KR100663157B1 - 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 관한 것이다. 종래의 장치에서는 리프터 카와 크린 룸 사이에서 부품 카세트를 이재하는 이재기가 부품 카세트의 중량에 의해 처지면서 부품 카세트가 미끄러져 추락함에 따라 부품의 손상을 초래할 뿐만 아니라 한 층의 크린 룸에 1단의 카세트 적재대만을 설치하고 있기 때문에 공장부지 활용도가 떨어지는 문제점이 있었다. 본 발명은 리프터 카 내와 크린 룸 내에 롤러 콘베이어를 설치하여 부품 카세트를 반송이재할 수 있도록 한 것으로, 크린 룸 내의 고정롤러 콘베이어와 리프터 카 내의 반송이재용 롤러 콘베이어의 수평을 정확히 맞출 수 있는 수평유지수단을 구비함으로써 안전하게 부품 카세트를 반송이재할 수 있으며, 각 층의 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치함으로써 공장부지 활용도를 높일 수 있으면서도 카세트의 반송이재를 안전하게 수행할 수 있고, 크린 룸 도어와 리프터 카 도어의 개폐 소요시간을 단축함으로써 전체적인 반송이재에 소요되는 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING CASSETTE OF DISPLAY DEVICE}
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제 1실시례를 도시하는 것으로,
도 1은 종단면도,
도 2는 횡단면도,
도 3은 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정 설명도,
도 4는 지지턱과 안착부의 변형 예를 보인 종단면도,
도 5는 지지턱과 안착부 사이에 캠폴로우어 베어링을 설치한 예를 보인 종단면도.
도 6 내지 도 10은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제2 실시예를 도시하는 것으로,
도 6은 종단면도,
도 7는 횡단면도,
도 8은 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정을 보인 도면,
도 9는 도 8d와 도 8h의 A부 상세종단면도,
도 10은 도 8e, 도 8f, 도 8g의 A' 부 상세종단면도,
도 11은 반송이재용 롤러 콘베이어를 이동스토퍼 상부에 고정한 변형 예를 보인 종단면도,
도 12는 도 11의 이동스토퍼가 고정스토퍼까지 전진한 상태를 보인 종단면도.
도 13 내지 도 20은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치의 제3 실시예를 도시하는 것으로,
도 13은 종단면도,
도 14는 횡단면도,
도 15은 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정을 보인 것으로,
도 15a는 리프터 카가 크린룸도어의 정위치에 정지하고, 카세트가 크린 룸 내의 고정 롤라 콘베이어 상에 적재된 상태를 보인 종단면도,
도 15b는 크린룸 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 15c는 크린룸 도어가 열린 후, 리프터카 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 15d는 리프터 카 외부 좌우측에 부착된 한쌍의 이동스토퍼가 승강로 외벽 내측에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼까지 전진한 상태를 보인 종단면도,
도 15e는 이동스토퍼의 스톱 액추에이터들이 작동하여 고정스토퍼와의 틈새를 최소로 유지한 상태를 보인 종단면도,
도 15f는 2개의 롤러 콘베이어가 구동하여 카세트를 리프터 카 내부로 반송하는 상태를 보인 종단면도,
도 15g는 카세트가 리프터 카 내의 롤러 콘베이어에 이송완료된 상태를 보인 종단면도,
도 15h는 리프터 카내의 롤러 콘베이어가 카세트를 실은 상태에서 스톱액추에이터가 제 위치로 복귀하여 고정스토퍼와의 틈새를 최대로 유지한 상태를 보인 종단면도,
도 15i는 이동스토퍼가 후진 복귀하고, 리프터카 도어와 크린룸도어가 닿힌 상태를 보인 종단면도,
도 16는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 B부 상세 횡단면도,
도 17는 도 16의 C-C 종단면도,
도 18은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되지 않은 상태의 D부 상세 종단면도,
도 19은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합된 상대의 D부 상세 종단면도,
도 20은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되고 스톱액추에이터가 작동된 상태의 D부 상세 종단면도.
도 21 내지 도 25은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제4 실시예를 보인 것으로,
도 21 및 도 22는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도,
도 23는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 상세 횡단면도,
도 24는 도 4의 E-E선 단면도,
도 25은 이동스토퍼와 고정스토퍼의 작동상태를 보인 도 24의 G부 상세 종단면도,
도 26은 고정스토퍼와 이동스토퍼의 변형예를 보인 종단면도.
도 27 내지 도 은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제5 실시례를 도시하는 것으로,
도 27은 종단면도,
도 28은 횡단면도,
도 29는 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정을 보인 것으로,
도 29a는 리프터카가 크린룸도어의 정위치에 정지하고, 카세트가 크린 룸 내의 고정 롤라 콘베이어 상에 적재된 상태
를 보인 종단면도,
도 29b는 크린룸 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 29c는 크린룸 도어가 열린 후, 리프터카 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 29d는 리프터카 내의 롤러 콘베이어 하부중앙에 부착된 이동스토퍼가 크린룸내 고정 롤러콘베이어 하부중앙에
고정 설치된 고정스토퍼까지 전진하는 도중의 상태를 보인 종단면도,
도 29e는 이동스토퍼가 고정스토퍼까지 완전히 전진한 상태를 보인 종단면도,
도 29f는 2개의 롤러 콘베이어가 구동하여 카세트를 리프터카 내부로 반송하 는 상태를 보인 종단면도,
도 29g는 카세트가 리프터카 내의 롤러 콘베이어에 이송완료된 상태를 보인 종단면도,
도 29h는 리프터카내의 롤러 콘베이어가 카세트를 실은 상태에서 스톱액추에이터가 제 위치로 복귀하여 고정스토퍼와의 틈새를 최대로 유지한 상태를 보인 종단면도,
도 29i는 이동스토퍼가 후진 복귀하고, 리프터카 도어와 크린룸도어가 닿힌 상태를 보인 종단면도,
도 30는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 상세 횡단면도,
도 31는 도 30의 H-H선 단면도,
도 32는 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되지 않은 상태의 상세 종단면도,
도 33은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되는 도중의 상태의 상세 종단면도,
도 34은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합된 상태의 상세 종단면도,
도 35는 고정스토퍼와 이동스토퍼의 변형예를 보인 종단면도,
도 36 및 도 37은 고정스토퍼와 이동스토퍼의 또 다른 변형예를 보인 것으로,
도 36은 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 횡단면도,
도 37은 도 36의 I-I선 단면도,
도 38은 고정스토퍼와 이동스토퍼의 또 다른 변형예를 보인 종단면도,
도 39 및 도 40은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치의 제3 실시례의 변형례를 도시하는 것으로,
도 39는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 부분 상세 횡단면도
도 40은 도 39의 J-J 종단면도
도 41은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치의 제3 실시례의 다른 변형례를 도시한 부분 확대 종단면도
도 42 및 도 43은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제3 실시례의 또 다른 변형례를 도시하는 것으로,
도 42는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 부분 상세 횡단면도
도 43은 도 42의 K-K선 단면도
도 44 및 도 45는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제3 실시례의 또 다른 변형례를 도시하는 것으로,
도 44는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 부분 상세 횡단면도
도 45는 도 42의 L-L선 단면도
도 46은 본 발명에 의한 제2 실시례의 변형례를 보인 부분 종단면도
도 47은 본 발명에 의한 제2 실시례의 다른 변형례를 보인 부분 종단면도
조 48은 본 발명에 의한 제2 실시례의 또 다른 변형례를 보인 부분 확대도
도 49 및 도 50은 본 발명에 의한 또 다른 변형례를 보인 부분 확대도이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10 : 크린 룸 20 : 고정롤러 콘베이어
30 : 승강로 40 : 리프터 카
50 : 크린룸 도어 60 : 리프터 카 도어
70 : 반송이재수단 71 : 반송이재용 롤러 콘베이어
100,200,300,400,500,600,700,800: 수평유지수단
본 발명은 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 관한 것으로, 특히 부품을 안전하게 이재할 수 있음과 아울러 각 층별로 다단 적재가 가능하게 되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 관한 것이다.
통상적으로 디스플레이 제품, 예컨대 액정디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display) 및 피디피(PDP: Plasma Display Panel) 제품은 크린 룸(clean room)에서 제조공정이 이루어지게 되며, 크린 룸은 공장건물이 다 층으로 설치되어 디스플레이 제품을 구성하는 부품이나 반조립품 등을 각 층의 크린 룸으로 반송하면서 디스플레이 제품을 제조하게 된다.
상기 부품이나 반조립품은 카세트에 수납된 상태로 반송되며, 각 층간의 반송을 위하여 크린 룸들의 일측에는 승강로를 설치하고, 이 승강로에는 리프터 카(lifter car)를 승강 가능하게 설치하며, 이 리프트 카 또는 크린 룸에는 리프트 카와 크린 룸간에 카세트(cassette)를 이동시키는 이재 장치를 설치하고 있다. 또한 크린 룸과 승강로의 경계벽에는 크린룸 출입구가 형성되고, 리프터 카의 크린룸 쪽 벽에는 리프터카 출입구가 형성되며, 이들 출입구는 각각 크린룸 도어와 리프터 카 도어에 의해 개폐된다.
종래 장치에 의해 부품이나 반조립품을 수납한 카세트를 각 층의 크린 룸으로 이재하는 과정을 설명한다.
