KR20160119917A - 멀티 암 반송 로봇 - Google Patents

멀티 암 반송 로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR20160119917A
KR20160119917A KR1020150048423A KR20150048423A KR20160119917A KR 20160119917 A KR20160119917 A KR 20160119917A KR 1020150048423 A KR1020150048423 A KR 1020150048423A KR 20150048423 A KR20150048423 A KR 20150048423A KR 20160119917 A KR20160119917 A KR 20160119917A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
cable
horizontal
arm
vertical
Prior art date
Application number
KR1020150048423A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102279408B1 (ko
Inventor
김태현
김종욱
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020150048423A priority Critical patent/KR102279408B1/ko
Publication of KR20160119917A publication Critical patent/KR20160119917A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102279408B1 publication Critical patent/KR102279408B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/902Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Abstract

본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.
이를 위해, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 주행부 양측의 레일부에 설치되고 주행부의 이동에 따라 이동하는 한 쌍의 수평 케이블베어를 포함하는 멀티 암 반송 로봇을 제공한다.

Description

멀티 암 반송 로봇{Transfer robot with multi arm}
본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 반송 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다.
이러한 반송 로봇은 반도체웨이퍼, 액정표시장치용기판, 플라즈마디스플레이(plasma display)용기판, FED(Field Emission Display)용기판, 광디스크용기판, 자기디스크용기판, 광자기디스크용기판, 포토마스크(photomask)용기판 등의 다양한 형태의 기판을 카세트(cassette)로 효율적으로 반송하기 위한 로봇 시스템이다.
이렇게 반송 로봇은 제품 제작에 사용되는 기판을 공정과 공정 사이에 설치되어 기판을 특정 카세트(cassette)에서 카세트(cassette)로 이송하고 상하로 이격되게 적재되도록 이송하여 다음 공정의 작업을 수행할 수 있도록 한다.
도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은 크게, 레일부(10), 주행부(20), 선회부(30), 승강부(40), 암 유닛(50)으로 구성된다.
상기 종래의 반송 로봇의 암 유닛(50)은 승강부(40)를 기준으로 상, 하로 이동되고, 주행부(20)의 수평이동을 통해 특정 위치의 카세트(cassette)로 기판을 반송할 수 있도록 구성된다.
하지만 종래의 반송 로봇의 경우, 암 유닛(50)에 설치되어 기판을 지지하는 포크(51)가 한 개만 설치됨으로써, 한 개의 기판만을 반송할 수밖에 없어 생산성이 떨어지는 문제가 있다.
또한, 주행부(20) 주행 시 케이블의 움직임에 따른 간섭을 줄이기 위한 케이블베어(12)가 주행부(20)의 한쪽에 배치됨으로써 케이블베어(12)의 폭이 넓어지고 레일부(10)의 설치 면적이 커져 반송 로봇의 동작간섭영역이 커지는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있고, 케이블베어를 주행부 양측 방향에 배치하여 케이블베어의 폭을 줄임으로써 반송 로봇의 동작간섭영역과 설치 영역을 줄일 수 있는 멀티 암 반송 로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 주행부 양측의 레일부에 설치되고 주행부의 이동에 따라 이동하는 한 쌍의 수평 케이블베어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 주행부 양측의 레일부에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어 중 주행부 일측의 레일부에 설치되는 수평 케이블베어는, 배선설치부를 기준으로 일측에 설치되는 제1 수평 케이블베어, 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강부의 양측으로 나누어 설치되고 암 유닛의 승강에 따라 이동하는 한 쌍의 수직 케이블베어를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강부의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어 중 승강부 일측에 설치되는 수직 케이블베어는, 상기 암 유닛의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어와 제2 수직 케이블베어를 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 레일부 양측에는 케이블이 접속되는 배선설치부가 설치되고, 상기 배선설치부는, 수평 케이블베어가 설치되는 수용부; 상기 수용부에 설치되고 레일부 외부로 돌출되지 않고 레일부 내부로 내장되는 케이블 커넥터; 및 상기 케이블 커넥터를 육안으로 확인할 수 있는 투명한 전면 커버;를 포함하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 다음과 같은 효과가 있다.
복수개의 암을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.
또한, 수평 케이블베어를 주행부의 양측으로 나뉘어 배치되도록 설치하여 수평 케이블베어의 폭을 줄일 수 있게 된다.
이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 수평 케이블베어의 폭을 줄여 레일부의 설치 면적을 축소시킴으로써 반송 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 배선설치부 부분확대도.
