버 헤드 셔틀을 이용한 반송 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568917U (ja) * 1992-02-26 1993-09-17 村田機械株式会社 ワーク収納装置
JPH06340303A (ja) * 1993-05-28 1994-12-13 Tsubakimoto Chain Co 入出庫装置における物品のはみ出し検知方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568917U (ja) * 1992-02-26 1993-09-17 村田機械株式会社 ワーク収納装置
JPH06340303A (ja) * 1993-05-28 1994-12-13 Tsubakimoto Chain Co 入出庫装置における物品のはみ出し検知方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100934547B1 (ko) * 2008-01-31 2009-12-29 이동헌 다층 다단간 운반물 반송이재 장치
KR102020558B1 (ko) 2019-01-14 2019-09-10 다이이치코리아 주식회사 반송이재장치 및 이를 이용한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050029720A (ko) 2005-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105035717B (zh) 装卸卡匣的系统和装卸卡匣的方法
JP6183714B2 (ja) コンテナ昇降搬送装置
JP6179729B2 (ja) コンテナ昇降搬送装置
WO2015190394A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
JP6061206B2 (ja) コンテナ昇降搬送装置
KR100689072B1 (ko) 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치
JP2008100774A (ja) 搬送台車及び搬送台車による被搬送物移送方法
KR20050025941A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050032045A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050029138A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR100531568B1 (ko) 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치
KR100663157B1 (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치
KR100965512B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR100579707B1 (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송장치
KR20050026432A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050027976A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR102020558B1 (ko) 반송이재장치 및 이를 이용한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재시스템
KR20050027977A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR102359448B1 (ko) 이송 수단이 구비된 화물용 승강기
KR20050035199A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR102168478B1 (ko) 반송대차 시스템 및 그에 사용되는 반송대차
KR20050029137A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050029169A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
JP2947014B2 (ja) 吊下搬送装置
KR102180411B1 (ko) 반송대차 시스템 및 그에 사용되는 반송대차

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130222

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140224

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150217

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160219

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170221

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180222

Year of fee payment: 12