KR102259283B1 - 대상물 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 대상물 이송 장치는, 제1 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수평 방향 및 상하 방향으로 이송하는 제1 비히클과, 상기 제1 레일의 하방에 배치되는 제2 레일을 따라 주행하며, 상기 대상물을 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송하는 제2 비히클 및 상기 제2 레일의 상기 수평 방향 측면에 배치되며, 상기 제1 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제1 높이 및 상기 제2 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제2 높이 사이에서 상기 대상물을 상기 상하 방향으로 이송하는 승강 유닛을 포함할 수 있다.

Description

대상물 이송 장치{Object transport apparatus}
본 발명은 대상물 이송 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 이송하기 위한 대상물 이송 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정 설비들은 연속적으로 배치되어 반도체 소자를 제조하기 위한 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 대상물 이송 장치에 의해 이송된다.
상기 대상물 이송 장치는 상기 반도체 공정 설비들이 구비된 공간에 구비된 주행 레일과 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함할 수 있다.
상기 주행 레일은 단층으로 이루어지거나, 복층으로 이루어질 수 있다. 상기 주행 레일이 제1 레일과 제2 레일이 상하로 구비되는 경우, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 사이에서 상기 비히클을 승강시키기 위한 리프트가 구비될 수 있다.
상기 리프트는 챔버 내부에 상기 제1 레일 또는 상기 제2 레일과 연결되며 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일을 승강시켜 상기 비히클을 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 사이에서 이송한다.
상기 비히클을 지지하는 상기 서포트 레일을 승강시키기 위해 상기 리프트는 구조가 복잡하므로, 상기 리프트의 크기가 크고 무게는 무거울 수 있다. 따라서, 상기 리프트를 설치하거나 유지 보수에 어려움이 있고, 상기 리프트 구동시 소음과 진동이 크게 발생할 수 있다.
본 발명은 상하로 배치된 제1 레일 및 제2 레일의 비히클들 사이에서 대상물을 이송할 수 있는 대상물 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 대상물 이송 장치는, 제1 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수평 방향 및 상하 방향으로 이송하는 제1 비히클과, 상기 제1 레일의 하방에 배치되는 제2 레일을 따라 주행하며, 상기 대상물을 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송하는 제2 비히클 및 상기 제2 레일의 상기 수평 방향 측면에 배치되며, 상기 제1 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제1 높이 및 상기 제2 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제2 높이 사이에서 상기 대상물을 상기 상하 방향으로 이송하는 승강 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 대상물을 지지하며, 상기 제1 높이와 상기 제2 높이 사이에서 이동 가능하도록 구비되는 지지부 및 상기 지지부를 상기 상하 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 구동부에서 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이에 각각 구비되며, 상기 지지부가 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에 정확하게 위치하도록 상기 지지부를 감지하는 제1 센서들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 지지부의 상부면에 구비되며, 상기 대상물이 상기 지지부에 놓여지는지 여부를 감지하는 제2 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 레일은 상기 제1 레일의 수직 하방에 위치하고, 상기 제1 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 제1 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하고, 상기 제2 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은 상기 제1 레일의 수직 하방에 위치하고, 상기 제1 비히클은 하방으로 이동하여 상기 제1 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하고, 상기 제2 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩할 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 이송 장치는, 제1 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수평 방향 및 상하 방향으로 이송하는 제1 비히클과, 상기 제1 레일의 수직 하방에 배치되며, 상기 대상물을 지지하는 버퍼 유닛 및 제2 레일을 따라 주행하며, 상기 버퍼 유닛의 상기 수평 방향 측면에 배치되어 상기 대상물을 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송하는 제2 비히클을 포함하고, 상기 제1 비히클은 상기 상하 방향으로 이동하면서 상기 버퍼 유닛과 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하고, 상기 제2 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 버퍼 유닛과 상기 대상물을 로딩 및 언로딩함으로써 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클 사이에서 상기 대상물을 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 버퍼 유닛은, 상기 대상물을 지지하는 지지부 및 상기 지지부의 상부면에 구비되며, 상기 대상물이 상기 지지부에 놓여지는지 여부를 감지하는 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 대상물 이송 장치는 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클 사이에서 상기 승강 유닛 또는 상기 버퍼 유닛을 이용하여 상기 대상물만을 이송하므로, 종래의 리프트에 비해 상기 승강 유닛 또는 상기 버퍼 유닛의 크기와 무게를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 승강 유닛 또는 상기 버퍼 유닛의 설치와 유지 보수가 편리하고, 상기 승강 유닛이 상기 대상물의 이송시 발생하는 소음과 진동을 줄일 수 있다.
