KR20050027977A - 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치 - Google Patents

디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20050027977A
KR20050027977A KR1020040109959A KR20040109959A KR20050027977A KR 20050027977 A KR20050027977 A KR 20050027977A KR 1020040109959 A KR1020040109959 A KR 1020040109959A KR 20040109959 A KR20040109959 A KR 20040109959A KR 20050027977 A KR20050027977 A KR 20050027977A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lifter
clean room
fixed
cassette
door
Prior art date
Application number
KR1020040109959A
Other languages
English (en)
Inventor
이동헌
Original Assignee
이동헌
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이동헌 filed Critical 이동헌
Priority to KR1020040109959A priority Critical patent/KR20050027977A/ko
Publication of KR20050027977A publication Critical patent/KR20050027977A/ko
Priority to KR1020050113840A priority patent/KR100663157B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/04Drums, rollers, or wheels
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Types And Forms Of Lifts (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치에 관한 것이다. 종래의 장치에서는 리프터 카와 크린룸 사이에서 부품 카세트를 이재하는 이재기가 부품 카세트의 중량에 의해 처지면서 부품 카세트가 미끄러져 추락함에 따라 부품의 손상을 초래할 뿐만 아니라 한 층의 크린 룸에 1단의 카세트 적재대만을 설치하고 있기 때문에 공장부지 활용도가 떨어지는 문제점이 있었다. 본 발명은 리프터카 내와 크린룸내에 롤러 콘베이어를 설치하여 부품 카세트를 반송이재 할 수 있도록 한 것으로 크린룸내의 고정롤러 콘베이어와 리프터카 내의 이동롤러 콘베이어의 수평을 정확히 맞추고, 부품카세트의 반송이재가 진행되면서 하중이 이동됨에 따른 리프터카의 상승이나 하강으로 인한, 두개의 롤러 콘베이어의 수평의 차가 발생하지 않도록 하는 수단을 구비함으로서 안전하게 부품카세트를 반송이재할 수 있으며, 각 층의 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치함으로써 공장부지 활용도를 높일 수 있으면서도 카세트의 반송이재를 안전하게 수행할 수 있고, 크린룸 도어와 리프터카 도어의 개폐 소요시간을 단축함으로써 전체적인 이재에 소요되는 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING CASSETTE OF DISPLAY DEVICE}
본 발명은 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치에 관한 것으로, 특히 부품을 안전하게 이재할 수 있음과 아울러 각 층별로 다단 적재가 가능하게 되는 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치에 관한 것이다.
통상적으로 디스플레이 제품, 예컨대 액정디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display) 및 피디피(PDP; Plasma Display Panel) 제품은 크린 룸(clean room)에서 제조공정이 이루어지게 되며, 크린 룸은 공장건물이 다 층으로 설치되어 디스플레이 제품을 구성하는 부품이나 반조립품 등을 각 층의 크린 룸 으로 반송하면서 디스플레이 제품을 제조하게 된다.
상기 부품이나 반조립품은 카세트에 수납된 상태로 반송되며, 각 층간의 반송을 위하여 크린 룸들의 일측에는 승강로를 설치하고, 이 승강로에는 리프터 카(lifter car)를 승강 가능하게 설치하며, 이 리프터 카또는 크린 룸에는 리프터 카와 크린 룸간에 카세트(cassette)를 이동시키는 이재 장치를 설치하고 있다. 또한 크린 룸과 승강로의 경계벽에는 크린룸 출입구가 형성되고, 리프터 카의 크린룸쪽 벽에는 리프터카 출입구가 형성되며, 이들 출입구는 각각 크린룸 도어와 리프터카 도어에 의해 개폐된다.
종래 장치에 의해 부품이나 반조립품을 수납한 카세트를 각 층의 크린 룸으로 이재하는 과정을 설명한다.