리프트 카를 승강시켜 원하는 크린 룸의 위치에 정지시킨 상태에서 먼저, 크린룸 도어를 열면, 크린 룸 내에는 일정 압력을 유지하도록 청정공기로 채워져 있으므로 이 크린 룸 내의 청정공기가 크린룸 출입구를 통해 상기 경계벽과 리프터 카 사이의 틈새로 유출되면서 승강로 측의 공기가 크린 룸으로 유입되는 것을 방지하게 되며, 이 상태에서 리프터 카 도어를 열면, 크린 룸 내의 청정공기가 리프터 카의 내부로 유입되어 승강로 내부의 공기가 크린 룸 쪽으로 유입되는 것을 방지하게 된다. 여기서 승강로는 통상적으로 크린 룸보다 낮은 등급이지만 어느 정도 크린 룸의 조건을 유지하는 것이다.
상기 도어들이 개방되면, 리프터 카 또는 크린 룸에 설치된 이재기의 팔이 신장하면서 출입구들을 통해 크린 룸 내 또는 리프터 카 내로 진입하게 되고, 카세트를 크린 룸 내 또는 리프터 카 내로 이재하게 된다.
카세트가 이재 완료되면, 이재기 팔은 수축하면서 크린 룸 내부 또는 리프터 카의 내부로 복귀하게 되어 카세트를 이재 완료하게 된다.
카세트가 이재 완료되면, 먼저 리프터 카 도어를 닫고, 이어서 크린룸 도어를 닫는다.
도어들이 닫히면 리프터 카는 승강로를 따라 승강하여 카세트를 이재하고자 하는 크린 룸에 정지하게 되고, 상술한 바와 마찬가지로 먼저, 크린룸 도어가 열리 고 이어서 리프트카 도어가 열리게 되며, 카세트가 안착된 이재기 팔이 신장하면서 크린 룸 내부 또는 리프터 카 내부로 진입하여 카세트를 이재시키게 되며, 이후 상술한 바와 같이 반복하여 리프터 카 도어가 닫히게 되며, 이어서 크린룸 도어가 닫히게 된다.
이로써 어느 하나의 크린 룸에 있던 카세트를 원하는 크린 룸으로 이재하게 되는 것이다.
그러나 종래의 장치에서는 상술한 카세트 이재기를 각층 크린 룸 내에 설치하고, 리프터 카 내에 카세트 적재대를 설치하므로 고가의 이재기를 여러 대 필요로 하고 있으며, 만일 상술한 바와 같이 종래의 이재기를 리프터 카 내에 설치하여 운영한다면 이재기의 팔이 외팔보 형태로 된 2개의 팔로 구성되어 있기 때문에 카세트의 중량에 따라 이재기 팔의 처짐 현상이 발생하게 되고, 이에 더하여 리프터 카를 승강 안내하기 위하여 승강로에 설치된 가이드 레일(quide rail)과 리프터 카에 설치되어 상기 가이드 레일에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)간의 공차에 의해 리프터 카 전체가 크린 룸 쪽으로 기울어지게 되어 이재기 팔의 처짐이 더욱 커지게 되며, 이러한 이재기 팔이 처짐에 따라 카세트 내의 부품이 이동하게 됨에 따른 부품의 손상은 물론 카세트가 이재기 팔에서 미끄러져서 크린 룸의 바닥으로 추락함에 따른 부품의 손상을 초래하게 되는 문제점이 있었다.
특히, 최근 액정디스플레이 제품은 초대형화되어가고 있는 실정이며, 특히 액정디스플레이 및 피디피 제품은 100인치급 초대형이 개발되었다.
이와 같이 초대형 디스플레이 제품의 경우 예컨대 이에 사용되는 유리기판을 수납하는 카세트는 그 크기가 폭(W) 2,500mm ×길이(L) 3,000mm ×높이(H) 2,000mm이고, 중량이 2,000kg이상으로 초대형의 중량물이므로 이재기 팔의 자체 처짐은 30~50mm이상이 되고, 리프터 카의 기울어짐에 따른 이재기의 처짐이 60mm이상으로 되어 결과적으로 이재기의 처짐이 80~100mm이상으로 크게 나타나기 때문에 이재기 팔의 처짐에 따른 카세트의 이재가 심각한 문제로 대두되고 있다.
또한 종래에는 디스플레이 제품의 초대형화에 따라 각 크린 룸에 1단의 카세트 적재대를 설치하였으나, 1단 적재를 할 경우 공장부지 활용도가 떨어지기 때문에 각층 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하여 2단 적재가 가능하도록 크린 룸의 활용도를 높이는 추세임은 물론, 각 층 내의 공장배치도 점점 복잡화 되어 출입구가 승강로의 일측에만 설치되지 않고, 180˚반대편에도 설치되고 있다.
그러나 이와 같이 다단 적재가 가능하도록 각 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하였을 경우 상단의 카세트 적재대에 대한 카세트의 이재 과정에서 상술한 이재기의 처짐에 따른 카세트의 추락 사고가 발생할 우려가 있고, 또한 다단으로 올리기 위한 고가설비가 필요하게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 출원인이 2004년 7월 14일 특허출원번호 10-2004-0054878로 슬라이드 이재방식의 카세트 반송이재장치를 출원한바 있으나, 이 또한 구조가 복잡하고 고가의 비용이 소요되는 문제가 있었다.
상술한 이재기 방식이외에 소형 반송물을 상술한 바와 같이 각층 간에 반송하는 경우에는 크린 룸 측과, 리프터 카 측 모두에 롤러 콘베이어(Roller Conveyor)를 설치 사용하는 경우가 일반적이나. 상술한 바와 같이 본 발명에서 적 용하고자 하는 카세트는 대형이고, 중량물임은 물론 건물높이가 50m이상의 고층에서도 적용하여야 하므로, 카세트가 있을 때와 없을 때, 카세트 간의 무게차이등에 의해 리프터 카를 상하로 잡고 있으면서 이동시키는 와이어 로프(Wire rope)의 늘어남의 차이 등으로 인해, 크린 룸 내의 고정롤러 콘베이어와 리프터 카내의 반송 이재용 롤러 콘베이어의 수평을 정확히 맞출 수 없는 문제점이 있어 카세트 내의 유리기판에 충격을 주지 않고, 안정되게 카세트를 반송할 수가 없었다.
따라서 본 발명의 목적은 카세트를 보다 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 각 층의 크린 룸을 다단 적재가 가능하고, 복층화하면서도 카세트를 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 크린 룸과 리프터 카 간의 카세트 이동 동작이 신속하게 이루어져 카세트 이재 시간을 단축할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치를 제공하려는 것이다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 2단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상 기 크린 룸의 일측 또는 양측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터 카 출입구와 이 출입구를 개폐하는 리프터카 도어를 가지는 리프터 카 및, 상기 리프터 카에 설치되어 상하 및 전후진으로 이동할 수 있는 구동기구를 가지는 반송이재용 롤러 콘베이어를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서, 상기 고정롤러 콘베이어와 반송이재용 롤러 콘베이어의 수평유지수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치를 제공한다.
이하, 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치를 첨부도면에 도시한 실시례에 따라서 상세히 설명한다.
＜실시례＞
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치의 제1 실시례를 도시한 것으로, 도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 3은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면이다.
본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성된 크린 룸(10)과, 상기 크린 룸(10)의 내부에 설치되어 카세트(C)를 적재 및 반송하는 고정롤러 콘베이어(20)와, 상기 크린 룸(10)의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로(30)와, 상기 승강로(30)에 승강 가능하게 설치되는 리프터 카(40)와, 상기 리프터 카(40)에 설치된 반송이재용 롤러 콘베이어(71)를 상하 및 전후진으로 이동시킬 수 있는 카세트 반송이재수단(70)이 설치되어, 상기 크린 룸(10)에 설치된 고정롤러 콘베이어(20)와 상기 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평유지수단(100)으로 구성된다.
상기 크린 룸(10)은 통상적으로 청정공기가 지속적으로 유입되어 일정한 압력을 유지하는 상태로 되어 있으며, 리프터 카(40)의 내부는 세미 크린 룸(semi-clean room)으로 구성되어 있다.
상기 크린 룸(10)과 승강로(30) 사이의 경계벽(11)에는 크린룸 출입구(12)가 형성되고, 리프터 카(40)의 크린 룸(10)측면에는 리프터카 출입구(41)가 형성되어 있고, 상기 크린룸 출입구(12)와 리프터카 출입구(41)에는 각각 크린룸 도어(50)와 리프터 카 도어(60)가 설치되어 있다.
상기 크린룸 도어(50)와 리프터 카 도어(60)는 상하 방향으로 개폐 작동되도록 설치되며, 에어실린더 또는 권취모터와 이 에어실린더 또는 권취모터에 권취되는 로프 등으로 구성되는 통상적인 엘리베이터 등의 종래 기술에서 채용하고 있는 상하 개폐식 도어 구동수단에 의해 개폐되는 것이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 고정롤러 콘베이어(20)는 다수개의 동일롤러(23)를 롤러 상호간 및 구동부와를 체인/벨트(26)에 의해 구동시키는 모터(25)가 설치되어 구성되고, 한 쌍의 프레임(22)이 서로 일정 거리만큼 이격된 상태로 좌우 한 쌍으로 콘베이어 베이스(21)위에 설치되는 것으로, 크린 룸(10)의 바닥면 또는 2단 지지대위에 콘베이어 지지대(24)에 의해 고정결합 되는 것으로 구성된다. 여기서 롤러 콘베이어의 구동방법 등은 통상적인 종래기술에서 채용하고 있는 방법이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 고정롤러 콘베이어(20)는 도 1의 하층 크린 룸(10)과 같이 각 크린 룸(10)마다 1단으로 설치할 수도 있으나, 도 1의 상층 크린 룸(10)과 같이 각 크린 룸(10)마다 2단으로 설치할 수도 있다.