도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 승강부 부분확대도.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하에서는, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도 2 내지 도 6을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 평면도, 도 4는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도, 도 5는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 배선설치부 부분확대도, 도 6은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 승강부 부분확대도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 크게, 레일부(100), 주행부(200), 선회부(300), 승강부(400), 암 유닛(500)을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된다.
도 2를 참조하여 설명하면, 레일부(100)는 지면에 설치되고, 후술하는 주행부(200)가 수평상에서 주행할 수 있도록 안내하는 수평레일(110)을 포함하여 구성된다.
상기 수평레일(110)은 주행부(200)와 접하는 면, 즉, 레일부(100)의 내측에 설치될 수 있다.
또한, 상기 수평레일(110)은 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 안내하기 위한 역할을 하는 것으로, 수평상으로 레일부(100)의 길이만큼 연장될 수 있다.
한편, 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 형성되는 수평레일(110)의 형태를 보면, 평기어 형태의 랙기어, LM가이드의 레일, 볼스크류 구동 방식의 스크류 등으로, 수평 이동이 가능한 구조이면 어느 하나로 한정하지 않는다.
도 3을 참조하여 설명하면, 상기 레일부(100)는 내부에 공간이 마련되도록 형성되고 'ㄷ'자 또는 'ㅁ'자 형태로 형성될 수 있다.
여기서 상기 레일부(100)의 내부 공간에는 수평 케이블베어(120)가 설치될 수 있고, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 나란히 배치될 수 있다.
즉, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 구성되어 배치될 수 있고, 이는, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위해 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 나누어 배치시키기 위함이다.
따라서, 종래의 한쪽 방향으로 설치되는 케이블베어와 비교하여 그 폭을 대폭 축소시킬 수 있게 되는 것이다.
이렇게 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄임으로써 상기 레일부(100)의 설치 면적을 줄일 수 있음은 물론 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.
한편, 도 4를 참조하여 설명하면, 상기 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위함으로, 레일부(100) 양측에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어(120) 중 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 후술하는 배선설치부(130)를 기준으로 일측으로 설치되는 제1 수평 케이블베어(121), 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어(122)를 포함한다.
상기 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122) 레일부(100)의 양측에 설치된 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 설치된다.
또한, 후술하는 주행부(200)의 수평 이동에 따라 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122)가 수평상에서 좌, 우로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.
이와 같이, 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치함으로써, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.
즉, 상기 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.
이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 레일부(100)의 설치면적을 줄일 수 있게 된다.
또한, 반송 로봇 암의 수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 구성될 수 있도록 할 수도 있으며, 이에 따라, 암의 개수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 정해지면서 수평 케이블베어(120)를 가변적으로 설계할 수도 있다.
한편, 상기 레일부(100) 양측에는 전원 및 제어 신호를 외부로부터 인가받기 위한 배선설치부(130)가 설치된다.
도 5를 참조하여 설명하면, 상기 배선설치부(130)는 크게, 수용부(131), 케이블 커넥터(132), 전면 커버(133)를 포함하여 구성된다.
먼저, 상기 수용부(131)는 레일부(100)의 내부 공간, 즉, 수평 케이블베어(120)가 설치되기 위한 공간이다.
또한, 상기 수평 케이블베어(120)가 수평상에서 이동하기 위한 여유 공간일 수도 있다.
한편, 상기 수용부(131)는 레일부(100)의 일측에 개방된 공간이 형성될 수 있고, 바람직하게는 도 2에 도시된 바와 같이, 레일부(100)의 중간 지점이 될 수 있다.
따라서, 상기에서 설명한 바와 같이, 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 케이블베어(122)가 상기 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치됨에 따라, 수평 케이블베어(120)의 원활한 이동을 위해서 상기 배선설치부(130)가 설치되는 개방된 수용부(131)의 위치는 레일부(100)의 중간 지점으로 설정하는 것이 바람직할 것이다.
