KR20210025882A - 대상물 이송 시스템 및 방법 - Google Patents

대상물 이송 시스템 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20210025882A
KR20210025882A KR1020190105835A KR20190105835A KR20210025882A KR 20210025882 A KR20210025882 A KR 20210025882A KR 1020190105835 A KR1020190105835 A KR 1020190105835A KR 20190105835 A KR20190105835 A KR 20190105835A KR 20210025882 A KR20210025882 A KR 20210025882A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transfer
port
unit
time
transfer unit
Prior art date
Application number
KR1020190105835A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102264858B1 (ko
Inventor
이남희
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190105835A priority Critical patent/KR102264858B1/ko
Publication of KR20210025882A publication Critical patent/KR20210025882A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102264858B1 publication Critical patent/KR102264858B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 대상물 이송 시스템은, 주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛과, 바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트 및 상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.

Description

대상물 이송 시스템 및 방법{System and method of Apparatus for transferring a carrier}
본 발명은 대상물 이송 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 시스템 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 시스템에 의해 이송된다.
상기 대상물 이송 시스템은 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일을 따라 주행하는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛의 주행과 상기 대상물의 이적재를 제어하는 제어 유닛을 포함한다.
상기 제어 유닛의 제어에 따라 상기 이송 유닛이 제1 포트의 상기 대상물을 제2 포트로 이송한다. 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 이송하는 도중 상기 이송 유닛의 정체가 발생할 수 있다. 이 경우, 상기 정체가 해소된 후 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 이송하게 된다.
상기 정체로 인해 상기 대상물을 이송하는데 소요되는 시간이 늘어나고, 상기 대상물의 이송 효율이 저하될 수 있다.
본 발명은 이송 유닛의 정체시에 대상물을 신속하게 이송할 수 있는 대상물 이송 시스템 및 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 대상물 이송 시스템은, 주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛과, 바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트 및 상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제어 유닛은, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 이송 유닛으로 전달하고 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물이 이송되도록 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동형 이송 포트는, 상기 대상물을 지지하는 지지부 및 상기 지지부를 고정하며, 상기 바닥면을 따라 주행하는 주행부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이동형 이송 포트는, 상기 지지부로 상기 대상물을 로딩하거나 상기 지지부의 대상물은 언로딩하기 위한 이송부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 이송 방법은, 제1 이송 유닛이 주행 레일을 따라 주행하면서 제1 포트의 대상물을 이송하는 단계와, 상기 제1 이송 유닛의 정체 시간을 판단하는 단계 및 상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제1 이송 유닛이 대상물을 바닥면을 따라 주행하는 이동형 이송 포트로 전달하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 정체 시간이 상기 기준 시간 이하인 경우, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하는 단계 이후에, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하는 단계 및 상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 대상물 이송 방법은, 상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하는 단계 및 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 대상물 이송 시스템 및 방법에 따르면, 상기 제1 포트의 대상물을 이송하는 이송 유닛이 정체되더라도 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하여 상기 제2 포트로 이송한다.
상기 이송 유닛의 정체시에도 상기 대상물을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물의 이송 효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛과 이동형 이송 포트를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 시스템을 이용한 대상물 이송을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 블록도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 유닛과 이동형 이송 포트를 설명하기 위한 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 대상물 이송 시스템을 이용한 대상물 이송을 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 대상물 이송 시스템(400)은 이송 유닛(100), 이동형 이송 포트(200) 및 제어 유닛(300)을 포함할 수 있다.
상기 이송 유닛(100)은 주행 레일(10)을 따라 주행하며, 제1 포트(30)의 대상물(20)을 제2 포트(30)로 이송한다.
구체적으로, 상기 이송 유닛(100)은 주행부(110), 프레임부(120), 슬라이드부(130), 호이스트부(140) 및 핸드부(150)를 포함한다.