리프터 카를 승강시켜 원하는 크린 룸의 위치에 정지시킨 상태에서 먼저, 크린룸 도어를 열면, 크린 룸 내에는 일정 압력을 유지하도록 청정공기로 채워져 있으므로 이 크린 룸 내의 청정공기가 크린룸 출입구를 통해 상기 경계벽과 리프터 카 사이의 틈새로 유출되면서 승강로측의 공기가 크린 룸으로 유입되는 것을 방지하게 되며, 이 상태에서 리프터카 도어를 열면, 크린 룸 내의 청정공기가 리프터 카의 내부로 유입되어 승강로 내부 공기나 리프터 카의 내부 공기가 크린룸쪽으로 유입되는 것을 방지하게 된다. 여기서 승강로는 통상적으로 크린 룸보다는 낮은 등급이지만 어느 정도 크린 룸의 조건을 유지하는 것이다.
상기 도어들이 개방되면, 리프터 카 또는 크린룸에 설치된 이재기의 팔이 신장하면서 출입구들을 통해 크린 룸 내 또는 리프터 카내로 진입하게 되고, 카세트를 크린 룸 내 또는 리프터 카내로 이재하게 된다.
카세트가 이재 완료되면 이재기 팔은 수축하면서 크린룸 내부 또는 리프터 카의 내부로 복귀하게 되어 카세트를 이재 완료하게 된다.
카세트가 이재완료되면, 먼저 리프터카 도어를 닫고, 이어서 크린룸 도어를 닫는다.
도어들이 닫히면 리프터 카는 승강로를 따라 승강하여 카세트를 이재하고자 하는 크린 룸에 정지하게 되고, 상술한 바와 마찬가지로 먼저, 크린룸 도어가 열리고 이어서 리프터카 도어가 열리게 되며, 카세트가 안착된 이재기 팔이 신장하면서 크린 룸의 내부 또는 리프터 카 내부로 진입하여 카세트를 이재시키게 되며, 이후 상술한 바와 같이 반복하여 리프터 카도어가 닫히며, 이어서 크린룸 도어가 닫히게 된다.
이로서 어느 하나의 크린 룸에 있던 카세트를 원하는 크린 룸으로 이재하게 되는 것이다.
그러나 종래의 장치에서는 상술한 카세트 이재기를 각층 크린 룸 내에 설치하고, 리프터 카 내에 카세트 적재대를 설치하므로 고가의 이재기를 여러 대 필요로 하고 있으며, 만일 상술한 바와 같이 종래의 이재기를 리프터 카 내에 설치하여 운영한다면 이재기의 팔이 외팔보 형태로 된 2개의 팔로 구성되어 있기 때문에 카세트의 중량에 따라 이재기 팔의 처짐현상이 발생하게 되고, 이에 더하여 리프터 카를 승강 안내하기 위하여 승강로에 설치된 가이드 레일(guide rail)과 리프터 카에 설치되어 상기 가이드 레일에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)간의 공차에 의해 리프터 카 전체가 크린룸쪽으로 기울어지게 되어 이재기 팔의 처짐이 더욱 커지게 되며, 이러한 이재기 팔이 처짐에 따라 카세트 내의 부품이 이동하게 됨에 따른 부품의 손상은 물론 카세트가 이재기 팔에서 미끄러져서 크린 룸의 바닥으로 추락함에 따른 부품의 손상을 초래하게 되는 문제점이 있었다.
특히, 최근 액정디스플레이 제품은 초대형화되어가고 있는 실정이며, 특히 액정디스플레이 및 피디피 제품은 100인치급 초대형이 개발되었다.
이와 같이 초대형 디스플레이 제품의 경우 예컨대 이에 사용되는 유리기판을 수납하는 카세트는 그 크기가 폭(W) 2,500mm × 길이(L) 3,000mm × 높이(H) 2,000mm이고, 중량이 2,000kg이상으로 초대형의 중량물이므로 이재기 팔의 자체 처짐은 30∼50mm이상이 되고, 리프터 카의 기울어짐에 따른 이재기의 처짐이 60mm이상으로 되어 결과적으로 이재기의 처짐이 80∼100mm이상으로 크게 나타나기 때문에 이재기 팔의 처짐에 따른 카세트의 이재가 심각한 문제로 대두되고 있다.