한편, 상기 개방된 수용부(131)의 일측에는 레일부(100)의 외부로 돌출되지 않도록 레일부(100) 내부로 내장되도록 복수개의 단자가 구비된 케이블 커넥터(132)가 설치된다.
상기 케이블 커넥터(132)는 로봇의 전원 및 신호 제어를 위한 케이블을 접속하기 위한 단자로서, 그 위치가 레일부(100) 안쪽에 위치할 수 있도록 설치된다.
여기서 상기 케이블 커넥터(132)에 접속되는 케이블 측 커넥터는 'ㄱ'가 형태로 꺾어진 구조의 커넥터일 수 있으며, 이로 인해, 외부로부터 케이블이 케이블 커넥터(132)에 접속된 상태에서도 레일부(100) 외부로 돌출되지 않는 구조가 될 수 있다.
따라서, 반송 로봇의 설치 공간을 최소화시켜 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 도모한다.
또한, 상기 케이블 커넥터(132) 상측에는 수평 케이블베어(120)가 이동할 수 있도록 안내하고 케이블 커넥터(132)와 분리된 공간을 제공하기 위해 패널 형태의 케이블 가이드(133)가 설치될 수 있다.
상기 케이블 가이드(133)를 통해 수평 케이블베어(120)의 이동으로 케이블 커넥터(132)에 접속된 케이블과의 간섭을 없앨 수 있다.
또한, 상기 케이블 가이드(133) 양측에는 일정 각도로 경사를 이루어지도록 꺾어진 행태로 형성될 수 있다.
한편, 케이블 커넥터(132)가 설치된 개방된 수용부(131)에는 케이블의 접속 상태를 확인하고 유지보수를 위해 케이블 커넥터(132)를 육안으로 확인할 수 있도록 투명 재질로 형성된 전면 커버(134)가 설치된다.
상기 전면 커버(134)는 레일부(100)의 외측면과 상측 일부를 덮을 수 있도록 'ㄱ'자 형태로 형성된다.
이렇게 'ㄱ'자 형태로 형성된 전면 커버(134)는 레일부(100)에 대해 고정되고, 상측으로 꺾어진 부분을 고정하도록 형성함으로써, 예를 들어, 반송 로봇이 설치될 때 최종적으로 작업자의 안전을 위해 레일부(100) 바깥쪽으로 밀착된 상태로 설치되는 안전펜스가 설치될 경우, 배선설치부(130)에 케이블을 접속하거나 유지보수를 할 경우에 용이하게 전면 커버(134)를 분리할 수 있도록 구성한 것이다.
또한, 상기 전면 커버(134)는 꺾어진 상측을 볼트로 고정되거나, 또는, 슬라이딩 구조로 상, 하측으로 슬라이딩 되면서 분리될 수도 있다.
한편, 레일부(100)는 지면에 직접 설치되거나, 설치공간의 환경에 맞게 지면으로부터 일정 높이를 띄운 상태로 설치하기 위해 레일부(100) 외측으로 복수개의 서포트(140)가 설치될 수 있다.
상기 서포트(140) 일측에는 수직으로 타공된 장공이 형성되고, 레일부(100)에 대해 장공에 볼트가 결합되어 서포트(140)가 설치될 수 있는 구조로 이루어진다.
다음으로, 주행부(200)는 반송 로봇의 수평 이동을 위한 부분이다.
도 3을 참조하여 설명하면, 상기 주행부(200)는 상기 레일부(100)의 수평레일(110) 상에서 수평으로 주행한다.
이를 위해, 수평레일(110)의 구조에 대응하도록 수평 구동부(210)가 형성될 수 있는데, 그 예로, 수평레일(110)이 평기어 형태의 랙기어로 구성될 경우, 주행부(200)에는 수평 구동부(210)는 피니언기어를 포함하는 모터가 설치될 수 있다.
따라서, 랙기어의 수평레일(110) 상에서 피니언기어가 설치된 수평 구동부(210)에 의해 주행부(200)가 수평상에서 이동할 수 있게 된다.
상기에서 설명한 바와 같이, 다양한 형태로 수평레일(110)을 구성할 수 있고, 이와 대응되도록 수평 구동부(210)를 구성할 수 있다.
다음으로, 선회부(300)는 반송 로봇의 회전동작을 하기 위한 부분이다.
상기 선회부(300)는 상기 주행부(200) 상측에 설치되고, 360도 회전 가능하도록 구성된다.
다음으로, 승강부(400)는 후술하는 암 유닛(500)을 수직상에서 승강하기 위한 가이드 역할을 한다.
도 6을 참조하여 설명하면, 상기 승강부(400)는 선회부(300) 상측 또는 일측에 수직으로 배치되도록 설치된다.
또한, 상기 승강부(400) 일측에는 수직으로 수직레일(410)이 설치된다.
상기 수직레일(410)은 수평레일(110)과 마찬가지로 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 수직으로 이동하도록 안내할 수 있는 구조이면 어느 한 가지 형태로 한정하지 않는다.
한편, 상기 승강부(400) 내부에는 암 유닛(500)의 작동을 위해 케이블을 보호하고 암 유닛(500)의 승강에 따라 이동하는 수직 케이블베어(420)가 설치된다.
이때, 상기 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측으로 나누어 한 쌍으로 배치되도록 이루어질 수 있다.
이는, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄이기 위해 승강부(400) 양측으로 나누어 배치시키기 위함이다.
여기서, 상기 승강부(400)의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어(420) 중 승강부(400) 일측에 설치되는 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)를 포함한다.
이에 따라, 후술하는 암 유닛(500)의 수직 이동에 따라 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)가 수직상에서 상, 하로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.
이와 같이, 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수직 케이블베어(420)는 상, 하측으로 나누어 설치함으로써, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.
즉, 상기 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 상, 하측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.
이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 승강부(400)의 부피를 줄일 수 있게 된다.
다음으로, 암 유닛(500)은 기판을 지지하는 복수개의 포크(550)가 설치되는 부분이다.
상기 암 유닛(500)은 크게, 암베이스(510), 암바디(520), 슬라이딩 암(530), 핸드프레임(540), 포크(550)를 포함하여 구성된다.
상기 암베이스(510)는 상기 승강부(400)에 결합되고 수직레일(410)에 상에서 수직으로 승강하는 부분이다.
상기 암베이스(510) 내부에는 수직레일(410)의 구조와 대응되도록 수직 구동부(511)가 설치된다.
수직 구동부(511)는 상기 주행부(200)의 수평 구동부(210)와 마찬가지로 수직레일(410)의 구조에 대응되도록 구성된다.
한편, 상기 암베이스(510)에는 승강부(400)에 대해 직각을 이루도록 배치되는 암바디(520)가 설치된다.