각 크린 룸(10)마다 고정롤러 콘베이어(20)를 2단으로 설치한 경우에는 각 단의 고정롤러 콘베이어(20)에 대응하여 상, 하단에 크린룸 출입구(13)와 크린룸 도어(50)를 설치하며, 리프터 카(40)는 각 고정롤러 콘베이어(20)와 크린룸 출입구(12) 및 크린룸 도어(50)에 대응하는 위치에서 정지하여 이재 및 반송을 수행할 수 있도록 한다.
상기 승강로(30)에는 상기 리프터 카(40)를 승강 구동하기 위한 수단이 설치된다.
상기 리프터 카(40)를 승강 구동시키는 수단은 통상적인 엘리베이터에서와 같아, 승강로(30)의 최상단의 기계실(31)과, 상기 승강로(30)의 일측에 형성되는 균형추 승강로(32)와, 상기 기계실(31)에 설치되는 권상기(33)와. 상기 균형추 승강로(32)에 승강 가능하게 설치되는 균형추(34)와, 상기 권상기(33)에 권취되어 그 하단이 리프터 카(40)의 상단에 고정되는 권상로프(R1)와, 상기 리프터 카(40)의 상단과 균형추(34)의 상단을 연결하는 균형로프(R2) 및, 상기 리프터 카(40)의 하단과 균형추(34)의 하단을 연결하는 보상체인으로 연결된다.
상기 승강로(30)의 양측벽에는 가이드 레일(guide rail)(35)이 설치되며, 상기 리프터 카(40)의 양측면에는 상기 가이드 레일(35)에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)(36)가 설치된다. 또한 상기 균형추 승강로(32)에는 가이드 레일(37)이 설치되며, 상기 균형추(34)에는 상기 가이드 레일(37)에 안내되는 가이드 슈(38)가 설치된다.
상기 반송이재수단(70)은 프레임(72)과 이에 회전 가능하게 지지된 복수개의 롤러(73)들을 포함하는 반송이재용 롤러 콘베이어(71)와, 리프터 카(40) 밑면 위에 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 전후진 이동을 안내하는 한 쌍의 전후진 이동용 안내레일(74)과, 전후 이동용 안내편(75)과, 전후진 이동용 액추에이터(77)가 고정설치되고, 전후진 이동용 안내편(75)들 위에 고정된 베이스판(76) 위에 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 상하 이동용 안내부시 및 축(78)과 상하 이동용 액추에이터(79)가 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 하부에 고정설치되어 구성되어 있다.
상기 전후진 이동용 안내레일(74)은 통상적인 엘엠 가이드 레일(Linear Motion guide rail)이 사용되며, 상기 전후진 이동용 안내편(75)은 엘엠가이드 블록(Linear Motion guide block)이 사용된다.
상기 상하이동용 안내부시 및 축(78)은 통상적인 원형 볼 부시(Ball Bush) 및 샤프트(shaft)가 사용된다.
상기 전후진 및 상하 이동용 액추에이터(77,79)로서는 모터와 볼 스크루, 모터와 편심캠 또는 공압실린더나 유압실린더를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선형 액추에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 수평유지수단(100)은 상기 고정롤러 콘베이어(20)의 프레임(22)의 승강로 측 단부에 구비되는 지지턱(110)과, 상기 반송이재용 롤러 콘베이어(70)의 크린 룸 측 단부에 상기 지지턱(110)에 안착되어 지지될 수 있도록 구비되는 안착부(120)를 포함하여 구성된다.
상기 고정롤러 콘베이어(20)의 크린룸 도어(50)측 끝단부와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 리프터카 도어(60)측 끝단부에는 각각 상대높이를 감지하기 위한 높이감지센서(S1, S2)가 설치된다. 상기 높이감지센서(S1, S2)로서는 근접스위치, 리미트스위치, 전류스위치 등 통상적으로 사용하는 스위치를 사용할 수 있다.
이하, 본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의한 카세트의 이재 과정을 설명한다.
도 3a와 같이 리프터 카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어(20)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린 룸 도어(50)와 리프터 카 도어(60)가 닫힌 상태에서, 카세트(C)를 다른 크린 룸(10)으로 반송이재함에 있어서는, 도 3b에 도시한 바와 같이 크린룸 도어(50)를 열면, 크린 룸(10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 승강로(30)로 유출되어 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 된다. 이때 리프터 카(40)의 정지 정도는 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 맞추어 카세트(C)의 반송이 원활히 이루어 질 수 있는 수준인 일반적으로 ±2mm~5mm이내이다.
이 상태에서 도 3c에 도시한 바와 같이 리프터 카 도어(60)를 열면, 크린 룸 (10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 리프터 카(40)와 승강로(30)로 유출되어 리프터 카(40) 및 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 됨과 아울러 리프터 카(40)의 내부도 크린 룸(10)에 상당하는 조건으로 유지된다.
이 상태에서 도 3d와 3e에 도시한 바와 같이 반송이재수단(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 상하이동수단인 상하 이동용 엑튜에이터(79)와 상하이동용 안내부쉬 및 축(78)에 의해 상승하고, 전후진 이동수단인 전후진 이동용 액추에이터(77)와 전후진 이동용 안내레일(74) 및 안내편(75)에 의해 크린룸내 고정롤러 콘베이어(20)의 지지턱(110)의 상부까지 이동정지한 후, 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 안착부(120)가 고정롤러 콘베이어(20)의 지지턱(110) 상부의 정확한 위치까지 반송이재용 롤러 콘베이어(71)를 서서히 하강시킨 후 정지시킴으로써 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 정확히 맞도록 한다. 이때, 상기 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)에 설치되어 있는 높이감지센서(S1, S2)에 의해 리프터 카(40)의 정지위치를 감지하여 제어함으로써 정확한 정지위치를 확보할 수 있다.
이 상태에서 도 3f에서 도시한 바와 같이 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)를 동시에 가동하여 카세트(c)를 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 상부 정위치까지 이동시켜 도 3g의 상태와 같이 카세트(c)를 이동완료 시킨다.
이때, 이동이 진행되면서 카세트(c)의 중량도 리프터 카(40)쪽으로 이동하게 되지만, 상기 고정롤러 콘베이어(20)의 프레임(22)에 형성된 지지턱(110)에 상기 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 프레임(72)에 형성된 안착부(120)가 안착되어 지지된 상태이므로 리프터 카(40)를 수직방향으로 잡고 있는 와이어 로프(R1)가 늘어나는 일이 없게 되어 카세트(c)가 탑재된 리프터 카(40)가 급격히 하강하는 일이 없게 된다. 따라서 리프터 카(40)에 탑재된 카세트(c)가 급작스런 충격을 받는 일이 없게 되어 카세트(c)를 안전하게 이재 및 반송할 수 있게 되는 것이다.
반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 안착부(120)와 고정롤러 콘베이어(20)의 지지턱(110)에 무리한 접촉이 발생되어, 마모 등이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위해 도 4와 같이 안착부(120) 또는 지지턱(110) 중 어느 한 쪽을 반구형 형상으로 하거나 도 5와 같이 캠폴로우어 베어링(Cam follower bearing)(130)을 사용함으로써 해결할 수 있다.
이 상태에서 도 3h에 도시한 바와 같이 카세트 반송이재장치(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 카세트(c)를 실은 상태에서 상승한 후 리프터 카(40) 내부로 후진하여 정위치로 되돌아간다.
이 상태에서 도 3i에 도시한 바와 같이 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 카세트(c)를 실은 상태로 하강하여 정위치로 되돌아가고, 리프터 카 도어(60)와 크린 룸 도어(50)를 닫는다.
이러한 과정을 통해서 크린룸(10)내에 있던 카세트(c)를 리프터 카(40)내로 반송이재 완료시킨 후, 리프터 카(40)를 다른 층 또는 다른 단으로 이동시켜 상술한 역순으로 반송이재하면 다른 단 또는 다른 층 크린룸(10)내로 카세트(c)를 반송 이재 완료시킬 수 있는 것이다.
또한 위에서는 도면의 좌측에 있는 크린 룸(10)에 대하여 설명하였으나, 우측에 있는 크린 룸(10)에 대한 이재 및 반송은 전후진 이동용 액추에이터(79)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)를 반대방향으로 작동시키는 것에 의하여 이루어지는 것이다.
또한 도 1의 상측에 위치한 크린 룸(10)과 같이 고정롤러 콘베이어(20)가 상, 하 2단으로 설치된 경우에는 리프터 카(40)를 상단이나 하단의 고정롤러 콘베이어(20)에 대응하는 위치에 정지시켜 이들 상, 하단의 고정롤러 콘베이어(20) 간의 이재 및 적재가 가능하게 되는 것이다.
도 6 내지 도 10은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 제2 실시예를 도시한 것으로, 도 6 및 도 7은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 8은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면, 도 9는 도 8d와 도 8h의 A부 상세종단면도, 도 10은 도 8e, 도 8f, 도 8g의 A' 부 상세종단면도이다.
본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치에서 크린 룸(10), 고정롤러 콘베이어(20), 승강로(30), 리프터 카(40), 크린룸 도어(50), 리프터 카 도어(60)와 관련된 구성은 상술한 실시예와 동일하다. 따라서 상술한 실시예와 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 리트퍼 카(40)측에 설치되는 반송이재수단(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 정위치에 고정설치되고, 수평유지수단(200)이 리프터 카 (40)와 크린 룸(10) 사이에서 이동하면서 수평을 유지할 수 있도록 구성된 것이다.
상기 반송이재수단(70)을 구성하는 반송이재용 롤러 콘베이어(71)는 프레임(72)과 이 프레임(72)에 회전 가능하게 설치되는 복수개의 롤러(73)를 포함하여 구성된다.
본 실시예에서 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지하는 수평유지수단(200)은, 상기 리프터 카(40)측에 설치되어 리프터 카(40)와 크린 룸(10) 사이에서 이동하면서 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지하는 이동스토퍼(210)와 크린 룸(10)측에 고정 설치되어 상기 이동스토퍼(210)가 걸리는 고정스토퍼(220)로 구성된다.
상기 이동스토퍼(210)는 리프터 카(40)의 바닥면 위에 고정 설치되는 전후진 이동용 안내레일(211)과, 이 전후진 이동용 안내레일(210)에 안내되어 전후진 이동가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편(212)과, 상기 전후진 이동용 안내편(212)에 고정 결합되는 슬라이더(213)와, 상기 슬라이더(213)를 전후진 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터(214)와, 상기 슬라이더(213)의 양끝단에 장착되어 상하로 작동하는 스톱 액추에이터(215)로 구성된다.
상기 전후진 이동용 안내레일(211)은 통상적인 엘엠 가이드 레일(Linear Motion guide rail)이 사용되며, 상기 전후진 이동용 안내편(212)은 엘엠 가이드 블록(Linear motion guide block)이 사용된다.
상기 전후진 이동용 액추에이터(213)와 스톱 액추에이터(215)로서는 공압 실린더나 유압 실린더 또는 모터와 볼스크류를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선 형 액추에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 스톱 액추에이터(215)는 상, 하단 걸림부(215a,215b)를 구비하며, 상기 고정스토퍼(220)는 상기 상, 하단 걸림부(215a,215b)에 대응하는 상, 하단 걸림편(221,222)을 구비한다. 이들 상, 하단 걸림편(221,222) 사이로 상기 스톱 액추에이터(215)가 진입할 수 있도록 설치된다. 상기 고정스토퍼(220)는 크린 룸(10)에 고정 설치된 고정롤러 콘베이어(20)의 프레임(22)에 고정 설치된다.
이하, 본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의한 카세트의 이재 과정을 설명한다.
도 8a의 리프터 카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어(20)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린 룸 도어(50)와 리프터 카 도어(60)가 닫힌 상태와, 도 8b의 크린룸 도어(50)가 열린 상태, 도 8c의 리트퍼 카 도어(6))가 열린 상태는 상술한 실시예에서와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이 상태에서 도 8d에 도시한 바와 같이 수평유지수단(200)의 이동스토퍼(210)를 구성하는 전후진 이동용 액추에이터(214)가 전진 작동하면 슬라이더(213)와 전후진 이동용 안내편(212)이 전후진 이동용 안내레일(211)을 따라 이동하게 되고, 이 슬라이더(213)와 이 슬라이더(213)에 장착된 스톱 액추에이터(215)가 크린 룸(10)측에 고정 설치된 고정 스토퍼(211)측으로 이동하게 된다. 이때 스톱 액추에이터(215)가 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이로 진입하는 과정에서는 스톱 액추에이터(215)는 수축된 상태를 유지하여 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b)와 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이에는 도 9에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(210)와 고정스토퍼(220) 간의 간섭이 일어나지 않을 정도의 간격(T)이 유지된다.
도 8e에 도시한 바와 같이 스톱 액추에이터(215)가 상, 하단 걸림편(221,222) 사이에 완전히 진입하게 되면 스톱 액추에이터(215)가 신장 작동하여 그 상, 하단 걸림부(215a,215b)가 상, 하단 걸림편(221,222)에 걸리게 되어 리프터 카(40)가 카세트(c)의 하중의 이동에 따라 상하로 이동하는 것을 막아, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 계속 유지된다.
이때 도 10에 도시한 바와 같이 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b)와 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이에는 간격(t)이 유지된다.
여기서 상기 간격(T)은 스톱 액추에이터(215)가 수축된 상태에서 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이로 진입하거나 퇴출할 때 간섭이 생기지 않도록 5 ∼ 20mm정도로 하고, 간격(t)은 스톱 액추에이터(215)가 작동한 뒤에 리프터 카(40)의 상하이동을 최소화하기 위해 0 ∼ 0.5mm 이내로 유지되도록 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b)와 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이의 간격과 스톱 액추에이터(215)의 이동량을 설정하는 것이 바람직하다.
이후, 도 8f 및 도 8g에 도시한 바와 같은 카세트(c)를 고정롤러 콘베이어(20)에서 반송이재용 롤러 콘베이어(71)로 이동시키는 과정은 상술한 실시예에서와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이때, 이동이 진행되면서 카세트c)의 중량이 리프터 카(40)쪽으로 이동하게 되므로, 리프터 카(40)를 수직방향으로 잡고 있는 와이어 로프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 길이가 늘어나게 되지만 고정스토퍼(220)의 하단 걸림편(222)에 스톱 액추에이터(215)의 하단 접촉부(215b)가 접촉 지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
이러한 과정에서 상기 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b)와 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222) 사이의 무리한 접촉에 의해 마모 등이 발생되는 것을 방지하기 위하여 도 9와 도 10와 같이 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b)를 반구형 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.
이 상태에서 도 8h에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(210)의 스톱 액추에이터(215)를 원 위치 시키고, 고정스토퍼(220)의 상, 하단 걸림편(221,222)과 스톱 액추에이터(215)의 상, 하단 걸림부(215a,215b) 사이의 틈새(t)를 크게 벌려 틈새가 (T)가 되도록 하여, 카세트(c)의 하중에 의해 리프터 카(40)가 조금 이동 하더라도 이동스토퍼(210)가 원위치로 후진이동 하는데 간섭문제가 없도록 하고. 이때 스톱 액추에이터(215)의 작동 속도를 서서히 하여 원위치 시켜 리프터 카(40)가 충격 없이 이동되도록 한다.
이 상태에서 도 8i에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(210)가 리프터 카(40)내의 정위치로 되돌아가고, 리프터 카 도어(60)와 크린룸 도어(50)를 닫는다.
이러한 과정을 통해서 크린룸(10)내에 있던 카세트(c)를 리프터 카(40)내로 반송이재 완료시킨 후, 리프터 카(40)을 다른 층 또는 다른 단으로 이동시켜 상술한 역순으로 반송이재 하면 다른 단 또는 다른 층 크린룸(10)내로 카세트(c)를 반송이재 완료시킬 수 있는 것이다.
이상은 크린 룸(10)측의 카세트(c)를 리프터 카(40)측으로 이재하는 과정을 설명한 것이며, 리프터 카(40)측 카세트(c)를 크린 룸(10)측으로 이재하는 경우에는 반송이재수단(70)과 수평유지수단(200)이 반대방향으로 작동하게 된다.
이때 수평유지수단(200)은 리프터 카(40)측 반송이재용 롤러 콘베이어(71)에 탑재된 카세트(c)가 크린 룸(10)측 고정롤러 콘베이어(20)측으로 이동하는 과정에서 하중 이동에 따라 리트프 카(40)측 하중이 감소하여 리프터 카(40)가 상승하게 되는 힘을 받게 되는 바, 이 경우에는 스톱 액추에이터(215)의 상단 걸림부(215a)가 고정스토퍼(220)의 상단 걸림편(221)에 걸리면서 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 유지됨과 아울러 리프터 카(40)가 급격히 상승하는 것을 방지하게 되는 것이다.
도 11 및 도 12는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치의 변형 예를 도시한 것으로서, 본 실시예에서는 이동스토퍼(210)를 구성하는 슬라이더(213)에 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 프레임(72)을 탑재하여 이동스토퍼(210)의 작동시 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 함께 이동하면서 카세트(c)가 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 사이에서 이동할 때 고정롤러 콘베이어(20)의 롤러(23)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 롤러(73)간의 거리 를 가깝게 하여 카세트(c)의 반송이재가 더욱 원활하게 이루어지도록 한 것이다.
본 실시예에서의 여타 구성 및 카세트의 반송이재과정은 상술한 과정과 동일하므로 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 13 내지 도 17는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 제3 실시예를 도시한 것으로, 도 13 및 도 14는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 15은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면, 도 16는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 B부 상세 횡단면도, 도 17는 도 16의 C-C 종단면도이다.
본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치에서, 크린 룸(10), 고정롤러 콘베이어(20), 승강로(30), 리프터 카(40), 크린룸 도어(50), 리프터카 도어(60)와 관련된 구성은 상술한 실시예와 동일하다. 따라서 상술한 실시예와 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 리프터 카(40)측에 설치되는 반송이재수단(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 정위치에 고정설치되고, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지하는 수평유지수단(300)이 리프터 카(40)와 승강로(30)의 내벽 사이에서 이동하면서 수평을 유지할 수 있도록 구성된 것이다.
