KR20220097701A - 물품 이송 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 물품 이송 경로의 제1 주행 경로와 제2 주행 경로가 합류하는 형태로 서로 접속된 영역의 상방에 각각 제1 주행 경로와 제2 주행 경로를 따라 제공된 제1 조향 레일과 제2 조향 레일을 포함하는 물품 이송 설비에 관한 것이다. 제1 조향 레일은, 좌우 중 어느 한쪽인 제1 방향 쪽에서 물품 이송 차량의 조향 부재와 접촉되는 조향 면을 가지고, 조향 부재가 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 배치된다. 유도 면은 좌우 중 남은 한쪽인 제2 방향 쪽으로 치우친 조향 부재를 조향 부재와의 접촉에 의하여 제1 방향 쪽으로 이동시키도록 제2 방향 쪽으로 기울어져 조향 부재의 강제 조향을 수행할 수 있다.

Description

물품 이송 설비 {ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명의 실시예는 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하기 위한 물품 이송 설비에 관한 것이다.
반도체 제조 효율 향상을 위하여, 반도체 제조 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 반도체를 제조하는 데 사용되는 물품을 반도체 제조 설비들 간에 보다 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장의 천장 측에 제공되는 물품 이송 경로(article transport path)를 따라 이동하면서 공정에 요구되는 각종 물품을 이송하도록 구성된 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 설비가 그 중 하나이다.
일반적으로, 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 포함하는 물품 이송 설비는 주행 레일(travel rail), 조향 레일들 및 물품 이송 차량들을 포함하고, 물품 이송 차량 각각은 비히클(vehicle), 조향 부재, 호이스트 장치(hoist apparatus) 등으로 이루어진다.
주행 레일은 복수의 주행 경로를 포함하는 물품 이송 경로를 제공한다. 조향 레일들은 물품 이송 경로에서 주행 경로들이 서로 접속된 접속 영역의 상방에 서로 접속된 주행 경로 각각을 따라 제공된다. 비히클은 주행 레일을 따라 주행한다. 조향 부재는, 비히클의 상부에 제공되고, 접속 영역에서 조향 레일들 중 선택된 어느 하나에 접촉되어 비히클의 진행 방향을 선택된 주행 경로로 안내하며, 비히클의 폭 방향인 좌우 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 조향 위치 또는 제2 조향 위치에서 선택된 조향 레일에 접촉되고, 비히클이 접속 영역으로 진입되기 전에 선택된 조향 위치에 위치하도록 제어된다. 호이스트 장치는, 비히클의 하부에 제공되고, 이송할 물품을 지지한다.
이와 같은 물품 이송 설비는, 레이아웃(layout) 등에 따라서는, 비히클이 상대적으로 고속으로 주행하면, 조향 부재를 선택된 조향 위치로 이동시키기 위한 조향 변경 과정을 비히클이 접속 영역으로 진입되기 이전까지 정확히 완료할 수 없는 구간을 가질 수 있다. 현재, 이러한 구간에서도 조향 변경 시간을 충분히 확보하고자 비히클을 해당 구간에서 상대적으로 저속으로 주행시키는 방식으로 운영하고 있다. 그런데, 비히클의 저속 주행 운영은 물품 이송의 고속화 면에서 상당히 불리할 수밖에 없다. 따라서, 이에 대한 개선책 마련이 시급히 요구되고 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1854046호(2018.05.02.) 대한민국 등록특허공보 제10-1901029호(2018.09.21.) 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0105081호(2018.09.27.) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0063951호(2019.06.10.) 대한민국 등록특허공보 제10-2037955호(2019.11.26.)