상기 주행부(110)는 상기 이송 유닛(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 이송 유닛(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예를 들면, 상기 이송 유닛(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 상기 주행부(110)는 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 이송 유닛(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임부(120)는 상기 주행부(110)가 하부면에 고정된다. 상기 프레임부(120)는 상기 캐리어(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 캐리어(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임부(120)는 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드부(130)는 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 호이스트부(140)를 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부(140)는 상기 프레임부(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
구체적으로, 상기 슬라이드부(130)는 가이드 레일, 이동 블록, 제1 고정 브래킷 및 제2 고정 브래킷을 포함할 수 있다.
상기 가이드 레일은 상기 Y축 방향을 따라 배치된다. 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록은 상기 가이드 레일을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 가이드 레일 및 상기 이동 블록은 LM 가이드일 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)의 내측 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 프레임부(120)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제1 고정 브래킷은 상기 가이드 레일을 고정한다.
상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 호이스트부(140)와 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 제2 고정 브래킷은 상기 이동 블록과 결합된다.
한편, 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 회전시킬 수 있다.
상기 호이스트부(140)는 상기 슬라이드부(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트부(140)는 상기 핸드부(150)를 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부(140)는 다수의 벨트(142)들로 상기 핸드부(150)를 고정한다. 상기 호이스트부(140)는 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드부(150)를 승강시킬 수 있다.
상기 핸드부(150)는 상기 벨트(142)의 단부에 고정된다. 상기 슬라이드부(130)는 상기 핸드부(150)를 상기 Y축 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 핸드부(150)를 회전시킬 수 있다. 상기 호이스트부(140)는 상기 핸드부(150)를 상기 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 핸드부(150)는 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향 이동 및 회전이 가능하다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 핸드 유닛(150)은 상기 대상물(20)을 파지하기 위한 그리퍼들과 상기 대상물(20)을 감지하기 위한 센서를 포함할 수 있다.
상기 대상물(20)은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
상기 이동형 이송 포트(200)는 바닥면을 따라 주행하며, 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다. 상기 이송 유닛(100)이 주행 중 장애 등으로 인해 정체가 발생하는 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)으로부터 상기 대상물을 전달받아 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다.
구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)는 지지부(210) 및 주행부(220)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(210)는 상기 이동형 이송 포트(200)의 상부면에 구비되며, 상기 대상물(20)을 지지한다.
상기 주행부(220)는 상기 지지부(210)를 고정하며, 상기 이동형 이송 포트(200)를 상기 바닥면을 따라 이동시킨다. 상기 주행부(220)의 양 측면에 바퀴(222)가 구비된다. 상기 바퀴(222)는 별도의 구동부에 의해 회전한다.
상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)의 주행 경로를 따라 주행할 수 있다. 이와 달리, 상기 이동형 이송 포트(200)는 상기 이송 유닛(100)의 주행 경로와 무관하게 다양한 경로를 따라 주행할 수 있다.
상기 이동형 이송 포트(200)는 이송부(230)를 더 포함할 수 있다. 상기 이송부(230)는 상기 지지부(210) 상에 배치되거나, 상기 지지부(210)의 일측에 배치될 수 있다.
상기 이송부(230)는 상기 지지부(210)로 상기 대상물(20)을 로딩하거나 상기 지지부(210)의 대상물(20)은 언로딩할 수 있다. 즉, 이송부(230)는 상기 지지부(210)와 상기 이송 유닛(100) 사이에서 상기 대상물(20)을 이송하거나, 상기 지지부(210)와 상기 제2 포트(40) 사이에서 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다.
구체적으로, 상기 이송부(230)는 포크(232) 및 포크 구동부(234)를 포함할 수 있다.
상기 포크(232)는 수평 방향, 예를 들면, 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 포크(232)는 상기 지지부(210)로 상기 대상물(20)을 로딩하거나 상기 지지부(210)의 대상물(20)은 언로딩할 수 있다.
상기 포크 구동부(234)는 상기 포크(232)를 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 포크(232)를 상기 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.
이와 달리 상기 이송부(230)는 상기 X축 방향, 상기 Y축 방향 및 상기 Z축 방향으로 이동 및 회전이 가능한 로봇 암일 수 있다.
상기 제어 유닛(300)은 상기 이송 유닛(100) 및 상기 이동형 이송 포트(200)와 통신을 통해 연결되며, 상기 이송 유닛(100) 및 상기 이동형 이송 포트(200)의 동작을 제어할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제1 포트(30)에서 상기 제2 포트(40)로 이송하는 도중에 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체가 발생하면, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)으로부터 정체 시간에 대한 정보를 전달받는다.