또한 종래에는 디스플레이 제품의 초대형화에 따라 각 크린 룸에 1단의 카세트 적재대를 설치하였으나, 1단 적재를 할 경우 공장부지 활용도가 떨어지기 때문에 각층 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하여 3단 적재가 가능하도록 크린룸의 활용도를 높이는 추세임은 물론, 각 층 내의 공장배치도 점점 복잡화 되어 출입구가 승강로의 일측에만 설치되지 않고, 180˚반대편에도 설치되고 있다.
그러나 이와 같이 다단 적재가 가능하도록 각 크린 룸에 2단의 카세트 적재대를 설치하였을 경우 상단의 카세트 적재대에 대한 카세트의 이재 과정에서 상술한 이재기의 처짐에 따른 카세트의 추락 사고가 발생할 우려가 있고, 또한 다단으로 올리기 위한 고가설비가 필요하게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본출원인이 2004년 7월 14일 특허출원번호 10-2004-0054878로 슬라이드 이재방식의 카세트 반송장치를 출원한바 있으나, 이 또한 구조가 복잡하고 고가의 비용이 소요되는 문제가 있었으며, 특허출원 접수번호 1-1-2004-5184751-09로 롤러콘베이어 방식의 카세트 반송이재장치를 출원하였으나, 이 또한 구조가 복잡한 편이며 다소 고가인문제가 있었다.
상술한 이재기 방식이외에 소형 반송물을 상술한 바와 같이 각층간에 반송하는 경우에는 크린룸 측과, 리프터카 측 모두에 롤러 콘베이어(Roller Conveyor)를 설치 사용하는 경우가 일반적이나, 상술한 바와같이 본 발명에서 적용하고자 하는 카세트는 대형이고, 중량물 임은 물론 건물높이가 50m이상의 고층에서도 적용하여야 하므로, 카세트가 있을 때와 없을 때, 카세트 간의 무게차이등에 의해 리프터 카를 상하로 잡고 있으면서 이동시키는 와이어 로프(Wire rope)의 늘어남의 차이 등으로 인해, 크린룸 내의 고정 롤러 콘베이어와 리프터 카내의 이동롤러 콘베이어이 수평을 정확히 맞출 수 없는 문제점이 있어 카세트 내의 유리기판에 충격을 주지 않고, 안정되게 카세트를 반송할 수가 없었다.
따라서 본 발명의 목적은 카세트를 보다 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 각 층의 크린 룸을 다단 적재가 가능하고, 복층화하면서도 카세트를 안전하게 이재할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 크린 룸과 리프터 카 간의 카세트 이동 동작이 신속하게 이루어져 카세트 이재 시간을 단축할 수 있도록 한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 제공하려는 것이다.
이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재하는 카세트 적재대와, 적재된 카세트를 반송하는 롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터 카내에 고정 설치된 롤러콘베이어 방식 이재장치와, 리프터카의 도어가 설치되지 않는 좌우외측 승강로쪽에 리프터카의 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 고정스토퍼와의 위치를 맞추어 리프터카 외측에 고정 설치된 한쌍의 이동스토퍼를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 있어서, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼가 고정 설치되고, 리프터카의 변동하중을 받쳐 지지하여 리프터카의 상하이동을 방지 할 수 있는 한쌍의 고정스토퍼의 내측에, 승강로 외벽쪽으로 전후진으로 이동하는 양끝단의 상하에는 상하로 작동하는 스톱 액튜에이터가 부착된 한쌍의 이동스토퍼를, 고정 스토퍼측으로 전진시킨 후 스톱 액튜에이터를 작동시켜, 고정스토퍼와 이동스토퍼의 틈새를 최소로 하여 안착시켜서, 카세트의 이동에 따른 리프터카의 상하 이동을 방지시켜 고정롤러 콘베이어와 리프터카 내의 롤러 콘베이어의 수평을 정확히 유지할 수 있는 수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치가 제공된다.