상기 반송이재수단(70)을 구성하는 반송이재용 롤러 콘베이어(71)는 프레임(72)과 이 프레임(72)에 회전 가능하게 설치되는 복수개의 롤러(73)를 포함하여 구성된다.
상기 수평유지수단(300)은, 상기 승강로(30)의 양측 내벽에 설치되는 고정스 토퍼(310)와, 상기 리프터 카(40)의 양측 외벽에 설치되어 상기 고정스토퍼(310)에 걸리는 이동스토퍼(320)로 구성된다.
상기 고정스토퍼(310)는 상하로 이격 배치된 상, 하단 걸림편(311,312)을 포함한다.
상기 고정스토퍼(310)는 리프터카 도어(60)가 설치되지 않는 쪽 승강로 내벽에 설치되는 것으로, 리프터 카(40)의 각 층 또는 각 단별 정지 위치를 고려한 위치에 배치된다.
상기 이동스토퍼(320)는 상기 리프터 카(40)의 양측 외벽에 고정되는 이동스토퍼 베이스(321)와, 이 이동스토퍼 베이스(321)에 고정 설치된 좌우 이동용 안내레일(322)과, 상기 좌우 이동용 안내레일(322)에 안내되어 좌우 이동 가능하게 설치되는 좌우 이동용 안내편(323)과, 상기 좌우 이동용 안내편(323)에 고정 결합되는 슬라이더(324)와, 상기 슬라이더(324)를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우 이동용 액추에이터(325)와, 상기 슬라이더(324)에 장착되어 상하로 작동하며 상기 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312)에 걸리는 상, 하단 걸림부(326a,326b)를 가지는 스톱 액추에이터(326)로 구성된다.
상기 이동스토퍼(320)는 도어가 설치되지 않는 좌우 외측 승강로 외벽(11)쪽의 리프터 카(40)에 설치되는 것으로, 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 상기 고정스토퍼(310)에 대응하여 고정 설치된다.
상기 좌우 이동용 안내레일(322)은 통상적인 엘렘 가이드 레일(Linear Motion Guide Rail)이 사용되며, 상기 좌우 이동용 안내편(323)은 엘엠 가이드 블 록(Linear Motion Guide Block)이 사용된다.
상기 좌우 이동용 액추에이터(325)와 스톱 액추에이터(326)로서는 공압 실린더나 유압 실린더 또는 모터와 블스크류를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선형 액추에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하, 본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 의한 카세트의 반송이재 과정을 설명한다.
도 15a의 리프터 카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어(20)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 닫힌 상태와, 도 15b의 크린룸 도어(50)가 열린 상태, 도 15c의 리트퍼카 도어(60)가 열린 상태는 상술한 실시예에서와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이 상태에서 도 15d와 도 16, 도 17, 도 19에 도시한 바와 같이 상기 수평유지수단(300)의 구성하는 이동스토퍼(320)를 좌우 이동용 액추에이터(325)가 전진 작동하면 슬라이더(324)와 좌우 이동용 안내편(323)이 좌우 이동용 안내레일(322)을 따라 이동하게 되고, 이 슬라이더(324)와 이 슬라이더(324)에 장착된 스톱 액추에이터(326)가 승강로(30)의 내벽에 고정 설치된 고정스토퍼(310)측으로 이동하게 된다. 이때 스톱 액추에이터(326)가 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이도 진입하는 과정에서는 스톱 액추에이터(326)는 수축된 상태를 유지하여 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b)와 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이에는 도 16에 도시한 바와 같이 고정스토퍼(310)와 이동스토퍼 (320)의 간섭이 일어나지 않을 정도의 간격(T)이 유지된다.
이 상태에서 도 15e와 도 20에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(320)의 스톱 액추에이터(326)가 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이에 완전히 진입하게 되면, 스톱 액추에이터(326)가 신장 작동하여 그 상, 하단 걸림부(326a,326b)가 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312)에 걸리게 되어 리프터 카(40)가 카세트(c)의 하중 이동에 딸 상하로 이동하는 것을 막아 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 계속 유지된다.
이때 도 20에 도시한 바와 같이 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312)과 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b) 사이에는 간격(t)이 유지된다.
여기서 상기 간격(T)은 스톱 액추에이터(326)가 수축된 상태에서 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이로 진입하거나 퇴출할 때 간섭이 생기지 않도록 5 ∼ 20mm정도로 하고, 간격(t)는 스톱 액추에이터(326)가 작동한 뒤에 리프터카(40)의 상하이동을 최소화하기 위해 0 ∼ 5mm 이내로 유지되도록 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b)와 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이의 간격과 스톱 액추에이터(326)의 이동량을 설정하는 것이 바람직하다.
이후, 도 15f 및 도 15g에 도시한 바와 같은 카세트(c)를 고정롤러 콘베이어(20)에서 반송이재용 롤러 콘베이어(71)로 이동시키는 과정은 상술한 실시예에서와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이때, 이동이 진행되면서 카세트(c)의 중량이 리프터 카(40)쪽으로 이동하게 되므로, 리프터 카(40)를 수직방향으로 잡고 있는 와이어 로프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 길이가 늘어나게 되지만 고정스토퍼(310)의 하단 걸림편(312)에 이동스토퍼(320)의 하부 스톱 액추에이터(326)의 하단 걸림부(326b)가 접촉 지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
이러한 과정에서 상기 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b)와 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312) 사이의 무리한 접촉에 의해 마모 등이 발생하는 것을 방지하기 위하여 도 19과 도 20과 같이 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b)를 반구형 형상으로 하여 사용하는 것이 바람직하다.
이 상태에서 도 15h와 도 19에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(82)의 스톱 액추에이터(83)를 수축 작동시켜 고정스토퍼(310)의 상, 하단 걸림편(311,312)와 스톱 액추에이터(326)의 상, 하단 걸림부(326a,326b) 사이에 간격(T)이 생기도록 하여 카세트(c)의 하중에 의해 리프터 카(40)가 조금 이동 하더라도 이동스토퍼(320)가 원위치로 후진이동 하는 데 간섭이 생기는 일이 없도록 하고, 이때 스톱 액추에이터(326)의 작동속도를 서서히 하여 원위치 시켜, 리프터 카(40)가 충격 없이 이동 되도록 한다.
이 상태에서 도 15i와 도 18에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(320)가 리프터 카(40)내의 정위치로 되돌아가고, 리프터카 도어(60)와 크린룸 도어(50)를 닫는다.
이러한 과정을 통해서 크린룸(10)내에 있던 카세트(c)를 리프터 카(40)내로 반송이재 완료시킨 후, 리프터 카(40)를 다른 층 또는 다른 단으로 이동시켜 상술한 역순으로 반송이재 하면 다른 단 또는 다른 층 크린룸(10)내로 카세트(c)를 반송이재 완료시킬 수 있는 것이다.
이상은 크린 룸(10)측의 카세트(c)를 리프터 카(40)측으로 이재하는 과정을 설명한 것이며, 리프터 카(40)측 카세트(c)를 크린 룸(10)측으로 이재하는 경우에는 반송이재수단(70)과 수평유지수단(300)이 반대방향으로 작동하게 된다.
이때 수평유지수단(300)은 리프터 카(40)측 반송이재용 롤러 콘베이어(71)에 탑재된 카세트(c)가 크린 룸(10)측 고정롤러 콘베이어(20)측으로 이동하는 과정에서 하중 이동에 따라 리트프 카(40)측 하중이 감소하여 리프터 카(40)가 상승하게되는 힘을 받게 되는 바, 이 경우에는 스톱 액추에이터(326)의 상단 걸림부(326a)가 고정스토퍼(310)의 상단 걸림편(311)에 걸리면서 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 유지됨과 아울러 리프터 카(40)가 급격히 상승하는 것을 방지하게 되는 것이다.
도 23 내지 도 25c는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치의 제4 실시예를 보인 것으로, 도 23는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 상세 횡단면도, 도 24는 도 23의 E-E선 단면도, 도 25은 이동스토퍼와 고정스토퍼의 작동상태를 보인 도 24의 G부 상세 종단면도이다.
본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에서, 크린 룸(10), 고정롤러 콘베이어(20), 승강로(30), 리프터 카(40), 크린룸 도어(50), 리프터카 도어(60)와 관련된 구성은 상술한 실시예와 동일하다. 따라서 상술한 실시예와 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 리프터 카(40)측에 설치되는 반송이재수단(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 정위치에 고정설치되고, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지하는 수평유지수단(400)이 리프터 카(40)와 승강로(30)의 내벽 사이에서 이동하면서 수평을 유지할 수 있도록 구성된 것이다.
상기 수평유지수단(400)은, 상기 승강로(30)의 양측 내벽에 설치되는 고정스토퍼(410)와, 리프터 카(40)측에 설치되는 이동스포터(420)로 구성된다.
상기 고정스토퍼(410)는 승강로(30)의 내벽에서 리프터 카(40)를 향하여 돌출된 상태로 설치된다. 상기 고정스토퍼(410)는 리프터카 도어(60)가 설치되지 않은 쪽 승강로 내벽에 설치되는 것으로, 리프터 카(40)의 각 층 또는 각 단별 정지위치를 고려한 위치에 배치된다.
