KR20220043343A - 물품 보관 장치 및 물품 이송 설비 - Google Patents

물품 보관 장치 및 물품 이송 설비 Download PDF

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이상희
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은, 상부 레일과 하부 레일을 포함하는 복층 구조의 주행 레일과; 복층 구조의 주행 레일에 적용할 수 있는 개별 선반 형태의 물품 보관 장치, 그리고 이러한 물품 보관 장치를 가진 물품 이송 설비를 제공한다.

Description

물품 보관 장치 및 물품 이송 설비{STORAGE UNIT AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 이송되는 물품에 대한 임시 보관 공간을 제공하는 물품 보관 장치, 그리고 이러한 물품 보관 장치를 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다.
반도체를 제조하려면, 반도체 공정 장치들에 의하여 다양한 공정을 수행하여야 하고, 이를 위하여 웨이퍼(wafer)와 같은 물품을 수행할 공정에 따라 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하여야 한다. 예를 들어, 물품으로서 처리할 웨이퍼가 수납된 컨테이너(container)를 이송하여 어느 한 반도체 공정 장치의 로드 포트(load port)에 제공할 수 있고, 처리한 웨이퍼가 수납된 컨테이너를 다른 반도체 공정 장치의 로드 포트로 이송할 수 있다.
현재, 클린 룸(clean room)과 같은 반도체 제조 현장에서는 물품을 효율적으로 이송하기 위하여 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 설비가 많이 사용되고 있다.
일반적으로, 물품 이송 설비는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라고도 칭하기로 한다.) 및 물품 보관 장치를 포함한다. OHT는 주행 레일을 따라 주행하는 비히클 어셈블리(vehicle assembly)를 포함하고, 물품 보관 장치는 OHT의 주행 레일의 측방 또는 상방에 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 물품 보관 공간을 제공한다. 일례로, 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 목적하는 반도체 공정 장치의 로드 포트에 제공하려면 대기하고 있어야 하는 경우에 물품을 물품 보관 장치에 제공하여 일시적으로 보관할 수 있다.
한편, 물품 이송 설비는 물품 이송 효율을 높이기 위하여 복층 레일 구조를 가질 수 있다. 도 1 및 도 2는 복층 구조의 주행 레일을 포함하는 물품 이송 설비를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 복층 구조의 주행 레일은 복수의 상부 레일(11)과 복수의 하부 레일(21)을 포함하며, 상부 레일(11)은 천장에 고정된 상부 레일 프레임(10)에 의하여 천장에 지지되고 하부 레일(21)은 상부 레일 프레임(10)으로부터 하방으로 연장되도록 설치된 연장 부재(12)에 고정된 하부 레일 프레임(20)에 의하여 천장에 지지된다. 이와 같은 복층 구조의 주행 레일은 물품을 임시로 보관하기 위한 물품 보관 장치를 설치하는데 어려움이 있다. 일반적인 물품 보관 장치(15)는 프레임(Frame) 형태로 구성되며, 프레임 형태의 물품 보관 장치(15)는 도 2에 도시된 바와 같이 복수의 연장 부재(12)와 간섭이 발생할 수 있어 물품 보관 장치에 물품을 투입시키는 과정에서 문제가 발생할 수 있기 때문이다.
대한민국 공개특허공보 제10-2020-0039220(20.04.16.) 대한민국 등록특허공보 제10-2114413호(20.05.18.)
따라서 본 발명은, 상기 연장 부재와 간섭을 일으키지 않고 복층 구조의 이송 레일에 설치될 수 있는 물품 보관 장치, 그리고 이를 포함하는 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 비히클 어셈블리의 주행을 안내하는 복층 구조의 주행 레일 상부에 제공되고, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 상기 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 선반을 포함하는, 물품 보관 장치가 제공될 수 있다.