또한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정 롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터카에 설치된 롤러 콘베이어 방식 이재장치와, 리프터카의 도어가 설치되지 않는 좌우외측 승강로쪽에 리프터카의 무게평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 고정스토퍼와의 위치를 맞추어 리프터카의 외측에 고정 설치된 한쌍의 이동스토퍼를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송 이재장치에 있어서, 상기 고정 롤러 콘베이어가 각 크린 룸별로 좌우 및 1단 또는 2단으로 구성되고, 상기 크린룸 출입구는 좌우 및 1단 또는 2단의 롤러 콘베이어에 대응하여 좌우 및 하단 크린룸 출입구와 상단 크린룸 출입구로 형성되며, 상기 좌우 및 하단 크린룸 출입구와 상단 크린룸 출입구에는 각각 좌우 및 하단 크린룸 도어와 상단 크린룸 도어가 설치되어, 고정 롤러 콘베이어와 리프터카 내의 롤러 콘베이어의 수평 맞춤 수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송 및 이재장치가 제공된다.
이하, 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치를 첨부도면에 도시한 실시례에 따라서 상세히 설명한다.
<실시례>
도 1 내지 도 5는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 실시례를 도시한 것으로, 도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 카세트 반송장치의 종단면도 및 횡단면도, 도 3은 본 발명에 의한 카세트 이재과정을 보인 도면이다.
본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성된 크린 룸(10)과, 상기 크린 룸(10)의 내부에 설치되어 카세트(C)를 적재 및 반송하는 고정롤러콘베이어a(20)와, 상기 크린 룸(10)의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로(30)와, 상기 승강로(30)에 승강 가능하게 설치되는 리프터 카(40)와, 상기 승강로(30)내에서 리프터카(40)가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어(60)가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽(11)에 고정설치된 한쌍의 고정스토퍼(81a, 81b)와, 상기 리프터 카(40)에 설치된 리프터카 내의 롤러콘베이어b(71)와, 리프터카 도어(60)가 설치되지 않는 좌우 외측 승강로(30)쪽에 리프터카(40)의 무게평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에, 고정스토퍼(81a, 81b)와의 위치를 맞추어 리프터카(40)외측에 고정 설치되고, 이동 스토퍼판(78)의 일측 끝단의 상하에는 상하로 작동하는 스톱 액튜에이터(83)이 부착된 전후진으로 이동시킬 수 있는 이동스토퍼(82a, 82b)로 구성된 카세트(c) 반송이재장치(70)가 설치되어, 상기 크린 룸(10)에 설치된 고정 롤러콘베이어a(20)와 상기 리프터카 내의 롤러콘베이어b(71)의 수평 맞춤 수단으로 구성된다.
상기 크린 룸(10)은 통상적으로 청정공기가 지속적으로 유입되어 일정한 압력을 유지하는 상태로 되어 있으며, 리프터 카(40)의 내부는 세미 크린 룸(semi-clean room)으로 구성되어 있다.
상기 크린 룸(10)과 승강로(30) 사이의 경계벽(11)에는 크린룸 출입구(12)가 형성되고, 리프터 카(40)의 크린 룸(10)측면에는 리프터카 출입구(41)가 형성되어 있고, 상기 크린룸 출입구(12)와 리프터카 출입구(41)에는 각각 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 설치되어 있다.
상기 크린룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)는 상하 방향으로 개폐 작동되도록 설치되며, 에어시린더 또는 권취모터와 이 에어시린더 또는 권취모터에 권취되는 로프 등으로 구성되는 통상적인 엘리베이터 등의 종래 기술에서 채용하고 있는 상하 개폐식 도어 구동수단에 의해 개폐되는 것이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 크린룸(10)내의 롤러 콘베이어a(20)와 리프터카(40)내의 롤러 콘베이어b(71)는 다수개의 동일롤러(23)를 롤러 상호간 및 구동부와를 체인 또는 벨트에 의해 구동시키는 모터(25)가 설치되어 구성되고, 프레임(22a, 22b)이 서로 일정 거리 만큼 이격된 상태로 좌우 한 쌍으로 콘베이어 베이스(21)위에 설치되는 것으로, 크린 룸(10)의 바닥면 또는 2단 지지대 또는 리프터카(40)의 바닥면 위에 콘베이어 지지대(24)에 의해 고정결합 되는 것으로 구성된다. 여기서 롤러 콘베이어의 구동방법 등은 통상적인 종래기술에서 채용하고 있는 방법이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 승강로(30)에는 상기 리프터 카(40)를 승강 구동하기 위한 수단이 설치된다.