또한, 상기 승강 유닛 또는 상기 버퍼 유닛의 개수를 증가시킬 수 있으므로, 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클 사이에서 상기 대상물의 이송량을 증가시킬 수 있고, 상기 대상물 이송 장치의 공간 활용도를 높일 수 있다.
그리고, 상기 대상물 이송 장치는 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클을 분리하여 운영할 수 있으므로, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 대상물 이송 장치(100)는 제1 레일(110), 제1 비히클(120), 제2 레일(130), 제2 비히클(140) 및 승강 유닛(150)을 포함할 수 있다.
상기 제1 레일(110)은 반도체 공정 설비들이 구비된 공간을 따라 구비된다. 상기 제1 레일(110)은 상기 공간의 천장에 고정될 수 있다.
상기 제1 비히클(120)은 상기 제1 레일(110)을 따라 주행하며, 대상물(10)의 이적재를 위해 수평 방향 및 상하 방향으로 이송할 수 있다. 상기 대상물(10)은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
구체적으로 상기 제1 비히클(120)은 제1 주행 유닛(122) 및 제1 이송 유닛(124)을 포함할 수 있다.
상기 제1 주행 유닛(122)은 상기 제1 레일(110)을 따라 주행한다. 상기 제1 주행 유닛(122)은 상기 제1 비히클(120)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향 양측에 주행 휠들을 갖는다. 상기 제1 주행 유닛(122)에는 상기 주행 휠들을 구동시키기 위한 구동부가 구비될 수 있다.
상기 제1 이송 유닛(124)은 상기 제1 주행 유닛(122)과 연결되며, 상기 대상물(10)을 파지하여 이송한다.
상기 제1 이송 유닛(124)은 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부 및 핸드부를 포함할 수 있다.
상기 프레임부는 상기 제1 주행 유닛(122)의 하부에 고정되며, 상기 대상물(10)을 상기 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시키기 위해 하방과 상기 수평 방향 측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드부는 상기 프레임부의 내부 상면에 구비되며, 상기 호이스트부를 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 상기 호이스트부는 상기 슬라이드부의 하부면에 고정된다. 상기 호이스트부는 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 핸드부를 상하 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 핸드부는 상기 벨트의 단부에 고정되며 상기 대상물(10)을 파지할 수 있다.
상기 대상물(10)은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 상기 상하 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 제1 이송 유닛(124)은 상기 대상물(10)을 이적재할 수 있다.
상기 제2 레일(130)은 상기 제1 레일(110)의 수직 하방에 구비된다. 상기 제2 레일(110)은 상기 천장에 고정되거나, 상기 제1 레일(110)에 고정될 수 있다.
상기 제2 비히클(140)은 상기 제2 레일(130)을 따라 주행하며, 상기 대상물(10)의 이적재를 위해 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송할 수 있다.
구체적으로 상기 제2 비히클(140)은 제2 주행 유닛(142) 및 제2 이송 유닛(144)을 포함할 수 있다.
상기 제2 주행 유닛(142) 및 상기 제2 이송 유닛(144)에 대한 설명은 상기 제1 주행 유닛(122) 및 상기 제1 이송 유닛(124)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 승강 유닛(150)은 상기 제1 비히클(120) 및 상기 제2 비히클(140)의 상기 수평 방향 측면에 배치될 수 있다. 상기 승강 유닛(150)은 상기 제1 비히클(120)과 상기 대상물(10)을 전달받을 수 있는 제1 높이 및 상기 제2 비히클(120)과 상기 대상물(10)을 전달받을 수 있는 제2 높이 사이에서 상기 대상물(10)을 상기 상하 방향으로 이송할 수 있다.
구체적으로, 상기 승강 유닛(150)은 지지부(152), 구동부(154), 제1 센서들(156) 및 제2 센서(158)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(152)는 상기 대상물(10)을 지지할 수 있다. 상기 지지부(152)는 대략 평판 형태를 가지며, 상기 대상물(10)의 하부면을 지지할 수 있다.
상기 지지부(152)는 상기 제1 높이와 상기 제2 높이 사이에서 상기 상하 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 지지부(152)가 상기 제1 높이에 위치한 상태에서 상기 제1 비히클(120)의 상기 제1 이송 유닛(124)이 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 대상물(10)을 상기 지지부(152)로 로딩하거나, 상기 지지부(152) 상에 지지된 상기 대상물(10)을 언로딩할 수 있다.