상기 선반은 별도의 프레임에 포함되지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 보관 장치는, 상기 주행 레일 상부에 대한 상기 선반의 위치를 고정하기 위한 위치 고정 유닛 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 천장에 고정되고 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 복수의 상부 레일; 상기 상부 레일을 따라 주행하며 물품을 이송하는 하나 이상의 상부 비히클 어셈블리; 상기 천장에 고정되고 상기 상부 레일의 하방에서 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 복수의 하부 레일; 상기 하부 레일을 따라 주행하며 물품을 이송하는 하나 이상의 하부 비히클; 상기 상부 레일과 상기 하부 레일을 포함하는 복층 구조의 주행 레일을 상기 천장에 고정시키기 위한 레일 고정 유닛; 및 상기 주행 레일 상부에 제공되며, 상기 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 선반을 포함하는 물품 보관 장치;를 포함하는 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
상기 레일 고정 유닛은, 상기 복수의 상부 레일을 지지하기 위한 상부 레일 프레임; 상기 상부 레일 프레임을 상기 천장에 고정시키기 위한 복수의 프레임 고정 부재; 및 상기 복수의 상부 레일을 상기 상부 레일 프레임에 고정시키기 위한 복수의 상부 레일 고정 부재를 더 포함하며, 상기 상부 레일은 상기 상부 레일 프레임에 고정됨으로써 상기 천장에 고정될 수 있다.
이때, 한 쌍의 상부 레일은 한 쌍의 상부 레일 고정 부재에 의하여 상기 상부 레일 프레임에 고정될 수 있다.
또한, 상기 레일 고정 유닛은, 상기 프레임 고정 부재로부터 하방으로 연장하는 복수의 연장 부재; 상기 복수의 연장 부재에 고정되며 상기 복수의 하부 레일을 지지하기 위한하부 레일 프레임; 및 상기 복수의 하부 레일을 상기 하부 레일 프레임에 고정시키기 위한 복수의 하부 레일 고정 부재를 더 포함하며, 상기 하부 레일은 상기 하부 프레임에 고정됨으로써 상기 천장에 고정될 수 있다.
이때, 한 쌍의 하부 레일은 한 쌍의 하부 레일 고정 부재에 의하여 상기 하부 레일 프레임에 고정될 수 있다.
한편, 상기 물품 보관 장치는, 별도의 프레임을 포함하지 않으며, 상기 주행 레일 상부에 대한 상기 선반의 위치를 고정하는 선반 위치 고정 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 물품 보관 장치는, 상기 하부 레일 프레임의 상면에 체결되어 위치가 고정될 수 있다.
상기 물품 보관 장치는, 적어도 하나 이상의 하부 레일에 적용될 수 있다.
한편, 상기 물품 보관 장치는, 상기 복수의 연장 부재와의 간섭을 회피하기 위하여 상기 선반의 폭이 상기 각 연장 부재 간의 간격보다 좁게 형성될 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명에 따른 물품 이송 설비는 프레임을 포함하지 않고 개별 선반으로 구성되어 주행 레일에 장착됨으로써 연장 부재와 간섭을 일으키지 않고 복층 구조 이송 레일에 설치될 수 있는 물품 보관 장치가 제공되므로, 복층 구조의 이송 레일을 포함하는 물품 이송 설비가 저장 공간을 확보할 수 있다. 따라서, 물품 이송량을 증가시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 물품 이송 설비는 연장 부재와의 간섭을 방지하기 위하여 별도의 프레임을 구성하지 않는 물품 보관 장치가 제공되므로 설치 비용을 줄일 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 복층 구조의 주행 레일을 포함하는 물품 이송 설비를 설명하기 위한정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 설비에 일반적인 물품 보관 장치가 적용된 구조를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비를 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비를 도시한 정면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 비히클 어셈블리를 나타내는 측면도이다.
도 7은 도 3에 도시된 물품 보관 장치를 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명의 실시예는 주로 클린 룸 등의 반도체 제조 현장에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있다. 일례로, 물품을 반도체 공정 장치들의 로드 포트 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼 등의 기판을 포함할 수 있다. 예를 들어, 물품은 기판이 수납되는 컨테이너일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판을 외부로부터 보호하기 위한 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 일례로, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명의 실시예는 반도체 제조 현장에서 물품으로서 웨이퍼가 수납된 전면 개방 통합 포드(이하, FOUP라고도 칭하기로 한다.)를 반도체 공정 장치들의 로드 포트 간에 이송하는 경우를 예로 들어 살펴보기로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 구성이 도 3 및 도 4에 개략적으로 도시되어 있다. 참고로, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 일부를 도시한 정면도이고 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 일부를 도시한 측면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는 OHT(1) 및 물품 보관 장치(2)를 포함한다.
OHT(1)는 주행 레일(30) 및 적어도 하나 이상의 비히클 어셈블리(50)를 포함한다. 주행 레일(30)의 레이아웃(layout)은 반도체 제조 현장의 여건 등에 따라 결정될 수 있다. 본 발명에서는, 상부 레일(31)과 하부 레일(32)을 포함하여 복층 구조의 주행 레일(30)을 갖는 경우를 예로 들어 살펴보기로 한다.
비히클 어셈블리(50)는, 주행 레일(30)을 따라 주행 가능하고 물품인 FOUP(A)에 대한 그립(grip) 및 언그립(ungrip) 수행이 가능하게 구성됨으로써, FOUP(A)을 임의의 로드 포트로부터 목적하는 로드 포트로 이송할 수 있다. 특히나, 본 발명에 따른 비히클 어셈블리(50)는, 상부 레일(31)을 따라 주행하는 상부 비히클 어셈블리(51)와 하부 레일(32)을 따라 주행하는 하부 비히클 어셈블리(52)를 포함할 수 있다.
도 5는 OHT(1)의 일부를 확대하여 도시한 정면도이다. 주행 레일(30)은 적어도 하나 이상의 직선 구간 및 적어도 하나 이상의 곡선 구간을 제공할 수 있다. 직선 구간과 곡선 구간은, 일렬로 서로 연결될 수도 있고, 어느 한 지점에서 분기되거나 합류될 수도 있다. 주행 레일(30)은 천장에 설치된다. 특히나, 도 3 및 4에 도시된 바와 같이, 복층 구조의 주행 레일(30)은, 좌우 방향으로 이격되어 서로 짝을 이루는 적어도 한 쌍 이상의 상부 레일(31), 상부 레일(31)의 하방에 배치되고 좌우 방향으로 이격되어 서로 짝을 이루는 적어도 한 쌍 이상의 하부 레일(32)을 포함하고, 주행 레일(30)을 천장에 고정시키기 위한 레일 고정 유닛(40)에 의하여 반도체 제조 현장의 상부 영역에 배치될 수 있다.
상부 레일(31)은 상부 비히클 어셈블리(51)가 주행하는 주행 경로를 제공하고, 하부 레일(32)은 상부 레일(31)의 하방에 제공되어 하부 비히클 어셈블리(52)가 주행하는 주행 경로를 제공한다. 한 쌍의 레일은 비히클 어셈블리(50)의 주행 면을 제공하며 주행 레일(30) 및 비히클 어셈블리(50)는 다수개가 구비될 수 있다.
레일 고정 유닛(40)은, 상부 레일(31)과 하부 레일(32)을 포함하는 복층 구조의 주행 레일(30)을 천장에 고정시키며, 프레임 고정 부재(41), 상부 레일 프레임(42), 상부 레일 고정 부재(43), 연장 부재(44), 하부 레일 프레임(45), 하부 레일 고정 부재(46)를 포함한다.
프레임 고정 부재(41)는 상부 레일 프레임(42)을 천장에 고정시키기 위한 구성으로 천장에 매립되거나 천장으로부터 돌출되도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 프레임 고정 부재(41)는 너트와 볼트를 포함함으로써 상부 레일 프레임(42)을 천장에 고정시킬 수 있다. 또한, 프레임 고정 부재(41)는 부하되는 하중의 분산을 위하여 복수로 구성되는 것이 바람직하다.
상부 레일 프레임(42)은 프레임 고정 부재(41)에 고정되어 적어도 한 쌍 이상의 상부 레일(31)을 지지할 수 있다.
상부 레일 고정 부재(43)는 복수의 상부 레일(31)을 상부 레일 프레임(42)에 고정하기 위한 것으로 한 쌍의 상부 레일 고정 부재(43)가 한 쌍의 상부 레일(31)을 상부 레일 프레임(42)에 고정할 수 있다. 한 쌍의 상부 레일 고정 부재(43) 사이의 간격은 한 쌍의 상부 레일(31) 사이의 간격과 동일할 수 있다. 복수의 상부 레일(31)은 상부 레일 프레임(42)에 고정됨으로써 천장에 고정될 수 있다.
연장 부재(44)는 복수의 프레임 고정 부재(41)로부터 하방으로 연장한다. 이때, 연장 부재(44)의 단부는 상부 비히클(51)의 하부면보다 하방에 위치하고 하부 레일 프레임을 고정하기 위한 프레임 고정 부재(41')를 더 포함할 수 있다. 연장 부재(44)의 예로는 턴 버클, 행거 볼트 등을 들 수 있다. 한편, 연장 부재(44)는 상부 레일 고정 부재(43)로부터 하방으로 연장할 수도 있다.
하부 레일 프레임(45)은 연장 부재(44)에 고정되며 적어도 한 쌍 이상의 하부 레일(32)을 지지한다.
하부 레일 고정 부재(46)는 복수의 하부 레일(32)을 하부 레일 프레임(45)에 고정하기 위한 것으로 한 쌍의 하부 레일 고정 부재(46)가 한 쌍의 하부 레일(32)을 하부 레일 프레임(45)에 고정할 수 있다. 한 쌍의 하부 레일 고정 부재(46) 사이의 간격은 한 쌍의 하부 레일(32) 사이의 간격과 동일할 수 있다. 복수의 하부 레일(32)은 하부 레일 프레임(45)에 고정됨으로써 천장에 고정될 수 있다.
이와 같은 복층 구조의 주행 레일(30)을 갖는 물품 이송 설비는 상부 레일(31) 및 하부 레일(32)을 통해 상부 비히클(51) 및 하부 비히클(52)을 동시에 주행시킬 수 있으므로, 물품의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 6은 비히클 어셈블리(50)를 나타내는 측면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 비히클 어셈블리(50)는 주행 레일(30)을 따라 주행하는 비히클(100), 그리고 FOUP(A)에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 호이스트 모듈(hoist module, 200)을 포함한다.
비히클(100)은 차체(110) 및 휠(wheel, 120)들을 포함한다. 차체(110)에는 좌우 방향으로 연장된 차축이 장착된다. 차축은 복수로 제공되고 전후 방향으로 서로 이격될 수 있다. 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(30)의 안내에 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여하는 주행 휠이다. 휠(120)들은, 차축의 양단 부분에 각각 장착되고, 한 쌍의 레일 각각의 상측에 제공된 주행 면에 접촉되어 구름 운동을 한다. 비히클(100)은, 휠(120)들을 회전시키기 위한 동력을 제공하는 휠 구동 유닛을 더 포함한다. 일례로 휠 구동 유닛은 차축을 회전시키도록 구성될 수 있다.
도시된 바는 없으나, 비히클(100)은 한 쌍의 레일의 대향하는 내측에 제공된 안내 면에 각각 접촉되는 안내 휠을 더 포함할 수 있다.
호이스트 모듈(200)은 하우징(housing, 210), 그립 유닛(220), 승강 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함한다.
하우징(210)은 주행 레일(30)의 하방에서 차체(110)와 연결된다. 하우징(210)은 상측이 차체(110)의 하측에 적어도 하나 이상의 연결기에 의하여 연결될 수 있다. 하우징(210)은 FOUP(A)이 수용되는 내부 공간을 제공한다. 하우징(210)은 FOUP(A)을 내부 공간에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 양측 및 하측이 개방된 구조를 가지도록 형성된다.
그립 유닛(220)은 FOUP(A)을 그립하거나 언그립한다. 승강 유닛(230)은 그립 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시키고, 회전 구동 유닛(240)은 그립 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 수평 구동 유닛(250)은 그립 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 그립 유닛(220)을 승강 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 승강 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 그립 유닛(220)에 의하여 그립된 FOUP(A)을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 물품 보관 장치(2)는, 별도의 프레임에 포함되지 않고 FOUP(A)을 보관할 수 있는 개별 선반 형태로 구비된다. 개별 선반 형태의 물품 보관 장치(2)는 주행 레일(30) 상부에 제공될 수 있다. 구체적으로, 물품 보관 장치(2)는 하부 레일(32)의 상부에 제공되며 하부 레일 프레임(45)의 상면에 장착될 수 있다. 또한, 물품 이송량 증가를 위하여 물품 보관 장치(2)는 적어도 하나 이상의 하부 레일(32) 상부에 제공될 수 있다.
도 7은 물품 보관 장치(2)를 나타내는 사시도이다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 보관 장치(2)는 FOUP(A)을 보관할 수 있는 선반(300), 선반(300)을 주행 레일(30) 상부에 장착하여 선반(300)의 위치를 고정하는 위치 고정 유닛(310)을 포함한다.
선반(300)은 FOUP(A)을 보관할 수 있는 플레이트 형태로 제공되며, FOUP(A) 을 지지하기 위한 지지 부재(302)를 포함할 수 있다. 또는, FOUP(A)의 위치를 고정시키기 위한 홈(미도시)을 포함할 수 있다. 선반(300)의 폭은 FOUP(A)을 수용할 수 있도록 FOUP(A)의 폭보다 넓게 제공되고, 연장 부재(44)와의 간섭을 피할 수 있도록 연장 부재(44) 간의 간격보다 좁게 제공될 수 있다.
위치 고정 유닛(310)는 선반(300)의 위치를 고정하기 위한 구성으로 선반(300) 하면에 바로 제공되거나 별도의 부재를 이용하여 선반(300)과 이격되어 제공될 수 있다. 예를 들어, 위치 고정 유닛(310)은 도 7에 도시된 바와 같이 하부 레일 프레임(46)의 상면에 체결될 수 있는 형태로 제공되어 하부 레일 프레임(46)에 대한 선반(300)의 위치를 고정시킬 수 있다. 위치 고정 유닛(310)은 적어도 하나 이상의 체결 부재를 포함할 수 있다. 체결 부재는 주행 레일(30)과 물품 보관 장치(2) 사이에 배치될 수 있다. 체결 부재는, 하부 레일 프레임(46)에 한쪽이 볼트, 클램프 등에 의하여 분리 가능하게 결합될 수 있고, 선반(300)에 다른 쪽이 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 장치는, 상부 비히클(51)에 의하여 이송되는 FOUP(A)이 물품 보관 장치(2)에 의하여 보관될 수 있으며, FOUP(A)은, 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동된 후 승강 유닛(230)에 의하여 하강되거나, 좌우 방향 이동 없이 승강 유닛(230)에 의하여 하강됨으로써 하우징(210)의 내부 공간으로부터 물품 보관 장치로 투입될 수 있다.