본 발명의 실시예는 물품 이송의 고속화 면에서 보다 유리한 물품 이송 설비를 제공하는 데 목적이 있다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 합류하는 형태로 서로 접속된 제1 주행 경로와 제2 주행 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과; 상기 제1 주행 경로와 상기 제2 주행 경로가 서로 접속된 영역의 상방에 각각 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로를 따라 제공된 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하면서 물품을 이송하며, 좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 조향 위치에서 상기 제1 조향 레일에 접촉되거나 제2 조향 위치에서 상기 제2 조향 레일에 접촉되는 조향 부재를 가지는 조향 유닛(steering unit)이 상부에 제공된 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량을 포함하고, 상기 물품 이송 차량의 주행 방향을 기준으로 좌우 중 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때, 상기 제1 조향 레일은, 상기 제1 방향 쪽에서 상기 조향 부재와 접촉되는 조향 면을 가지고, 상기 조향 부재가 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 상기 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 배치되며, 상기 유도 면은 상기 제2 조향 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 제1 조향 위치로 이동시키도록 제2 방향 쪽으로 기울어진, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
상기 강제 조향 레일은 상기 제2 조향 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 유도 면으로 안내하도록 상기 제1 주행 경로를 따라 형성되는 도입 면을 가질 수 있다.
상기 강제 조향 레일은 상기 조향 부재가 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이를 통과하는 과정에서 발생되는 저항을 감소시키기 위하여 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이에 자유 회전 부재가 배치될 수 있다. 또는, 상기 강제 조향 레일은 상기 조향 부재가 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이를 통과하는 과정에서 발생되는 저항을 감소시키기 위하여 상기 유도 면과 상기 도입 면을 만곡하게 연결하는 곡면을 가질 수 있다.
상기 조향 유닛은 구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제2 조향 위치로부터 상기 제1 조향 위치로 이동시키고 탄성력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 조향 위치로부터 상기 제2 조향 위치로 복귀시키도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 조향 유닛은, 상기 조향 부재와 함께 이동되는 자성체와; 상기 조향 부재를 상기 제2 조향 위치로부터 상기 제1 조향 위치로 이동시키기 위한 구동력으로서 자력을 상기 자성체에 제공하는 전자석을 포함하고, 상기 전자석은 상기 조향 부재가 상기 제1 조향 위치에 근접될수록 자력의 세기가 감소하도록 제어될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 합류하는 형태로 서로 접속된 제1 주행 경로와 제2 주행 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과; 상기 제1 주행 경로와 상기 제2 주행 경로가 서로 접속된 영역의 상방에 각각 상기 제1 주행 경로 및 상기 제2 주행 경로를 따라 제공된 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하면서 물품을 이송하며, 좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 조향 위치에서 상기 제1 조향 레일에 접촉되거나 제2 조향 위치에서 상기 제2 조향 레일에 접촉되는 조향 부재를 가지는 조향 유닛이 상부에 제공된 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량을 포함하고, 상기 물품 이송 차량의 주행 방향을 기준으로 좌우 중 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때, 상기 제2 조향 레일은, 상기 제2 방향 쪽에서 상기 조향 부재와 접촉되는 조향 면을 가지고, 상기 조향 부재가 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 상기 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 배치되며, 상기 유도 면은 상기 제1 조향 위치의 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 제2 조향 위치로 이동시키도록 제1 방향 쪽으로 기울어진, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.
상기 제2 조향 레일에 연결된 상기 강제 조향 레일은 상기 제1 조향 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 유도 면으로 안내하도록 상기 제2 주행 경로를 따라 형성되는 도입 면을 가질 수 있다.
상기 제2 조향 레일에 연결된 상기 강제 조향 레일을 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 조향 유닛은 구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 조향 위치로부터 상기 제2 조향 위치로 이동시키고 탄성력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제2 조향 위치로부터 상기 제1 조향 위치로 복귀시키도록 구성될 수 있다.
상기 제1 조향 레일 또는 상기 제2 조향 레일에 연결된 상기 강제 조향 레일을 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비에 있어서, 상기 조향 부재는 상하 방향의 축을 중심으로 회전 가능한 휠(wheel)을 포함할 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 제1 주행 경로와 제2 주행 경로가 합류하는 형태로 서로 접속된 영역 상에 제공된 조향 레일 중 적어도 어느 하나 이상에 조향 레일의 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 연결됨으로써, 접속 영역으로 진입되는 물품 이송 차량의 조향 부재(조향 휠)를 유도 면과의 접촉에 의하여 좌우 중 어느 한쪽(예를 들어, 제2 조향 위치)에서 조향 면과 접촉되는 다른 쪽(예를 들어, 제1 조향 위치)으로 강제적으로 이동시킬 수 있다.
따라서, 조향 부재를 선택된 조향 위치로 이동시키는 데 소요되는 조향 변경 시간을 단축할 수 있고, 물품 이송 차량을 주행 속도 감속 없이 접속 영역으로 진입시킬 수 있는바, 물품 이송의 고속화를 구현할 수 있다.
발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 물품 이송 설비의 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 물품 이송 설비의 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 나타내는 우측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 물품 이송 설비의 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 나타내는 평면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 강제 조향 레일과 관련 구성을 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 6에 A 부분을 나타내는 확대도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.
명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.
한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.
본 발명은 반도체 또는 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)를 제조하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체 또는 평판 디스플레이 제조 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer), 글라스(glass)와 같은 기판을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 이러한 기판들이 내부 공간에 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 안전하게 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있고, 밀폐형 컨테이너는 전면 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)일 수 있다.
본 발명은 반도체의 제조, 평판 디스플레이의 제조 등 여러 기술분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이나, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 웨이퍼들이 내부 공간에 수납되는 전면 개방 통합 포드(이하, FOUP이라 한다.)를 반도체 제조 설비들 간에 이송하는 데 사용되는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.
반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있다. 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 제조 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다. 반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 반도체 제조 설비에서 공정 수행이 완료된 웨이퍼는 다음 공정을 위한 반도체 제조 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하, OHT라 한다.)를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이송될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 반도체 제조 설비를 나타내고, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 반도체 제조 설비(1)들 간에 이송하기 위한 물품 이송 경로(11)를 제공하는 주행 레일을 나타낸다. 또, 도면 부호 20은 물품 이송 경로(11)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량을 나타내고, 도면 부호 30은 물품에 대한 임시 보관 공간을 제공하는 단수 또는 복수의 버퍼(buffer)를 나타낸다. 주행 레일(10)은 반도체 제조 공장의 천장 측에 배치된다. 물품 이송 차량(20)들은 물품을 반도체 제조 설비(1)들 중 특정 설비에서 다른 설비로 곧장 이송할 수도 있고 버퍼(30)에 일시적으로 보관한 후 다른 설비로 이송할 수도 있다. 버퍼(30)는 물품 이송 경로(11)의 측방에 설치되는 사이드 트랙 버퍼(side track buffer, STB) 또는 물품 이송 경로(11)의 하방에 설치되는 언더 트랙 버퍼(under track buffer, UTB)일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 물품 이송 차량(20)들을 포함한다. 그리고, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛 및 수전 유닛을 이용하여 전원 공급 장치(electric power supply)로부터 구동 전력을 제공 받아 작동하고, OCS(OHT control system)라고도 칭하는 통합 제어 장치에 의하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영하도록 구성될 수 있다.
도 1을 참조하면, 물품 이송 경로는 복수의 주행 경로로 구성된다. 구체적으로, 물품 이송 경로는, 주행 경로들로서 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)를 포함하고, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)가 서로 접속, 연결되는 접속 영역들(13A, 13B 참조)을 가진다. 예를 들어, 물품 이송 경로는, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12) 중 어느 하나로서 단일의 메인 경로(main path)(11 참조)를 포함하고, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12) 중 나머지 하나로서 메인 경로에 각각 접속된 복수의 서브 경로(sub path)(12 참조)를 포함할 수 있다. 서브 경로들은, 물품 이송 차량(20)의 주행 방향을 기준으로, 메인 경로에 분기하는 형태로 접속되어 접속 영역으로서 분기 영역(13A)을 제공할 수도 있고, 메인 경로에 합류하는 형태로 접속되어 접속 영역으로서 합류 영역(13B)을 제공할 수도 있다. 접속 영역 각각을 구성하는 제1 주행 경로(11)의 접속 부분과 제2 주행 경로(12)의 접속 부분 중 어느 하나는 다른 하나의 측방에 접속된다. 어느 하나의 접속 영역에서, 제1 주행 경로(11)의 접속 부분은 직선형일 수 있고, 제2 주행 경로(12)의 접속 부분은 곡선형일 수 있다.
OHT의 구성 및 작동이 도 2 내지 도 7에 도시되어 있다.
도 2를 참조하면, 주행 레일(10)은, 좌우 방향으로 서로 이격되고 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일 부재를 포함하고, 레일 서포트(rail support, 15)들에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치된다. 좌우 한 쌍의 레일 부재는 역 U자 형상으로 형성된 레일 연결 부재(16)들에 의하여 서로 연결된다. 레일 연결 부재(16) 각각은, 한 쌍의 레일 부재 각각의 외측에 하단 쪽이 연결된 수직 부분, 그리고 좌우 양쪽의 수직 부분의 상단 쪽을 연결하는 수평 부분으로 구성될 수 있다. 레일 서포트(15) 각각은, 하단 부분이 한 쌍의 레일 부재를 지지하고, 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다. 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)가 서로 접속되는 접속 영역인 분기 영역(13A)이나 합류 영역(13B)은 직선 형상인 한 쌍의 레일 부재와 곡선 형상인 한 쌍의 레일 부재가 서로 연결된 구성을 가질 수 있다. 이러한 한 쌍의 레일 부재는 상측에 주행 면을 제공하고 대향하는 내측에 안내 면을 제공하도록 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 급전 유닛(40)은 주행 레일(10)의 하부에 물품 이송 경로(11)를 따라 설치된 급전 라인(electricity supply line, 41)을 포함한다. 급전 라인(41)은 한 쌍으로 구성된다. 급전 라인(41)은 한 쌍의 레일 부재 사이에 배치되고 주행 레일(10)에 장착된 라인 서포트(42)들에 의하여 지지될 수 있다. 급전 라인(41)은 구동 전력을 제공하는 전원 공급 장치와 전기적으로 연결된다.
도 5를 참조하면, 접속 영역인 분기 영역(13A)과 합류 영역(13B) 각각의 상방에는 조향 레일(500)로서 제1 조향 레일(510) 및 제2 조향 레일(520)이 각각 제1 주행 경로(11) 및 제2 주행 경로(12)를 따라 제공된다. 제1 조향 레일(510)과 제2 조향 레일(520)은 제공된 위치에 따라 분기되는 형태로 서로 접속되거나 합류되는 형태로 서로 접속될 수 있다. 조향 레일(500)은 레일 연결 부재(16)의 수평 부분에 장착되어 위치가 고정될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행하는 비히클(100), 비히클(100)의 하부에서 물품인 FOUP을 지지하는 호이스트 장치(200), 급전 라인(41)으로부터 구동 전력을 비접촉 방식으로 제공 받는 전원 장치(300)를 포함한다. 호이스트 장치(200)는 비히클(100)과 함게 이동되고 물품을 지지한다. 전원 장치(300)는 비히클(100)의 하부 또는 호이스트 장치(200)의 상부에 급전 라인(41)과 대향하도록 제공된 수전 유닛을 포함한다. 수전 유닛은 픽업 코일(pickup coil)과 정류기를 포함할 수 있다. 급전 라인(41)에 교류 전류가 흐르기 때문에 급전 라인(41)의 가까이 발생하는 자속의 방향과 강도가 항상 변동한다. 픽업 코일은 이러한 자속의 변동에 따라 전자 유도에 의하여 발전압을 발생시킬 수 있다. 발생된 발전압은 교류 전압이지만 정류기에 의하여 직류 전압으로 변환되어 물품 이송 차량(20)에 공급될 수 있다.
비히클(100)은 복수로 구성될 수 있다. 도 3과 도 4는 비히클(100)이 전후로 배열된 전방 비히클(100A)과 후방 비히클(100B)로 구성될 수 있음을 예시한다.
이와 같은 비히클(100)은 차체(110), 주행 휠(120)들, 구동 장치(140), 안내 휠(160)들, 조향 휠(170), 조향 휠 구동 모듈(180)을 포함한다.
주행 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)을 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여한다. 차축은 좌우 방향으로 연장된다. 차축의 좌우 양단 부분에는 각각 주행 휠(120)이 장착되어, 주행 휠(120)들은 양쪽으로 배치된다. 양쪽의 주행 휠(120)은 한 쌍의 레일 부재의 상측에 마련된 주행 면에 접촉된다. 도 5를 참조하면, 차축은, 양단 사이의 부분이 차체(110)의 내부 공간에 배치되고, 양단 부분이 각각 차체(110)의 좌우를 관통하여 차체(110)의 외부로 돌출될 수 있다. 차체(110)에는 차축을 회전 가능하도록 지지하는 베어링(bearing) 등의 회전 지지 부재가 구비될 수 있다.
구동 장치(140)는 양쪽의 주행 휠(120)을 구동시킨다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 구동 장치(140)는, 회전 모터, 그리고 회전 모터의 회전력을 차축에 전달하는 벨트 전동 기구를 포함한다. 또한, 구동 장치(140)는 회전 모터의 회전 속도를 감소시켜 벨트 전동 기구에 전달하기 위한 감속기를 더 포함할 수 있다. 벨트 전동 기구는, 회전 모터의 축에 장착된 구동 풀리, 차축에 장착된 종동 풀리, 그리고 구동 풀리와 종동 풀리에 걸리도록 감긴 벨트를 포함한다. 벨트 전동 기구는, V 벨트(V-belt)를 사용하는 V 벨트 전동 기구일 수도 있고, 타이밍 벨트(timing belt)를 사용하는 타이밍 벨트 전동 기구일 수도 있다. 물론, 실시 조건 등에 따라서는, 벨트 전동 기구 대신 체인 전동 기구가 적용될 수도 있다.
본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는 제어 유닛(도 7 참조)을 더 포함한다. 제어 유닛은 물품 이송 차량(20) 각각에 설치되어 물품 이송 차량(20) 각각을 제어할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는 물품 이송 차량(20) 각각의 주행 위치를 나타내는 위치 정보를 기반으로 물품 이송 차량(20) 각각의 작동을 제어하도록 구성될 수 있다. 물품 이송 차량(20) 각각에 대한 위치 정보에 의하면, 물품 이송 차량(20)들이 물품 이송 경로(11)에서 직선 구간(12) 또는 곡선 구간(13)에 진입하였는지, 직선 구간(12) 또는 곡선 구간(13)을 통과하였는지 등을 기반으로 물품 이송 차량(20) 각각을 제어할 수 있다. 일례로, 제어 유닛은 물품 이송 설비 전체의 작동을 제어하는 통합 제어 장치(OCS)로부터 지령을 수신하여 물품 이송 차량(20)의 작동을 제어할 수 있다.
안내 휠(160)들은 차체(110)의 하부에 좌우 양쪽으로 배치되고 한 쌍의 레일 부재의 대향하는 내측에 마련된 안내 면에 각각 접촉된다.
조향 휠(조향 부재, 170)은, 차체(110)의 상부에 좌우 방향으로 이동 가능하게 장착되고, 조향 휠 구동 모듈(180)에 의하여 이동된다. 조향 휠(170)은 상하 방향의 축을 중심으로 회전된다. 조향 휠(170)은 이동 방향에 따라 제1 조향 위치(예를 들어, 우측)에서 제1 조향 레일(510)에 접촉되거나 제2 조향 위치(예를 들어, 좌측)에서 제2 조향 레일(520)에 접촉될 수 있다.
호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(hoist housing, 210)을 포함한다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 비히클(100)과 서로 연결된다. 차체(110)의 하부와 호이스트 하우징(210)의 상부는 적어도 하나 이상의 연결기에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공한다. 호이스트 하우징(210)은 물품을 수용 공간(212)에서 좌우 방향으로 이동시키고 하측 방향으로 이동시킬 수 있게 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성된다.
게다가, 호이스트 장치(200)는, 물품을 그립하거나 언그립하기 위한 핸드 유닛(220), 그리고 핸드 유닛(220)을 제1 위치와 제2 위치 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함한다. 제1 위치는 핸드 유닛(220)이 그립한 물품이 호이스트 하우징(210)의 수용 공간(212)에 수용되는 위치이고, 제2 위치는 이러한 제1 위치로부터 벗어난 위치에 해당하는 호이스트 하우징(210)의 외부이다. 호이스트 장치(200)는 핸드 이동 유닛으로서 상하 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함한다.
핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 상하 구동 유닛(230)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킨다. 상하 구동 유닛(230)은 적어도 하나 이상의 벨트(belt)를 드럼(drum)에 대하여 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키고, 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 일례로, 핸드 유닛(220)을 상하 구동 유닛(230)에 의하여 상하 방향으로 이동시키고, 상하 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 상하 방향으로 이동시키거나 상하 방향의 축을 중심으로 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
설명되지 않은 도면 부호 450은 물품 이송 차량(20)에 각각 제공되어 전방의 장애물을 감지하는 장애물 감지 센서(obstacle detection sensor)이다. 장애물 감지 센서(450)는 물품 이송 차량(20)의 전방에 배치될 수 있다. 예를 들어, 장애물 감지 센서(450)는 호이스트 하우징(210)의 전면에 장착될 수 있다. 장애물 감지 센서(300)는, 광을 전방으로 조사하는 발광기, 그리고 장애물에 의하여 반사된 발광기로부터의 광을 수광하는 수광기를 포함할 수 있다. 발광기는 장애물 감지 면적 증대를 위하여 광을 점차적으로 확산되는 선 형상이나 면 형상으로 조사할 수 있다.
이와 같은 장애물 감지 센서(450)는 물품 이송 차량(20)들이 물품 이송 경로(11)를 따라 이동하는 동안에 전방의 장애물을 감지한다. 장애물 감지 센서(450)로부터 전방으로 일정한 거리 이내에 장애물이 존재하여 수광기에 발광기로부터의 광이 수광되면, 해당 물품 이송 차량(20)을 감속시키거나 정지시켜 해당 물품 이송 차량(20)이 장애물과 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 이때, 해당 물품 이송 차량(20)의 전방에 장애물이 존재함을 나타내는 메시지를 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 전방의 장애물은 다른 물품 이송 차량(20)일 수 있다. 이 경우, 물품 이송 차량(20)들의 후방에는 발광기로부터의 광을 후방으로 반사시키는 반사 면이 구비될 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 물품 이송 차량(20)의 주행 방향을 기준으로 좌우 중에서 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때, 제1 조향 레일(510)은 제1 방향 쪽(예를 들어, 우측)에서 조향 휠(170)과 접촉되는 조향 면을 가지고, 제2 조향 레일(520)은 제2 방향 쪽(예를 들어, 좌측)에서 조향 휠(170)과 접촉되는 조향 면을 가진다. 각 합류 영역(13B) 상의 제1 조향 레일(510)은 조향 휠(170)이 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 조향 면과 연결된 유도 면(552)을 가진 강제 조향 레일(550)이 배치된다. 유도 면(552)은 제2 위치(예를 들어, 좌측)의 조향 휠(170)을 조향 휠(170)과의 접촉에 의하여 제1 위치(예를 들어, 우측)로 이동시키도록 제2 방향 쪽으로 기울어진다. 도 5에 도시된 바와 같이, 강제 조향 레일(550)이 물품 이송 차량(20)의 주행 방향을 기준으로 제1 조향 레일(510)의 조향 시작 단부로부터 제2 방향 쪽으로 경사진 형태로 연장되어 유도 면(552)이 제2 방향 쪽으로 기울어질 수 있다. 유도 면(552)에 의하면, 물품 이송 차량(20)이 합류 영역(13B)으로 진입 시 조향 휠(170)의 조향 변경이 아직 이루어지지 않았더라도, 조향 휠(170)을 이동시켜 물품 이송 차량(20)이 선택된 경로로 정확히 주행하도록 조향할 수 있다.
강제 조향 레일(550)은 제2 위치(예를 들어, 좌측)의 조향 휠(170)을 조향 휠(170)과의 접촉에 의하여 유도 면(552)으로 안내하는 도입 면(554)이 제1 주행 경로를 따라 형성된다. 5에 도시된 바와 같이, 강제 조향 레일(550)은 제2 방향 쪽으로 경사진 후 제1 주행 경로(11)를 따라 연장되어 제1 주행 경로(11)를 따라 형성된 도입 면(554)을 제공할 수 있다.
도 7을 참조하면, 강제 조향 레일(550)에서, 유도 면(552)과 도입 면(554) 사이에는 조향 휠(170)이 유도 면(552)과 도입 면(554) 사이의 내각 부분을 통과하는 과정에서 발생되는 저항을 감소시키기 위하여 자유 회전 부재(570)가 배치된다. 자유 회전 부재(570)로는 베어링, 휠 등이 적용될 수 있다. 자유 회전 부재(570)에 의하면, 조향 휠(170)이 유도 면(552)과 도입 면(554) 사이를 부드럽게 통과할 수 있고, 이에 따라 파티클 발생을 방지할 수 있다.
실시 조건 등에 따라서는, 강제 조향 레일(550)에서, 유도 면(552)과 도입 면(554) 사이에는 자유 회전 부재(570) 대신 유도 면(552)과 도입 면(554)을 만곡하게 연결하는 곡면이 마련될 수도 있다.
이와 같은 강제 조향 레일(550) 관련 구성들은, 제1 조향 레일(510)이 아닌 제2 조향 레일(520)에도 강제 조향 가능하게 적용될 수 있고, 제1 조향 레일(510)과 제2 조향 레일(520) 둘 모두에 강제 조향 가능하게 적용될 수도 있다.
한편, 조향 휠 구동 모듈(180)은 구동력을 이용하여 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로부터 제1 조향 위치로 이동시키고 탄성력을 이용하여 조향 휠(170)을 제1 조향 위치로부터 제2 조향 위치로 복귀시키도록 구성될 수 있다. 이에 의하면, 조향 휠(170)은 탄성력에 의하여 제2 조향 위치에 위치된 상태로 유지되고 구동력이 작용하는 때에 한하여 제1 조향 위치에 위치될 수 있다. 조향 휠 구동 모듈(180)은 조향 휠(170)과 함께 조향 유닛을 구성한다. 조향 휠 구동 모듈(180)은 조향 휠(170)과 함께 이동되는 자성체, 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로부터 제1 조향 위치로 이동시키기 위한 구동력으로서 자력을 자성체에 제공하는 전자석, 그리고 전자석의 자력 제공 작동이 중단되면 조향 휠(170)에 탄성력을 제공하여 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로 복귀시키는 탄성 부재를 포함할 수 있다. 전자석은 조향 휠(170)이 제1 위치에 근접될수록 자력의 세기가 감소하도록 제어됨으로써 조향 휠(170)을 별도의 댐퍼 없이 보호할 수 있다. 자성체와 전자석 대신 솔레노이드 액추에이터가 적용될 수도 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수도 있고 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
1: 반도체 제조 설비
10: 주행 레일
11: 제1 주행 경로
12: 제2 주행 경로
13A: 분기 영역
13B: 합류 영역
20: 물품 이송 차량
100: 비히클
110: 차체
120: 주행 휠
140: 구동 장치
160: 안내 휠
170: 조향 휠
200: 호이스트 장치
300: 전원 장치
510: 제1 조향 레일
520: 제2 조향 레일
550: 강제 조향 레일

Claims (10)

  1. 합류하는 형태로 서로 접속된 제1 경로와 제2 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과;
    상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 서로 접속된 영역의 상방에 각각 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로를 따라 제공된 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과;
    상기 주행 레일을 따라 주행하면서 물품을 이송하며, 좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 위치에서 상기 제1 조향 레일에 접촉되거나 제2 위치에서 상기 제2 조향 레일에 접촉되는 조향 부재를 가지는 조향 유닛이 상부에 제공된 물품 이송 차량을 포함하고,
    상기 물품 이송 차량의 주행 방향을 기준으로 좌우 중 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때,
    상기 제1 조향 레일은, 상기 제1 방향 쪽에서 상기 조향 부재와 접촉되는 조향 면을 가지고, 상기 조향 부재가 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 상기 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 배치되며,
    상기 유도 면은 상기 제2 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 제1 위치로 이동시키도록 제2 방향 쪽으로 기울어진,
    물품 이송 설비.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 강제 조향 레일은 상기 제2 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 유도 면으로 안내하도록 상기 제1 경로를 따라 형성되는 도입 면을 가진 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 강제 조향 레일은 상기 조향 부재가 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이를 통과하는 과정에서 발생되는 저항을 감소시키기 위하여 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이에 자유 회전 부재가 배치된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 강제 조향 레일은 상기 조향 부재가 상기 유도 면과 상기 도입 면 사이를 통과하는 과정에서 발생되는 저항을 감소시키기 위하여 상기 유도 면과 상기 도입 면을 만곡하게 연결하는 곡면을 가진 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 조향 유닛은 구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동시키고 탄성력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 복귀시키도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 조향 유닛은,
    상기 조향 부재와 함께 이동되는 자성체와;
    상기 조향 부재를 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동시키기 위한 구동력으로서 자력을 상기 자성체에 제공하는 전자석을 포함하고,
    상기 전자석은 상기 조향 부재가 상기 제1 위치에 근접될수록 자력의 세기가 감소하도록 제어되는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  7. 합류하는 형태로 서로 접속된 제1 경로와 제2 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과;
    상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 서로 접속된 영역의 상방에 각각 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로를 따라 제공된 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과;
    상기 주행 레일을 따라 주행하면서 물품을 이송하며, 좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 위치에서 상기 제1 조향 레일에 접촉되거나 제2 위치에서 상기 제2 조향 레일에 접촉되는 조향 부재를 가지는 조향 유닛이 상부에 제공된 물품 이송 차량을 포함하고,
    상기 물품 이송 차량의 주행 방향을 기준으로 좌우 중 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때,
    상기 제2 조향 레일은, 상기 제2 방향 쪽에서 상기 조향 부재와 접촉되는 조향 면을 가지고, 상기 조향 부재가 접촉되기 시작하는 조향 시작 단부에 상기 조향 면과 연결된 유도 면을 가진 강제 조향 레일이 배치되며,
    상기 유도 면은 상기 제1 위치의 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 제2 위치로 이동시키도록 제1 방향 쪽으로 기울어진,
    물품 이송 설비.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 강제 조향 레일은 상기 제1 위치의 상기 조향 부재를 상기 조향 부재와의 접촉에 의하여 상기 유도 면으로 안내하도록 상기 제2 경로를 따라 형성되는 도입 면을 가진 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 조향 유닛은 구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동시키고 탄성력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 복귀시키도록 구성된 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나에 있어서,
    상기 조향 부재는 상하 방향의 축을 중심으로 회전 가능한 휠을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    물품 이송 설비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101854046B1 (ko) 2016-10-31 2018-05-02 세메스 주식회사 Oht 장치
KR101901029B1 (ko) 2016-11-29 2018-09-21 세메스 주식회사 Oht 장치
KR20180105081A (ko) 2017-03-14 2018-09-27 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20190063951A (ko) 2017-11-30 2019-06-10 세메스 주식회사 Oht 장치의 비히클
KR102037955B1 (ko) 2017-10-30 2019-11-26 세메스 주식회사 비히클 및 이를 갖는 oht 장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101854046B1 (ko) 2016-10-31 2018-05-02 세메스 주식회사 Oht 장치
KR101901029B1 (ko) 2016-11-29 2018-09-21 세메스 주식회사 Oht 장치
KR20180105081A (ko) 2017-03-14 2018-09-27 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR102037955B1 (ko) 2017-10-30 2019-11-26 세메스 주식회사 비히클 및 이를 갖는 oht 장치
KR20190063951A (ko) 2017-11-30 2019-06-10 세메스 주식회사 Oht 장치의 비히클

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