상기 지지부(152)가 상기 제2 높이에 위치한 상태에서 상기 제2 비히클(140)의 상기 제2 이송 유닛(144)이 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 대상물(10)을 상기 지지부(152)로 로딩하거나, 상기 지지부(152) 상에 지지된 상기 대상물(10)을 언로딩할 수 있다.
상기 구동부(154)는 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이와 상기 제2 높이 사이에서 이동시킨다.
구체적으로, 상기 구동부(154)는 상기 제1 높이에 위치한 상기 지지부(152)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩이 이루어지면, 상기 지지부(152)를 상기 제2 높이로 이동시킨다. 또한, 상기 구동부(154)는 상기 제2 높이에 위치한 상기 지지부(152)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩이 이루어지면, 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이로 이동시킨다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동부(154)는 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 구동부(154)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 또한, 상기 구동부(154)는 상기 지지부(152)를 상기 상하 방향으로 안내하기 위한 가이드 부재들을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 센서들(156)은 상기 구동부(154)에서 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이에 각각 구비되며, 상기 지지부(152)가 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에 정확하게 위치하도록 상기 지지부(152)를 감지한다.
상기 제1 센서들(156)은 상기 제1 높이에 배치되는 상부 센서(156a) 및 상기 제2 높이에 배치되는 하부 센서(156b)를 포함할 수 있다.
상기 제1 센서들(156)은 근접 센서들 또는 광 센서들일 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 센서들(156)로서 상기 광 센서들이 사용될 경우, 상기 지지부(152)에 반사판이 구비될 수 있다.
상기 구동부(154)는 상기 제1 센서들(156)이 상기 지지부(152)를 감지할 때까지 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이 사이에서 상기 상하 방향을 따라 이동시킨다. 상기 제1 센서들(156)을 이용하여 상기 지지부(152)의 위치를 확인할 수 있으므로, 상기 구동부(154)가 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이로 정확하게 이송할 수 있다.
상기 제2 센서(158)는 상기 지지부(152)의 상부면에 구비되며, 상기 대상물(10)이 상기 지지부(152)에 놓여지는지 여부를 감지할 수 있다.
상기 제2 센서(158)는 근접 센서들 또는 광 센서들일 수 있다.
일 예로서, 상기 제2 센서(158)로서 상기 광 센서들이 사용될 경우, 상기 대상물(10)이 하부면에 반사판이 구비될 수 있다.
또한, 상기 지지부(152)에 상기 대상물(10)이 로딩되면, 상기 제2 센서(158)가 상기 대상물(10)을 감지하지 못하다가 상기 대상물(10)을 감지한다. 상기 지지부(152)로부터 상기 대상물(10)이 언로딩되면, 상기 제2 센서(158)가 상기 대상물(10)을 감지하다가 상기 대상물(10)을 감지하지 못하게 된다. 따라서, 상기 제2 센서(158)를 이용하여 상기 지지부(152)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩의 완료 여부를 확인할 수 있다.
상기 지지부(152)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩이 완료되면, 상기 구동부(154)는 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이 사이에서 상기 상하 방향을 따라 이동시킨다. 따라서, 상기 지지부(152)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩이 이루어지는 동안 상기 지지부(152)가 이동하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1 비히클(120)에 파지된 상기 대상물(10)을 상기 제2 비히클(140)로 이송하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 상기 상부 센서(156a)가 상기 지지부(152)를 감지할 때까지 상기 구동부(154)가 상기 지지부(152)를 상기 제1 높이까지 상승시킨다.
상기 지지부(152)가 상기 제1 높이에 위치하면, 상기 제1 비히클(120)의 상기 제1 이송 유닛(124)이 상기 대상물(10)을 상기 지지부(152)를 향해 상기 수평 방향으로 이동시켜 상기 대상물(10)을 상기 지지부(152)에 로딩한다.
상기 제2 센서(158)가 상기 대상물(10)을 감지하여 상기 대상물(10)의 로딩을 확인하면, 상기 하부 센서(156b)가 상기 지지부(152)를 감지할 때까지 상기 구동부(154)가 상기 지지부(152)를 상기 제2 높이까지 하강시킨다.
상기 지지부(152)가 상기 제2 높이에 위치하면, 상기 제2 비히클(140)의 상기 제2 이송 유닛(144)이 상기 지지부(152)를 향해 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 대상물(10)을 상기 지지부(152)로부터 언로딩한다.