또한 상기 고정스토퍼(410)의 선단에는 이동스토퍼(420)을 안내하는 쐐기형 안내부(411)가 형성된다.
상기 이동스토퍼(420)는 상기 리프터 카(40)의 양측 외벽에 고정되는 이동스토퍼 베이스(421)와, 이 이동스토퍼 베이스(421)에 고정 설치된 좌우 이동용 안내레일(422)과, 상기 좌우 이동용 안내레일(422)에 안내되어 좌우 이동 가능하게 설치되는 좌우 이동용 안내편(423)과, 상기 좌우 이동용 안내편(423)에 고정 결합되는 슬라이더(424)와, 상기 슬라이더(424)를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우 이동용 액추에이터(425)와, 상기 슬라이더(424)에 장착되어 상기 고정스토퍼(410)의 상, 하면에 접촉 지지되는 상, 하단 걸림부(426a,426b)를 가지는 스톱 브래킷(426)을 포함하여 구성된다.
상기 이동스토퍼(420)는 도어가 설치되지 않은 쪽의 리프터 카(40)의 외벽에 배치되는 것으로 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 상기 고정스토퍼(410)에 대응하여 설치된다.
상기 스톱 브래킷(426)의 상, 하단 걸림부(426a,426b)에는 상기 고정스토퍼(410)의 상, 하면에 구름접촉하는 접촉지지롤러(427a,427b)가 회전 가능하게 설치된다.
상기 좌우 이동용 액추에이터(425)는 공압 실린더나 유압 실린더 또는 모터와 볼스크루를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선형액추에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의한 카세트의 반송이재 과정은 고정스토퍼(410)와 이동스토퍼(420)의 작동에서만 상이할 뿐 상술한 제3 실시예와 동일하므로 여기서는 고정스토퍼(410)와 이동스토퍼(420)의 작동에 대해서 설명한다.
도 25a는 리프터 카(40)가, 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어(20) 상의 카세트를 리프터 카(40)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상으로 이재하거나 리프터 카(40)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상의 카세트를 고정롤러 콘베이어(20) 상으로 이재하기 위한 위치로 이동한 상태에서의 고정스토퍼(410)와 이동스토퍼(420)의 스톱 브래킷(426)의 상대 위치를 보인 것이다.
이 상태에서 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 개방되면, 도 25b와 같이 상기 좌우 이동용 액추에이터(425)의 작동으로 슬라이더(424)가 고정스토퍼(410)쪽으로 이동하면, 고정스토퍼(410)의 선단부가 스톱 브래킷(426)의 상, 하단 걸림부(426a,426b)에 설치된 접촉지지롤러(427a.427b) 사이로 삽입된다.
여기서 도 25b에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(420)의 2개의 접촉지지롤러(427a,427b)의 내측치수(T)와 고정스토퍼(81)의 상하 최대두께(t)와의 틈새(e)는 정위치에서 상하 각각 0.5mm이하 정도가 유지되도록 하는 것이 바람직하다. 이에 따라 리프터 카(40)가 카세트(c)의 하중의 이동에 따라 상하로 이동할 수 있는 이동량은 ±0.5mm 이내로 유지할 수 있으므로, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 계속 유지될 수 있다.
도 25c는 고정스토퍼(410)가 이동스토퍼(420)의 접촉지지롤러(427a,427b) 사이에 완전히 삽입되어 이동스토퍼(420)가 고정스토퍼(410)에 지지된 상태를 보인 것이다.
이 상태에서 고정롤러 콘베이어(20) 상의 카세트를 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상으로 이재하는 경우에는 고정롤러 콘베이어(20) 상에 있던 카세트의 하중이 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상으로 이동됨에 따라 리프터 카(40)을 잡아주고 있는 와이어로프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 그 길이가 늘어나게 되지만 고정스토퍼(410)의 상, 하면에 이동스토퍼(420)의 접촉지지롤러(427a,427b)가 접촉지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
반대로 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상의 카세트를 고정롤러 콘베이어(20)상으로 이재하는 경우에는 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상에 있던 카세트가 고정롤러 콘베이어(20) 상으로 이동됨에 따라 리프터 카(40)를 잡아주고 있는 와이어로프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 그 길이가 수축되지만 고정스토퍼(410)의 상, 하면에 이동스토퍼(420)의 접촉지지롤러(427a,427b)가 접촉지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
이후 좌우 이동용 액추에이터(425)를 후퇴 작동되면 슬라이더(424)가 후퇴 이동하면서 이에 결합된 스톱 브래킷(426)의 상, 하단 걸림부(426a,426b)에 설치된 접촉지지롤러(427a,427b)가 고정스토퍼(410)의 상, 하면에서 벗어나게 되며, 이동스토퍼(420)가 완전히 후퇴하면, 이후 리프터카 도어(60)와 크린룸 도어(50)가 닫히는 과정은 상술한 실시예와 동일하게 이루어지게 된다.
도 26은 제4 실시예의 변형예, 즉 고정스토퍼(410)와 이동스토퍼(420)의 변형예를 보인 것으로, 고정스토퍼(410)는 상, 하로 이격된 상, 하단 지지부(412a,412b)와, 이 상, 하단 지지부(412a,412b)에 회전 가능하게 설치되는 접촉지지롤러(413a,413b)로 구성되고, 상기 이동스토퍼(420)의 스톱브래킷(428)은 봉형으로 형성된 것이며, 여타 구성은 상술한 제4 실시예와 동일하므로 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
상기 스톱브래킷(428)의 선단부에는 상기 접촉지지롤러(413a,413b)를 안내하는 쐐기형 안내부(428a)가 형성된다.
도 27 내지 도 34는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 제5 실시례를 도시한 것으로, 도 27 및 도 28는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 29은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면, 도 30는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 상세 횡단면도, 도 31는 도 30의 H-H선 단면도, 도 32은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되지 않은 상태의 상세 종단면도, 도 33은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되는 도중의 상태의 상세 종단면도, 도 34은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합된 상태의 상세 종단면도이다.
본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치는 도 27 및 도 28에 도시한 바와 같이, 본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에서, 크린 룸(10), 고정롤러 콘베이어(20), 승강로(30), 리프터 카(40), 크린룸 도어(50), 리프터 카 도어(60)와 관련된 구성은 상술한 실시예와 동일하다. 따라서 상술한 실시예와 동일한 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 리프터 카(40)측에 설치되는 반송이재수단(70)의 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 정위치에 고정설치되고, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지하는 수평유지수단(500)이 리프터 카(40)와 승강로(30)의 내벽 사이에서 이동하면서 수평을 유지할 수 있도록 구성된 것이다.
상기 수평유지수단(500)은, 상기 크린 룸(10)에 설치되는 고정스토퍼(510)와, 리프터 카(40)측에 설치되는 이동스포터(520)로 구성된다.
상기 고정스토퍼(510)는 크린 룸(10)에 고정되어 리프터 카(40)를 향하여 크린룸 출입구측으로 돌출된 상태로 설치된다. 상기 고정스토퍼(510)는 리프터 카 도어(60)가 설치된 쪽 크린 룸(10) 내에 설치된다.
상기 고정스토퍼(510)는 크린 룸(10)측에 고정 설치된다. 도시예에서는 상기 고정롤러 콘베이어(20)에 고정스토퍼 고정판(512)을 통해 고정 설치된다.
상기 이동스토퍼(520)는 상기 리프터 카(40) 내에 고정되는 이동스토퍼 베이스(521)와, 이 이동스토퍼 베이스(521)에 고정 설치된 전후진 이동용 안내레일(522)과, 상기 전후진 이동용 안내레일(522)에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편(523)과, 상기 전후진 이동용 안내편(523)에 고정 결합되는 슬라이더(524)와, 상기 슬라이더(524)를 전후 방향으로 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터(525)와, 상기 슬라이더(524)에 장착되어 상기 고정스토퍼(510)의 상, 하면에 접촉 지지되는 상, 하단 걸림부(526a,526b)를 가지는 스톱 브래킷(526)을 포함하여 구성된다.
상기 이동스토퍼(520)는 도어가 설치된 쪽의 리프터 카(40) 내에 배치되는 것으로 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 설치된다.
상기 스톱브래킷(526)의 상, 하단 걸림부(526a,526b)에는 상기 고정스토퍼(510)의 상, 하면에 접촉 지지되는 접촉지지롤러(527a,527b)가 회전 가능하게 설치된다.
상기 고정스토퍼(510)의 선단부에는 이동스토퍼(520)의 접촉지지롤러(527a,527b)를 안내하기 위한 쐐기형 안내부(511)가 형성된다.
상기 전후진 이동용 액추에이터(525)는 공압 실린더나 유압 실린더 또는 모터와 볼스크루를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선형액추에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 본 실시예에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의한 카세트의 반송이재 과정은 고정스토퍼(510)와 이동스토퍼(520)의 작동에서만 상이할 뿐 상술한 제4 실시예와 동일하므로 여기서는 고정스토퍼(510)와 이동스토퍼(520)의 작동에 대해서 설명한다.
도 29a의 리프터 카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어(20)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 닫힌 상태와, 도 29b의 크린룸 도어(50)가 열린 상태, 도 29c의 리트퍼카 도어(60)가 열린 상태는 상술한 실시예에서와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이 상태에서 도 29d와 같이 상기 전후진 이동용 액추에이터(525)의 작동으로 슬라이더(524)가 고정스토퍼(510)쪽으로 이동하면, 고정스토퍼(510)의 선단부가 스톱 브래킷(526)의 상, 하단 걸림부(526a,526b)에 설치된 접촉지지롤러(527a,527b) 사이로 삽입된다.
