WO2022154268A1 - 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템 - Google Patents

반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템 Download PDF

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WO2022154268A1
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support rail
belt conveyor
unit support
hanger
rail
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민남홍
김기윤
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주식회사 세미티에스
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    • B65G2207/30—Modular constructions

Definitions

  • the present invention relates to a wafer transport system used in a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a belt conveyor system in which a belt conveyor transporting a wafer storage container used in a semiconductor manufacturing process is installed using a hanger and a support rail. it is about
  • a wafer storage container equipped with a plurality of wafers for example, a conveyor transporting a FOUP (Front Opening Unified Pod)
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • FIG. 1 is a view illustrating a conventional method of installing a belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger as an example.
  • a predetermined mold bar 10 for installing an installation may be installed on the ceiling 1 of the clean room.
  • a raceway 12 may be installed.
  • the raceway 12 avoids installations installed on the mold bar 10 and is installed with raceway fixing structures 11-1 and 11. -2, 11-3) may be installed to be positioned below the installations, and by installing the raceway 12 along a desired path, the hangers 20-1, 20-2, 20-3) Each can be installed.
  • the entire belt conveyor may have a configuration in which a plurality of belt conveyor devices 30-1, 30-2, 30-3, and 30-4 are connected in a modular manner.
  • each of the connecting portions 21-1, 21-2, and 21-3 to which the belt conveyor devices 30-1, 30-2, 30-3, and 30-4 are connected may be stably coupled. It needs to be supported by a hanger in order to be able to do so. Therefore, there is still a limit in which the installation positions of the hangers 20-1, 20-2, and 20-3 must be determined to correspond to the respective positions of the connection parts 21-1, 21-2, and 21-3. will do
  • An object of the present invention is to provide a belt conveyor system in which the hanger can be directly installed on the ceiling of the clean room when the belt conveyor is installed at a predetermined height in the clean room using the hanger.
  • each belt conveyor device in installing the belt conveyor at a predetermined height of a clean room using a hanger, when the entire belt conveyor is configured in a modular type, by using a predetermined support rail, each belt conveyor device as a module It is another object to provide a belt conveyor system in which the position of the hanger is not limited by the position of the formed connection part.
  • each of the belt conveyor devices in installing the belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger, when the entire belt conveyor is configured in a modular type, each of the belt conveyor devices as a module and the supporting rail correspond to each other with a docking connector It is another object to provide a belt conveyor system that allows each of the belt conveyor devices to be connected to or separated from a communication line and a power line, including.
  • each of the unit support rails corresponds to a joint connector. It is another object to provide a belt conveyor system that allows each of the partial power lines and the partial communication lines included in each of the unit support rails to be connected or separated, including.
  • the characteristic configuration of the present invention is as follows.
  • the wafer storage container in a belt conveyor system using a hanger and a support rail for conveying a wafer storage container used in a semiconductor manufacturing process, is located in a clean room in which the semiconductor manufacturing process is performed.
  • a pair of vertical frames each having one end fixed to each of the mold bars installed on the ceiling of the section where conveyance is made and the pair of vertical frames in the other end area of the pair of vertical frames connecting between the first to nth hangers each comprising a horizontal frame, wherein n is an integer greater than or equal to 1 hanger;
  • At least a pair of rail frames formed to cross the inner region of each of the first to n-th hangers, at least one rail fixing frame connecting the pair of rail frames, and the pair of rail frames a support rail including first docking connectors installed at equal intervals on any one; and a plurality of rollers installed along a path through which the wafer storage container is transported, a controller for controlling a driving roller that is at least one of the rollers, and at least a portion
  • each of the first hanger to the n-th hanger is installed at equal intervals, or at least one of the intervals formed by each of the first hanger to the n-th hanger is installed to be different from other intervals, and the At least one connection part among the connection parts to which each of the first belt conveyor device to the m-th belt conveyor device is connected is formed at a position that does not correspond to each of the first to n-th hangers.
  • a belt conveyor system characterized in that the lower portion of the support rail is installed in close contact with the upper portion of each of the horizontal frames included in each of the first to n-th hangers.
  • a predetermined space is formed along the position of each of the first docking connectors, and a power line and a communication line connected to each of the first docking connectors are connected to the predetermined space.
  • installed in the first belt conveyor device to the specific second docking connector included in a specific belt conveyor device among the mth belt conveyor device is coupled with a specific first docking connector among the first docking connectors, the specific
  • a belt conveyor system characterized in that power is supplied and communication is performed with respect to a specific controller included in the belt conveyor device.
  • the support rail is provided with a belt conveyor system, characterized in that the first unit support rails having a predetermined unit length to k-th - where k is an integer greater than or equal to 1 - unit support rails are connected.
  • the power supply line and the communication line are divided into a first partial power supply line to a kth partial power line, respectively, and a first partial communication line to a kth partial communication line, respectively, and are connected to the first unit support rail to the kth support rail.
  • the p is an integer greater than or equal to 1 k -
  • the p-th partial power supply A first_p joint connector connected to one end of each of the line and the p-th communication line is installed, and (ii) the other end of the p-th partial power line and the p-th communication line is connected to the other end of the other side opposite to the one surface.
  • a 2_p joint connector is installed, and the p-th unit support rail is (1) when the p is 1 or more and k-1 or less, the other surface of the p-th unit support rail is one surface of the (p+1)-th unit support rail and the second_p joint connector included in the other surface of the p-th unit support rail and the 1_(p+1) joint connector included in one surface of the (p+1)-th unit support rail are connected to each other.
  • the p-th partial power line and the p-th partial communication line By being coupled and connected to correspond to each other, (i) the p-th partial power line and the p-th partial communication line, and (ii) the (p+1)-th partial power line included in the (p+1)-th unit support rail and (p+1)th partial communication lines are connected to each other, and (2) when p is 2 or more and k or less, one surface of the p-th unit support rail corresponds to the other surface of the (p-1)-th unit support rail.
  • the first_p joint connector included on one surface of the p-th unit support rail and the second_(p-1) joint connector included on the other surface of the (p-1)-th unit support rail are coupled to correspond to each other
  • the p-th partial power line and the p-th partial communication line, (ii) the (p-1)-th partial power line and the (p-th) part included in the (p-1) unit support rail -1) A belt conveyor system characterized in that partial communication lines are connected to each other is provided
  • the hanger when the belt conveyor is installed at a predetermined height in the clean room using the hanger, the hanger can be directly installed on the ceiling of the clean room.
  • each belt conveyor device in installing the belt conveyor at a predetermined height of a clean room using a hanger, when the entire belt conveyor is configured in a modular type, by using a predetermined support rail, each belt conveyor device as a module There is an effect that the position of the hanger is not limited by the position of the formed connection part.
  • each of the belt conveyor devices in installing the belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger, when the entire belt conveyor is configured in a modular type, each of the belt conveyor devices as a module and the supporting rail correspond to each other with a docking connector Including, each of the belt conveyor devices has the effect of being connected to or separated from the communication line and the power line.
  • each of the unit support rails corresponds to a joint connector. It has the effect of allowing each of the partial power lines and the partial communication lines included in each of the unit support rails to be connected or separated.
  • FIG. 1 is a diagram schematically illustrating as an example a conventional method of installing a belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger.
  • FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a belt conveyor system for installing a belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger and a support rail according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a belt conveyor system capable of installing a plurality of belt conveyors at a predetermined height in a clean room using a hanger and a support rail according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a view showing the lower part and one side of the belt conveyor device as a module when the entire belt conveyor is configured in a modular type according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram schematically illustrating the configuration of one unit support rail and connectors, and a power line and a communication line, when each of the unit support rails is connected to form a support rail according to an embodiment of the present invention; to be.
  • FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a belt conveyor system for installing a belt conveyor at a predetermined height in a clean room using a hanger and a support rail according to an embodiment of the present invention.
  • the belt conveyor system according to the present invention is installed on each of the mold bars 10 installed on the ceiling 1 of the section where the wafer storage container is transported in the clean room where the semiconductor manufacturing process is performed. It may include hangers 200-1, 200-2, and 200-3 that are directly fixed and installed. At this time, the hangers 200-1, 200-2, and 200-3 may be composed of n hangers (first hanger to nth hanger) depending on the scale of the entire belt conveyor system, and FIG. 2 shows some of them. As showing the hangers, the belt conveyor system according to the present invention is not limited to the number of hangers shown in the drawings, and it will be of course that the number may be configured differently according to the implementation conditions of the invention.
  • the belt conveyor system may include a support rail 400 traversing the inner region of each of the hangers 200-1, 200-2, 200-3, and the entire belt conveyor is modular.
  • each of the belt conveyor devices 300-1, 300-2, 300-3, and 300-4 as a module may be installed on the support rail 400 .
  • the belt conveyor devices 300-1, 300-2, 300-3, and 300-4 have m belt conveyor devices (first belt conveyor device to m-th belt conveyor device) according to the scale of the entire belt conveyor system. ), and FIG. 2 shows some of them as an example.
  • connection parts 301-1, 301-2, and 301-3 to which the belt conveyor devices 300-1, 300-2, 300-3, and 300-4 installed on the support rail 400 are connected respectively.
  • At least one connection part may be formed at a position that does not correspond to each of the hangers 200 - 1 , 200 - 2 , and 200 - 3 .
  • the support rail 400 may include predetermined first docking connectors 410 - 1 and 410 - 2 installed at equal intervals.
  • each of the first docking connectors (410-1, 410-2), the second docking connector (310-) included in each of the belt conveyor devices (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 1, 310-2) can be detached from each, at this time the second docking connector (310-1, 310-2) each position of the belt conveyor device (300-1, 300-2, 300-3, 300- 4)
  • each of the first docking connectors (410-1, 410-2) is installed on the upper portion of the support rail 400 may be a predetermined position that can be detached in correspondence with each other.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a belt conveyor system capable of installing a plurality of belt conveyors at a predetermined height in a clean room using a hanger and a support rail according to an embodiment of the present invention.
  • each of the hangers 200-1, 200-2, and 200-3 includes a pair of vertical frames 201-1 and 201-2 and a horizontal frame connecting the pair of vertical frames. 202 , respectively.
  • a mold bar fixing part 210 having a structure for fixing to each of the mold bars 10 installed on the ceiling 1 of the clean room. -1 and 210-2) may be formed, and the horizontal frame 202 may be installed at the other end region of each of the pair of vertical frames 201-1 and 201-2.
  • the support rail 400 may be installed between the pair of vertical frames 201-1 and 201-2 and cross the inner region formed on the horizontal frame 202, respectively.
  • the support rail 400 includes a pair of rail frames 401-1 and 401-2, and at least one rail fixing frame connecting the pair of rail frames 401-1 and 401-2.
  • each of the belt conveyor devices (300-1, 300-2, 300-3, 300-4) is installed on top of a pair of rail frames (401-1, 401-2),
  • the support rail 400 may be configured to include a plurality of the pair of rail frames 401-1 and 401-2. Details such as how many pairs of rail frames the support rail 400 will include The operating conditions may vary depending on the operating conditions of the invention. However, it will be natural for the support rail 400 to include at least a pair of rail frames.
  • the support rail 400 may be installed in close contact with the upper portion of the horizontal frame 202 included in each of the lower portions of the hangers 200-1, 200-2, 200-3, respectively. Details such as a fixing method or a close contact position may vary depending on the implementation conditions of the present invention.
  • each of the belt conveyor devices 300-1, 300-2, 300-3, and 300-4 as a module constituting the entire belt conveyor will be described in more detail.
  • FIG. 4 is a view showing the lower part and one side of the belt conveyor device as a module when the entire belt conveyor is configured in a modular type according to an embodiment of the present invention.
  • the belt conveyor device shown in FIG. 4 will be described as a specific belt conveyor device 300 that is one of the m belt conveyor devices, respectively.
  • a specific belt conveyor device 300 which is any one of the belt conveyor devices 300-1, 300-2, 300-3, and 300-4, respectively, is installed along the path through which the wafer storage container is transported.
  • a driving roller motor 320 for driving the driving roller may be separately installed, and FIG. 4 shows an area in which such a driving roller motor 320 is installed, but unlike this, the inside of the driving roller may include a motor, which may vary depending on the implementation conditions of the invention.
  • the specific belt conveyor device 300 may include a controller for controlling the driving roller, and the controller needs to be connected to a power line for supplying power and a communication line for communication.
  • a predetermined docking connector A state that a specific second docking connector, 310 is included is shown, and the specific second docking connector 310 may be connected to a controller.
  • the specific second docking connector 310 is any one of the first docking connectors 410-1 and 410-2 included in the support rail 400 to which a power line and a communication line are connected in advance. By being detached corresponding to a specific first docking connector, power supply and communication can be made to the controller.
  • the first docking connector and the second docking connector may each have a shape that can be detached corresponding to each other, and may be a general female/male type connector, but is not limited thereto, and various types and types of connectors are employed. and can be used
  • the power line and the communication line as described above are predetermined formed inside or outside the support rail 400 along the positions of the first docking connectors 410-1 and 410-2 included in the support rail 400, respectively.
  • the first docking connectors 410-1 and 410-2 may be installed in advance in a state of being connected to each of them.
  • a specific second docking connector 310 included in the specific belt conveyor device 300 is a specific first among the first docking connectors 410-1 and 410-2 included in the support rail 400 . When combined with the docking connector, power supply and communication can be made with respect to a specific controller included in the specific belt conveyor device 300 .
  • the support rail 400 may be formed by connecting each of the unit support rails having a predetermined unit length.
  • the unit support rail may be composed of k number of unit support rails (a first unit support rail to a k-th unit support rail) according to the implementation conditions of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram schematically illustrating the configuration of one unit support rail and connectors, and a power line and a communication line, when each of the unit support rails is connected to form a support rail according to an embodiment of the present invention; to be.
  • one unit support rail shown in FIG. 5 will be described as a p-th unit support rail that is any one of the k unit support rails.
  • the p-th unit support rail as any one of the k unit support rails is a partial rail frame 411-1 as a part constituting a pair of rail frames included in the entire support rail 400 .
  • 411-2 may include each.
  • it may include at least one of the rail fixing frames 402-1 and 402-2.
  • FIG. 5 there is a case in which each of the two specific rail fixing frames 412-1 and 412-2 is included. It is shown as an example.
  • each of the partial rail frames 411-1 and 411-2 and the specific rail fixing frames 412-1 and 412-2 are respectively shown as connected in a rectangular shape, and the p-th unit support
  • the shape of the rail is not limited thereto, and the shape of each of the specific rail fixing frames 412-1 and 412-2 may vary depending on the implementation conditions of the invention.
  • the power line 430 and the communication line 440 used in the belt conveyor system of the present invention are divided into a first partial power line to a kth partial power line, respectively, and a first partial communication line to a kth partial communication line, respectively. It may be included in each of the first unit support rail to the k-th support rail, and the p-th unit support rail that is any one of the first unit support rail to the k-th unit support rail includes a first docking connector included therein.
  • a p-th partial power line and a p-th partial communication line may be included in a predetermined space formed along each of the ones 410-3, 410-4, 410-5, and 410-6.
  • a 1_p joint connector 420-1 connected to one end of each of the p-th partial power line and the p-th partial communication line is installed, (ii) A 2_p joint connector 420 - 2 connected to the other end of each of the p-th partial power line and the p-th partial communication line may be installed on the other surface opposite to the one surface.
  • the first_p joint connector and the second_p joint connector may each have a shape that can be detached corresponding to each other, and may be a general male/female type connector, but is not limited thereto, and various types and types of connectors are employed. and can be used
  • the p-th unit support rail is connected so that the other surface of the p-th unit support rail corresponds to one surface of the (p+1)-th unit support rail and at the same time, when the p is 1 or more and k-1 or less,
  • the 2_p joint connector included in the other surface of the p-th unit support rail and the 1_(p+1) joint connector included in one surface of the (p+1)-th unit support rail are coupled and connected to correspond to each other, ( i) the pth partial power line and the pth partial communication line, and (ii) the (p+1)th partial power line and the (p+1)th partial communication line included in the (p+1)th unit support rail These can be connected to each other.
  • one surface of the p-th unit support rail is connected to correspond to the other surface of the (p-1)-th unit support rail, and at the same time, included in one surface of the p-th unit support rail
  • the first_p joint connector and the second_(p-1) joint connector included in the other surface of the (p-1)th unit support rail are coupled and connected to correspond to each other, so that (i) the pth partial power line and the The p-th partial communication line and (ii) the (p-1)th partial power line and the (p-1)th partial communication line included in the (p-1)th unit support rail may be connected to each other.