상기 제1 비히클(120)에 파지된 상기 대상물(10)을 상기 제2 비히클(140)로 이송하는 과정을 반대로 수행하여 상기 제2 비히클(140)에 파지된 상기 대상물(10)을 상기 제1 비히클(120)로 이송할 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(100)는 상기 승강 유닛(150)이 상기 대상물(10)만을 이송하므로, 종래의 리프트에 비해 상기 승강 유닛(150)의 크기와 무게를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 승강 유닛(150)의 설치와 유지 보수가 편리하고, 상기 승강 유닛(150)이 상기 대상물의 이송시 발생하는 소음과 진동을 줄일 수 있다. 그리고, 상기 승강 유닛(150)의 개수를 증가시킬 수 있으므로, 상기 제1 비히클(120)과 상기 제2 비히클(140) 사이에서 상기 대상물(10)의 이송량을 증가시킬 수 있고, 상기 대상물 이송 장치(100)의 공간 활용도를 높일 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(100)는 상기 제1 비히클(120)과 상기 제2 비히클(140)을 분리하여 운영할 수 있으므로, 상기 제1 비히클(120) 및 상기 제2 비히클(140)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 대상물 이송 장치(200)는 제1 레일(210), 제1 비히클(220), 제2 레일(230), 제2 비히클(240) 및 승강 유닛(250)을 포함할 수 있다.
상기 제1 레일(210)은 반도체 공정 설비들이 구비된 공간을 따라 구비된다. 상기 제1 레일(210)은 상기 공간의 천장에 고정될 수 있다.
상기 제1 비히클(220)은 상기 제1 레일(210)을 따라 주행하며, 대상물(20)의 이적재를 위해 수평 방향 및 상하 방향으로 이송할 수 있다. 상기 대상물(20)은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
구체적으로 상기 제1 비히클(220)은 제1 주행 유닛(222) 및 제1 이송 유닛(224)을 포함할 수 있다.
상기 제2 레일(230)은 상기 제1 레일(210)의 상기 수직 방향 측면의 하방에 구비된다. 상기 제2 레일(210)은 상기 천장에 고정될 수 있다.
상기 제2 비히클(240)은 상기 제2 레일(230)을 따라 주행하며, 상기 대상물(20)의 이적재를 위해 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송할 수 있다.
구체적으로 상기 제2 비히클(240)은 제2 주행 유닛(242) 및 제2 이송 유닛(244)을 포함할 수 있다.
상기 제1 비히클(220)의 상기 제1 주행 유닛(222)과 상기 제1 이송 유닛(224) 및 상기 제2 비히클(240)의 상기 제2 주행 유닛(242)과 상기 제2 이송 유닛(244)에 관한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 상기 제1 비히클(120)의 상기 제1 주행 유닛(122)과 상기 제1 이송 유닛(124) 및 상기 제2 비히클(140)의 상기 제2 주행 유닛(142)과 상기 제2 이송 유닛(144)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 승강 유닛(250)은 상기 제1 비히클(220)의 수직 하방 및 상기 제2 비히클(240)의 상기 수평 방향 측면에 배치될 수 있다. 상기 승강 유닛(250)은 상기 제1 비히클(220)과 상기 대상물(20)을 전달받을 수 있는 제1 높이 및 상기 제2 비히클(220)과 상기 대상물(20)을 전달받을 수 있는 제2 높이 사이에서 상기 대상물(20)을 상기 상하 방향으로 이송할 수 있다. 상기 제1 높이는 상기 제1 비히클(220)의 높이보다 낮을 수 있다.
상기 승강 유닛(250)은 지지부(252), 구동부(254), 제1 센서들(256) 및 제2 센서(258)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(252), 상기 구동부(254), 상기 제1 센서들(256) 및 상기 제2 센서(258)에 대한 구체적인 설명은 상기 승강 유닛(150)의 상기 지지부(152), 상기 구동부(154), 상기 제1 센서들(156) 및 상기 제2 센서(158)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제1 비히클(220)에 파지된 상기 대상물(20)을 상기 제2 비히클(240)로 이송하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 상기 상부 센서(256a)가 상기 지지부(252)를 감지할 때까지 상기 구동부(254)가 상기 지지부(252)를 상기 제1 높이까지 상승시킨다.
상기 지지부(252)가 상기 제1 높이에 위치하면, 상기 제1 비히클(220)의 상기 제1 이송 유닛(224)이 상기 대상물(20)을 상기 지지부(252)를 향해 하방으로 이동시켜 상기 대상물(20)을 상기 지지부(252)에 로딩한다.
상기 제2 센서(258)가 상기 대상물(20)을 감지하여 상기 대상물(20)의 로딩을 확인하면, 상기 하부 센서(256b)가 상기 지지부(252)를 감지할 때까지 상기 구동부(254)가 상기 지지부(252)를 상기 제2 높이까지 하강시킨다.
