CN220553419U - 一种晶圆的储运系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆的储运系统，属于半导体技术领域。所述晶圆的储运系统包括：运输轨道；悬挂储位架，所述悬挂储位架设置在所述运输轨道两侧；以及储位桥架，悬挂设置在所述运输轨道下方，且所述储位桥架固定于所述运输轨道两侧的悬挂储位架，所述储位桥架和所述悬挂储位架用于安置盛放所述晶圆的晶圆传送盒。通过本实用新型提供的一种晶圆的储运系统，满足了高产能的晶圆的存储需求和节约了存储装置的制造成本。

Description

一种晶圆的储运系统

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，特别涉及一种晶圆的储运系统。

背景技术

在晶圆代工(Foundry，FAB)厂中，若将晶圆进行移动或存放时，会将晶圆置放在晶圆传送盒(Front Open Unified Pod，FOUP)中进行移动或存放以避免被杂质污染。当不需要使用这些晶圆时，晶圆传送盒会被存放在特定的存储区中以待下次的使用。但随着晶圆产能的不断攀升，因为存储区的空间和位置限定以及存储区内的存储装置的制造成本高，导致存储区无法增加晶圆传送盒的储位，无法满足不断攀升的晶圆产能的存储需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆的储运系统，通过本实用新型提供的晶圆的储运系统，满足了高产能的晶圆的存储需求和节约了存储装置的制造成本。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型提供一种晶圆的储运系统，其至少包括：

运输轨道；

悬挂储位架，所述悬挂储位架设置在所述运输轨道两侧；以及

储位桥架，悬挂设置在所述运输轨道下方，且所述储位桥架固定于所述运输轨道两侧的悬挂储位架，所述储位桥架和所述悬挂储位架用于安置盛放所述晶圆的晶圆传送盒。

在本实用新型一实施例中，所述悬挂储位架包括悬挂固定架，且所述悬挂储位架通过所述悬挂固定架固定安装在洁净室的屋顶上。

在本实用新型一实施例中，所述悬挂储位架还包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架设置所述悬挂固定架上。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架的两端与所述运输轨道两侧的所述悬挂支撑架的一侧固定连接。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架包括多个连接立杆，多个所述连接立杆的一端与所述运输轨道两侧的所述悬挂储位架固定连接。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括至少两个限位横杆，每个所述限位横杆的一侧与至少两个所述连接立杆的一侧连接，且所述连接立杆靠近所述限位横杆的两端设置。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括第一限位纵杆和第二限位纵杆，所述第一限位纵杆以及所述第二限位纵杆的两端与两个所述限位横杆的另一侧固定连接。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括第一支撑横杆和第二支撑横杆，所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的两端与多个连接立杆的另一端固定连接，且所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆设置在远离所述悬挂储位架的一端。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括支撑架，所述支撑架的两端与所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的一侧固定连接，且所述支撑架设置在靠近所述第一限位横杆和所述第二限位横杆的一侧。

在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括多个储位板，多个所述储位板设置在所述支撑架上。

本实用新型提供的一种晶圆的储运系统，通过将多个储位桥架固定连接在运输轨道两侧的悬挂储位架上，使得储运系统增加了多个FOUP储位，节约了多台悬挂储位架的建置，节约了大量建置成本。并且增加的多个FOUP储位满足了高产能的晶圆的存储需求，并减少了储运系统在洁净室内的占用空间。而且储位桥架在后期不需要任何的运行和维护费用，进一步节约了晶圆的储运系统的制造成本。并且通过晶圆的储运系统，提高了晶圆的生产和加工效率。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一实施例中晶圆的储运系统的结构示意图。

图2为一实施例中晶圆的储运系统的侧视图的示意图。

图3为一实施例中储位桥架的结构示意图。

图4为一实施例中储位桥架的侧视图的示意图。

标号说明：

100、运输轨道；200、悬挂储位架；210、悬挂固定架；211、第一悬挂固定立杆；212、第二悬挂固定立杆；213、悬挂固定横杆；220、悬挂限位架；230、悬挂支撑架；300、储位桥架；310、连接件；320、连接立杆；330、第一限位横杆；331、第二限位横杆；340、第一限位纵杆；341、第二限位纵杆；350、第一支撑横杆；351、第二支撑横杆；360、支撑架；370、布线管；380、储位板；400、晶圆传送盒；500、空中搬运车；600、生产设备。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

在本实用新型中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”仅用于描述和区分目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本实用新型提供的一种晶圆的储运系统可应用在半导体制造工厂中的晶圆的生产系统中。晶圆的生产系统包括晶圆的储运系统、生产设备(Equipment，EQ)和晶圆盒出口机构。生产设备对晶圆进行生产加工，将生产加工后的多个晶圆放置于晶圆传送盒中，并将装载晶圆的晶圆传送盒运输到晶圆盒出口机构上。晶圆的储运系统中的空中搬运车抓取晶圆盒出口机构上的晶圆传送盒，并将晶圆传送盒放置到下个制程的生产设备中进行再加工。若下个制程的生产设备暂时不需要晶圆，则空中搬运车将晶圆传送盒放置在晶圆的储运系统中的悬挂储位架和储位桥架上进行存储。

请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，本申请提供的一种晶圆的储运系统包括运输轨道100、多个悬挂储位架(Over Head Buffer，OHB)200、多个储位桥架300和晶圆传送盒400。运输轨道100铺设在洁净室的屋顶上，多个悬挂储位架200也设置在洁净室的屋顶上，且设置在多个运输轨道100两侧。多个储位桥架300悬挂设置在运输轨道100下方，且储位桥架300固定于运输轨道100两侧的悬挂储位架200。晶圆传送盒400设置在多个悬挂储位架200和多个储位桥架300上。

请参阅图1和图2所述，在本实用新型一实施例中，悬挂储位架200的一侧设置洁净室的屋顶上，且设置在运输轨道100的两侧。悬挂储位架200包括悬挂固定架210、悬挂限位架220和悬挂支撑架230。悬挂固定架210的一侧与洁净室(clean room)的顶部固定连接，且相邻的悬挂固定架210间隔预设距离。悬挂固定架210包括第一悬挂固定立杆211、第二悬挂固定立杆212和悬挂固定横杆213。第一悬挂固定立杆211和第二悬挂固定立杆212的一端与洁净室(clean room)的屋顶固定连接，且第一悬挂固定立杆211和第二悬挂固定立杆212平行设置。悬挂固定横杆213与第一悬挂固定立杆211以及第二悬挂固定立杆212的另一端固定连接。至少一个悬挂限位架220与多个第一悬挂固定立杆211以及第二悬挂固定立杆212的一侧固定连接，悬挂限位架220可设置在悬挂固定架210组成的空间内部，也可设置在悬挂固定架210组成的空间外部，可根据实际生产需求对悬挂限位架220进行设置，本申请不对悬挂限位架220的数量和设置位置加以限制。悬挂支撑架230与多个悬挂固定横杆213的一侧固定连接，且设置靠近洁净室的屋顶的一侧，在悬挂支撑架230上可放置多个晶圆传送盒400。其中，当悬挂支撑架230上放置晶圆传送盒400时，悬挂限位架220可防止晶圆传送盒400发生侧翻，从而避免晶圆传送盒400从悬挂支撑架230上掉落造成损坏。

请参阅图1、图2和图3所述，在本实用新型一实施例中，储位桥架300的两端与运输轨道100两侧的悬挂支撑架230的一侧固定连接，且储位桥架300设置在相对于洁净室的屋顶的一侧。储位桥架300包括连接件310、连接立杆320、第一限位横杆330、第二限位横杆331、第一限位纵杆340和第二限位纵杆341。连接立杆320的一端与连接件310固定连接，多个连接立杆320通过连接件310与多个悬挂支撑架230固定连接。其中，连接立杆320的数量例如为4个，悬挂支撑架230的数量例如为2个。第一限位横杆330和第二限位横杆331的一侧分别与至少两个连接立杆320的一侧连接，第一限位横杆330和第二限位横杆331与连接立杆320垂直设置，连接立杆320靠近第一限位横杆330和第二限位横杆331与连接立杆320的两端设置，第一限位横杆330与第二限位横杆331设置在相互靠近的一侧。第一限位纵杆340和第二限位纵杆341的两端分别与第一限位横杆330和第二限位横杆331的另一侧固定连接，且第一限位纵杆340和第二限位纵杆341平行设置。第一限位横杆330、第二限位横杆331、第一限位纵杆340和第二限位纵杆341形成了晶圆传送盒400的限位空间。

请参阅图1、图3和图4所述，在本实用新型一实施例中，储位桥架300还包括第一支撑横杆350、第二支撑横杆351、支撑架360、布线管370和多个储位板380。第一支撑横杆350和第二支撑横杆351与多个连接立杆320的一端固定连接，例如第一支撑横杆350和第二支撑横杆351分别与两个连接立杆320固定连接。第一支撑横杆350和第二支撑横杆351设置在连接立杆320上远离连接件310的一端，且第一支撑横杆350以及第二支撑横杆351与第一限位横杆330以及第二限位横杆331平行设置。支撑架360的两端与第一支撑横杆350和第二支撑横杆351的一侧固定连接，且支撑架360设置在支撑横杆上靠近第一限位横杆330、第二限位横杆331的一侧。布线管370的两端与第一支撑横杆350以及第二支撑横杆351的另一侧固定连接，且在布线管370中可设置电缆线路和多个管道。多个储位板380与支撑架360固定连接，且相邻的储位板380间隔相同的预设距离，其中，每个储位桥架300例如包括3个储位板380。

请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，晶圆的储运系统还包括多个空中搬运车500，多个空中搬运车500一端与运输轨道100滑动连接，空中搬运车500可沿着运输轨道100滑动。空中搬运车500的另外一端设置有抓取手臂，空中搬运车500可根据预设程序利用抓取手臂抓取晶圆传送盒400并进行晶圆传送盒400的移动和放置。

请参阅图1、图2和图4所示，在本实用新型一实施例中，晶圆传送盒400设置在悬挂支撑架230和储位板380上。储位桥架300中的支撑架360可与悬挂储位架200中的悬挂支撑架230平行设置或垂直设置，可根据支撑架360与悬挂支撑架230的位置来调整空中搬运车500的运行程序，使得空中搬运车500可以调整自己的位置来抓取和放置晶圆传送盒400。例如，支撑架360与悬挂支撑架230平行设置时，空中搬运车500的抓取手臂只需要上下运动即可抓取和存放晶圆传送盒400。支撑架360与悬挂支撑架230垂直设置时，空中搬运车500的抓取手臂既需要上下运动，又需要向悬挂储位架200的方向移动才可抓取到晶圆传送盒400。

请参阅图1和图2所示，在本实用新型一实施例中，生产设备(Equipment，EQ)600位于运输轨道100上，且生产设备600设置在洁净室的地面上。晶圆盒出口机构LP设置在生产设备600的一端。当生产设备600完成晶圆的加工后，将加工后的晶圆放置在晶圆传送盒400中，并将晶圆传送盒400传输到晶圆盒出口机构LP处，晶圆盒出口机构LP处向空中搬运车500发送抓取信号。空中搬运车500收到抓取的信号后抓取晶圆传送盒400，并将其放置到悬挂储位架200上。若悬挂储位架200的储位不足时，空中搬运车500将晶圆传送盒400放置在储位桥架300上，以实现晶圆的存储需求。

综上所述，本实用新型提供一种晶圆的储运系统，通过将多个储位桥架固定连接在运输轨道两侧的悬挂储位架上，为晶圆传送盒增加了多个FOUP储位，节约了多台悬挂储位架的建置，节约了大量建置成本。并且增加的多个FOUP储位满足了高产能的晶圆的存储需求，并且减少了储运系统在洁净室内的占用空间。而且储位桥架在后期不需要任何的运行和维护费用，进一步节约了晶圆的储运系统的制造成本。且通过晶圆的储运系统，提高了晶圆的生产和加工效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

以上公开的本实用新型实施例只是用于帮助阐述本实用新型。实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种晶圆的储运系统，其特征在于，包括：

运输轨道；

悬挂储位架，所述悬挂储位架设置在所述运输轨道两侧；以及

储位桥架，悬挂设置在所述运输轨道下方，且所述储位桥架固定于所述运输轨道两侧的悬挂储位架，所述储位桥架和所述悬挂储位架用于安置盛放所述晶圆的晶圆传送盒。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述悬挂储位架包括悬挂固定架，且所述悬挂储位架通过所述悬挂固定架固定安装在洁净室的屋顶上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述悬挂储位架还包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架设置所述悬挂固定架上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架的两端与所述运输轨道两侧的所述悬挂支撑架的一侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架包括多个连接立杆，多个所述连接立杆的一端与所述运输轨道两侧的所述悬挂储位架固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括至少两个限位横杆，两个所述限位横杆为第一限位横杆与第二限位横杆，每个所述限位横杆的一侧与至少两个所述连接立杆的一侧连接，且所述连接立杆靠近所述限位横杆的两端设置。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括第一限位纵杆和第二限位纵杆，所述第一限位纵杆以及所述第二限位纵杆的两端与两个所述限位横杆的另一侧固定连接。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括第一支撑横杆和第二支撑横杆，所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的两端与多个连接立杆的另一端固定连接，且所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆设置在远离所述悬挂储位架的一端。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括支撑架，所述支撑架的两端与所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的一侧固定连接，且所述支撑架设置在靠近所述第一限位横杆和所述第二限位横杆的一侧。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括多个储位板，多个所述储位板设置在所述支撑架上。