CN108373022B - 物品搬送设备 - Google Patents

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Abstract

物品搬送设备具备行驶轨道、物品搬送车、引导轨道、以及由磁性体构成的辅助轨道,行驶轨道具备第一轨道部和第二轨道部,在行驶路径的一部分,存在轨道断开区域,轨道断开区域不存在第二轨道部,物品搬送车具备行驶轮、相对于引导轨道而沿路径宽度方向接触的被接触体、以及以相对于辅助轨道而沿路径宽度方向并排的状态定位的磁铁,在单轮行驶状态下,被接触体相对于引导轨道而从宽度方向第一侧接触,在单轮行驶状态下,磁铁相对于辅助轨道而位于宽度方向第二侧。

Description

物品搬送设备
技术领域
本发明涉及物品搬送设备,该物品搬送设备具备:行驶轨道,其沿着行驶路径设置;和物品搬送车,其沿着所述行驶路径行驶于所述行驶轨道上。
背景技术
在日本特开2011-116313号公报(专利文献1)中,记载了所涉及的物品搬送设备的一个示例。关于专利文献1的物品搬送设备,行驶轨道具备互相平行地配置的第一轨道部和第二轨道部,在行驶路径的一部分,存在轨道断开区域,轨道断开区域不存在第二轨道部。当在轨道断开区域行驶时,物品搬送车从两轮行驶状态过渡至单轮行驶状态。而且,在物品搬送车,具备被接触体,被接触体相对于引导轨道而从路径宽度方向的宽度方向第一侧接触,从而当物品搬送车在轨道断开区域行驶时,单轮行驶状态的物品搬送车不翻倒。
发明内容
在如上所述的物品搬送设备中,物品搬送车的被接触体与引导轨道接触,使得物品搬送车不翻倒,在被接触体与引导轨道接触的状态下,物品搬送车沿着行驶路径行驶,由此,由于在被接触体与引导轨道之间产生的摩擦而容易产生尘埃。
于是,期望能够抑制由于在被接触体与引导轨道之间产生的摩擦而产生的尘埃的物品搬送设备的实现。
鉴于上述的物品搬送设备的特征构成在于以下这点:具备行驶轨道和物品搬送车,该行驶轨道沿着行驶路径设置,该物品搬送车沿着所述行驶路径行驶于所述行驶轨道上,
除了所述行驶轨道之外,还具备引导轨道和辅助轨道,其中,该引导轨道沿着所述行驶路径设置,该辅助轨道由磁性体构成,在与所述引导轨道不同的位置处,沿着所述行驶路径设置,所述行驶轨道具备第一轨道部和第二轨道部,在沿上下方向观看时,该第一轨道部和该第二轨道部沿与所述行驶路径交叉的路径宽度方向以一定间隔互相平行地配置,在所述行驶路径的一部分,存在轨道断开区域,该轨道断开区域不存在所述第二轨道部,在所述轨道断开区域中,所述引导轨道和所述辅助轨道与所述第一轨道部平行地配置,所述物品搬送车具备行驶轮、被接触体以及磁铁,其中,该行驶轮在所述第一轨道部和所述第二轨道部上转动,该被接触体相对于所述引导轨道而沿所述路径宽度方向接触,该磁铁相对于所述辅助轨道而以沿所述路径宽度方向并排的状态定位,以所述路径宽度方向上的所述第一轨道部侧作为宽度方向第一侧,以所述第二轨道部侧作为宽度方向第二侧,在所述物品搬送车行驶于所述轨道断开区域的单轮行驶状态下,所述被接触体相对于所述引导轨道而从所述宽度方向第一侧接触,在所述单轮行驶状态下,所述磁铁相对于所述辅助轨道而位于所述宽度方向第二侧。
依据这些特征构成,在物品搬送车行驶于轨道断开区域的情况下,由于不存在第二轨道部,因而物品搬送车成为单轮行驶状态。在该物品搬送车的单轮行驶状态下,被接触体相对于引导轨道而从宽度方向第一侧接触,由此,防止物品搬送车翻倒。
然后,在物品搬送车的单轮行驶状态下,磁铁相对于辅助轨道而位于宽度方向第二侧。即,通过磁铁的吸引力而吸引辅助轨道,由此,通过其反作用而将磁铁拉近至辅助轨道侧(宽度方向第一侧)。由此,将被接触体与磁铁一起拉近至宽度方向第一侧,被接触体的相对于引导轨道的接触压力减轻,抑制由于在被接触体与引导轨道之间产生的摩擦而产生的尘埃。
附图说明
图1是物品搬送设备的俯视图;
图2是物品搬送车的侧视图;
图3是物品搬送车的正视图;
图4是物品搬送车一直前进行驶的分支部的俯视图;
图5是物品搬送车分支行驶的分支部的俯视图;
图6是使引导辅助轮和电磁铁移动至左侧后的物品搬送车的正视图;
图7是使引导辅助轮和电磁铁移动至右侧后的物品搬送车的正视图;
图8是示出电磁铁吸附至辅助轨道后的状态的俯视图。
用于实施本发明的方式
1.实施方式
基于附图,对物品搬送装置的实施方式进行说明。
如图1至图3所示,物品搬送设备具备:行驶轨道2,其沿着行驶路径1设置;和物品搬送车3,其沿着行驶路径1行驶于行驶轨道2上。行驶轨道2由左轨道部2L和右轨道部2R的左右一对轨道部构成。此外,在本实施方式中,物品搬送车3以容纳半导体基板的FOUP(Front Opening Unified Pod,前开式统集盒)作为物品W而搬送。
如图1所示,行驶路径1具备:一个环状的主路径4;环状的副路径5,其经由多个物品处理部P;以及连接路径6,其将这些主路径4和副路径5连接。行驶路径1具备多个副路径5。在主路径4和多个副路径5中,物品搬送车3全都沿同一环绕方向(在本实施方式中,逆时针转)行驶。此外,在图1中,由箭头表示物品搬送车3的行驶方向。
作为连接路径6,具备:分支用的连接路径6,其使物品搬送车3从主路径4向副路径5分支行驶;和汇合用的连接路径6,其使物品搬送车3从副路径5向主路径4汇合行驶。
接着,对物品搬送车3进行说明。此外,将沿着行驶路径1的方向称为路径长度方向X,且将在沿上下方向Z观看时,相对于路径长度方向X而正交的方向称为路径宽度方向Y而进行说明。另外,在行驶路径1中,将物品搬送车3的行驶方向(物品搬送车3行驶的方向)称为下游侧,且将其相反侧称为上游侧而进行说明。
顺便说一下,例如,当物品搬送车3在行驶路径1的直线部1A行驶时,物品搬送车3的前后方向和行驶路径1的路径长度方向X成为同一方向,物品搬送车3的左右方向和行驶路径1的路径宽度方向Y成为同一方向。路径宽度方向Y相当于与行驶路径1交叉的宽度方向。
如图2和图3所示,物品搬送车3具备:行驶部9,其在从顶板悬挂支撑的行驶轨道2上沿着该行驶轨道2行驶;和主体部10,其位于行驶轨道2的下方,由行驶部9悬挂支撑。在主体部10,具备支撑机构13,支撑机构13升降自由地配备于主体部10,以悬挂状态支撑物品W。
作为行驶部9,具备第一行驶部9F和第二行驶部9R,第一行驶部9F和第二行驶部9R沿物品搬送车3的前后方向并排。
在第一行驶部9F,装备有由电动式的第一电动机14旋转驱动的左右一对行驶轮15。该左右一对行驶轮15以在行驶轨道2(右轨道部2R和左轨道部2L)的上表面转动的方式装备于第一行驶部9F。
另外,在第一行驶部9F,装备有左右一对引导轮16,该左右一对引导轮16围绕沿着车体上下方向的纵轴心(围绕上下轴心)旋转自由。该左右一对引导轮16以位于左轨道部2L与右轨道部2R之间且在右轨道部2R的左侧面(内侧面)和左轨道部2L的右侧面(引导面)转动的方式装备于第一行驶部9F。此外,对于左右一对引导轮16,以沿前后方向并排的状态在第一行驶部9F装备两组。
在第二行驶部9R,与第一行驶部9F同样地,装备有一组左右一对行驶轮15和两组左右一对引导轮16。
这样,物品搬送车3具备行驶轮15,行驶轮15在行驶轨道2上转动。
在第一行驶部9F和第二行驶部9R,以比行驶轮15的下端更突出至下方的状态配备联接轴17。
如图2和图3所示,第一行驶部9F的联接轴17和主体部10围绕沿着上下方向Z的纵轴心相对旋转自由地联接。第二行驶部9R的联接轴17和主体部10围绕沿着上下方向Z的纵轴心相对旋转自由地联接。因此,第一行驶部9F和第二行驶部9R相对于主体部10而围绕纵轴心摇动,由此,物品搬送车3能够沿着行驶路径1的曲线部1B行驶。
第一行驶部9F的引导轮16和第二行驶部9R的引导轮16被行驶轨道2引导,同时,第一行驶部9F的行驶轮15和第二行驶部9R的行驶轮15由第一电动机14旋转驱动,由此,物品搬送车3沿着行驶路径1行驶。
如图2所示,在第一行驶部9F,具备:旋转自由的一对引导辅助轮18,其围绕沿着上下方向Z的轴心旋转;和一对电磁铁19。一对引导辅助轮18和一对电磁铁19以比行驶轮15更位于上方的方式设置于第一行驶部9F。此外,引导辅助轮18相当于相对于引导轨道23而沿路径宽度方向Y(左右方向)接触的被接触体。另外,由一对电磁铁19构成相对于辅助轨道24而以沿路径宽度方向Y并排的状态定位的磁铁。
一对引导辅助轮18以沿前后方向并排的状态设置。一对电磁铁19以沿左右方向并排的状态设置。另外,一对电磁铁19位于沿前后方向并排的一对引导辅助轮18之间,在左右方向上,位于引导辅助轮18的宽度内。一对引导辅助轮18设置于一对电磁铁19的上下方向Z的宽度内,一对引导辅助轮18和一对电磁铁19设置于同一高度。另外,一对引导辅助轮18的各个和一对电磁铁19的各个,其至少一部分位于引导轨道23的上下宽度内,并且,位于辅助轨道24的上下宽度内。
这样,设置一对引导辅助轮18和一对电磁铁19,由此,在沿上下方向Z观看时,电磁铁19的磁极面比引导辅助轮18的外周面更远离辅助轨道24。因此,即使在通过电磁铁19的吸引力而将行驶部9拉近至存在辅助轨道24的一侧的情况下,引导辅助轮18也与辅助轨道24接触,在辅助轨道24与电磁铁19之间,形成有间隙D。
在第二行驶部9R,与第一行驶部9F同样地,配备有一对引导辅助轮18和一对电磁铁19。因此,在物品搬送车3,配备有:四个引导辅助轮18,其相对于引导轨道23而沿路径宽度方向Y接触;和四个电磁铁19,其相对于辅助轨道24而各两个以沿路径宽度方向Y并排的状态定位。而且,以沿物品搬送车3的前后方向并排的状态设置有两个以上引导辅助轮18,在本实施方式中,设置有四个引导辅助轮18。电磁铁19设置于沿前后方向并排的引导辅助轮18之间。
另外,由于配备于物品搬送车3的四个引导辅助轮18全都设置于同一高度,因而任一个引导辅助轮18都相当于最分离被接触体,最分离被接触体是相对于行驶轮15与轨道部接触的接触点而沿上下方向Z最远离的被接触体。而且,一对电磁铁19设置于与相当于最分离被接触体的被接触体相同的高度。
在第一行驶部9F,具备:支撑体20,其支撑一对引导辅助轮18和一对电磁铁19;和第二电动机21,其使支撑体20沿左右方向移动。而且,第一行驶部9F通过第二电动机21而使支撑体20沿左右方向移动,由此,使一对引导辅助轮18和一对电磁铁19一体地沿左右方向移动。
而且,第一行驶部9F通过第二电动机21而使支撑体20沿左右方向移动,由此,使一对引导辅助轮18的位置移动至第一位置(参照图4、图6)和第二位置(参照图5、图7),并且,使一对电磁铁19的位置移动至第三位置(参照图4、图6)和第四位置(参照图5、图7)。即,如图4、图6所示,通过第二电动机21而使支撑体20向行驶方向移动至左侧,由此,使一对引导辅助轮18移动至第一位置,并且,使一对电磁铁19移动至第三位置。另外,如图5、图7所示,通过第二电动机21而使支撑体20向行驶方向移动至右侧,由此,使一对引导辅助轮18移动至第二位置,并且,使一对电磁铁19移动至第四位置。
如图4、图6所示,一对引导辅助轮18的第一位置是一对引导辅助轮18比第一行驶部9F的左右方向的中央更位于左侧,相对于引导轨道23而从左侧抵接的位置。另外,第一位置是一对引导辅助轮18比第一辅助轨道24A(相对于引导轨道23而位于左侧的辅助轨道24)更位于右侧的位置。
如图5、图7所示,一对引导辅助轮18的第二位置是一对引导辅助轮18比第一行驶部9F的左右方向的中央更位于右侧,相对于引导轨道23而从右侧抵接的位置。另外,第二位置是一对引导辅助轮18比第二辅助轨道24B(相对于引导轨道23而位于右侧的辅助轨道24)更位于左侧的位置。
如图4、图6所示,一对电磁铁19的第三位置是一对电磁铁19比引导轨道23更靠近左侧且比第一辅助轨道24A更靠近右侧的位置。
如图5、图7所示,一对电磁铁19的第四位置是一对电磁铁19比引导轨道23更靠近右侧且比第二辅助轨道24B更靠近左侧的位置。
在第二行驶部9R,与第一行驶部9F同样地,具备支撑体20和第二电动机21。而且,第二行驶部9R构成为,与第一行驶部9F同样地,通过第二电动机21而使支撑体20沿左右方向移动,由此,使一对引导辅助轮18和一对电磁铁19一体地沿左右方向移动。
而且,支撑体20作为使一对引导辅助轮18和一对电磁铁19连动的连动部而起作用。伴随着一对引导辅助轮18相对于引导轨道23而移动至左侧,支撑体20使一对电磁铁19相对于辅助轨道24(第一辅助轨道24A)而移动至右侧的附近(电磁铁19对辅助轨道24的吸引力为设定值以上的位置)。另外,伴随着一对引导辅助轮18相对于引导轨道23而移动至右侧,支撑体20使一对电磁铁19相对于辅助轨道24(第二辅助轨道24B)而移动至左侧的附近(电磁铁19对辅助轨道24的吸引力为设定值以上的位置)。
接着,对行驶轨道2加以说明。行驶轨道2具备左轨道部2L和右轨道部2R。在沿上下方向Z观看时,这些左轨道部2L和右轨道部2R沿路径宽度方向Y以一定间隔互相平行地配置。如图4和图5所示,在行驶路径1的一部分(行驶路径1分支或汇合的部分),存在轨道断开区域E,轨道断开区域E不存在左轨道部2L和右轨道部2R中的一方。即,左轨道部2L和右轨道部2R沿着行驶路径1设置,但在行驶路径1分支或汇合的部分中,在轨道断开区域E中,左轨道部2L和右轨道部2R中的一方沿路径长度方向X断开而不连续。
对于左轨道部2L和右轨道部2R,在轨道断开区域E中,有时候将沿路径长度方向X断开而不连续的轨道部称为第二轨道部2B,将剩余的一方的轨道部称为第一轨道部2A。另外,有时候将路径宽度方向Y上的第一轨道部2A侧称为宽度方向第一侧,将第二轨道部2B侧称为宽度方向第二侧。
即,如图4所示,在一直前进行驶于分支部7的情况下,在轨道断开区域E中,不存在右轨道部2R。在此情况下,有时候将该右轨道部2R称为第二轨道部2B,将左轨道部2L称为第一轨道部2A。而且,有时候将路径宽度方向Y上的左侧称为宽度方向第一侧,将右侧称为宽度方向第二侧。
另外,如图5所示,在沿右方向分支行驶于分支部7的情况下,在轨道断开区域E中,不存在左轨道部2L。在此情况下,有时候将该左轨道部2L称为第二轨道部2B,将右轨道部2R称为第一轨道部2A。而且,有时候将路径宽度方向Y上的右侧称为宽度方向第一侧,将左侧称为宽度方向第二侧。
除了行驶轨道2之外,物品搬送设备还具备:非磁性体的引导轨道23,其沿着行驶路径1设置;和磁性体的辅助轨道24,其在与引导轨道23不同的位置处,沿着行驶路径1设置。在轨道断开区域E中,这些引导轨道23和辅助轨道24与第一轨道部2A平行地配置。
如图4和图5所示,在行驶路径1中的两个路径连接或交叉的部位,具备:引导轨道23,其对引导辅助轮18进行引导;和辅助轨道24,电磁铁19吸附辅助轨道24。
引导轨道23和辅助轨道24配置于轨道断开区域E。加以说明,除了轨道断开区域E之外,自轨道断开区域E起,引导轨道23和辅助轨道24设置于上游侧设定长度的区和下游侧设定长度的区。即,引导轨道23和辅助轨道24并非设置于行驶路径1的全区,而是在沿着行驶路径1的方向上,设置于不存在第二轨道部2B的轨道断开区域E。此外,轨道断开区域E可以说是不存在第二轨道部2B的区域。
引导轨道23设置成,在比行驶轨道2更靠近上方,而且,在比在该行驶轨道2上转动的行驶轮15更靠近上方,在沿上下方向Z观看时,位于左右一对轨道部(左轨道部2L和右轨道部2R)的中央部。引导轨道23由非磁性体构成。例如,引导轨道23由铝合金构成。
辅助轨道24设置于与引导轨道23相同的高度,设置成,在沿上下方向Z观看时,相对于左右一对轨道部(左轨道部2L和右轨道部2R)的中央部而位于路径宽度方向Y的一方侧或另一方侧。辅助轨道24由磁性体构成。例如,辅助轨道24由铁构成。
基于图4~图7,对于行驶轨道2,引导轨道23和辅助轨道24,以分支部7为例而加以说明。如图1和图4所示,关于该分支部7,连接路径6从主路径4分支至路径宽度方向Y的第一方向侧(右侧)。分支部7的行驶路径1具备主路径4和从该主路径4分支至第一方向侧的连接路径6。
在轨道断开区域E中,沿着主路径4配设的行驶轨道2不存在作为右侧的轨道部的右轨道部2R。因此,在物品搬送车3在分支部7沿着主路径4一直前进行驶的情况下,路径宽度方向Y的左侧成为宽度方向第一侧,路径宽度方向Y的右侧成为宽度方向第二侧。
另外,在轨道断开区域E中,沿着连接路径6配设的行驶轨道2不存在作为左侧的轨道部的左轨道部2L。因此,在物品搬送车3从主路径4分支行驶于分支部7而到达连接路径6的情况下,路径宽度方向Y的右侧成为宽度方向第一侧,路径宽度方向Y的左侧成为宽度方向第二侧。
在分支部7,存在沿着主路径4配设的引导轨道23和沿着连接路径6配设的引导轨道23。在分支部7,在沿上下方向Z观看时,引导轨道23以Y字状配设。
另外,在分支部7,设置有沿着主路径4配设的第一辅助轨道24A和沿着连接路径6配设的第二辅助轨道24B的一对辅助轨道24。第一辅助轨道24A相对于引导轨道23而设置于路径长度方向X的左侧,第二辅助轨道24B相对于引导轨道23而设置于路径长度方向X的右侧。第一辅助轨道24A和第二辅助轨道24B设置于同一高度。
省略图示,在分支部7的入口,配备有第一被检测体,在分支部7的出口,配备有第二被检测体。第一被检测体比配备于分支部7的引导轨道23或辅助轨道24更设置于上游,第二被检测体比配备于分支部7的引导轨道23或辅助轨道24更设置于下游。
而且,省略详细的说明,物品搬送车3构成为,控制部进行控制,从而伴随着检测到第一被检测体,对第二电动机21进行驱动,并且,从供电部供电至一对电磁铁19,以致引导辅助轮18位于与该物品搬送车3所行驶的路径相应的位置。而且,物品搬送车3构成为,控制部进行控制,从而伴随着检测到第二被检测体,停止从供电部对一对电磁铁19的供电。这样,在进入轨道断开区域E之前,物品搬送车3开始对电磁铁19的供电,伴随着退出轨道断开区域E,停止对电磁铁19的供电。
顺便说一下,电磁铁19的吸引力设定为如下的吸引力:在引导辅助轮18与引导轨道23接触的状态下,由于电磁铁19的吸引力的反作用而导致电磁铁19不移动至辅助轨道24侧(宽度方向第一侧)。
而且,如图4和图6所示,在使两组一对引导辅助轮18(以下,简称为引导辅助轮18)移动至第一位置且使一对电磁铁19(以下,简称为电磁铁19)移动至第三位置的状态下,行驶于主路径4的物品搬送车3进入分支部7,由此,在引导辅助轮18和电磁铁19位于引导轨道23的左侧且位于辅助轨道24的右侧的状态下,物品搬送车3行驶。即,在沿上下方向Z观看时,在引导辅助轮18和电磁铁19位于引导轨道23与第一辅助轨道24A之间的状态下,物品搬送车3行驶。
因此,引导辅助轮18被引导轨道23引导,同时,物品搬送车3在分支部7沿着主路径4一直前进行驶。
而且,当物品搬送车3在分支部7一直前进行驶时,在轨道断开区域E中,产生左右一对行驶轮15中的右侧的行驶轮15未被右轨道部2R支撑的状态(单轮行驶状态)。然而,在该单轮行驶状态下,引导辅助轮18相对于引导轨道23而从左侧接触,由此,防止物品搬送车3倾倒至右侧。另外,在该单轮行驶状态下,电磁铁19吸引辅助轨道24,由此,引导辅助轮18与引导轨道23接触的接触压力减轻。
另外,如图5和图7所示,在使引导辅助轮18移动至第二位置,且使电磁铁19移动至第四位置的状态下,行驶于主路径4的物品搬送车3进入分支部7,由此,在引导辅助轮18和电磁铁19位于引导轨道23的右侧且位于辅助轨道24的左侧的状态下,物品搬送车3行驶。即,在沿上下方向Z观看时,在引导辅助轮18和电磁铁19位于引导轨道23与第二辅助轨道24B之间的状态下,物品搬送车3行驶。
因此,引导辅助轮18被引导轨道23引导,同时,物品搬送车3在分支部7沿着主路径4分支行驶。
而且,当物品搬送车3在分支部7分支行驶时,在轨道断开区域E中,产生左右一对行驶轮15中的左侧的行驶轮15未被左轨道部2L支撑的状态(单轮行驶状态)。然而,在该单轮行驶状态下,引导辅助轮18相对于引导轨道23而从右侧接触,由此,防止物品搬送车3倾倒至左侧。另外,在该单轮行驶状态下,通过电磁铁19的吸引力而吸引辅助轨道24,由此,引导辅助轮18与引导轨道23接触的接触压力减轻。
2.其他实施方式
接着,对物品搬送设备的其他实施方式进行说明。
(1)在上述实施方式中,将四个电磁铁19配备于物品搬送车3,但配备于物品搬送车3的电磁铁19的数量也可以适当变更。另外,将四个电磁铁19沿路径宽度方向Y并排两个,将这两个电磁铁19沿路径长度方向X并排2列,但也可以将四个电磁铁19沿路径长度方向X并排等,适当变更电磁铁19的配置。另外,作为磁铁,将电磁铁19配备于物品搬送车3,但作为磁铁,也可以将永久磁铁配备于物品搬送车3。
(2)在上述实施方式中,将磁铁(四个电磁铁19)的吸引力设定为在引导辅助轮18与引导轨道23接触的状态下,由于磁铁的吸引力的反作用而导致磁铁未移动至辅助轨道24侧(宽度方向第一侧)的吸引力,但也可以将磁铁的吸引力设定为在引导辅助轮18与引导轨道23接触的状态下,由于磁铁的吸引力的反作用而导致磁铁移动至辅助轨道24侧(宽度方向第一侧)的吸引力。
(3)在上述实施方式中,将引导辅助轮18设置成位于磁铁的上下宽度内,但也可以将引导辅助轮18设置成相对于磁铁而一部分突出至上方或相对于磁铁而一部分突出至下方。另外,引导辅助轮18的整体也可以设置成从磁铁的上下宽度偏离至上方或从磁铁的上下宽度偏离至下方。
(4)在上述实施方式中,将配备于物品搬送车3的多个引导辅助轮18全都设置于同一高度,但也可以将配备于物品搬送车3的多个引导辅助轮18的一部分设置于比剩余一部分的引导辅助轮18更高的位置等,适当变更引导辅助轮18的高度。
(5)在上述实施方式中,以引导轨道23和辅助轨道24配置成以同一高度相向的构成为例而进行了说明,但不限定于这样的配置。引导轨道23和辅助轨道24也可以配置于不同的高度。在此情况下,当然,引导辅助轮18和电磁铁19配置于不同的高度。即,引导辅助轮18配置于与引导轨道23相对应的高度,电磁铁19配置于与辅助轨道24相对应的高度。
(6)在上述实施方式中,由非磁性体构成引导轨道23,但在磁铁充分远离引导轨道23的情况下,也可以由磁性体构成引导轨道23。
(7)在上述实施方式中,在进入轨道断开区域E之前,开始对电磁铁19的供电,在通过轨道断开区域E之后,停止对电磁铁19的供电,但也可以始终对电磁铁19供电。
(8)在上述实施方式中,在对磁铁供电的情况下,同时地供电至沿路径宽度方向Y并排的一对电磁铁19的双方,但在对磁铁供电的情况下,也可以仅供电至沿路径宽度方向Y并排的一对电磁铁19中的靠近辅助轨道24的一侧(宽度方向第一侧)的电磁铁19。
(9)此外,上述的各实施方式所公开的构成只要不产生矛盾,就还能够与其他实施方式所公开的构成组合而适用。关于其他构成,本说明书中所公开的实施方式也仅仅只不过是以全部点举例说明。因此,在不脱离本公开的宗旨的范围内,能够适当进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下,对在上述中说明的物品搬送设备的概要进行说明。
物品搬送设备具备:行驶轨道,其沿着行驶路径设置;和物品搬送车,其沿着所述行驶路径行驶于所述行驶轨道上,
除了所述行驶轨道之外,还具备引导轨道和辅助轨道,其中,该引导轨道沿着所述行驶路径设置,该辅助轨道由磁性体构成,在与所述引导轨道不同的位置处,沿着所述行驶路径设置,所述行驶轨道具备第一轨道部和第二轨道部,在沿上下方向观看时,该第一轨道部和该第二轨道部沿与所述行驶路径交叉的路径宽度方向以一定间隔互相平行地配置,在所述行驶路径的一部分,存在轨道断开区域,该轨道断开区域不存在所述第二轨道部,在所述轨道断开区域中,所述引导轨道和所述辅助轨道与所述第一轨道部平行地配置,所述物品搬送车具备行驶轮、被接触体以及磁铁,其中,该行驶轮在所述第一轨道部和所述第二轨道部上转动,该被接触体相对于所述引导轨道而沿所述路径宽度方向接触,该磁铁相对于所述辅助轨道而以沿所述路径宽度方向并排的状态定位,以所述路径宽度方向上的所述第一轨道部侧作为宽度方向第一侧,以所述第二轨道部侧作为宽度方向第二侧,在所述物品搬送车行驶于所述轨道断开区域的单轮行驶状态下,所述被接触体相对于所述引导轨道而从所述宽度方向第一侧接触,在所述单轮行驶状态下,所述磁铁相对于所述辅助轨道而位于所述宽度方向第二侧。
根据这样的构成,在物品搬送车行驶于轨道断开区域的情况下,由于不存在第二轨道部,因而物品搬送车成为单轮行驶状态。在该物品搬送车的单轮行驶状态下,被接触体相对于引导轨道而从宽度方向第一侧接触,由此,防止物品搬送车翻倒。
而且,在物品搬送车的单轮行驶状态下,磁铁相对于辅助轨道而位于宽度方向第二侧。即,通过磁铁的吸引力而吸引辅助轨道,由此,通过其反作用而将磁铁拉近至辅助轨道侧(宽度方向第一侧)。由此,将被接触体与磁铁一起拉近至宽度方向第一侧,被接触体的相对于引导轨道的接触压力减轻,抑制由于在被接触体与引导轨道之间产生的摩擦而产生的尘埃。
在此,适合为,所述被接触体的至少一部分位于所述辅助轨道的上下宽度内,所述引导轨道由非磁性体构成,所述磁铁的磁极面比所述被接触体的外周面更远离所述辅助轨道。
依据该构成,即使由于磁铁的吸引力的反作用而导致磁铁移动至辅助轨道侧(宽度方向第一侧),使得磁铁将要与辅助轨道接触,被接触体也比磁铁更先与辅助轨道接触。因此,能够避免磁铁与辅助轨道接触。
另外,适合为,所述被接触体以沿所述物品搬送车的行驶方向并排的状态设置两个以上,所述磁铁设置于沿所述行驶方向并排的所述被接触体之间。
依据该构成,能够使相对于磁铁而位于行驶方向的两侧的被接触体与辅助轨道接触。因此,能够防止以下这一情况:例如,在一个被接触体与辅助轨道接触的状态下,由于磁铁的吸引力的反作用而导致磁铁被拉近至辅助轨道侧,由此,物品搬送车以被接触体为中心而围绕沿着上下方向的轴心旋转。
另外,适合为,所述磁铁设置于与作为相对于所述行驶轮和所述第一轨道部接触的接触点而沿上下方向最远离的所述被接触体的最分离被接触体相同的高度或比所述最分离被接触体更相对于所述接触点而沿上下方向远离的高度。
依据该构成,将磁铁设置于与最分离被接触体相同的高度或比最分离被接触体更相对于接触点而沿上下方向远离的高度,由此,与将磁铁设置于比最分离被接触体更相对于接触点而沿上下方向靠近的位置的情况相比,能够将磁铁设置于相对于接触点而沿上下方向远离的高度。由此,由于能够增大磁铁的作用于物品搬送车的吸引力所导致的围绕接触点的旋转力矩,因而即使磁铁的吸引力相同,也能够提高使被接触体的相对于引导轨道的接触压力减轻的效果。
另外,适合为,所述物品搬送车具备使所述被接触体和所述磁铁连动的连动部,伴随着所述被接触体相对于所述引导轨道而移动至所述宽度方向第一侧,所述连动部使所述磁铁相对于所述辅助轨道而沿靠近的方向移动。
依据该构成,有时候伴随着引导轨道或辅助轨道的位置的变化而需要被接触体和磁铁的移动,但由于被接触体和磁铁通过连动部而连动,因而例如是为了使被接触体和磁铁移动而使连动部移动的单独的电动机即可等,能够谋求使被接触体和磁铁移动的构成的简化。
产业上的可利用性
本公开所涉及的技术能够利用于具备行驶轨道和物品搬送车的物品搬送设备。
符号说明
1:行驶路径
2:行驶轨道
2A:轨道部
3:物品搬送车
15:行驶轮
18:引导辅助轮(被接触体)
19:电磁铁(磁铁)
20:支撑体(连动部)
23:引导轨道
24:辅助轨道
E:轨道断开区域。

Claims (5)

1.一种物品搬送设备,具备:
行驶轨道,其沿着行驶路径设置;和
物品搬送车,其沿着所述行驶路径行驶于所述行驶轨道上;
其特征在于:
还具备:引导轨道,其沿着所述行驶路径设置;和辅助轨道,其由磁性体构成,在与所述引导轨道不同的位置处,沿着所述行驶路径设置,
所述行驶轨道具备第一轨道部和第二轨道部,在沿上下方向观看时,该第一轨道部和该第二轨道部沿与所述行驶路径交叉的路径宽度方向以一定间隔互相平行地配置,
在所述行驶路径的一部分,存在轨道断开区域,该轨道断开区域不存在所述第二轨道部,
在所述轨道断开区域中,所述引导轨道和所述辅助轨道与所述第一轨道部平行地配置,
所述物品搬送车具备:行驶轮,其在所述第一轨道部和所述第二轨道部上转动;被接触体,其相对于所述引导轨道而沿所述路径宽度方向接触;以及磁铁,其相对于所述辅助轨道而以沿所述路径宽度方向并排的状态定位,
以所述路径宽度方向上的所述第一轨道部侧作为宽度方向第一侧,以所述第二轨道部侧作为宽度方向第二侧,
在所述物品搬送车行驶于所述轨道断开区域的单轮行驶状态下,所述被接触体相对于所述引导轨道而从所述宽度方向第一侧接触,
在所述单轮行驶状态下,所述磁铁相对于所述辅助轨道而位于所述宽度方向第二侧。
2.根据权利要求1所述的物品搬送设备,其特征在于,
所述被接触体的至少一部分位于所述辅助轨道的上下宽度内,
所述引导轨道由非磁性体构成,
所述磁铁的磁极面比所述被接触体的外周面更远离所述辅助轨道。
3.根据权利要求2所述的物品搬送设备,其特征在于,
所述被接触体以沿所述物品搬送车的行驶方向并排的状态设置两个以上,
所述磁铁设置于沿所述行驶方向并排的所述被接触体之间。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的物品搬送设备,其特征在于,
所述磁铁设置于与作为相对于所述行驶轮和所述第一轨道部接触的接触点而沿上下方向最远离的所述被接触体的最分离被接触体相同的高度或比所述最分离被接触体更相对于所述接触点而沿上下方向远离的高度。
5.根据权利要求4所述的物品搬送设备,其特征在于,
所述物品搬送车具备使所述被接触体和所述磁铁连动的连动部,
伴随着所述被接触体相对于所述引导轨道而移动至所述宽度方向第一侧,所述连动部使所述磁铁相对于所述辅助轨道而移动至所述宽度方向第二侧。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113165671B (zh) * 2018-11-28 2024-02-02 村田机械株式会社 行驶车系统
JP7103265B2 (ja) * 2019-02-21 2022-07-20 株式会社ダイフク 天井搬送車
CN109785544B (zh) * 2019-03-05 2021-08-20 陕西财经职业技术学院 一种无人超市自动收银用自动扫码收款装置
CN111960109B (zh) * 2020-05-20 2021-12-14 智慧工场创新科技(东台)有限公司 一种玻璃输送装置
CN116344423B (zh) * 2023-05-29 2023-08-11 上海新创达半导体设备技术有限公司 基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5398690A (en) * 1977-02-04 1978-08-29 Furukawa Electric Co Ltd:The Continuous transportation apparatus using conveyor belt line
GB2123369A (en) * 1982-06-30 1984-02-01 Tsubakimoto Chain Co Conveying apparatus
US4593239A (en) * 1983-09-17 1986-06-03 Tsubakimoto Chain Co. Method and apparatus for controlling travel of an automatic guided vehicle
JPH10111719A (ja) * 1996-10-04 1998-04-28 Shinko Electric Co Ltd 分岐軌道を備えた搬送設備
CN101844672A (zh) * 2009-03-27 2010-09-29 株式会社大福 物品搬送设备
KR20110054177A (ko) * 2009-11-17 2011-05-25 한국기계연구원 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치
CN102530553A (zh) * 2010-11-04 2012-07-04 村田自动化机械有限公司 搬送系统以及搬送方法
CN102639380A (zh) * 2009-12-07 2012-08-15 株式会社大福 物品运送设备
CN205114337U (zh) * 2015-01-28 2016-03-30 机械科学研究总院(将乐)半固态技术研究所有限公司 自动导引子母车

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5237672B2 (zh) * 1972-02-02 1977-09-24
JP3154655B2 (ja) * 1995-12-27 2001-04-09 株式会社キトー モノレール式天井搬送車
JPH09305226A (ja) * 1996-05-16 1997-11-28 Shinko Electric Co Ltd 走行台車装置
US6629502B2 (en) * 2000-09-14 2003-10-07 Daifuku Co., Ltd. Conveyance system
JP4265266B2 (ja) * 2003-04-15 2009-05-20 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 有軌道搬送装置
JP4120877B2 (ja) * 2003-12-26 2008-07-16 村田機械株式会社 有軌道台車システム
KR101340833B1 (ko) * 2006-12-29 2013-12-11 엘지디스플레이 주식회사 반송 장치
DE102008020052B4 (de) * 2008-04-22 2010-10-07 Ceratis Gmbh Werkstückträgereinrichtung sowie Fördersystem
JP5310784B2 (ja) * 2011-05-16 2013-10-09 村田機械株式会社 有軌道台車システム
JP5527619B2 (ja) * 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
JP5630661B2 (ja) * 2011-12-19 2014-11-26 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
JP5590422B2 (ja) * 2012-06-13 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR101419358B1 (ko) * 2012-12-26 2014-07-16 주식회사 에스에프에이 반송시스템
KR101530028B1 (ko) * 2013-10-18 2015-06-19 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템
JP6168476B2 (ja) * 2015-03-19 2017-07-26 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
JP6278341B2 (ja) * 2015-04-06 2018-02-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR101686053B1 (ko) * 2015-12-07 2016-12-13 비앤에스(주) 레일 전환 모듈
JP6686834B2 (ja) * 2016-10-12 2020-04-22 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5398690A (en) * 1977-02-04 1978-08-29 Furukawa Electric Co Ltd:The Continuous transportation apparatus using conveyor belt line
GB2123369A (en) * 1982-06-30 1984-02-01 Tsubakimoto Chain Co Conveying apparatus
US4593239A (en) * 1983-09-17 1986-06-03 Tsubakimoto Chain Co. Method and apparatus for controlling travel of an automatic guided vehicle
JPH10111719A (ja) * 1996-10-04 1998-04-28 Shinko Electric Co Ltd 分岐軌道を備えた搬送設備
CN101844672A (zh) * 2009-03-27 2010-09-29 株式会社大福 物品搬送设备
KR20110054177A (ko) * 2009-11-17 2011-05-25 한국기계연구원 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치
CN102639380A (zh) * 2009-12-07 2012-08-15 株式会社大福 物品运送设备
CN102530553A (zh) * 2010-11-04 2012-07-04 村田自动化机械有限公司 搬送系统以及搬送方法
CN205114337U (zh) * 2015-01-28 2016-03-30 机械科学研究总院(将乐)半固态技术研究所有限公司 自动导引子母车

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