상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하도록 상기 이송 유닛(100)과 상기 이동형 이송 포트(200)를 제어한다.
구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 제1 이송 유닛(100a)의 하부로 이동한 후, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(10)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 하강시켜 상기 대상물(20)을 전달할 수 있다.
상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 상기 기준 시간과 같거나 짧은 경우, 상기 제어 유닛(300)은 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 직접 이송하도록 제어한다.
상기 대상물(20)이 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달되면, 상기 제어 유닛(300)은, 상기 이동형 이송 포트(200)가 주행하여 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물(20)이 이송되도록 제어한다.
상기 제어부(300)는 상기 이동형 이송 포트(200), 상기 제2 포트(40) 및 상기 제2 이송 유닛(100b)의 위치, 상기 이동형 이송 포트(200)의 이송 경로, 상기 제2 이송 유닛(100b)의 이송 경로 등을 이용하여 상기 제1 시간과 상기 제2 시간을 연산할 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다.
상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달한 후, 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다.
상기 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송하는 상기 이송 유닛(100)이 정체되더라도 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하여 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 시스템(400)이 상기 대상물(20)을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물(20)의 이송 효율이 향상될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 대상물 이송 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저 제1 이송 유닛(100a)이 주행 레일(10)을 따라 주행하면서 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송한다. (S110)
구체적으로, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 제1 포트(30)의 상방으로 이동하여 핸드 유닛(150)으로 상기 대상물(20)을 고정한 후, 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다.
상기 대상물(20)을 이송하는 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간을 판단한다. (S120)
상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간과 같거나 상기 기준 시간 미만인 경우, 상기 정체 시간이 상대적으로 짧다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달하지 않고 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 직접 이송한다.
상기 제1 이송 유닛(100a)의 상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 정체 시간이 상대적으로 길다. 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 정체가 해소되기를 기다린 후 상기 대상물(20)을 이송하는 경우, 상기 대상물(20)의 이송이 지연될 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달한다. (S140)
구체적으로, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 이송 유닛(100)의 하부로 이동한 후, 상기 이송 유닛(100)이 상기 대상물(10)을 상기 이동형 이송 포트(200)로 하강시켜 상기 대상물(20)을 전달할 수 있다.
상기 이동형 이송 포트(200)는 바닥면을 따라 주행하므로, 상기 제1 이송 유닛(100a)의 정체와 상관없이 상기 대상물(20)을 이송할 수 있다.
상기 대상물(20)이 상기 이동형 이송 포트(200)로 전달되면, 상기 이동형 이송 포트(200)가 주행하여 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛(100b)으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛(100b)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교한다.(S150)
상기 제1 시간과 상기 제2 시간은 상기 이동형 이송 포트(200), 상기 제2 포트(40) 및 상기 제2 이송 유닛(100b)의 위치, 상기 이동형 이송 포트(200)의 이송 경로, 상기 제2 이송 유닛(100b)의 이송 경로 등을 이용하여 산출될 수 있다.
상기 제1 시간 및 상기 제2 시간의 비교는 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 이송하면서 이루어질 수도 있다.
상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. (S160)
상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트(200)가 상기 대상물(20)을 상기 제2 이송 유닛(100b)으로 전달한다. (S170)
이후, 상기 제2 이송 유닛(100a)이 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. (S180)
상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 이송하므로, 상기 대상물(20)을 상기 제2 포트(40)로 신속하게 이송할 수 있다.
상기 대상물 이송 방법에 따르면, 상기 제1 포트(30)의 대상물(20)을 이송하는 상기 제1 이송 유닛(100a)이 정체되더라도 상기 이동형 이송 포트(200)를 이용하여 상기 대상물을 상기 제2 포트(40)로 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물 이송 방법을 이용하여 상기 대상물(20)을 신속하게 이송할 수 있고, 상기 대상물(20)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 대상물 이송 시스템 및 방법에 따르면 상기 이송 유닛이 정체되더라도 상기 이동형 이송 포트를 이용하여 상기 대상물을 신속하게 이송할 수 있다. 따라서, 상기 대상물의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 주행 레일 20 : 대상물
30 : 제1 포트 40 : 제2 포트
100 : 이송 유닛 100a : 제1 이송 유닛
100b : 제2 이송 유닛 110 : 주행부
120 : 프레임부 130 : 슬라이드부
140 : 호이스트부 150 : 핸드부
200 : 이동형 이송 포트 210 : 지지부
220 : 주행부 230 : 이송부
232 : 포크 234 : 포크 구동부
300 : 제어 유닛 400 : 대상물 이송 시스템

Claims (8)

  1. 주행 레일을 따라 주행하며 제1 포트의 대상물을 이송하기 위한 이송 유닛;
    바닥면을 따라 주행하며, 상기 이송 유닛이 주행 중 정체가 발생하는 경우 상기 이송 유닛으로부터 상기 대상물을 전달받아 이송하는 이동형 이송 포트; 및
    상기 이송 유닛의 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하도록 상기 이송 유닛과 상기 이동형 이송 포트를 제어하는 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 이송 유닛으로 전달하고 상기 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하고, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 중 짧은 시간이 소요되는 경로를 따라 상기 대상물이 이송되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 이동형 이송 포트는,
    상기 대상물을 지지하는 지지부; 및
    상기 지지부를 고정하며, 상기 바닥면을 따라 주행하는 주행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이동형 이송 포트는,
    상기 지지부로 상기 대상물을 로딩하거나 상기 지지부의 대상물은 언로딩하기 위한 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 시스템.
  5. 제1 이송 유닛이 주행 레일을 따라 주행하면서 제1 포트의 대상물을 이송하는 단계;
    상기 제1 이송 유닛의 정체 시간을 판단하는 단계; 및
    상기 정체 시간이 기 설정된 기준 시간을 초과하는 경우, 상기 제1 이송 유닛이 대상물을 바닥면을 따라 주행하는 이동형 이송 포트로 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 정체 시간이 상기 기준 시간 이하인 경우, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 이동형 이송 포트로 전달하는 단계 이후에,
    상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제1 시간과 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하고 상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는데 소요되는 제2 시간을 비교하는 단계; 및
    상기 제1 시간이 상기 제2 시간과 같거나 상기 제2 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제2 시간이 상기 제1 시간보다 짧은 경우, 상기 이동형 이송 포트가 상기 대상물을 정체 해제 위치에 있는 제2 이송 유닛으로 전달하는 단계; 및
    상기 제2 이송 유닛이 상기 대상물을 상기 제2 포트로 이송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 방법.
KR1020190105835A 2019-08-28 2019-08-28 대상물 이송 시스템 및 방법 KR102264858B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190105835A KR102264858B1 (ko) 2019-08-28 2019-08-28 대상물 이송 시스템 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190105835A KR102264858B1 (ko) 2019-08-28 2019-08-28 대상물 이송 시스템 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210025882A true KR20210025882A (ko) 2021-03-10
KR102264858B1 KR102264858B1 (ko) 2021-06-14

Family

ID=75148021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190105835A KR102264858B1 (ko) 2019-08-28 2019-08-28 대상물 이송 시스템 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102264858B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120101781A (ko) * 2011-03-07 2012-09-17 재단법인 포항산업과학연구원 화물 운송 구조
KR20120106618A (ko) * 2011-03-17 2012-09-26 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20150072840A (ko) * 2013-12-20 2015-06-30 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법
KR20190082290A (ko) * 2016-11-14 2019-07-09 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120101781A (ko) * 2011-03-07 2012-09-17 재단법인 포항산업과학연구원 화물 운송 구조
KR20120106618A (ko) * 2011-03-17 2012-09-26 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 설비
KR20150072840A (ko) * 2013-12-20 2015-06-30 주식회사 에스에프에이 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법
KR20190082290A (ko) * 2016-11-14 2019-07-09 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102264858B1 (ko) 2021-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101862731B1 (ko) 물품 반송 설비
KR100743194B1 (ko) 이송시스템
US9991143B2 (en) Carrier transport system and transport method
JP2018070327A (ja) 物品搬送設備
US10153189B2 (en) Carrier buffering device and buffering method
KR102478040B1 (ko) 집적회로 소자 제조용 이송 장치
JP2007096140A (ja) 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
KR102486892B1 (ko) 용기 반송 설비
JP2009505417A (ja) テストハンドラー
KR102259283B1 (ko) 대상물 이송 장치
JP2007096145A (ja) 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
KR20190009371A (ko) 반송 시스템
KR20180028940A (ko) 물품 반송 장치
JP5966588B2 (ja) カゴ台車用移載装置
KR20200100982A (ko) 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치
JP7215457B2 (ja) 物品搬送設備
JP4127138B2 (ja) 搬送システム
KR102264858B1 (ko) 대상물 이송 시스템 및 방법
CN116354086A (zh) 传送装置和传送方法
US20210362949A1 (en) Article Transport Facility
KR20210116999A (ko) 천장 반송 장치
KR102578557B1 (ko) 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법
KR102231176B1 (ko) 물품 이송 장치
KR102246806B1 (ko) 캐리어 이송 장치
KR102221114B1 (ko) 천장 반송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant