JPH0817723A - 基板表面処理装置 - Google Patents

基板表面処理装置

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JPH0817723A
JPH0817723A JP17330094A JP17330094A JPH0817723A JP H0817723 A JPH0817723 A JP H0817723A JP 17330094 A JP17330094 A JP 17330094A JP 17330094 A JP17330094 A JP 17330094A JP H0817723 A JPH0817723 A JP H0817723A
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泰正 志摩
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佳彦 松下
Mitsuaki Yoshitani
光明 芳谷
Tsugio Nakamura
次雄 中村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 処理時間を短縮することが可能な基板表面処
理装置を提供する。 【構成】 処理室1の内部に、搬送経路上に互いに異な
る第1停止位置P1 と第2停止位置P2 が、第1停止位
置P1 の略上方に第1処理位置Q1 が、第2停止位置P
2 の略上方に第2処理位置Q2 がそれぞれ設けられてい
る。第1の基板Wが第2処理位置Q2 で表面処理が施さ
れている間に、第2の基板Wが第1停止位置P1 を介し
て第1処理位置Q1 に搬送されて表面処理が施される。
そして、第1の基板Wが搬出され、第2の基板Wに表面
処理が施される間に、第3の基板Wが第2停止位置P2
を介して第2処理位置Q2 に搬送されて表面処理が施さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示器用のガラス
基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基
板、プリント配線用の基板、半導体ウエハ等の基板を、
搬送しつつその表面に現像液、エッチング液、剥離液等
の処理液を供給して基板の表面処理を行う基板表面処理
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、処理チャンバ内において、基板の
裏面を搬送ローラで支持しつつ基板を搬送経路上の所定
の処理位置まで搬送し、その処理位置において基板の搬
送を停止させるとともに、処理位置に停止された基板の
表面に向けてその上方に配置されたスプレーノズルから
所定の処理液を吐出させ、基板の表面処理を行うように
構成された基板表面処理装置が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来装置には次のような問題点がある。すなわち、処
理液が供給された基板は、その処理液による表面処理が
完了するまで搬送経路上の処理位置に静止させられてお
り、この静止時間と基板の搬入/搬出に要する時間との
和によって装置の処理時間(タクトタイム)が決定され
ていた。したがって、例えば、現像処理を行う場合、現
像液を基板表面に供給してから80〜90秒間は基板の静止
が必要であるとすると、この装置の処理時間は、基板の
搬送時間を含めて100 秒以上を要してしまい、これを短
縮することは不可能であった。
【0004】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、処理時間を短縮することが可能な基板
表面処理装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次のような構成をとる。すなわち、請求項
1に記載の基板表面処理装置は、基板を搬送するととも
にその表面に所定の処理液を供給して基板の表面処理を
行う基板表面処理装置において、所定の搬送経路に沿っ
て基板を搬送するとともに、搬送経路上の互いに異なる
少なくとも2つの停止位置において基板を停止させるこ
とが可能な搬送手段と、2つの停止位置に停止させられ
た基板を、各停止位置と各停止位置のそれぞれに対応し
て搬送経路外に配置された各処理位置との間で移動させ
る移動手段と、各処理位置に移動させられた基板の表面
に向けて所定の処理液を供給する処理液供給手段と、を
備えたものである。
【0006】また、請求項2に記載の基板表面処理装置
は、請求項1に記載の装置において、各処理位置は対応
する各停止位置の上方に配置され、移動手段は、各停止
位置に停止させられた基板を押し上げることにより対応
する処理位置に移動させて各処理位置に基板を保持する
とともに、基板を各処理位置に保持している状態では、
その処理位置に対応する停止位置を基板が通過すること
を許容する昇降機構からなるものである。
【0007】さらに、請求項3に記載の基板表面処理装
置は、請求項2に記載の装置において、各処理位置に保
持された基板の表面に向けて供給された処理液が、搬送
経路に沿って搬送される基板上に落下しないように受け
止める液落下防止機構を、各処理位置に対応させて備え
たものである。
【0008】
【作用】請求項1の発明によれば、搬送手段によって、
所定の搬送経路に沿って搬送されてきた1枚目の基板
が、搬送経路上の停止位置(第1停止位置)に停止され
る。第1停止位置で停止された基板は、移動手段によっ
て第1停止位置から搬送経路の処理位置(第1処理位
置)に移動され、処理液供給手段によって基板表面に所
定の処理液が供給される。1枚目の基板は処理液による
表面処理が施されるまで第1処理位置に静止され、その
間に、2枚目の基板が、搬送手段によって同じ搬送経路
に沿って搬送され、上記第1停止位置とは異なる別の停
止位置(第2停止位置)にまで搬送されて停止される。
停止後、2枚目の基板は、移動手段によって第2停止位
置から上記第1処理位置とは異なる別の処理位置(第2
処理位置)に移動され、処理液供給手段によって基板表
面に所定の処理液が供給される。2枚目の基板は処理液
による表面処理が施されるまで第2処理位置に静止され
る。表面処理が施された1枚目の基板は、移動手段によ
って第1処理位置から第1停止位置に受け渡され、2枚
目の基板が第2処理位置で表面処理を施されている間
に、搬送手段によって同じ搬送経路に沿って搬出され
る。1枚目の基板が搬出され、2枚目の基板が第2処理
位置で表面処理を施されている間に、3枚目の基板が、
1枚目の基板と同様に、第1停止位置を介して第1処理
位置に搬送されて表面処理が施される。3枚目の基板に
表面処理が施される間に、2枚目の処理済みの基板が、
第2停止位置に戻されて搬送される。2枚目の基板が搬
出されて、3枚目の基板に表面処理が施される間に、4
枚目の基板が第2停止位置を介して第2処理位置に移動
される。以上のように、1枚ずつ順に搬送される基板
が、上記したいずれかの停止位置を介して処理位置に順
次搬送されて表面処理が施される。
【0009】また、請求項2の発明によれば、搬送手段
によって、所定の搬送経路に沿って搬送されてきた基板
は、搬送経路上の停止位置に停止される。停止位置に停
止された基板は、移動手段の昇降機構によって基板裏面
が押し上げられ、停止位置からその上方の処理位置に移
動される。別の基板は処理位置にある基板と干渉するこ
となく、処理位置の下側を搬送経路に沿って搬送され
る。
【0010】さらに、請求項3の発明によれば、処理位
置で基板表面に処理液が供給されて表面処理が施される
際、その基板端縁から流出する処理液は液落下防止機構
によって受け止められ、搬送経路に落下するのが阻止さ
れる。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図1は本発明に係る基板表面処理装置の一実施
例の全体側面図、図2は図1における要部の平面図、図
3は図2のA−A矢視断面図、図4は図2のB−B矢視
断面図、図5は図2のC−C矢視断面図である。
【0012】図1に示すように、本実施例の基板表面処
理装置は、基板製造ライン等に組み込まれ、例えば基板
表面に現像処理を施す処理室1の内部に配備されるもの
である。この処理室1と前後の各処理室2,3とは、そ
れぞれ仕切り壁1aによって仕切られており、各仕切り
壁1aに基板サイズに応じて開口された搬入口1bと搬
出口1cとがそれぞれ設けられている。搬入口1bと搬
出口1cとには、それぞれ開閉自在にシャッタ4a,4
bが配備されている。処理室1と前後の各処理室2,3
には、それぞれ液晶用ガラス角型基板(以下、単に「基
板」という)Wを搬送するための搬送機構10が配備さ
れ、各処理室2,1,3とにわたって水平方向に一直線
状に搬送経路が形成されている。
【0013】処理室1の内部には、搬送経路上に互いに
異なる第1停止位置P1 と、第2停止位置P2 がそれぞ
れ設けられている。そして、搬送経路から外れ、第1停
止位置P1 の略上方に第1処理位置Q1 、第2停止位置
2 の略上方に第2処理位置Q2 がそれぞれ設けられて
いる。
【0014】搬送機構10は、図2に示すように、搬送
経路に沿って対向配備されたサイドフレーム5間に複数
個のローラ軸11が回動自在に並列軸支されている。各
ローラ軸11の両端部に、段差付きの一対の搬送ローラ
12が対向配備されている。この一対の搬送ローラ12
の段差間に、基板Wの搬送経路に沿った両端縁が載置さ
れる。また、ローラ軸11の中央部にローラ13が設け
られ、このローラ13で基板Wの下面中央部を支持する
ことにより、基板Wが垂れ下がらないようにしている。
ただし、図2では、作図の便宜上、基板Wの下方に位置
するローラ軸11等の図示を省略し、これらのローラ軸
11の下方に位置する基板昇降機構20を示している。
【0015】また、各ローラ軸11は、図示しないチェ
ーン等を介してモータに連動連結されている。このモー
タを駆動することにより、チェーンを介して各ローラ軸
11が回転駆動される。これにより、搬入口1bを介し
て処理室2から搬入されてきた基板Wをその表面が水平
な姿勢で保持しながら搬送経路に沿って搬送するととも
に、上記したいずれかの停止位置P1 ,P2 に基板Wを
停止させ、後述する方法で処理された基板Wを搬出口1
cから搬出するように構成されている。
【0016】次に、第1停止位置P1 と第2停止位置P
2 とに、それぞれ配備されている基板昇降機構20の構
成を第1停止位置P1 に配備されたものを例に採って説
明する。
【0017】基板昇降機構20は、図2及び図3に示さ
れるように、第1停止位置P1 にある基板Wを水平姿勢
で支持する基板支持部21と、この基板支持部21を昇
降させるリンク機構22とから構成されている。
【0018】基板支持部21は一対のベース部材24を
備え、これらのベース部材24が部材23を介してリン
ク機構22に連結支持されている。サイドフレーム5に
沿って対向している一対のベース部材24間にはL形部
材25を介して一対の水平アーム26が対向するように
架設されている。各々の水平アーム26の両端部の上面
にはそれぞれ支持ピン27が立設されており、これら4
つの支持ピン27によって基板Wの四隅付近を支持する
ようになっている。第1停止位置P1 に基板Wが搬入さ
れる際に基板Wと支持ピン27との干渉を避けるため
に、基板支持部21が下降位置にあるとき、支持ピン2
7が、搬送ローラ12上に支持された基板Wの裏面より
もわずかに下方に位置するように、各支持ピン27の高
さが設定されている。また、第1停止位置P1 で基板支
持部21が基板Wを上昇させたときに、その下方を別の
基板Wが搬送経路に沿って移動できるようにするため
に、水平アーム26を支えるL形部材25間の離間距離
が、搬送方向と直交する基板Wの側辺よりも長くなるよ
うに設定されている。
【0019】上述したリンク機構22は、図3,図4に
示すように、サイドフレーム5に設けられたブラケット
5aにそれぞれ回動軸支された支軸28a,28bを備
えている。支軸28a,28bの両端部にそれぞれ揺動
リンク29が連結され、これらの揺動リンク29の遊端
側がベース部材24を支える部材23の下端部にそれぞ
れピン結合されている。図2,図3に示すように、支軸
28a,28bの中央部に揺動リンク30がそれぞれ連
結され、これらの揺動リンク30が連結リンク31でピ
ン結合されることにより、支軸28a,28bが連動す
るように構成されている。
【0020】図4に示すように、支軸28aの一端側は
ブラケット5aから導出されて、アーム32を介してエ
アーシリンダ33のロッドに連結されている。このエア
ーシリンダ33が収縮作動することにより、支軸28
a,28bが図3において反時計方向に回転する。基板
支持部21の下降状態で、ほぼ水平姿勢にあった各揺動
リンク29が、上記支軸28a,28bの回転に伴って
反時計方向に揺動して起き上がる。これにより基板支持
部21全体が上昇し、L形部材25とこれに支持された
水平アーム26とが各搬送ローラ12の間隙を通り抜け
て上昇することにより、第1停止位置P1 にある基板W
を支持ピン27で受け取って第1処理位置Q1 まで上昇
移動させる。一方、エアーシリンダ33が伸張作動する
ことにより、支軸28a,28bが時計方向に回転す
る。これにより上記と逆の動作で基板支持部21が下降
して、L形部材25と水平アーム26とが各搬送ローラ
12の下方にまで没入することにより、支持ピン27で
支持されていた基板Wが第1停止位置P1 に戻される。
【0021】次に、第1,第2処理位置Q1 ,Q2 にそ
れぞれ配備された現像液供給機構4について説明する。
現像液供給機構40は、その下面にスリット状に開口さ
れた吐出口41aを有する偏平なノズル41を備えてい
る。このノズル41は、搬送方向と直交する基板Wの側
辺よりも若干長めに形成され、搬送方向と直交するよう
に支持アーム42によって支持されている。この支持ア
ーム42が、処理室1の外部に搬送方向に沿って設けら
れたロッドレスシリンダ43に摺動自在に装着されるこ
とにより、ノズル41が搬送方向に沿って移動するよう
になっている。したがって、上記した基板昇降機構20
によって第1処理位置Q1 に上昇移動された基板Wに対
して、その基板表面と吐出口41aとの間隔を一定に保
ちながらノズル41が搬送方向に沿って移動することに
よって、吐出口41aから吐出された現像液が基板Wの
全面にわたって均一に供給される。
【0022】次に、処理中の基板Wの端縁から流れ落ち
る現像液を受け止める液落下防止機構50について説明
する。図2に示すように、液落下防止機構50は、基板
Wの搬送方向前端縁および後端縁からの現像液を受け止
める一対の第1受け皿51と、基板Wの両サイドの側端
縁からの現像液を受け止める一対の第2受け皿52とを
備えている。第1受け皿51は、図3に示すように、そ
の上部が開口された桶状に形成され、上記した基板支持
部材26に一体に取り付けられている。
【0023】一方、第2受け皿52は、図2および図5
に示すように、断面がLの字形の樋状をしている。この
第2受け皿52は、サイドフレーム5に取り付けられた
ブラケット5bに揺動自在に支持されている。第2受け
皿52の揺動支軸52aに揺動アーム53の一端が連結
固定されている。揺動アーム53の他端は自在リンク5
4の一端にピン結合されている。さらに自在リンク54
の他端は、上記した支軸28aに連結固定された揺動ア
ーム55の遊端側にピン結合されている。
【0024】上記したエアーシリンダ33の伸縮作動に
より、支軸28aが回転すると、基板Wの昇降動作と連
動して揺動アーム55が揺動される。これに伴って、自
在リンク54を介して揺動アーム53とともに第2受け
皿52が支軸52aを中心に揺動される。すなわち、基
板Wが第1停止位置P1 に停止されている状態では、第
2受け皿52は、その先端側を立ち上げるような姿勢、
つまり基板Wの昇降を許容するように退避した姿勢にあ
る。そして、基板Wが上昇されるにつれて、第2受け皿
52は、支軸52aを中心に反時計方向にその先端側を
揺動し始め、基板Wが第1処理位置Q1 に達すると、第
2受け皿52は、その先端を少し持ち上げた姿勢で、か
つその先端が基板Wの側端の下方から少し内側に入った
姿勢(図5に示す姿勢)になる。
【0025】上記にように、第1処理位置Q1 におい
て、第1受け皿51と、第2受け皿52とを基板Wの全
周に設けて、現像液供給機構40によって基板Wの表面
に供給された現像液がその端縁から流れ落ちても、各受
け皿51,52に受け止められてその下方に落ちること
がない。したがって、別の基板Wが、第1処理位置Q1
の下方の搬送経路を通過しても、その表面に現像液が付
着されることがない。なお、第1,第2受け皿51,5
2に流れ込んだ現像液は、各受け皿51,52に連通接
続された、図示しない排液管を通って排出されるように
なっている。
【0026】次に、基板Wに供給された現像液を液切り
するための液切り機構60の構成を説明する。搬送経路
の下方で停止位置P1 にあたる個所に、搬送経路に沿っ
て設けられた昇降部材61aが配備され、この昇降部材
61aの両端部上面に一対の突上げピン61が立設され
ている。昇降部材61aは、その下方に配置されたエア
ーシリンダ62のロッドに連結されている。このエアー
シリンダ62を伸長駆動して昇降部材61aを処理位置
1 における基板面よりも上方にまで移動させることに
より、基板昇降機構20の支持ピン27で支持されてい
た基板Wの一端側を突上げピン61で突き上げて基板W
を傾斜させ(図5に示す鎖線の状態)、基板表面の余剰
の現像液を流下排出させるようになっている。
【0027】次に、図6を参照して実施例装置の動作を
説明する。 (1)まず、図6(a)に示すように、第1の基板W1
が待機した状態において、第1,第2停止位置P1 ,P
2 に配備されている各基板昇降機構20の基板支持部2
1と各液切り機構60の昇降部材61aとを、それぞれ
搬送経路の下方に下降させる。
【0028】(2)シャッタ4aを開き、図6(b)に
示すように、搬入口1bを介して処理室1に第1の基板
1 を投入する。続いて、搬送機構10を駆動し、搬送
ローラ12上に受け取った第1の基板W1 を第1停止位
置P1 を通過させて第2停止位置P2 にまで搬送する。
なお、この間に、シャッタ4aを閉める。第2停止位置
2 で第1の基板W1 を停止させた後、第2停止位置P
2 に設けられたエアーシリンダ33を収縮駆動させるこ
とにより、リンク機構22を介して基板支持部21を上
昇させ、第2停止位置P2 に停止された第1の基板W1
を支持ピン27で受け取って第2処理位置Q2 まで上昇
移動させる。そして、第2処理位置Q2において、現像
液供給機構40によって第1の基板W1 の表面に現像液
が供給される。現像液が供給された第1の基板W1 は、
現像液による現像処理が施されるまで第2処理位置Q2
に静止される。例えば、第1の基板W1 は、その表面に
現像液が供給されてから80〜90秒間は第2処理位置Q2
に静止させる。
【0029】(3)図6(c)に示すように、第2処理
位置Q2 で第1の基板W1 に現像処理が施されている間
に、第1の基板W1 と同様にして処理室1に第2の基板
2を投入する。続いて、搬送機構10を駆動し、搬送
ローラ12上に受け取った第2の基板W2 を第1停止位
置P1 に搬送する。第1停止位置P1 で第2の基板W2
を停止させた後、第1停止位置P1 に設けられたエアー
シリンダ33を収縮駆動させることにより、リンク機構
22を介して基板支持部21を上昇させ、第1停止位置
1 に停止された第2の基板W2 を支持ピン27で受け
取って第1処理位置Q1 まで上昇移動させる。そして、
第1処理位置Q1 において、現像液供給機構40によっ
て第2の基板W2 の表面に現像液が供給されて現像処理
が施される。
【0030】(4)第2処理位置Q2 において第1の基
板W1 の現像処理が完了すると、液切り機構60のエア
ーシリンダ62を伸長駆動して昇降部材61aを上昇さ
せることにより、第1の基板W1 の一端側を突上げピン
61で突き上げて第1の基板W1 を傾斜させ、基板表面
の余剰の現像液を流下排出させる。このとき、基板Wを
傾けて余剰な現像液の液切りを行うので、エアーナイフ
による液切りに比べ、基板表面にエアーを吹きつけた跡
(現像ムラ)が残ることがない。液切り後、エアーシリ
ンダ62を伸縮駆動して昇降部材61aを下降させるこ
とにより、突上げピン61で突き上げられていた第1の
基板W1 を再び支持ピン27上に戻す。その後、図6
(d)に示すように、エアーシリンダ33を伸長作動さ
せることにより、リンク機構22を介して基板支持部2
1を下降させ、支持ピン27で支持されていた第1の基
板W1 を第2停止位置P2 に戻す。そして、シャッタ4
bを開き、搬送機構10を駆動して第1の基板W1 を、
搬出口1cを介して処理室1から搬出する。第1の基板
1 を処理室1から搬出した後、シャッタ4bを閉め
る。
【0031】(5)図7(a)に示すように、第1の基
板W1 を処理室1から搬出し、第1処理位置Q1 で第2
の基板W2 に現像処理が施されている間に、第1の基板
1と同様にして第3の基板W3 を投入し、第1処理位
置Q1 の下方の第1停止位置P1 を通過させて第2停止
位置P2 にまで搬送する。さらに、第3の基板W3 を第
2処理位置Q2 に搬送する。なお、この際、第1処理位
置Q1 にある第2の基板W2 から現像液が流れ落ちても
液落下防止機構50の各受け皿51,52に受け止めら
れるので、第3の基板W3 が第1停止位置P1 を通過す
る際、その表面に現像液が付着することがない。
【0032】(6)図7(b)に示すように、第2処理
位置Q2 で第3の基板W3 に現像処理が施されている間
に、第1処理位置Q1 で処理された第2の基板W2 を、
第1の基板W1 と同様にして、第1停止位置P1 、搬出
口1cを介して処理室1から搬出する。そして、図7
(c)に示すように、第2の基板W2 を搬出し、第2処
理位置Q2 で第3の基板W3 に現像処理が施されている
間に、第1処理位置Q1に第4の基板W4 を搬送する。
【0033】以上のように、1つの搬送経路上の2つの
停止位置P1 ,P2 と、この上方の搬送経路から外れた
2つの処理位置Q1 ,Q2 とを設け、第1の基板W1
第2処理位置Q2 で処理されている間に、第2の基板W
2 を投入するようにしているので、従来装置のように1
つの処理位置で基板表面処理を行う際にかかる時間に比
べ、第1の基板W1 を投入してから約半分の時間経過後
に第2の基板W2 を投入することができる。
【0034】なお、本発明は、次のように変形実施する
ことができる。 (1)上記実施例では停止位置と処理位置をそれぞれ2
つ設けたが、本発明はこれに限らず、それぞれ3つ以上
設けてもよい。
【0035】(2)また、上記実施例では各処理位置Q
1 ,Q2 を各停止位置P1 ,P2 の上方に設けたが、本
発明はこれに限らず、搬送経路上から外れた位置であれ
ばよい。例えば、搬送経路の各停止位置P1 ,P2 の側
方に各処理位置Q1 ,Q2 を設けてもよい。ただし、上
述の実施例装置のように搬送経路の上方に処理位置を設
けることにより、装置の占有面積を小さくすることがで
きる。
【0036】(3)また、上記実施例では液切り機構6
0の突上げピン61を突き上げることにより、現像液が
供給された基板Wの表面を傾けてその表面に供給された
余剰な現像液の液切りを行うようにしていたが、本発明
はこれに限らず、例えば、図8に示すように、処理室1
の下手側に設けられる搬送ローラ12’に高低差を設け
て、処理室1から搬出されてきた基板Wを搬送方向に傾
けて余剰な現像液を流下排出するようにしてもよい。さ
らに、現像液の現像ムラなどの問題がない場合には、図
1に鎖線で示したエアーナイフ70を設けて基板Wの表
面に供給された余剰な処理液を吹き飛ばすようにしても
よい。
【0037】(4)また、上記実施例では液落下防止機
構50の第2受け皿52をリンク機構を介して支軸28
aに連結して、基板Wの昇降と連動して第2受け皿52
を揺動するように構成したが、本発明はこれに限らず、
例えば、図9に示すように、第2受け皿52’をエアー
シリンダ71のロッドで連結支持し、基板Wが上昇され
た際にエアーシリンダ71を伸長駆動させることによ
り、第2受け皿52’を基板Wの端縁の下方に位置する
ように移動させて、基板Wの端縁から流れ落ちる現像液
を受け止めるようにしてもよい。
【0038】(5)上記実施例は液晶用ガラス角型基板
に現像液を供給して現像処理を行う装置であったが、本
発明はこれに限らず、エッチング液、剥離液などを基板
に供給して所定時間の静止を要するエッチング処理、剥
離処理を行う装置にも適用可能であるし、半導体ウエ
ハ、カラーフィルム用基板などの処理を行う場合にも適
用可能である。
【0039】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、搬送経路上の互いに異なる少
なくとも2つの停止位置と、各停止位置のそれぞれに対
応して搬送経路外に配置された各処理位置とを設け、1
枚目の基板がいずれかの処理位置で表面処理が施されて
いる間に、2枚目の基板を別の処理位置に搬送するよう
にしたので、1枚目の基板を投入してから表面処理が終
わる以前に、2枚目の基板を投入することができる。し
たがって、この種の表面処理装置の処理時間(タクトタ
イム)を短縮することができる。
【0040】また、請求項2に記載の発明によれば、各
処理位置を、それぞれ対応する各停止位置の上方に設け
たので、停止位置と処理位置との位置関係は基板の搬送
を許容するだけの間隔があればよく、装置全体をコンパ
クトに構成することができる。
【0041】また、請求項3の発明によれば、処理位置
で基板表面に処理液が供給されて表面処理が施される
際、その基板端縁から流出する処理液は液落下防止機構
によって受け止められ、搬送経路に落下するのが阻止さ
れるので、次の基板が処理位置の下方の搬送経路を通過
してもその基板の表面に処理液が付着することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板表面処理装置の一実施例の全
体側面図である。
【図2】図1における要部の平面図である。
【図3】図2のA−A矢視断面図である。
【図4】図2のB−B矢視断面図である。
【図5】図2のC−C矢視断面図である。
【図6】基板表面処理装置の動作図である。
【図7】基板表面処理装置の動作図である。
【図8】その他の実施例の要部を示す図である。
【図9】その他の実施例の要部を示す図である。
【符号の説明】
1 … 処理室 10 … 搬送機構 20 … 基板昇降機構 40 … 現像液供給機構 50 … 液落下防止機構 60 … 液切り機構 P1 … 第1停止位置 P2 … 第2停止位置 Q1 … 第1処理位置 Q2 … 第2処理位置 W … 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B65G 49/07 J H01L 21/304 341 C N 21/306 21/68 A (72)発明者 芳谷 光明 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者 中村 次雄 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板を搬送するとともにその表面に所定
    の処理液を供給して基板の表面処理を行う基板表面処理
    装置において、 所定の搬送経路に沿って基板を搬送するとともに、搬送
    経路上の互いに異なる少なくとも2つの停止位置におい
    て基板を停止させることが可能な搬送手段と、 2つの停止位置に停止させられた基板を、各停止位置と
    各停止位置のそれぞれに対応して搬送経路外に配置され
    た各処理位置との間で移動させる移動手段と、 各処理位置に移動させられた基板の表面に向けて所定の
    処理液を供給する処理液供給手段と、 を備えたことを特徴とする基板表面処理装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の装置において、 各処理位置は対応する各停止位置の上方に配置され、 移動手段は、各停止位置に停止させられた基板を押し上
    げることにより対応する処理位置に移動させて各処理位
    置に基板を保持するとともに、基板を各処理位置に保持
    している状態では、その処理位置に対応する停止位置を
    基板が通過することを許容する昇降機構からなる基板表
    面処理装置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の装置において、 各処理位置に保持された基板の表面に向けて供給された
    処理液が、搬送経路に沿って搬送される基板上に落下し
    ないように受け止める液落下防止機構を、各処理位置に
    対応させて備えた基板表面処理装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002252200A (ja) * 2001-02-22 2002-09-06 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 基板処理装置及び処理方法
JP2004281991A (ja) * 2003-01-22 2004-10-07 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板の現像方法及び現像装置
JP2008160044A (ja) * 2006-11-28 2008-07-10 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2008219043A (ja) * 2001-07-05 2008-09-18 Tokyo Electron Ltd 液処理装置および液処理方法
JP2009183914A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Central Glass Co Ltd 塗布液の塗布装置および塗布方法
KR100918165B1 (ko) * 2001-12-11 2009-09-17 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 기판 처리시스템
US20100310778A1 (en) * 2008-02-08 2010-12-09 Central Glass Company, Limited Apparatus and Method of Applying a Coating Solution
CN117184835A (zh) * 2022-05-31 2023-12-08 上海德沪涂膜设备有限公司 涂布设备

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002252200A (ja) * 2001-02-22 2002-09-06 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 基板処理装置及び処理方法
JP2008219043A (ja) * 2001-07-05 2008-09-18 Tokyo Electron Ltd 液処理装置および液処理方法
KR100918165B1 (ko) * 2001-12-11 2009-09-17 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 기판 처리시스템
JP2004281991A (ja) * 2003-01-22 2004-10-07 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 基板の現像方法及び現像装置
JP2008160044A (ja) * 2006-11-28 2008-07-10 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2009158984A (ja) * 2006-11-28 2009-07-16 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
KR101355278B1 (ko) * 2006-11-28 2014-01-27 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2009183914A (ja) * 2008-02-08 2009-08-20 Central Glass Co Ltd 塗布液の塗布装置および塗布方法
US20100310778A1 (en) * 2008-02-08 2010-12-09 Central Glass Company, Limited Apparatus and Method of Applying a Coating Solution
US8561571B2 (en) 2008-02-08 2013-10-22 Central Glass Company, Limited Apparatus and method of applying a coating solution
CN117184835A (zh) * 2022-05-31 2023-12-08 上海德沪涂膜设备有限公司 涂布设备

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