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템에 관한 것으로, 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린 룸 내에서 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송이 이루어지는 구간의 천장에 설치된 몰드 바들 각각에, 각각의 일단이 고정되는 한 쌍의 수직 프레임과 상기 한 쌍의 수직 프레임의 타단 영역에서 상기 한 쌍의 수직 프레임 사이를 연결하는 수평 프레임을 각각 포함하는 제1 행거 내지 제n 행거; 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각의 내부 영역을 가로지르도록 형성된 적어도 한 쌍의 레일 프레임, 상기 한 쌍의 레일 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 레일 고정 프레임들, 및 상기 한 쌍의 레일 프레임 중 어느 하나에 등간격으로 설치된 제1 도킹 컨넥터들을 포함하는 지지 레일; 및 상기 웨이퍼 보관 용기가 반송되는 경로를 따라 설치된 복수개의 롤러들, 상기 롤러들 중 적어도 하나인 구동 롤러를 제어하기 위한 콘트롤러, 상기 구동 롤러의 외주면 적어도 일부가 밀착된 상태로 상기 롤러들을 감싸며 설치된 적어도 하나의 이송 벨트, 및 상기 콘트롤러와 연결되어 있는 제2 도킹 컨넥터를 각각 포함하고, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각에 상기 제2 도킹 컨넥터가 결합되도록 상기 지지 레일 상부에 설치되는 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 제m - 벨트 컨베이어 장치; 를 포함하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.

Description

반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템
본 발명은 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼의 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기를 반송하는 벨트 컨베이어를 행거 및 지지 레일을 사용하여 설치한 벨트 컨베이어 시스템에 대한 것이다.
반도체 제조 공정에서, 웨이퍼를 안전하게 반송하는 것은 중요한 문제이다. 따라서, 복수개의 웨이퍼를 탑재한 웨이퍼 보관 용기, 예를 들어 FOUP(Front Opening Unified Pod)을 반송하는 컨베이어는 웨이퍼 보관 용기의 로딩, 언로딩 및 반송 과정에서 예측하지 못한 문제가 발생하지 않도록 설계되어야 할 필요가 있다. 또한, 반도체 제조 현장, 예를 들어, 클린 룸은 다양한 설비가 혼용되고 있기 때문에, 웨이퍼 보관 용기를 반송하는 컨베이어를 원하는 경로로 배치하기 위해서는 행거를 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 설치하여야 할 필요가 있을 수 있다.
도 1은, 행거를 이용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 설치하는 종래의 방식을 예시로서 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 클린 룸의 천장(1)에는 설치물을 설치하기 위한 소정의 몰드 바(mold bar, 10)가 설치되어 있을 수 있다. 그런데, 상기 몰드 바에는 이미 다수의 설치물들이 설치되어 있을 수 있으므로, 해당 몰드 바에는 행거(20-1, 20-2, 20-3) 각각을 원하는 위치에 설치하기 어려울 수 있다. 이를 극복하기 위하여 추가적인 구조물인 레이스웨이(raceway, 12)가 설치될 수 있는데, 레이스웨이(12)는 몰드 바(10)에 설치되어 있는 설치물들을 피하여 설치되는 레이스웨이고정구조물(11-1, 11-2, 11-3)에 의하여 상기 설치물들의 아래에 위치되도록 설치될 수 있고, 원하는 경로를 따라 레이스웨이(12)를 설치하여 해당 레이스웨이(12)에 행거(20-1, 20-2, 20-3) 각각을 설치할 수 있다.
하지만, 이와 같은 방식은, 레이스웨이(12) 등의 추가적인 구조물을 설치하여야 하므로, 전체 구조가 복잡해지고 무게가 증가되는 단점이 있다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 전체 벨트 컨베이어는 복수개의 벨트 컨베이어 장치(30-1, 30-2, 30-3, 30-4)가 모듈식으로 연결되는 구성일 수 있다. 이와 같은 경우, 벨트 컨베이어 장치(30-1, 30-2, 30-3, 30-4) 각각이 연결되는 연결부(21-1, 21-2, 21-3) 각각은 안정적으로 결합되어 있을 수 있도록 행거에 의하여 지지되어야 할 필요가 있다. 따라서, 행거(20-1, 20-2, 20-3) 각각의 설치 위치가 상기 연결부(21-1, 21-2, 21-3) 각각의 위치에 대응되어 결정될 수 밖에 없는 한계가 여전히 존재하게 된다.
따라서, 행거를 클린 룸의 천장에 직접 설치할 수 있으면서도, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 이루어지는 경우에도 행거의 위치가 벨트 컨베이어 장치 각각의 연결부 위치에 한정될 필요가 없는 새로운 벨트 컨베이어 시스템의 필요성이 존재한다.
본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 행거를 클린 룸의 천장에 직접 설치할 수 있는 벨트 컨베이어 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우, 소정의 지지 레일을 사용함으로써 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치 각각에 의하여 형성되는 연결부의 위치에 의하여 행거의 위치가 한정되지 않는 벨트 컨베이어 시스템을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우, 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치 각각 및 지지 레일이 서로 대응되는 도킹 컨넥터를 포함하여 벨트 컨베이어 장치 각각이 통신선 및 전원선과 연결되거나 분리될 수 있도록 하는 벨트 컨베이어 시스템을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 복수개의 단위 지지 레일이 연결되어 전체 지지 레일을 구성하는 경우, 단위 지지 레일 각각이 서로 대응되는 조인트 커넥터를 포함하여 단위 지지 레일 각각에 포함된 부분 전원선 및 부분 통신선 각각이 연결되거나 분리될 수 있도록 하는 벨트 컨베이어 시스템을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 효과를 실현하기 위한, 본 발명의 특징적인 구성은 하기와 같다.
본 발명의 일 태양에 따르면, 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여, 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템에 있어서, 상기 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린 룸 내에서 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송이 이루어지는 구간의 천장에 설치된 몰드 바(mold bar)들 각각에, 각각의 일단이 고정되는 한 쌍의 수직 프레임과 상기 한 쌍의 수직 프레임의 타단 영역에서 상기 한 쌍의 수직 프레임 사이를 연결하는 수평 프레임을 각각 포함하는 제1 행거 내지 제n - 상기 n은 1 이상의 정수임 - 행거; 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각의 내부 영역을 가로지르도록 형성된 적어도 한 쌍의 레일 프레임, 상기 한 쌍의 레일 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 레일 고정 프레임들, 및 상기 한 쌍의 레일 프레임 중 어느 하나에 등간격으로 설치된 제1 도킹 컨넥터들을 포함하는 지지 레일; 및 상기 웨이퍼 보관 용기가 반송되는 경로를 따라 설치된 복수개의 롤러들, 상기 롤러들 중 적어도 하나인 구동 롤러를 제어하기 위한 콘트롤러, 상기 구동 롤러의 외주면 적어도 일부가 밀착된 상태로 상기 롤러들을 감싸며 설치된 적어도 하나의 이송 벨트, 및 상기 콘트롤러와 연결되어 있는 제2 도킹 컨넥터를 각각 포함하고, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각에 상기 제2 도킹 컨넥터가 결합되도록 상기 지지 레일 상부에 설치되는 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 제m - 상기 m은 1 이상의 정수임 - 벨트 컨베이어 장치; 를 포함하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
일례로서, 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각은 등간격으로 설치되거나, 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각이 이루는 간격들 중 적어도 하나의 간격이 다른 간격들과 상이하게 설치되며, 상기 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 상기 제m 벨트 컨베이어 장치 각각이 연결되는 연결부들 중 적어도 하나의 연결부는, 상기 제1 행거 내지 제n 행거 각각과 대응되지 않는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
일례로서, 상기 지지 레일은, 그 하부가 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각에 포함된 상기 수평 프레임 각각의 상부에 밀착되어 설치되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
일례로서, 상기 지지 레일의 내부 또는 외부에는, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각의 위치를 따라 소정의 공간이 형성되어, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각과 연결되어 있는 전원선 및 통신선이 상기 소정의 공간에 설치되며, 상기 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 상기 제m 벨트 컨베이어 장치 중 특정 벨트 컨베이어 장치에 포함되어 있는 특정 제2 도킹 컨넥터가 상기 제1 도킹 컨넥터들 중 특정 제1 도킹 컨넥터와 결합되면, 상기 특정 벨트 컨베이어 장치에 포함되어 있는 특정 컨트롤러에 대하여 전원 공급 및 통신이 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
일례로서, 상기 지지 레일은, 소정의 단위길이를 가지는 제1 단위 지지 레일 내지 제k - 상기 k는 1 이상의 정수임 - 단위 지지 레일이 연결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
일례로서, 상기 전원선 및 상기 통신선은, 제1 부분 전원선 내지 제k 부분 전원선 각각과, 제1 부분 통신선 내지 제k 부분 통신선 각각으로 나뉘어져 상기 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 지지 레일에 각각 포함되어 있으며, 상기 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 단위 지지 레일 중 어느 하나인 제p - 상기 p는 1 이상 k 이하인 정수임 - 단위 지지 레일에는, (i) 그 일면에, 제p 부분 전원선 및 제p 부분 통신선 각각의 일단과 연결된 제1_p 조인트 컨넥터가 설치되어 있고, (ii) 상기 일면의 반대면인 타면에, 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선 각각의 타단과 연결된 제2_p 조인트 컨넥터가 설치되어 있으며, 상기 제p 단위 지지 레일은, (1) 상기 p가 1 이상 k-1 이하인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면이 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면에 포함된 상기 제2_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면에 포함된 제1_(p+1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p+1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p+1) 부분 전원선 및 제(p+1) 부분 통신선이 서로 연결되고, (2) 상기 p가 2이상 k 이하인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면이 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면에 포함된 상기 제1_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면에 포함된 제2_(p-1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p-1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p-1) 부분 전원선 및 제(p-1) 부분 통신선이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템이 제공된다.
본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 행거를 클린 룸의 천장에 직접 설치할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우, 소정의 지지 레일을 사용함으로써 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치 각각에 의하여 형성되는 연결부의 위치에 의하여 행거의 위치가 한정되지 않는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우, 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치 각각 및 지지 레일이 서로 대응되는 도킹 컨넥터를 포함하여 벨트 컨베이어 장치 각각이 통신선 및 전원선과 연결되거나 분리될 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 행거를 사용하여 벨트 컨베이어를 클린 룸의 소정의 높이에 설치함에 있어, 복수개의 단위 지지 레일이 연결되어 전체 지지 레일을 구성하는 경우, 단위 지지 레일 각각이 서로 대응되는 조인트 커넥터를 포함하여 단위 지지 레일 각각에 포함된 부분 전원선 및 부분 통신선 각각이 연결되거나 분리될 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1은, 행거를 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 설치하는 종래의 방식을 예시로서 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 행거 및 지지 레일을 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 설치하는 벨트 컨베이어 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 행거 및 지지 레일을 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 복수개 설치할 수 있는 벨트 컨베이어 시스템을 도시한 도면이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우에, 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치의 하부 및 일측면의 모습을 도시한 도면이다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 단위 지지 레일 각각이 연결되어 지지 레일을 구성하는 경우에, 하나의 단위 지지 레일 및 컨넥터들과, 전원선 및 통신선의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다.
또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 행거 및 지지 레일을 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 설치하는 벨트 컨베이어 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 벨트 컨베이어 시스템은, 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린 룸 내에서 웨이퍼 보관 용기의 반송이 이루어지는 구간의 천장(1)에 설치된 몰드 바(mold bar, 10)들 각각에 직접 고정되어 설치되는 행거(200-1, 200-2, 200-3)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 행거(200-1, 200-2, 200-3)는 전체 벨트 컨베이어 시스템의 규모에 따라 n개의 행거(제1 행거 내지 제n 행거)로 구성될 수 있고, 도 2는 그 중 일부의 행거를 도시하고 있는 것으로서, 본 발명에 따른 벨트 컨베이어 시스템은 도면에 도시된 행거의 개수로 한정되지 않으며, 발명의 실시 조건에 따라 그 개수가 다르게 구성될 수 있음은 당연할 것이다.
다음으로, 본 발명에 따른 벨트 컨베이어 시스템은, 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각의 내부 영역을 가로지르는 지지 레일(400)을 포함할 수 있고, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되어, 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각이 지지 레일(400)의 상부에 설치될 수 있다. 이때, 상기 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4)는, 전체 벨트 컨베이어 시스템의 규모에 따라 m개의 벨트 컨베이어 장치(제1 벨트 컨베이어 장치 내지 제m 벨트 컨베이어 장치)로 구성될 수 있으며, 도 2는 그 중 일부를 예시로서 도시하고 있다.
이와 같이 지지 레일(400)을 사용하여 벨트 컨베이어 시스템을 구성함으로써, 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각이 연결되는 연결부(301-1, 301-2, 301-3) 각각을 행거로 지지할 필요가 없게 되며, 그에 따라 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각의 위치가 상기 연결부(301-1, 301-2, 301-3)의 위치에 한정되지 않도록 할 수 있다. 즉, 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각이 이루는 간격(220-1, 220-2) 각각은 등간격일 수도 있으나, 적어도 하나의 간격이 다른 간격들과 상이하게 될 수도 있다. 또한, 지지 레일(400) 상부에 설치되는 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각이 연결되는 연결부(301-1, 301-2, 301-3) 각각 중 적어도 하나의 연결부는, 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각과 대응되지 않는 위치에 형성될 수 있다.
그리고, 지지 레일(400)에는, 등간격으로 설치된 소정의 제1 도킹 커넥터들(410-1, 410-2)이 포함되어 있을 수 있다. 이때, 제1 도킹 커넥터들(410-1, 410-2) 각각은, 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각에 포함된 제2 도킹 커넥터(310-1, 310-2) 각각과 탈착될 수 있는데, 이 때 제2 도킹 커넥터(310-1, 310-2) 각각의 위치는 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각이 지지 레일(400)의 상부에 설치되었을 때 제1 도킹 커넥터들(410-1, 410-2) 각각과 대응되어 탈착될 수 있는 소정의 위치일 수 있다. 이와 같은 제1 도킹 커넥터들 및 제2 도킹 커넥터 각각에 대해서는, 아래에서 별도의 도면을 참조하여 다시 설명할 것이며, 그 전에 먼저 행거(200-1, 200-2, 200-3) 및 지지 레일(400)의 구조를 더 자세히 설명하도록 하겠다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 행거 및 지지 레일을 사용하여 클린 룸의 소정의 높이에 벨트 컨베이어를 복수개 설치할 수 있는 벨트 컨베이어 시스템을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각은 한 쌍의 수직 프레임(201-1, 201-2)과, 상기 한 쌍의 수직 프레임 사이를 연결하는 수평 프레임(202)을 각각 포함할 수 있다. 이 때, 상기 한 쌍의 수직 프레임(201-1, 201-2) 각각의 일단에는, 클린 룸의 천장(1)에 설치된 몰드 바(10) 각각에 고정하기 위한 구조인 몰드 바 고정부(210-1, 210-2)가 형성되어 있을 수 있고, 상기 한 쌍의 수직 프레임(201-1, 201-2) 각각의 타단 영역에 상기 수평 프레임(202)이 설치될 수 있다.
그리고, 상기 한 쌍의 수직 프레임(201-1, 201-2) 사이와, 상기 수평 프레임(202) 상부에 형성된 내부 영역을 가로지르도록 지지 레일(400)이 설치될 수 있다. 이때, 지지 레일(400)은, 한 쌍의 레일 프레임(401-1, 401-2), 상기 한 쌍의 레일 프레임(401-1, 401-2) 사이를 연결하는 적어도 하나의 레일 고정 프레임들(402-1, 402-2), 및 상기 한 쌍의 레일 프레임(401-1, 401-2) 중 어느 하나에 등간격으로 설치된 제1 도킹 컨넥터들(410-1, 410-2)을 포함하고 있을 수 있다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각은 한 쌍의 레일 프레임(401-1,401-2)의 상부에 설치되고, 지지 레일(400)은 상기 한 쌍의 레일 프레임(401-1, 401-2)을 복수개 포함하여 구성될 수 있는데, 상기 지지 레일(400)이 몇 쌍의 레일 프레임을 포함할 것인지와 같은 세부적인 실시 조건은 발명의 실시 조건에 따라 달라질 수 있다. 다만, 지지 레일(400)이 최소한 한 쌍의 레일 프레임을 포함해야 하는 것은 당연할 것이다.
또한, 지지 레일(400)은, 그 하부가 행거(200-1, 200-2, 200-3) 각각에 포함된 수평 프레임(202) 각각의 상부에 밀착되어 설치될 수 있는데, 밀착된 상태에서 고정되는 방식 또는 밀착되는 위치 등의 세부적인 사항은 발명의 실시 조건에 따라 달라질 수 있다.
다음으로, 전체 벨트 컨베이어를 구성하는 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각의 구조를 더 자세히 설명하도록 하겠다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 전체 벨트 컨베이어가 모듈식으로 구성되는 경우에, 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치의 하부 및 일측면의 모습을 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여, 도 4에 도시된 벨트 컨베이어 장치를 상기 m개의 벨트 컨베이어 장치 각각 중 어느 하나인 특정 벨트 컨베이어 장치(300)로 정하여 설명하도록 하겠다.
도 4를 참조하면, 벨트 컨베이어 장치(300-1, 300-2, 300-3, 300-4) 각각 중 어느 하나인 특정 벨트 컨베이어 장치(300)는, 웨이퍼 보관 용기가 반송되는 경로를 따라 설치된 복수개의 롤러들, 상기 롤러들 중 적어도 하나인 구동 롤러를 제어하기 위한 콘트롤러, 상기 구동 롤러의 외주면 적어도 일부가 밀착된 상태로 상기 롤러들을 감싸며 설치된 적어도 하나의 이송 벨트, 및 상기 콘트롤러와 연결되어 있는 제2 도킹 컨넥터(310)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 구동 롤러를 구동하기 위한 구동 롤러 모터(320)가 별도로 설치되어 있을 수 있으며, 도 4에는 그와 같은 구동 롤러 모터(320)가 설치되는 영역이 도시되어 있으나, 이와는 달리 구동 롤러의 내부에 모터가 포함되어 있을 수도 있으며, 이는 발명의 실시 조건에 따라 달라질 수 있다.
그리고, 특정 벨트 컨베이어 장치(300)는 구동 롤러를 제어하는 컨트롤러를 포함하고 있을 수 있는데, 상기 컨트롤러에는 전원을 공급하기 위한 전원선과, 통신이 이루어지도록 하기 위한 통신선이 연결되어야 할 필요가 있다. 도 4에는, 전원선과 통신선을 컨트롤러에 직접 연결하는 것이 아니라, 컨트롤러에 전원선 및 통신선을 연결하거나 제거하는 추가적인 과정 없이도 모듈로서의 벨트 컨베이어 장치 각각을 설치하거나 제거할 수 있도록 하기 위한 소정의 도킹 컨넥터(특정 제2 도킹 컨넥터, 310)가 포함된 모습이 도시되어 있으며, 해당 특정 제2 도킹 컨넥터(310)는 컨트롤러와 연결되어 있을 수 있다. 그리고, 해당 특정 제2 도킹 컨넥터(310)는, 사전에 전원선 및 통신선이 연결되어 지지 레일(400)에 포함되어 있는 제1 도킹 컨넥터들(410-1, 410-2) 각각 중 어느 하나인 특정 제1 도킹 컨넥터에 대응되어 탈착됨으로써, 상기 컨트롤러에 전원 공급 및 통신이 이루어지도록 할 수 있다. 이때, 제1 도킹 컨넥터와, 제2 도킹 컨넥터는 서로 대응되어 탈착될 수 있는 형상을 각각 가질 수 있는데, 일반적인 암/수 형태의 컨넥터일 수도 있으나, 그에 한정되지 않고 다양한 형태 및 방식의 컨넥터가 채용되어 사용될 수 있다.
상술한 바와 같은 전원선 및 통신선은, 지지 레일(400)에 포함된 제1 도킹 컨넥터들(410-1, 410-2) 각각의 위치를 따라 지지 레일(400)의 내부 또는 외부에 형성된 소정의 공간에, 상기 제1 도킹 컨넥터들(410-1, 410-2) 각각과 연결된 상태로 사전에 설치되어 있을 수 있다. 그리고, 상기 특정 벨트 컨베이어 장치(300)에 포함되어 있는 특정 제2 도킹 컨넥터(310)가 지지 레일(400)에 포함되어 있는 제1 도킹 컨넥터들(410-1, 410-2) 중 특정 제1 도킹 컨넥터와 결합되면, 상기 특정 벨트 컨베이어 장치(300)에 포함되어 있는 특정 컨트롤러에 대하여 전원 공급 및 통신이 이루어질 수 있다.
다음으로, 발명의 다른 일 예로서, 지지 레일(400)은 소정의 단위길이를 가지는 단위 지지 레일 각각이 연결되어 이루어질 수 있다. 이때, 상기 단위 지지 레일은 발명의 실시 조건에 따라 k개의 단위 지지 레일(제1 단위 지지 레일 내지 제k 단위 지지 레일)로 구성될 수 있다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 단위 지지 레일 각각이 연결되어 지지 레일을 구성하는 경우에, 하나의 단위 지지 레일 및 컨넥터들과, 전원선 및 통신선의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여, 도 5에 도시된 하나의 단위 지지 레일을 상기 k개의 단위 지지 레일 중 어느 하나인 제p 단위 지지 레일로 정하여 설명하도록 하겠다.
도 5를 참조하면, 상기 k개의 단위 지지 레일 중 어느 하나인 상기 제p 단위 지지 레일은, 전체 지지 레일(400)에 포함되는 한 쌍의 레일 프레임을 구성하는 부분으로서의 부분 레일 프레임(411-1, 411-2) 각각을 포함할 수 있다. 또한, 상기 레일 고정 프레임들(402-1, 402-2) 중 적어도 하나를 포함할 수 있는데, 도 5에는 두 개의 특정 레일 고정 프레임(412-1, 412-2) 각각이 포함되어 있는 경우가 예시로서 도시되어 있다. 또한, 도 5에는 상기 부분 레일 프레임(411-1, 411-2) 각각 및 상기 특정 레일 고정 프레임(412-1, 412-2) 각각이 사각형의 형상으로 연결된 것으로 도시되어 있는데, 제p 단위 지지 레일의 형상은 이에 한정되지 않으며, 상기 특정 레일 고정 프레임(412-1, 412-2) 각각의 위치가 발명의 실시 조건에 따라 달라질 수 있음에 따라 그 형상도 달라질 수 있다.
그리고, 본 발명의 벨트 컨베이어 시스템에서 사용되는 전원선(430) 및 통신선(440)은, 제1 부분 전원선 내지 제k 부분 전원선 각각과, 제1 부분 통신선 내지 제k 부분 통신선 각각으로 나뉘어져 상기 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 지지 레일에 각각 포함되어 있을 수 있고, 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 단위 지지 레일 중 어느 하나인 상기 제p 단위 지지 레일에는, 그에 포함된 제1 도킹 컨넥터들(410-3, 410-4, 410-5, 410-6) 각각을 따라 형성된 소정의 공간에 제p 부분 전원선 및 제p 부분 통신선이 포함되어 있을 수 있다.
다음으로, 상기 제p 단위 지지 레일에는, (i) 그 일면에, 제p 부분 전원선 및 제p 부분 통신선 각각의 일단과 연결된 제1_p 조인트 컨넥터(420-1)가 설치되어 있고, (ii) 상기 일면의 반대면인 타면에, 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선 각각의 타단과 연결된 제2_p 조인트 컨넥터(420-2)가 설치되어 있을 수 있다. 이때, 제1_p 조인트 컨넥터와, 제2_p 조인트 컨넥터는 서로 대응되어 탈착될 수 있는 형상을 각각 가질 수 있는데, 일반적인 암/수 형태의 컨넥터일 수도 있으나, 그에 한정되지 않고 다양한 형태 및 방식의 컨넥터가 채용되어 사용될 수 있다.
그리고, 상기 제p 단위 지지 레일은, 상기 p가 1 이상 k-1 이하인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면이 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면에 포함된 상기 제2_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면에 포함된 제1_(p+1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p+1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p+1) 부분 전원선 및 제(p+1) 부분 통신선이 서로 연결될 수 있다. 또한, 상기 p가 2이상 k인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면이 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면에 포함된 상기 제1_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면에 포함된 제2_(p-1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p-1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p-1) 부분 전원선 및 제(p-1) 부분 통신선이 서로 연결될 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (6)

  1. 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여, 행거 및 지지 레일을 사용하는 벨트 컨베이어 시스템에 있어서,
    상기 반도체 제조 공정이 이루어지는 클린 룸 내에서 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송이 이루어지는 구간의 천장에 설치된 몰드 바(mold bar)들 각각에, 각각의 일단이 고정되는 한 쌍의 수직 프레임과 상기 한 쌍의 수직 프레임의 타단 영역에서 상기 한 쌍의 수직 프레임 사이를 연결하는 수평 프레임을 각각 포함하는 제1 행거 내지 제n - 상기 n은 1 이상의 정수임 - 행거;
    상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각의 내부 영역을 가로지르도록 형성된 적어도 한 쌍의 레일 프레임, 상기 한 쌍의 레일 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 레일 고정 프레임들, 및 상기 한 쌍의 레일 프레임 중 어느 하나에 등간격으로 설치된 제1 도킹 컨넥터들을 포함하는 지지 레일; 및
    상기 웨이퍼 보관 용기가 반송되는 경로를 따라 설치된 복수개의 롤러들, 상기 롤러들 중 적어도 하나인 구동 롤러를 제어하기 위한 콘트롤러, 상기 구동 롤러의 외주면 적어도 일부가 밀착된 상태로 상기 롤러들을 감싸며 설치된 적어도 하나의 이송 벨트, 및 상기 콘트롤러와 연결되어 있는 제2 도킹 컨넥터를 각각 포함하고, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각에 상기 제2 도킹 컨넥터가 결합되도록 상기 지지 레일 상부에 설치되는 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 제m - 상기 m은 1 이상의 정수임 - 벨트 컨베이어 장치;
    를 포함하는 벨트 컨베이어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각은 등간격으로 설치되거나, 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각이 이루는 간격들 중 적어도 하나의 간격이 다른 간격들과 상이하게 설치되며,
    상기 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 상기 제m 벨트 컨베이어 장치 각각이 연결되는 연결부들 중 적어도 하나의 연결부는, 상기 제1 행거 내지 제n 행거 각각과 대응되지 않는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지 레일은, 그 하부가 상기 제1 행거 내지 상기 제n 행거 각각에 포함된 상기 수평 프레임 각각의 상부에 밀착되어 설치되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지 레일의 내부 또는 외부에는, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각의 위치를 따라 소정의 공간이 형성되어, 상기 제1 도킹 컨넥터들 각각과 연결되어 있는 전원선 및 통신선이 상기 소정의 공간에 설치되며,
    상기 제1 벨트 컨베이어 장치 내지 상기 제m 벨트 컨베이어 장치 중 특정 벨트 컨베이어 장치에 포함되어 있는 특정 제2 도킹 컨넥터가 상기 제1 도킹 컨넥터들 중 특정 제1 도킹 컨넥터와 결합되면, 상기 특정 벨트 컨베이어 장치에 포함되어 있는 특정 컨트롤러에 대하여 전원 공급 및 통신이 이루어지는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지 레일은, 소정의 단위길이를 가지는 제1 단위 지지 레일 내지 제k - 상기 k는 1 이상의 정수임 - 단위 지지 레일이 연결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 전원선 및 상기 통신선은, 제1 부분 전원선 내지 제k 부분 전원선 각각과, 제1 부분 통신선 내지 제k 부분 통신선 각각으로 나뉘어져 상기 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 지지 레일에 각각 포함되어 있으며,
    상기 제1 단위 지지 레일 내지 상기 제k 단위 지지 레일 중 어느 하나인 제p - 상기 p는 1 이상 k 이하인 정수임 - 단위 지지 레일에는, (i) 그 일면에, 제p 부분 전원선 및 제p 부분 통신선 각각의 일단과 연결된 제1_p 조인트 컨넥터가 설치되어 있고, (ii) 상기 일면의 반대면인 타면에, 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선 각각의 타단과 연결된 제2_p 조인트 컨넥터가 설치되어 있으며,
    상기 제p 단위 지지 레일은, (1) 상기 p가 1 이상 k-1 이하인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면이 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 타면에 포함된 상기 제2_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p+1) 단위 지지 레일의 일면에 포함된 제1_(p+1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p+1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p+1) 부분 전원선 및 제(p+1) 부분 통신선이 서로 연결되고, (2) 상기 p가 2이상 k 이하인 경우, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면이 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면과 서로 대응되도록 연결됨과 동시에, 상기 제p 단위 지지 레일의 일면에 포함된 상기 제1_p 조인트 컨넥터와 상기 제(p-1) 단위 지지 레일의 타면에 포함된 제2_(p-1) 조인트 컨넥터가 서로 대응되도록 결합되어 연결됨으로써, (i) 상기 제p 부분 전원선 및 상기 제p 부분 통신선과, (ii) 상기 제(p-1) 단위 지지 레일에 포함된 제(p-1) 부분 전원선 및 제(p-1) 부분 통신선이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 시스템.
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