이때, 상기 암바디(520)는 암베이스(510)의 상측과 하측에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
상기 슬라이딩 암(530)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 암바디(520)에 대해 윗면에서 봤을 때 직각을 이루는 구조로 설치된다.
여기서, 상기 슬라이딩 암(530)은 복수개로 구성될 수 있고, 2개를 1개 쌍을 이루도록 일정 간격을 두고 4개의 쌍으로 구성될 수 있다.
하지만, 이는, 도면을 참고하여 설명하기 위한 것으로, 슬라이딩 암(530)의 개수는 한정하지 않는다.
상기 슬라이딩 암(530)은 후술하는 핸드프레임(540)이 수평상으로 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로, 모터(미도시)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬라이딩 암(530)에는 하측면과 상측면으로 레일홈(531)이 길이방향으로 형성될 수 있다.
상기 레일홈(531)은 슬라이딩 암(530)에 홈 형태로 형성되거나, 돌출된 레일의 형태로도 이루어질 수 있으며, 핸드프레임(540)과 결합되어 슬라이딩될 수 있는 구성이면 이를 모두 포함한다.
따라서, 핸드프레임(540)이 레일홈(531)에 안착된 상태로 슬라이딩될 수 있게 되는 것이다.
또한, 복수개의 핸드프레임(540)이 각각 개별적으로 슬라이딩될 수도 있다.
상기 핸드프레임(540)은 후술하는 포크(550)를 설치하기 위한 부분이다.
상기 핸드프레임(540)은 상기 슬라이딩 암(530)에 설치된다.
즉, 복수개로 구성되는 슬라이딩 암(530)의 개수에 맞게 상측면과 하측면에 설치될 수 있다.
즉, 상측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 하측면에, 하측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 상측면에 설치될 수 있다.
또한, 슬라이딩 암(530)의 레일홈(531)에 체결될 수도 있다.
이때, 상기 핸드프레임(540)은 직각으로 절곡된 구조로 형성되되, 그 길이를 달리하여 상측의 슬라이딩 암(530)과 하측의 슬라이딩 암(530) 사이에 핸드프레임(540)이 일정 간격으로 배열될 수 있도록 구성된다.
이를 위해, 상측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄴ'자 형태로 절곡되도록 하고, 하측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄱ'자 형태로 절곡되도록 구성하는 것이 바람직하다.
상기 포크(550)는 기판을 지지하기 위한 역할을 하는 부분이다.
상기 포크(550)는 복수개가 설치되며, 상기 핸드프레임(540)의 개수에 대응하도록 구성된다.
즉, 상기 핸드프레임(540)의 끝단부에 막대 형태로 설치될 수 있다.
따라서, 기판은 복수개의 포크(550)에 얹어진 상태로 정렬된 상태로 반송될 수 있다.
그리고 상기 포크(550)는 슬라이딩 암(530)의 길이 보다 길지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.
이하에서는 도 2 내지 도 6을 참조하여 상기 설명한 멀티 암 반송 로봇의 작용에 대하여 설명한다.
먼저, 작업공간의 지면에 레일부(100)가 설치되고, 레일부(100)에 설치된 수평레일(110) 상에서 주행부(200)의 수평 구동부(210)의 작동에 의해 주행부(200)는 수평 상에서 좌, 우로 주행하게 된다.
이때, 레일부(100)에 설치된 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 양측, 즉, 레일부(100)의 양측 부분에 설치된 한 쌍의 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 주행에 따라 수평상에서 좌, 우로 번갈아 가면서 이동하게 된다.
그 다음, 반송 로봇의 회전 동작을 요하는 경우, 선회부(300)의 작동에 의해 회전 동작을 구현한다.
그 다음, 수직으로 이동하는 동작이 필요한 경우, 승강부(400)의 수직레일(410) 상에서 암 유닛(500)의 암베이스(510)가 수직으로 승강되면서 수직 동작을 구현한다.
여기서, 상기 암베이스(510)의 수직 구동부(511)의 작동에 따라 암 유닛(500)이 승강부(400) 상에서 수직으로 주행이 가능해진다.
이때, 승강부(400)에 설치된 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측에 설치된 한 쌍의 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 주행에 따라 수직상에서 상, 하로 번갈아 가면서 이동하게 된다.
한편, 암 유닛(500)에 설치되는 포크(550)에 기판이 얹어지는데, 기판의 특성 및 크기에 따라 기판의 개수를 정하고, 이에 대하여 핸드프레임(540)의 배열을 달리하여 포크(550) 사이의 간격을 설정할 수 있다.
이와 같이, 상기 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 탑재한 상태로 수평, 수직, 회전 동작을 구현하여 반송 작업을 수행할 수 있게 된다.
상기 설명한 바와 같이, 복수개의 슬라이딩 암(530)을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크(550)를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.
또한, 수평 케이블베어(120)를 주행부(200)의 양측으로 나뉘어 배치되도록 설치하여 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄일 수 있게 된다.
이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄여 레일부(100)의 설치 면적을 축소시킴으로써 반송 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 특징이 있는 것이다.
한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 레일부 110: 수평레일
120: 수평 케이블베어 121: 제1 수평 케이블베어
122: 제2 수평 케이블베어 130: 배선설치부
131: 수용부 132: 케이블 커넥터
133: 케이블 가이드 134: 전면 커버
140: 서포트 200: 주행부
210: 수평 구동부 300: 선회부
400: 승강부 410: 수직레일
420: 수직 케이블베어 421: 제1 수직 케이블베어
422: 제2 수직 케이블베어 500: 암 유닛
510: 암베이스 511: 수직 구동부
520: 암바디 530: 슬라이딩 암
531: 레일홈 540: 핸드프레임
550: 포크