상술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 물품 보관 장치(2)는 프레임을 포함하지 않는 복수의 개별 선반의 형태로 구비되고 선반(300)의 폭이 연장 부재(44)의 간격보다 좁게 형성되는 바, 연장 부재(44)와 물품 보관 장치(2)가 서로 간섭되는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 복층 구조의 주행 레일(30)을 갖는 물품 이송 설비에 물품 보관 장치(2)를 포함시켜 물품을 보관할 수 있게 되므로 복층 구조의 물품 이송 설비의 물품 이송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 별도의 프레임을 필요로 하지 않기 때문에 프레임 구성 비용이 필요하지 않게 되므로 물품 보관 장치(2)의 설치 비용을 줄일 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수도 있고 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
1: OHT
2: 물품 보관 장치
30: 주행 레일
31: 상부 레일
32: 하부 레일
40: 레일 고정 유닛
41: 프레임 고정 부재
42: 상부 레일 프레임
43: 상부 레일 고정 부재
44: 연장 부재
45: 하부 레일 프레임
46: 하부 레일 고정 부재
50: 비히클 어셈블리
51: 상부 비히클 어셈블리
52: 하부 비히클 어셈블리
100: 비히클
200: 호이스트 모듈
300: 선반
310: 위치 고정 유닛

Claims (12)

  1. 비히클 어셈블리의 주행을 안내하는 복층 구조의 주행 레일 상부에 제공되고, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 상기 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 선반을 포함하는,
    물품 보관 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 선반은 별도의 프레임에 포함되지 않는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 주행 레일 상부에 대한 상기 선반의 위치를 고정하기 위한 위치 고정 유닛 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 보관 장치.
  4. 천장에 고정되고 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 복수의 상부 레일;
    상기 상부 레일을 따라 주행하며 물품을 이송하는 하나 이상의 상부 비히클 어셈블리;
    상기 천장에 고정되고 상기 상부 레일의 하방에서 물품을 이송하기 위한 이송 경로를 제공하는 복수의 하부 레일;
    상기 하부 레일을 따라 주행하며 물품을 이송하는 하나 이상의 하부 비히클;
    상기 상부 레일과 상기 하부 레일을 포함하는 복층 구조의 주행 레일을 상기 천장에 고정시키기 위한 레일 고정 유닛; 및
    상기 주행 레일 상부에 제공되며, 상기 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 선반을 포함하는 물품 보관 장치;
    를 포함하는 물품 이송 설비.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 레일 고정 유닛은,
    상기 복수의 상부 레일을 지지하기 위한 상부 레일 프레임;
    상기 상부 레일 프레임을 상기 천장에 고정시키기 위한 복수의 프레임 고정 부재; 및
    상기 복수의 상부 레일을 상기 상부 레일 프레임에 고정시키기 위한 복수의 상부 레일 고정 부재를 더 포함하며,
    상기 상부 레일은 상기 상부 레일 프레임에 고정됨으로써 상기 천장에 고정되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  6. 청구항 5에 있어서,
    한 쌍의 상부 레일은 한 쌍의 상부 레일 고정 부재에 의하여 상기 상부 레일 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 레일 고정 유닛은,
    상기 프레임 고정 부재로부터 하방으로 연장하는 복수의 연장 부재;
    상기 복수의 연장 부재에 고정되며 상기 복수의 하부 레일을 지지하기 위한하부 레일 프레임; 및
    상기 복수의 하부 레일을 상기 하부 레일 프레임에 고정시키기 위한 복수의 하부 레일 고정 부재를 더 포함하며,
    상기 하부 레일은 상기 하부 프레임에 고정됨으로써 상기 천장에 고정되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  8. 청구항 7에 있어서,
    한 쌍의 하부 레일은 한 쌍의 하부 레일 고정 부재에 의하여 상기 하부 레일 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 물품 보관 장치는,
    별도의 프레임을 포함하지 않으며, 상기 주행 레일 상부에 대한 상기 선반의 위치를 고정하는 선반 위치 고정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 물품 보관 장치는,
    상기 하부 레일 프레임의 상면에 체결되어 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 물품 보관 장치는,
    적어도 하나 이상의 하부 레일에 적용되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
  12. 청구항 4 또는 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 물품 보관 장치는,
    상기 복수의 연장 부재와의 간섭을 회피하기 위하여 상기 선반의 폭이 상기 각 연장 부재 간의 간격보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 물품 이송 설비.
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