JPS63287303A

JPS63287303A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPS63287303A
Application number: JP11893787A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Ito; 高廣伊藤; Ryuichi Matsuda; 隆一松田
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1987-05-18
Filing date: 1987-05-18
Publication date: 1988-11-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、分岐機構について改良した磁気浮上搬送装置
に関する。

〔従来の技術〕

磁気浮上装置の分岐装置で代表的なものは、磁気浮上鉄
道の分岐装置である。−例として、西ドイツのトランス
ラピッドで使用されている分岐部を第４図に示す。これ
は、分岐する方向に軌道可動部１が移動して軌道が切り
替わる機構である。

２は軌道固定部である。ところが、この機構では機械的
摺動部分があり、クリーンルーム内の搬送装置に応用す
る場合、磁気浮上方式の無発塵性を生かせないという問
題があった。

そこで、第５図及び第６図に示すような機構のものが提
案されている。これは、搬送路３に２６台（組み）のリ
ニア誘導電動機（ＬＩＭ）を設置し、搬送車４にそのＬ
ＩＭの二次誘導体である導電性材料の板５を取り付けた
ものである。この搬送車４はガイドレール６に沿って設
置されているＬＩＭ−次側固定子７との相互作用による
推力／制動力で非接触駆動される。ガイドレール６の下
面とＬＩＭ固定子鉄心の下面は同一平面となるように配
置されている。

これにより、搬送路３の分岐部分３ａに横方向への力が
発生するようなＬＩＭ固定子鉄心７ａを配置して機械的
な可動部のない非接触分岐が可能となっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような分岐方法を使用できる前提は
、軌道全てにわたって水平方向の非接触支持制御を積極
的に行わないことである。このために、直線路での高速
走行時の搬送車の水平方向安定性に問題がある。

本発明は以上のような点に鑑みてなされたものであり、
その技術的課題は、分岐、進行共に発塵性を無くし、同
時に走行時の水平方向の安定性もｂｉ保することである
。

〔問題点を解決するための手段〕

このために本発明の磁気浮上搬送装置は、磁気浮上方式
の搬送車の進行方向の両側に水平方向案内制御用の電磁
石を設けると共に、磁性体で成る軌道の分岐部の内側の
両側に磁石を設け、上記分岐部において、進行方向の一
方の側で対抗する上記磁石と上記電磁石の組みと他方の
側で対抗する上記磁石と上記電磁石の組みのいずれか一
方の磁気力を選択することにより上記搬送車を通常の方
向に搬送させ、他方の磁気力を選択することにより分岐
方向に搬送させるようにした。

〔作用〕

このように構成することにより、進行・分岐共に磁気力
の積極的作用によって制御されることになるので、装置
全体の無接触・無発塵を実現でき、また水平方向の安定
性も確保することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について説明する。第１図はクリ
ーンルーム内のウェハ搬送装置の分岐装置を示す図、第
２図はその第１図のＡ−Ａラインに沿った断面図、第３
図は軌道構成図である。

１０は搬送車であり、その上面に浮上用電磁石１１．１
１°、水平方向案内用電磁石１２．１２“及び軌道マー
クセンサ１３が設けられ、両側にはギャップセンサ１４
．１４′が設けられている。

そして、制御回路（図示せず）との組み合わせにより、
軌道１５の内壁１６或いは１６°との間のギャップが一
定となるように制御される。

軌道１５は天井から吊り下げる形式で、材質は磁性体で
あり、断面形状は搬送車１０の上記した電磁石１１．１
１°、１２．１２′を包み込む形である。そして、第３
図に示すようなエンドレスを基本とし、搬送車１０はす
べて右回り　（矢印ａ方向口り）に移動する。この搬送
車１０は走行中に軌道１５側からの給電を不必要とする
ために、バッテリ駆動を採用している。このため、軌道
１５には四隅に充電基地１５ａ〜１５ｄが設けられてい
る。そして、この充電基地１５ａ〜１５ｄとエンドレス
部分１５ｅとの間に分岐部が形成されている。

そして、第１図に示す分岐部分では、分岐手前に軌道マ
ーク１７ａ、分岐後の充電基地方向軌道に軌道マーク１
７ｂ、分岐部分を過ぎた周回方向の軌道に軌道マーク１
７Ｃが設けられ、またその分岐部の外側には分岐案内用
永久磁石１８が、内側には周回案内用永久磁石１８’が
設けられ、これら永久磁石１８．１８°は案内壁を構成
している。