Claims (5)

  1. 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서,
    지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부;
    상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부;
    상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부;
    상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및
    상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되,
    상기 주행부 양측의 레일부에 설치되고 주행부의 이동에 따라 이동하는 한 쌍의 수평 케이블베어를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
  2. 1항에 있어서,
    상기 주행부 양측의 레일부에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어 중 주행부 일측의 레일부에 설치되는 수평 케이블베어는,
    배선설치부를 기준으로 일측에 설치되는 제1 수평 케이블베어, 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 승강부의 양측으로 나누어 설치되고 암 유닛의 승강에 따라 이동하는 한 쌍의 수직 케이블베어를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 승강부의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어 중 승강부 일측에 설치되는 수직 케이블베어는,
    상기 암 유닛의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어와 제2 수직 케이블베어를 포함하는 것을 특징으로 하는 하는 멀티 암 반송 로봇.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    레일부 양측에는 케이블이 접속되는 배선설치부가 설치되고,
    상기 배선설치부는,
    수평 케이블베어가 설치되는 수용부;
    상기 수용부에 설치되고 레일부 외부로 돌출되지 않고 레일부 내부로 내장되는 케이블 커넥터; 및
    상기 케이블 커넥터를 육안으로 확인할 수 있는 투명한 전면 커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.
KR1020150048423A 2015-04-06 2015-04-06 멀티 암 반송 로봇 KR102279408B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150048423A KR102279408B1 (ko) 2015-04-06 2015-04-06 멀티 암 반송 로봇

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150048423A KR102279408B1 (ko) 2015-04-06 2015-04-06 멀티 암 반송 로봇

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160119917A true KR20160119917A (ko) 2016-10-17
KR102279408B1 KR102279408B1 (ko) 2021-07-20

Family

ID=57250246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150048423A KR102279408B1 (ko) 2015-04-06 2015-04-06 멀티 암 반송 로봇

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102279408B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200118544A (ko) * 2019-04-08 2020-10-16 현대중공업지주 주식회사 석션부를 구비한 기판 이송장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000108159A (ja) * 1998-10-08 2000-04-18 Apic Yamada Corp 樹脂封止装置
KR20150012158A (ko) * 2013-07-24 2015-02-03 현대중공업 주식회사 기판 이송장치용 보관장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150025775A (ko) * 2013-08-30 2015-03-11 주식회사 로보스타 멀티플 암을 구비한 반송 로봇

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000108159A (ja) * 1998-10-08 2000-04-18 Apic Yamada Corp 樹脂封止装置
KR20150012158A (ko) * 2013-07-24 2015-02-03 현대중공업 주식회사 기판 이송장치용 보관장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20150025775A (ko) * 2013-08-30 2015-03-11 주식회사 로보스타 멀티플 암을 구비한 반송 로봇

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200118544A (ko) * 2019-04-08 2020-10-16 현대중공업지주 주식회사 석션부를 구비한 기판 이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR102279408B1 (ko) 2021-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20120055493A (ko) 기판 컨테이너 보관 시스템
KR20150116387A (ko) 물품 반송차
CN1292967C (zh) 晶圆载入埠的搬运装置
KR20110050558A (ko) 기판 반송 로봇 및 시스템
KR20120106618A (ko) 물품 반송 설비
TWI714809B (zh) 搬送系統
US10957570B2 (en) Article storage facility
KR20090053844A (ko) 스태커 크레인
KR20040019842A (ko) 반송장치
KR20160119917A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160121752A (ko) 멀티 암 반송 로봇
WO2018003287A1 (ja) 搬送システム
KR101328574B1 (ko) 기판이송장치
KR101587337B1 (ko) 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
KR20160121751A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160121742A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160122299A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160119918A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160126151A (ko) 멀티 암 반송 로봇
KR20160125550A (ko) 멀티 암 반송 로봇
JP2020083525A (ja) 移載装置
KR20150012158A (ko) 기판 이송장치용 보관장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
WO2019003799A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
KR101488091B1 (ko) 이물질 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
JP6520655B2 (ja) スタッカークレーン

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant