KR102344111B1 - 천장 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 천장 이송 장치는, 천장이 구비되며, 모노 레일을 포함하는 레일 유닛 및 상기 모노 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수용하여 이송하는 비히클을 포함할 수 있다.

Description

천장 이송 장치{Overhead hoist transport device}
본 발명은 천장 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물을 고정하여 이송하는 천장 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 대상물에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 대상물을 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 대상물은 천장 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 대상물을 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 주행 레일은 한 쌍이 구비되므로, 상기 주행 레일 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위해 레일 고정 부재가 필요하다.
또한, 상기 주행 레일에 상기 비히클로 전력을 공급하는 케이블을 지지하는 케이블 지지부가 구비된다.
그리고, 상기 주행 레일의 분기 구간에서 상기 비히클의 주행 방향을 안내하기 위한 조향 휠과 조향 레일이 필요하다.
그러므로, 상기 천장 이송 장치에서 상기 레일과 상기 비히클의 구조가 복잡하고, 상기 천장 이송 장치를 설치하는데 많은 시간과 비용이 발생할 수 있다.
본 발명은 레일과 비히클의 구조가 단순하며 설치에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있는 천장 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 천장 이송 장치는, 천장이 구비되며, 모노 레일을 포함하는 레일 유닛 및 상기 모노 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수용하여 이송하는 비히클을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 모노 레일을 따라 주행하는 주행 휠 및 상기 주행 휠을 구동하는 구동부를 포함하며, 상기 비히클의 주행 방향 전후로 배치되는 한 쌍의 주행 유닛 및 상기 주행 유닛의 하방에 배치되어 상기 주행 유닛과 연결되며, 상기 대상물을 수용하여 이송하는 이송 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 모노 레일은 상기 비히클의 주행 휠을 지지하는 I 빔 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레일 유닛은, 상기 모노 레일의 하부면에 구비되는 가이드 레일을 더 포함하고, 상기 각 주행 유닛은 상기 가이드 레일과 접촉하여 상기 비히클의 주행 방향을 안내하는 한 쌍의 가이드 휠들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 천장 이송 장치는, 상기 모노 레일의 상부면을 따라 형성된 수용홈에 구비되며, 자기장을 형성하는 케이블 및 상기 비히클에 고정되어 상기 케이블과 인접하도록 구비되고, 상기 케이블에서 형성된 자기장의 자기 유도 현상을 이용하여 전력을 발생하여 상기 구동부로 제공하는 픽업 코일을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 레일 유닛은, 상기 모노 레일의 분기 구간에서 상기 모노 레일의 단부에 힌지 결합되며, 힌지축을 중심으로 상기 모노 레일에 대해 수평 방향으로 선회하는 회전 레일 및 상기 모노 레일에 구비되며, 상기 회전 레일이 직진 레일과 분기 레일 중 어느 하나와 연결되도록 상기 회전 레일을 회전시키는 제2 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 모노 레일은 수평 방향 또는 상하 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 제1 모노 레일 및 제2 모노 레일을 포함하고, 상기 레일 유닛은, 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일을 관통하여 구비되며, 상기 비히클을 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일 사이에서 상기 배열 방향을 따라 이동시키기 위한 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동 유닛은, 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일의 관통 구간을 연결하는 연결 레일 및 상기 비히클이 상기 연결 레일에 위치한 상태에서 상기 연결 레일을 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일 사이에서 상기 배열 방향을 따라 왕복 이동시키는 제3 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 연결 레일은 상기 제1 모노 레일 및 제2 모노 레일과 동일한 배열 방향과 간격으로 배열되는 제1 내지 제3 연결 레일을 포함하고, 상기 제3 구동부에 의해 상기 제1 내지 제3 연결 레일이 상기 배열 방향을 따라 이동하더라도 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일의 관통 구간이 상기 연결 레일에 의해 연결된 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 천장 이송 장치는 상기 레일 유닛이 모노 레일로 이루어지므로, 상기 모노 레일을 고정하기 위한 레일 고정 부재가 불필요하다. 또한, 상기 케이블이 상기 모노 레일에 형성된 수용홈에 구비되므로, 상기 케이블을 고정하기 위한 구조물이 불필요하다. 따라서, 상기 천장 이송 장치의 구조를 단순화할 수 있다. 상기 천장 이송 장치의 구조가 단순하므로, 상기 천장 이송 장치의 설치에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있다.
상기 레일 유닛은 상기 모노 레일의 분기 구간에서 상기 회전 레일이 회전하면서 상기 직진 레일과 상기 분기 레일 중 어느 하나와 연결될 수 있다. 따라서, 상기 회전 레일을 이용하여 상기 비히클의 주행 방향을 용이하게 변경할 수 있다.
그리고, 상기 이동 유닛이 상기 비히클을 상기 제1 모노 레일 및 상기 제2 모노 레일 사이에서 상기 배열 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클이 주행하는 레일을 신속하게 변경할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 천장 이송 장치를 설명하기 위한 부분적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 레일 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 레일 유닛의 이동 유닛을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 4에 도시된 이동 유닛의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 천장 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 천장 이송 장치를 설명하기 위한 부분적인 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 천장 이송 장치(300)는 레일 유닛(100) 및 비히클(200)을 포함할 수 있다.
상기 레일 유닛(100)은 모노 레일(110)을 포함할 수 있다.
상기 모노 레일(110)은 I 빔 형상을 가지며, 상기 비히클(200)의 주행 휠(212)을 지지할 수 있다.
상기 모노 레일(110)의 하부면에는 가이드 레일(112)이 구비된다.
상기 모노 레일(110)의 상부면에는 상기 모노 레일(110)의 연장 방향을 따라 수용홈(114)이 구비된다. 상기 모노 레일(110)의 상부면은 상기 주행 휠(212)을 지지하는 면일 수 있다. 상기 수용홈(114)은 상기 모노 레일(110)의 상부면 양측에 각각 배치될 수 있다.
상기 수용홈(114)에는 케이블(116)이 구비될 수 있다. 상기 케이블(116)은 외부 전원과 연결되며, 자기장을 형성할 수 있다.
상기 비히클(200)은 상기 모노 레일(110)을 따라 주행하며, 대상물(10)을 수용하여 이송할 수 있다.
상기 비히클(200)은 주행 유닛(210) 및 이송 유닛(220)을 포함할 수 있다.
상기 주행 유닛(210)은 천장을 따라 구비되는 상기 모노 레일(110)을 따라 주행한다.
상기 주행 유닛(210)은 한 쌍이 구비되며, 상기 비히클(200)의 주행 방향을 따라 전후로 배열될 수 있다.
상기 각 주행 유닛(210)은 상기 모노 레일(110)을 따라 주행하는 한 쌍의 주행 휠들(212) 및 상기 주행 휠들(212)에 각각 구비되어 상기 주행 휠들(212)을 구동하는 구동부들(214)을 포함할 수 있다. 상기 구동부들(214)의 예로는 상기 주행 휠들(212)과 직접 구동하는 인휠 모터를 들 수 있다.
상기 구동부들(214)은 상기 주행 휠들(212)의 회전 속도를 개별적으로 조절할 수 있다. 따라서, 상기 구동부들(214)은 상기 주행 휠들(212)의 회전 속도가 다르도록 상기 비히클(200)을 차동 제어할 수 있다.
또한, 상기 주행 휠들(212)은 수직선을 기준으로 외측으로 일정한 각도(θ)만큼 경사질 수 있다. 상기 각도(θ)는 약 3 내지 5 도일 수 있다. 따라서, 상기 비히클(200)의 직진성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 각 주행 유닛(210)은 한 쌍의 가이드 휠들(216)을 더 포함할 수 있다.
상기 가이드 휠들(216)은 상기 가이드 레일(112)과 접촉하여 상기 비히클(200)의 주행 방향을 안내할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(200)이 상기 모노 레일(110)을 따라 안정적으로 주행할 수 있다.
상기 주행 휠들(212), 상기 구동부들(214) 및 사익 가이드 휠들(216)은 고정 프레임(218)에 의해 고정될 수 있다. 상기 고정 프레임(218)은 상기 이송 유닛(220)과 연결된다. 이때, 상기 고정 프레임(218)은 상기 이송 유닛(220)에 대해 상하 방향을 중심축으로 하여 회전할 수 있다.
상기 이송 유닛(220)은 상기 주행 유닛(210)과 연결되며, 내부에 대상물(30)을 파지하여 이송한다.
상기 이송 유닛(220)은 하우징(221), 이동부(222), 승강부(223)) 및 파지부(225)를 포함한다.
상기 하우징(221)은 상기 주행 유닛(210)의 하부에 매달리듯 고정된다. 상기 하우징(221)은 상기 대상물(30)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 양측면 또는 일측 측면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 양측면 또는 상기 일측 측면은 상기 비히클(200)의 주행 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
상기 이동부(222)는 상기 하우징(221)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(221)의 개방된 측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 승강부(223)는 상기 이동부(222)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(223)는 벨트(224)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(224)를 승강시킬 수 있다.
상기 파지부(225)는 상기 벨트(224)의 단부에 고정되며, 상기 대상물(30)을 파지한다.
상기 승강부(223)가 상기 벨트(224)를 승강시킴에 따라 파지부(225)에 파지된 상기 대상물(30)이 상기 하우징(221)에 대해 승강할 수 있다.
또한, 상기 이동부(222)의 수평 이동에 따라 상기 대상물(30)이 하우징(221)에 대해 수평 이동할 수 있다.
상기 비히클(200)은 한 쌍의 픽업 코일들(230)을 포함할 수 있다.
상기 픽업 코일들(230)은 상기 이송 유닛(220)의 상기 하우징(221)에 고정되며, 상기 케이블(116)과 인접하지만 접촉하지 않도록 배치될 수 있다. 상기 픽업 코일들(230)은 상기 케이블(116)에서 형성된 자기장의 자기 유도 현상을 이용하여 전력을 발생하여 상기 구동부(214)로 제공할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 레일 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 레일 유닛(100)은 분기 구간에서 회전 레일(120), 직진 레일(130) 및 분기 레일(140)을 포함할 수 있다.
상기 회전 레일(120)은 상기 분기 구간에서 상기 모노 레일(110)의 단부에 힌지 결합되며, 힌지축(122)을 중심으로 상기 모노 레일(110)에 대해 수평 방향으로 선회할 수 있다.
상기 모노 레일(110)의 단부에는 제2 구동부(124)가 구비된다. 상기 제2 구동부(124)는 상기 회전 레일(120)을 회전시킬 수 있다. 상기 제2 구동부(124)의 예로는 실린더, 리니어 모터, 스텝 모터 등을 들 수 있다.
상기 제2 구동부(124)의 구동에 따라 상기 회전 레일(120)은 상기 직진 레일(130)과 상기 분기 레일(140) 중 어느 하나와 연결될 수 있다. 따라서, 상기 회전 레일(120)을 이용하여 상기 비히클(200)의 주행 방향을 용이하게 변경할 수 있다. 또한, 상기 비히클(200)의 주행 방향을 조절하기 위해 조향 휠이나 조향 레일을 구비할 필요가 없으므로, 상기 천장 이송 장치(300)의 구조를 단순화할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 레일 유닛의 이동 유닛을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 5 내지 도 7은 도 4에 도시된 이동 유닛의 동작을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 상기 모노 레일(110)은 수평 방향 또는 상하 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 제1 모노 레일(110a) 및 제2 모노 레일(110b)을 포함할 수 있다.
상기 레일 유닛(100)은 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b) 사이에서 상기 비히클(200)을 이동시키는 이동 유닛(150)을 더 포함할 수 있다.
상기 이동 유닛(150)은 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)을 관통하여 구비되며, 상기 비히클(200)이 주행하는 레일을 변경하기 위해 상기 비히클(200)을 상기 배열 방향을 따라 이동시킬 수 있다.
상기 이동 유닛(150)이 구비된 구간에서 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)은 상기 이동 유닛(150)이 관통하기 위한 관통 구간이 형성된다.
상기 이동 유닛(150)은 연결 레일(152) 및 제3 구동부(156)를 포함할 수 있다.
상기 연결 레일(152)은 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간을 연결할 수 있다. 상기 연결 레일(152)이 상기 비히클(200)을 안정적으로 지지하기 위해 상기 연결 레일(152)의 길이는 상기 비히클(200)의 길이보다 긴 것이 바람직하다.
구체적으로, 상기 연결 레일(152)은 상기 제1 모노 레일(110a) 및 제2 모노 레일(110b)과 동일한 배열 방향과 간격으로 배열되는 제1 연결 레일(152a), 제2 연결 레일(152b) 및 제3 연결 레일(152c)을 포함할 수 있다.
상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)은 연결 부재(154)에 의해 서로 연결될 수 있다.
상기 제3 구동부(156)는 상기 연결 레일(152)을 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b) 사이에서 상기 배열 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있다. 상기 제3 구동부(156)의 예로는 실린더, 리니어모터, 컨베이어 등을 들 수 있다.
상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)이 상기 연결 부재(154)에 의해 서로 연결되므로, 상기 제2 구동부(156)는 상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)을 동시에 이동시킬 수 있다.
상기 비히클(200)이 상기 연결 레일(152)에 위치한 상태에서 상기 연결 레일(152)을 상기 배열 방향을 따라 이동함으로써 상기 비히클(200)이 주행하는 레일을 신속하고 용이하게 변경할 수 있다.
특히, 상기 연결 레일(152)이 상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)을 포함하므로, 상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)이 상기 배열 방향을 따라 이동하더라도 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간이 상기 연결 레일(152)에 의해 연결된 상태를 유지할 수 있다.
예를 들면, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제2 연결 레일(152b)이 상기 제1 모노 레일(110a)의 상기 관통 구간을 연결하고, 상기 제3 연결 레일(152c)이 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간을 연결한 상태에서 상기 비히클(200)의 주행 레일을 변경하기 위해 상기 제2 연결 레일(152b)을 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간으로 이동하더라도 상기 제1 연결 레일(152a)이 상기 제1 모노 레일(110a)의 상기 관통 구간을 연결할 수 있다.
상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간이 상기 연결 레일(152)에 의해 연결된 상태를 유지하므로, 다른 비히클(200)이 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)을 따라 안정적으로 주행할 수 있다.
상기에서는 상기 연결 레일(152)이 상기 제1 연결 레일(152a), 상기 제2 연결 레일(152b) 및 상기 제3 연결 레일(152c)을 포함하는 것으로 설명되었으나, 상기 연결 레일(152)은 상기 제1 연결 레일(152a) 및 상기 제2 연결 레일(152b)만을 포함하거나, 상기 제1 연결 레일(152a)만을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 이동 유닛(150)이 상기 비히클(200)의 주행 레일을 변경하는 과정에서 상기 제1 모노 레일(110a) 및 상기 제2 모노 레일(110b)의 상기 관통 구간이 상기 연결 레일(152)에 의해 연결된 상태를 유지하지 못할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 상기 천장 이송 장치는 상기 비히클이 상기 모노 레일을 따라 주행하므로 상기 천장 이송 장치의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 천장 이송 장치의 설치에 소요되는 시간과 비용을 절감할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 레일 유닛 110 : 모노 레일
112 : 가이드 레일 114 : 수용홈
116 : 케이블 120 : 회전 레일
122 : 회전축 124 : 제2 구동부
130 : 직진 레일 140 : 분기 레일
150 : 이동 유닛 152 : 연결 레일
154 : 고정 부재 156 : 제3 구동부
200 : 비히클 210 : 주행 유닛
212 : 주행 휠 214 : 구동부
216 : 가이드 휠 218 : 고정 프레임
220 : 이송 유닛 221 : 하우징
222 : 이동부 223 : 승강부
224 : 벨트 225 : 파지부
230 : 픽업 코일 300 : 천장 이송 장치
10 : 대상물

Claims (9)

  1. 천장에 구비되며, 수평 방향 또는 상하 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 제1 및 제2 모노 레일들을 포함하는 레일 유닛;
    상기 제1 및 제2 모노 레일들을 따라 이동 가능하도록 구성되며 대상물을 이송하기 위한 비히클; 및
    상기 제1 및 제2 모노 레일들을 관통하여 구비되며, 상기 비히클을 상기 제1 및 제2 모노 레일들 사이에서 상기 배열 방향을 따라 이동시키기 위한 이동 유닛을 포함하되,
    상기 이동 유닛은, 상기 제1 및 제2 모노 레일들의 관통 구간을 연결하기 위하여 상기 제1 및 제2 모노 레일들과 동일한 배열 방향과 간격으로 배열되는 제1 내지 제3 연결 레일들과, 상기 비히클이 상기 제1 내지 제3 연결 레일들 중 어느 하나 상에 위치한 상태에서 상기 배열 방향을 따라 상기 제1 내지 제3 연결 레일들을 이동시키는 제3 구동부를 포함하며,
    상기 제3 구동부에 의해 상기 제1 내지 제3 연결 레일들이 이동하더라도 상기 제1 및 제2 모노 레일들의 관통 구간이 상기 제1 내지 제3 연결 레일들에 의해 연결된 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비히클은,
    상기 제1 및 제2 모노 레일들을 따라 주행하는 주행 휠 및 상기 주행 휠을 구동하는 구동부를 각각 포함하며, 상기 비히클의 주행 방향 전후로 배치되는 한 쌍의 주행 유닛들; 및
    상기 주행 유닛들의 하방에 배치되어 상기 주행 유닛들과 연결되며, 상기 대상물을 수용하여 이송하는 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 모노 레일들 각각은 상기 비히클의 주행 휠들을 지지하는 I 빔 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 레일 유닛은, 상기 제1 및 제2 모노 레일들 각각의 하부에 구비되는 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 주행 유닛들 각각은 상기 가이드 레일과 접촉하여 상기 비히클의 주행 방향을 안내하는 한 쌍의 가이드 휠들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 모노 레일들 각각에는 자기장을 형성하기 위한 케이블 및 상기 케이블이 배치되는 수용홈이 구비되고,
    상기 비히클은 상기 케이블과 인접하도록 구비되고 상기 케이블에서 형성된 자기장의 자기 유도 현상을 이용하여 전력을 발생하여 상기 구동부로 제공하는 픽업 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 천장 이송 장치.
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