１９．１９１．２０，２０’、２１．２１′は搬送車１
０に設けられた停電用の補助輪であり、また２２．２２
’はその補助輪２０．２０“を受けるレールである。ま
た、分岐部ではこのレール２２．２２′の片側が途切れ
るので、この区間のみ搬送車１０の下部すれすれにレー
ル２３が設置されている。

さて、搬送車１０は、通常の走行時には軌道１５の内側
の内壁１６′との間のギャップが一定となるように電磁
石１２．１２′が制御されて周回走行を行う。一方、充
電基地への分岐の際には、軌道マーク１７ａを軌道マー
クセンサ１３が検知することにより、外側（第１図では
左側）の内壁１６との間のギャップが一定となるような
制御に切り換えられる。よって、搬送車１０は分岐側に
入ることになる。このように、軌道・電磁石間のギャッ
プが常に一定になるように磁力が制御されるのである。

そして、このような軌道形状を採用し、天井吊り下げ型
とすることにより、地上物の邪魔とならず、また分岐部
において軌道に通過のための切り込みを入れる必要がな
（、軌道の形が単純となる。

また、主な電磁石は搬送車１０側に配置したので、軌道
を簡易にすことができ、全体のコストを抑えることがで
きる。更に、周回走行時及び分岐時共に左右のギヤツブ
をアクティブに制御するので、直線高速走行時の安定性
が確保される。更に、上記のように分岐部では、軌道側
の案内板を磁石とし、軌道に設置した分岐方向指示器、
つまり軌道マークの指示を搬送車のセンサが読み取って
分岐部のみの案内用ギャップセンサを働かせるので、切
換が確実となる。搬送車側電磁石の極性を変えるように
すれば、引力や斥力も発生させることができ、片側のみ
の案内で済むようになる。

なお、分岐部の永久磁石１８．１８１は、これを電磁石
に代えれば、より強い磁界が得られるので、より急な曲
線部分でも周回（旋回）することができるようになる。

〔発明の効果〕

以上から明らかなように、本発明によれば、分岐部にお
ける分岐制御が左右の磁気力の選択で行われるので、そ
の分岐部と直線部の誘導方式を非接触・無摺動の方式で
統一することができる。このため、無発塵、無騒音の移
送システムを実現でき、また機械的動作部がないので保
守も容易で信頼性も向上する利点がある。

また、左右方向の位置を水平方向案内制御用電磁石でア
クティブに制御する方式であるので、直進、曲線、分岐
部と統一的に制御でき、直進時の走行安定性も確保され
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気浮上搬送装置の分岐装
置の平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線に沿った断面図
、第３図は本実施例の軌道の構成図、第４図は従来の磁
気浮上鉄道の分岐部の構成図、第５図は従来の磁気浮上
装置の搬送路の平面図、第６図はその搬送路の断面図で
ある。１・・・軌道可動部、２・・・軌道固定部、３・・・搬
送路、４・・・搬送車、５・・・二次導体、６・・・ガ
イドレール、７・・・ＬＩＭ−次側固定子、１０・・・搬送車、１１．１１“・・・浮上用電磁石、
１２．１２°・・・水平方向案内用電磁石、１３・・・
軌道マークセンサ、１４．１４”・・・ギャップセンサ
、１５・・・軌道、１６．１６“・・・軌道の内壁、１
７ａ〜１７ｃ・・・軌道マーク、１８．１８′・・・分
岐部案内用永久磁石、１９．１９”、２ｏ、２０’、２
１２１’・・・停電用補助輪、２２．２２°・・・レー
ル、２３・・・停電用補助軌道。代理人　弁理士　長　尾　常　明第１図第３図第４図第５図第６°図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、磁気浮上方式の搬送車の進行方向の両側に水平
方向案内制御用の電磁石を設けると共に、磁性体で成る
軌道の分岐部の内側の両側に磁石を設け、上記分岐部に
おいて、進行方向の一方の側で対抗する上記磁石と上記
電磁石の組みと他方の側で対抗する上記磁石と上記電磁
石の組みのいずれか一方の磁気力を選択することにより
上記搬送車を通常の方向に搬送させ、他方の磁気力を選
択することにより分岐方向に搬送させるようにしたこと
を特徴とする磁気浮上搬送装置。