상기 리프터 카(40)를 승강 구동시키는 수단은 통상적인 엘리베이터에서와 같아, 승강로(30)의 최상단의 기계실(31)과, 상기 승강로(30)의 일측에 형성되는 균형추 승강로(32)와, 상기 기계실(31)에 설치되는 권상기(33)와, 상기 균형추 승강로(32)에 승강 가능하게 설치되는 균형추(34)와, 상기 권상기(33)에 권취되어 그 하단이 리프터 카(40)의 상단에 고정되는 권상로프(R1)와, 상기 리프터 카(40)의 상단과 균형추(34)의 상단을 연결하는 균형로프(R2) 및, 상기 리프터 카(40)의 하단과 균형추(34)의 하단을 연결하는 보상체인으로 연결된다.
상기 승강로(30)의 양측벽에는 가이드 레일(guide rail)(35)이 설치되며, 상기 리프터 카(40)의 양측면에는 상기 가이드 레일(35)에 안내되는 가이드 슈(guide shoe)(36)가 설치된다. 또한 상기 균형추 승강로(32)에는 가이드 레일(37)이 설치되며, 상기 균형추(34)에는 상기 가이드 레일(37)에 안내되는 가이드 슈(38)가 설치된다.
상기 한쌍의 고정스토퍼(81a, 81b)는 승강로(30)내에서 리프터카(40)가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카도어(60)가 설치되지 않는 쪽 승강로 외벽(11)에 ㄷ자 형상으로 고정 설치되어, 구성되어 있다.
상기 반송이재 장치(70)는 상기 고정롤러 콘베이어a(20)와 동일구조인 리프터카 내의 롤러 콘베이어 b(71)로서, 리프터카 (40)의 밑면위에 지지대(24)에 의해 고정 설치된다.
상기 한쌍의 이동스토퍼(82)는 도어가 설치되지 않는 좌우 외측 승강로 외벽(11)쪽에, 리프터카(40)의 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에, 한쌍의 고정스토퍼(81)와 위치를 맞추어 리프터카(40)의 외측에 고정 설치되어, 구성되어있다.
상기 이동스토퍼(82)는 전후진 이동용 안내레일(72a, 72b)과 전후진 이동용 액튜에이터(77)가 이동스토퍼 베이스(79)에 고정 설치되고, 전후진 이동용 안내편(73a, 73b)이 전후진 이동용 안내레일(72)와 결합되어 하부에 고정된 이동스토퍼판(78)이 일측 끝단 상하에는 상하로 작동하는 스톱액튜에이터(83a, 83b)가 고정 설치되고 반대편에는 전후진 이동용 액튜에이터(77)와 브라케트에 의해 고정 연결되어, 고정스토퍼(81)의 내측으로 전후진 이동할 수 있도록 고정 설치되어, 구성되어 있다.
상기 전후진 이동용 안내레일(72)은 통상적인 엘엠 가이드 레일(Linear Motion guide rail)이 사용되며, 상기 전후진 이동용 안내편(73)은 엘엠 가이드 블록(Linear Motion guide block)이 사용된다.
상기 전후진 이동용 액츄에이터(77)와 스톰액츄에이터(83)로서는 공압 실린더나 유압 실린더 또는모터와 블스크류를 사용할 수 있으며, 이는 통상적인 선형액츄에이터의 예이므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하, 본 실시례에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 의한 카세트의 이재 과정을 설명한다.
도 3a와 같이 리프터카(40)가 크린룸 도어(50)의 정위치에 정지하고 카세트(C)가 크린 룸(10)의 고정롤러 콘베이어a(30)의 상부에 이송 정지하여 있고, 크린 룸 도어(50)와 리프터카 도어(60)가 닫힌 상태에서, 카세트(C)를 다른 크린 룸(10)으로 반송이재함에 있어서는, 도 3b에 도시한 바와 같이 크린룸 도어(50)를 열면, 크린 룸(10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 승강로(30)로 유출되어 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 된다. 이때 리프터카 (40)의 정지정도는 2개의 롤러콘베이어a, b(20,71)의 수평을 맞추어 카세트(c)의 반송이 원활히 이루어 질 수 있는 수준인 ±0.5mm이내이다.
이 상태에서 도 3c에 도시한 바와 같이 리프터카 도어(60)를 열면, 크린 룸(10) 내부의 청정공기가 크린룸 출입구(12)를 통해 리프터 카(40)와 승강로(30)로 유출되어 리프터 카(40) 및 승강로(30)측 공기가 크린 룸(10)의 내부로 유입되지 않는 상태로 됨과 아울러 리프터 카(40)의 내부도 크린 룸(10)에 상당하는 조건으로 유지된다.
이 상태에서 도 3d와 도4, 도5, 도7에 도시한 바와 같이 리프터카(40)외측의 한쌍의 이동스토퍼(82)를 전후진 이동수단인 전후진 이동용 액츄에이터(77)와 전후진 이동용 안내레일 및 안내편(72, 73)에 의해 승강로(30)내의 한쌍의 고정스토퍼(81) 내부까지 이동정지한다.
이상태에서 도 3e와 도 8에 도시한 바와 같이 이동스토퍼(82)의 스톱 액츄에이터(83a, 83b, 83c, 83d)를 서서히 작동시켜 고정스토퍼(81)의 내측과 스톱액츄에이터(83)의 상하끝단의 틈새가(t) 최소가 되도록 하여, 리프터카(40)가 카세트(c)의 하중의 이동에 따라 상하로 이동하는 것을 막아, 고정롤러 콘베이어(20)와 리프터카내의 롤러 콘베이어b(71)의 수평이 계속 유지되도록 한다.
이때, 고정스토퍼(81)의 내측과 스톱액츄에이터(83)의 상하끝단 과의 틈새(T)는 이동스토퍼(82)의 전후진시 간섭이 생기지 않도록, 스톱액츄에이터(83)의 작동전에는 T=5∼20mm정도로 하고, 스톱액튜에이터(83)가 작동한 뒤에는 리프터카(40)의 상하이동을 최소화 하기위해 t=0∼0.5mm 이내로 유지되도록 고정스토퍼(81)의 내측 치수 및 스톱액츄에이터(83)의 이동량을 정한다.
이상태에서 3f에서 도시한 바와같이 고정롤러 콘베이어a(20)와 리프터카 내의 롤러 콘베이어b(71)를 동시에 가동하여, 카세트(c)를 리프터카 내의 롤러 콘베이어b(71)의 상부 정위치까지 이동시켜 도 3g의 상태와 같이 카세트(c)를 이동완료시킨다.
이때, 이동이 진행되면서 카세트c)의 중량도 리프터카(40)쪽으로 이동하게 되므로, 리프터카(40)를 수직방향으로 잡고있는 와이어 로프가 이동되는 하중량에 비례하여 길이가 늘어나게 되어, 고정스토퍼(81)의 내측하부와 이동스토퍼(82)의 하부 스톱 액튜에이터(83)의 선단부가 접촉하여 카세트(c)의 하중을 받게되고, 무리한 접촉이 발생되어, 마모 등이 발생될 수 있으나, 이를 방지하기 위해 도7과 도 8과 같이 스톱 액튜에이터(83)의 선단부(84)를 반구형 형상으로 하여 사용하면 해결할 수 있다.
이 상태에서 도 3h와 도 7에 도시한 바와같이 이동스토퍼(82)의 스톱 액튜에이터(83)를 원 위치 시키고, 고정스토퍼(81)의 상하내측과 이동스토퍼(82)의 스톱 액튜에이터(83)의 양측선단과의 틈새(t)를 크게 벌려 틈새가 T가 되도록하여, 카세트(c)의 하중에 의해 리프터카(40)가 조금 이동 하더라도 이동 스토퍼(82)가 원위치로 후진이동 하는데 간섭문제가 없도록 하고, 이때 스톱 액튜에이터(83)의 작동속도를 서서히 하여 원위치 시켜, 리프터카(40)가 충격없이 이동 되도록한다.
이 상태에서 도 3i와 도 6에 도시한 바와 같이 이동 스토퍼(82)가 리프터카(40)내의 정위치로 되돌아가고, 리프터카 도어(60)와 크린룸 도어(50)를 닫는다.
이러한 과정을 통해서 크린룸(10)내에 있던 카세트(c)를 리프터카(40)내로 반송이재 완료시킨 후, 리프터카(40)을 다른층 또는 다른단으로 이동시켜 상술한 역순으로 반송이재 하면 다른단 또는 다른층 크린룸(10)내로 카세트(c)를 반송이재 완료시킬 수 있는 것이다.
.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치의 실시례를 도시하는 것으로,
도 1은 종단면도,
도 2는 횡단면도,
도 3은 본 발명에 의한 카세트의 이재 과정을 보인 것으로,
도 3a는 리프터카가 크린룸도어의 정위치에 정지하고, 카세트가 크린 룸 내의 고정 롤라 콘베이어 상에 적재된 상태를 보인 종단면도,
도 3b는 크린룸 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 3c는 크린룸 도어가 열린 후, 리프터카 도어가 열린 상태를 보인 종단면도,
도 3d는 리프터카 외부 좌우측에 부착된 한쌍의 이동스토퍼가 승강로 외벽내측에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼까지 전진한 상태를 보인 종단면도,
도 3e는 이동스토퍼의 스톱 액츄에이터들이 작동하여 고정스토퍼와의 틈새를 최소로 유지한 상태를 보인 종단면도,
도 3f는 2개의 롤러 콘베이어가 구동하여 카세트를 리프터카 내부로 반송하는 상태를 보인 종단면도,
도 3g는 카세트가 리프터카 내의 롤러 콘베이어에 이송완료된 상태를 보인 종단면도,
도 3h는 리프터카내의 롤러 콘베이어가 카세트를 실은 상태에서 스톱액튜에이터가 제 위치로 복귀하여 고정스토퍼와의 틈새를 최대로 유지한 상태를 보인 종단면도,
도 3i는 이동스토퍼가 후진 복귀하고, 리프터카 도어와 크린룸도어가 닿힌 상태를 보인 종단면도
도 4는 이동스토퍼와 고정스토퍼의 결합 상태를 보인 A부 상세 횡단면도
도 5는 도 4의 B-B 종단면도
도 6은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되지 않은 상태의 D부 상세 종단면도
도 7은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합된 상태의 D부 상세 종단면도
도 8은 이동스토퍼와 고정스토퍼가 결합되고 스톱액튜에이터가 작동된 상태의 D부 상세 종단면도
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10: 크린 룸 11: 승강로 외벽
20: 고정 롤러 콘베이어a 21: 콘베이어 베이스
22: 프레임 (22a, 22b) 23: 롤러
24: 지지대 25: 모터 (Moter}
26: 체인 (Chain) 30: 승강로
40: 리프터 카 50: 크린룸 도어
60: 리프터카 도어 70: 반송이재장치
71: 리프터카 내의 롤러 콘베이어b
72: 전후진 이동용 안내레일(72a,72b, 72c, 72d)
73: 전후진 이동용 안내편(73a, 73b, 73c, 73d)
74: 베이스 판 77: 전후진 이동용 액튜에이터(77a, 77b)
78: 이동스토퍼판 79: 이동스토퍼 베이스
81: 고정스토퍼(81a, 81b) 83: 이동스토퍼(82a, 82b)
83: 스톱 액튜에이터(83a, 83b, 83c, 83d)

Claims (2)

  1. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재하는 카세트 적재대와, 적재된 카세트를 반송하는 롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측 또는 중앙에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터 카내에 고정 설치된 롤러콘베이어 방식 이재장치와, 리프터카의 도어가 설치되지 않는 좌우외측 승강로쪽에 리프터카의 무게 평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 고정스토퍼와의 위치를 맞추어 리프터카 외측에 고정 설치된 한쌍의 이동스토퍼를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치에 있어서, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼가 고정 설치되고, 리프터카의 변동하중을 받쳐 지지하여 리프터카의 상하이동을 방지 할 수 있는 한쌍의 고정스토퍼의 내측에, 승강로 외벽쪽으로 전후진으로 이동하는 양끝단의 상하에는 상하로 작동하는 스톱 액튜에이터가 부착된 한쌍의 이동스토퍼를, 고정 스토퍼측으로 전진시킨 후 스톱 액튜에이터를 작동시켜, 고정스토퍼와 이동스토퍼의 틈새를 최소로 하여 안착시켜서, 카세트의 이동에 따른 리프터카의 상하 이동을 방지시켜 고정롤러 콘베이어와 리프터카 내의 롤러 콘베이어의 수평을 정확히 유지할 수 있는 수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재 장치
  2. 디스플레이 제품 제조공장 건물의 각 층별로 형성되며 크린룸 출입구가 형성된 크린 룸과, 상기 크린 룸의 내부에 설치되어 카세트를 적재 반송하는 고정 롤러 콘베이어와, 상기 크린 룸의 일측에 제조공장 건물의 전 층에 걸쳐서 설치되는 승강로와, 상기 승강로에 승강 가능하게 설치되며 상기 크린룸 출입구에 대응하는 리프터카 출입문을 가지는 리프터 카와, 상기 승강로내에서 리프터카가 정지하는 각각의 정위치에, 리프터카 도어가 설치되지 않는 양측 승강로 외벽에 고정 설치된 한쌍의 고정스토퍼와, 상기 크린룸 출입구와 리프터카 출입문을 개폐하는 크린룸 도어와 리프터카 도어 및, 상기 리프터 카에 설치된 롤러 콘베이어 방식 이재장치와, 리프터카의 도어가 설치되지 않는 좌우외측 승강로쪽에 리프터카의 무게평형을 잡아줄 수 있는 대칭위치에 고정스토퍼와의 위치를 맞추어 리프터카의 외측에 고정설치된 한쌍의 이동스토퍼를 포함하여 구성되는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송 이재장치에 있어서, 상기 고정 롤러 콘베이어가 각 크린 룸별로 좌우 및 1단 또는 2단으로 구성되고, 상기 크린룸 출입구는 좌우 및 1단 또는 2단의 롤러 콘베이어에 대응하여 좌우 및 하단 크린룸 출입구와 상단 크린룸 출입구로 형성되며, 상기 좌우 및 하단 크린룸 출입구와 상단 크린룸 출입구에는 각각 좌우 및 하단 크린룸 도어와 상단 크린룸 도어가 설치되어, 고정 롤러 콘베이어와 리프터카 내의 롤러 콘베이어의 수평 맞춤 수단을 구비하여서 됨을 특징으로 하는 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송 및 이재장치
KR1020040109959A 2004-11-26 2004-12-21 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치 KR20050027977A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040109959A KR20050027977A (ko) 2004-12-21 2004-12-21 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR1020050113840A KR100663157B1 (ko) 2004-11-26 2005-11-26 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040109959A KR20050027977A (ko) 2004-12-21 2004-12-21 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050027977A true KR20050027977A (ko) 2005-03-21

Family

ID=37385090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040109959A KR20050027977A (ko) 2004-11-26 2004-12-21 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20050027977A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100769692B1 (ko) * 2006-02-16 2007-10-24 (주)코미 층간 리프트

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100769692B1 (ko) * 2006-02-16 2007-10-24 (주)코미 층간 리프트

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102276842B1 (ko) 층간 반송 설비
WO2010150531A1 (ja) 保管庫
WO2009125616A1 (ja) 物品収納設備
JP6183714B2 (ja) コンテナ昇降搬送装置
KR102401195B1 (ko) 컨테이너 승강 반송 장치
KR102401184B1 (ko) 컨테이너 승강 반송 장치
KR102409175B1 (ko) 컨테이너 승강 반송 장치
WO2015190395A1 (ja) コンテナ昇降搬送装置
KR20050032045A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
JP2018039660A (ja) 物品搬送設備
KR20050025941A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR100689072B1 (ko) 디스플레이 제품용 부품 카세트 반송이재장치
KR20050029138A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR102282065B1 (ko) 수직반송 시스템
KR20050027977A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR100663157B1 (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재장치
KR20050027976A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR100965512B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR20050026432A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050029137A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR100579707B1 (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송장치
KR20050035199A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20050029169A (ko) 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20210135016A (ko) 이송 수단이 구비된 화물용 승강기
JP2003002410A (ja) 自動倉庫

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G15R Request for early opening