도 29e 및 도 34와 같이 고정스토퍼(510)가 접촉지지롤러(527a,527b) 사이에 완전히 삽입되면, 이동스토퍼(520)가 고정스토퍼(510)에 완전히 지지된 상태로 된 다.
여기서 도 33에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(520)의 2개의 회전롤러(527a,527b)의 내측치수(T)와 고정스토퍼(81)의 상하 최대두께(t)와의 틈새(e)는 정위치에서 상하 각각 0.5mm이하 정도가 유지되도록 하는 것이 바람직하다. 이에 따라 리프터 카(40)가 카세트(c)의 하중의 이동에 따라 상하로 이동할 수 있는 이동량은 ±0.5mm 이내로 유지할 수 있으므로, 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평이 계속 유지될 수 있다.
이 상태에서 도 29f와 같이 고정롤러 콘베이어(20)의 작동으로 고정롤러 콘베이어(20) 상에 있던 카세트(C)가 반송이재용 롤러 콘베이어(71)측으로 이동되기 시작하며, 도 29g와 같이 카세트(C)가 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상에 지재된다.
이때 고정롤러 콘베이어(20) 상에 있던 카세트의 하중이 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상으로 이동됨에 따라 리프터 카(40)을 잡아주고 있는 와이어로프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 그 길이가 늘어나게 되지만 고정스토퍼(510)의 상, 하면에 이동스토퍼(520)의 접촉지지롤러(527a,527b)가 접촉지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
반대로 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상의 카세트를 고정롤러 콘베이어(20) 상으로 이재하는 경우에는 반송이재용 롤러 콘베이어(71) 상에 있던 카세트가 고정롤러 콘베이어(20) 상으로 이동됨에 따라 리프터 카(40)를 잡아주고 있는 와이어로 프(R1)가 이동되는 하중량에 비례하여 그 길이가 수축되지만 고정스토퍼(410)의 상, 하면에 이동스토퍼(420)의 접촉지지롤러(527a,527b)가 접촉지지되어 있으므로 리프터 카(40)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 밑으로 처지는 일이 없게 되어 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)가 수평을 유지하게 된다.
이후 도 29h와 같이 좌우 이동용 액추에이터(525)를 후퇴 작동되어 슬라이더(524)가 후퇴 이동하면서 이에 결합된 스톱 브래킷(426)의 상, 하단 걸림부(526a,526b)에 설치된 접촉지지롤러(527a,527b)가 고정스토퍼(510)의 상, 하면에서 벗어나게 되며, 이동스토퍼(520)가 완전히 후퇴하면, 도 29i와 같이 리프터카 도어(60)와 크린룸 도어(50)가 닫히고 리프터 카(40)가 이동하여 카세트를 다른 층 또는 다른 단으로 반송이재하게 된다.
도 35는 상술한 제5 실시예의 변형예, 즉 고정스토퍼(510)와 이동스토퍼(520)의 변형예를 보인 것으로, 고정스토퍼(510)는 상, 하로 이격된 상, 하단 지지부(512a,512b)와, 이 상, 하단 지지부(512a,512b)에 회전 가능하게 설치되는 접촉지지롤러(513a,513b)로 구성되고, 상기 이동스토퍼(520)는 상술한 전후진 이동용 안내편(523)에 직접 고정 설치되어 상기 접촉지지롤러(513a,513b)에 걸리는 스톱브래킷(528)으로 구성된 것이며, 여타 구성은 상술한 제4 실시예와 동일하므로 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
상기 스톱브래킷(528)의 선단부에는 상기 접촉지지롤러(513a,513b)를 안내하는 쐐기형 안내부(528a)가 형성된다.
도 36 및 도 37는 고정스토퍼와 이동스토퍼의 또 다른 변형예를 보인 것으 로, 본 변형예에서는 고정스토퍼(510)는 크린 룸(10) 내에 고정 설치되며 상하로 이격된 상, 하단 걸림편(514a,514b)을 포함하여 구성되며, 이동스토퍼(520)는 상기 슬라이더(524)의 선단에 결합되는 스톱 브래킷(529)과, 이 스톱 브래킷(529)에 회전 가능하게 설치되어 상기 고정스토퍼(510)의 상, 하단 걸림편(514a,514b)에 지지되는 접촉지지룰러(529a)를 포함하여 구성되는 것이며, 여타 구성은 상술한 제5 실시예와 동일하므로 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 38은 고정스토퍼와 이동스토퍼의 또 다른 변형예를 보인 것으로, 본 변형예에서는 고정스토퍼(510)는 크린 룸(10) 내에 고정 설치되는 지지편(515)과, 이 지지편(515)에 회전 가능하게 설치되는 접촉지지롤러(515a)를 포함하여 구성되며, 상기 이동스토퍼(520)는 상기 슬라이더(524)의 선단에 고정 결합되어 상, 하단 걸림부(531,532)를 가지는 스톱 브래킷(530)을 포함하여 구성되는 것이며, 여타 구성은 상술한 제5 실시예와 동일하므로 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 39 및 도 40은 상술한 제3 실시례의 변형례를 도시하는 것으로,
도 39는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 부분 상세 횡단면도, 도 40은 도 39의 J-J 종단면도이다.
본 변형례에서는 고정스토퍼(310)는 상하로 이격 배치된 상, 하단 걸림편(311,312)을 포함하는 것은 상술한 제3 실시례에서와 동일하며, 이동스토퍼(320)는 슬라이더(324)의 선단에 수평 회전 가능하게 설치된 롤러(327)를 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제3 실시례에서와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 41은 상술한 제3 실시례의 변형례를 도시한 것으로, 본 변형예는 고정스토퍼(310)가 승강로(30)의 내벽에 설치되는 고정봉(313)과 이 고정봉(313)의 선단에 수평 회전 가능하게 설치되는 롤러(314)로 구성되고, 이동스토퍼(320)이 슬라이더(324)의 선단에 고정되어 상, 하단 걸림편(328,328)을 포함하는 것이며. 여타 구성은 상술한 제3 실시례에서와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 42 및 도 43은 상술한 제3 실시례의 변형례를 도시한 것으로, 본 변형례에서는 고정스토퍼(310)가 승강로(30)의 내벽에 설치되는 고정봉(313)만으로 구성되고, 이동스토퍼(320)가 상기 상, 하단 걸림편(328,328)에 롤러(329,329)를 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제3 실시례와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 44 및 도 45는 상술한 제3 실시례의 변형례를 도시한 것으로, 본 변형례에서는 고정스토퍼(310)는 상, 하단 걸림편(311,312)으로 구성되고, 이동스토퍼(320)는 슬라이더(324)의 선단에 설치되어 상하로 작동하는 스톱 액튜에이터(330)을 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제3 실시례와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 46은 상술한 제2 실시례의 변형례를 보인 것으로, 본 변형례에서는 고정스토퍼(220)가 고정롤러 콘베이어(20)에 고정되는 상, 하단 걸림편(221,222)으로 구성되고, 이동스토퍼(210)가 슬라이더(213)의 선단에 수평 회전 가능하게 설치되는 롤러(216)를 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제2 실시례와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 47은 상술한 제2 실시례의 변형례를 보인 것으로, 본 변형례에서는 고정스토퍼(220)가 고정봉(223)과 롤러(224)로 구성되고, 이동스토퍼(210)가 상기 롤러(224)에 걸리는 상, 하단 걸림편(217,217)을 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제2 실시례와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 48은 상술한 제2 실시례의 변형례를 보인 것으로, 본 변형례에서는 고정스토퍼(220)가 고정봉(223)으로 구성되고, 이동스토퍼(210)가 상기 상, 하단 걸림편(217,217)과 이 상, 하단 걸림편(217,217)의 선단에 수평 회전 가능하게 설치되는 롤러(218,218)를 포함하는 것이며, 여타 구성은 상술한 제2 실시례와 동일하므로 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 구체적인 설명은 생략한다.
도 49 및 도 50은 상술한 제5 실시예의 또 다른 변형예를 보인 것으로, 본 변형예에서는 상술한 수평유지수단(500)에 의한 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 유지할 수 있으나, 이를 보다 확실하게 보완하기 위하여 가이드레일(35)을 잡아주는 클램프 브레이크(530)를 병용 적용한 것이다.
상기 클램프 브레이크(600)는 상기 리프터 카(40)의 외벽에 클램프 브래킷(611)를 통하여 고정 설치되는 브레이크용 액추에이터(610)와, 이 브레이크용 액추에이터(610)에 결합되어 상기 가이드레일(35)에 접촉하여 제동력을 발생시키는 브 레이트 패드(620)를 포함하여 구성된다.
이러한 클램프 브레이크(600)는 상술한 수평유지수단(500)을 보조하여 고정롤러 콘베이어(20)와 반송이재용 롤러 콘베이어(71)의 수평을 보다 확실하게 유지해주게 되는 것이다.
이상과 같이 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의하면 크린 룸과 리프트 카 간의 카세트 이재 과정에서 카세트와 리프터 카의 기울어짐과 이재 중인 카세트의 추락에 의한 카세트의 손상을 확실하게 방지하여 카세트가 안전하게 반송이재되는 효과가 있다.
또한 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의하면 각 층의 크린 룸에 대한 카세트의 다단 적재가 가능하게 되고, 복층화와 함께 카세트의 안전 이재가 가능하게 되는 효과가 있다.
또한 본 발명의 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 의하면 크린 룸과 리프터 카 간의 카세트 이동 동작 시 카세트를 승강시키지 않고, 수평 이동만으로 이재가 가능하게 되어 카세트 이재 시간이 크게 단축되는 효과가 있다.

Claims (22)

  1. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 2단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 양측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입구와 이 출입구를 개폐하는 리프터카 도어를 가지는 리프터 카 및, 상기 리프터 카에 설치되어 상하 및 전후진으로 이동할 수 있는 구동기구를 가지는 반송이재용 롤러 콘베이어를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서,
    상기 고정롤러 콘베이어와 반송이재용 롤러 콘베이어의 수평유지수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수평유지수단은 상기 고정롤러 콘베이어의 승강로측 단부에 구비된 지지턱과 상기 반송이재용 롤러 콘베이어의 크린룸 측 단부에 구비되어 상기 지지턱에 안착, 지지되는 안착부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 카세트가 크린룸과 리프터 카 간을 반송이재시 발생되 는 하중 변동에 따른 안착부와 지지턱의 마모방지등을 위해, 지지턱 또는 안착부를 반구형 형상 또는 캠폴로우 베어링을 사용한 안착 수단을 구비하여 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품카세트 반송이재장치.
  4. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 2단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터 카 출입구와 이 출입구를 개폐하는 리프터 카 도어를 가지는 리프터 카 및, 상기 리프터 카에 설치된 반송이재용 롤러 콘베이어를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서,
    상기 리프터 카측에 설치되어 리프터 카와 크린 룸 사이에서 이동하면서 고정롤러 콘베이어와 반송이재용 롤러 콘베이어의 수평을 유지하는 이동스토퍼와, 상기 크린 룸측에 고정 설치되어 상기 이동스토퍼가 걸리는 고정스토퍼를 구비한 수평유지수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이동스토퍼는,
    상기 리프터 카의 바닥면 위에 고정 설치되는 전후진 이동용 안내레일과, 이 전후진 이동용 안내레일에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편과, 상기 전후진 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 전후진 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더의 양끝단에 장착되어 상하로 작동하며 상, 하단 걸림부를 가지는 스톱 액추에이터를 포함하여 구성되며,
    상기 고정스토퍼는 상기 상, 하단 걸림부에 대응하는 상, 하단 걸림편을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 반송이재용 롤러 콘베이어는 상기 리프터 카의 바닥면에 고정 설치됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 반송이재용 롤러 콘베이어는 상기 슬라이더에 장착되어 이동스토퍼와 함께 이동하도록 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  8. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 3단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건 물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터 카 출입구와 이 리프터카 출입구를 개폐하는 리프터카 도어를 가지는 리프터 카 및, 상기 리프터 카에 설치된 반송이재용 롤러 콘베이어를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서,
    상기 승강로의 양측 내벽에 고정되며 상하로 이격 배치된 상, 하단 걸림편이 구비된 고정스토퍼와, 상기 리프터 카의 양측 외벽에 설치되어 상기 고정스토퍼의 상, 하단 걸림편에 걸리는 상, 하단 걸림부가 구비된 이동스토퍼를 구비한 수평유지수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 이동스토퍼는,
    상기 리프터 카의 양측 외벽에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 이 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 좌우 이동용 안내레일과, 상기 좌우 이동용 안내레일에 안내되어 좌우 이동 가능하게 설치되는 좌우 이동용 안내편과, 상기 좌우 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더에 장착되어 상하로 작동되며 상기 고정스토퍼의 상, 하단 걸림편에 걸리는 상, 하단 걸림부를 가지는 스톱 액추에이터로 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  10. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 2단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입구와 이 리프터카 출입구를 개폐하는 리프터카 도어를 가지는 리프터 카와, 상기 리프터 카에 설치된 반송이재용 롤러 콘베이어를 가지는 반송이재수단을 포함하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서,
    상기 승강로의 양측 내벽에 돌출 설치되는 고정스토퍼와, 상기 리프터 카의 양측 외벽에 설치되어 상기 고정스토퍼의 상, 하면에 접촉지지되는 이동스토퍼를 구비한 수평유지수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고정스토퍼는 봉형으로 형성되고, 상기 이동스토퍼는 상기 리프터 카의 양측 외벽에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 상기 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 좌우 이동용 안내레일과, 상기 좌우 이동용 안내레일에 안내되어 좌우 이동 가능하게 설치되는 좌우 이동용 안내편과, 상기 좌우 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더에 장착되어 상기 고정스토퍼의 상, 하면에 접촉 지지되는 상, 하단 걸림부를 가지는 스톱브래킷을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 스톱브래킷의 상, 하단 걸림부에 상기 고정스토퍼의 상, 하면에 구름접촉하는 접촉지지롤러가 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 고정스토퍼의 선단에는 상기 접촉지지롤러를 안내하는 쐐기형 안내부가 형성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 고정스토퍼는 상하로 이격된 상, 하단 지지부를 가지며, 상기 이동스토퍼는 상기 리프터 카의 양측 외벽에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 상기 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 좌우 이동용 안내레일과, 상기 좌우 이동용 안내레일에 안내되어 좌우 이동 가능하게 설치되는 좌우 이동용 안내편과, 상기 좌우 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더에 장착되어 상기 고정스토퍼의 상, 하단 지지부 삽입되어 지지되는 봉형의 스톱브래킷을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  15. 제14항에 있어서, 고정스토퍼의 상, 하단 지지부에는 상기 스톱브래킷의 상하면에 구름접촉되는 접촉지지롤러가 회전 가능하게 설치됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 이동스토퍼의 스톱브래킷의 선단에는 상기 접촉지지롤러를 안내하는 쐐기형 안내부가 형성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  17. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 하나 또는 상, 하단 크린룸 출입구와 이 크린룸 출입구를 개폐하는 하나 또는 상, 하단 크린룸 도어를 가지는 크린룸과, 상기 크린 룸의 내부에 1단 또는 2단으로 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입구와 이 리프터카 출입구를 개폐하는 리프터카 도어를 가지는 리프터 카와, 상기 리프터 카에 설치된 반송이재용 롤러 콘베이어를 가지는 반송이재수단을 포함하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치에 있어서,
    상기 크린 룸 내에 고정 설치되는 고정스토퍼와, 상기 리프터 카에 설치되어 리프터카 도어와 크린룸 도어를 통해 상기 고정스토퍼에 지지되는 이동스토퍼를 구비한 수평유지수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 고정스토퍼는 상기 크린 룸에 고정되어 리프터 카를 향하여 크린룸 출입구측으로 돌출되며,
    상기 이동스토퍼는 상기 리프터 카 내에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 이 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 전후진 이동용 안내레일과, 상기 전후진 이동용 안내레일에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편과, 상기 전후진 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 전후 방향으로 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더에 장착되어 상기 고정스토퍼의 상, 하면에 접촉 지지되는 접촉지지롤러를 가지는 스톱 브래킷을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 고정스토퍼는 상, 하로 이격된 상, 하단 지지부와 이 상, 하단 지지부에 회전 가능하게 설치된 접촉지지롤러를 포함하여 구성되며,
    상기 이동스토퍼는 리프터 카의 내부에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 이 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 전후진 이동용 안내레일과, 상기 전후진 이동용 안내레일에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편과, 상기 전후진 이동용 안내편에 고정 결합되는 스톱 브래킷과, 상기 스톱 브래킷를 전 후 방향으로 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  20. 제17항에 있어서,
    상기 고정스토퍼는 크린 룸 내에 고정 설치되며 상하로 이격된 상, 하단 걸림편을 포함하여 구성되며,
    상기 이동스토퍼는 상기 리프터 카의 내부에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 상기 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 전후진 이동용 안내레일과, 상기 전후진 이동용 안내레일에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편과, 상기 전후진 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 전후 방향으로 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더의 선단에 결합되는 스톱 브래킷과, 이 스톱 브래킷에 회전 가능하게 설치되어 상기 고정스토퍼의 상, 하단 걸림편에 지지되는 접촉지지롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  21. 제17항에 있어서,
    상기 고정스토퍼는 크린 룸 내에 고정 설치되는 지지판과, 상기 지지판에 회전 가능하게 설치되는 접촉지지롤러를 포함하여 구성되며,
    상기 이동스토퍼는 상기 리프터 카의 내부에 고정되는 이동스토퍼 베이스와, 상기 이동스토퍼 베이스에 고정 설치된 전후진 이동용 안내레일과, 상기 전후진 이 동용 안내레일에 안내되어 전후진 이동 가능하게 설치되는 전후진 이동용 안내편과, 상기 전후진 이동용 안내편에 고정 결합되는 슬라이더와, 상기 슬라이더를 전후 방향으로 구동시키는 전후진 이동용 액추에이터와, 상기 슬라이더의 선단에 고정 결합되어 상기 고정스토퍼의 접촉지지롤러가 접촉지지되는 상, 하단 걸림부를 가지는 스톱 브래킷을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
  22. 제1항, 제4항, 제8항, 제10항 및 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 리프터 카의 외벽면에는 리프터 카를 승강 안내하는 가이드레일에 접촉하여 제동력을 발생시키는 클램프 브레이크를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치.
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