상기 지지부(252)가 상기 제2 높이에 위치하면, 상기 제2 비히클(240)의 상기 제2 이송 유닛(244)이 상기 지지부(252)를 향해 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 대상물(20)을 상기 지지부(252)로부터 언로딩한다.
상기 제1 비히클(220)에 파지된 상기 대상물(20)을 상기 제2 비히클(240)로 이송하는 과정을 반대로 수행하여 상기 제2 비히클(240)에 파지된 상기 대상물(20)을 상기 제1 비히클(220)로 이송할 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(200)는 상기 승강 유닛(250)이 상기 대상물(20)만을 이송하므로, 종래의 리프트에 비해 상기 승강 유닛(250)의 크기와 무게를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 승강 유닛(250)의 설치와 유지 보수가 편리하고, 상기 승강 유닛(250)이 상기 대상물의 이송시 발생하는 소음과 진동을 줄일 수 있다. 그리고, 상기 승강 유닛(250)의 개수를 증가시킬 수 있으므로, 상기 제1 비히클(220)과 상기 제2 비히클(240) 사이에서 상기 대상물(20)의 이송량을 증가시킬 수 있고, 상기 대상물 이송 장치(200)의 공간 활용도를 높일 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(200)는 상기 제1 비히클(220)과 상기 제2 비히클(240)을 분리하여 운영할 수 있으므로, 상기 제1 비히클(220) 및 상기 제2 비히클(240)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 대상물 이송 장치(300)는 제1 레일(310), 제1 비히클(320), 제2 레일(330), 제2 비히클(340) 및 버퍼 유닛(350)을 포함할 수 있다.
상기 제1 레일(310)은 반도체 공정 설비들이 구비된 공간을 따라 구비된다. 상기 제1 레일(310)은 상기 공간의 천장에 고정될 수 있다.
상기 제1 비히클(320)은 상기 제1 레일(310)을 따라 주행하며, 대상물(30)의 이적재를 위해 수평 방향 및 상하 방향으로 이송할 수 있다. 상기 대상물(30)은 풉(FOUP), 포스비(FOSB), 매거진, 포드, 트레이 등일 수 있다.
구체적으로 상기 제1 비히클(320)은 제1 주행 유닛(322) 및 제1 이송 유닛(324)을 포함할 수 있다.
상기 제2 레일(330)은 상기 제1 레일(310)의 상기 수직 방향 측면의 하방에 구비된다. 상기 제2 레일(310)은 상기 천장에 고정될 수 있다.
상기 제2 비히클(340)은 상기 제2 레일(330)을 따라 주행하며, 상기 대상물(30)의 이적재를 위해 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송할 수 있다.
구체적으로 상기 제2 비히클(340)은 제2 주행 유닛(342) 및 제2 이송 유닛(344)을 포함할 수 있다.
상기 제1 비히클(320)의 상기 제1 주행 유닛(322)과 상기 제1 이송 유닛(324) 및 상기 제2 비히클(340)의 상기 제2 주행 유닛(342)과 상기 제2 이송 유닛(344)에 관한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 상기 제1 비히클(120)의 상기 제1 주행 유닛(122)과 상기 제1 이송 유닛(124) 및 상기 제2 비히클(140)의 상기 제2 주행 유닛(142)과 상기 제2 이송 유닛(144)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 버퍼 유닛(350)은 상기 제1 비히클(320)의 수직 하방 및 상기 제2 비히클(340)의 상기 수평 방향 측면에 배치될 수 있다. 상기 버퍼 유닛(350)은 상기 천장에 고정되거나, 상기 제1 레일(310)에 고정될 수 있다.
상기 버퍼 유닛(350)은 상기 제1 비히클(320) 또는 상기 제2 비히클(320)로부터 상기 대상물(30)을 전달받아 지지할 수 있다.
상기 버퍼 유닛(350)은 지지부(352) 및 센서(354)를 포함할 수 있다.
상기 지지부(352)는 대략 평판 형태를 가지며, 상기 대상물(30)의 하부면을 지지할 수 있다.
상기 센서(354)는 상기 지지부(352)의 상부면에 구비되며, 상기 대상물(10)이 상기 지지부(352)에 놓여지는지 여부를 감지할 수 있다.
상기 센서(354)는 근접 센서들 또는 광 센서들일 수 있다.
일 예로서, 상기 센서(354)로서 상기 광 센서들이 사용될 경우, 상기 대상물(30)이 하부면에 반사판이 구비될 수 있다.
또한, 상기 지지부(352)에 상기 대상물(10)이 로딩되면, 상기 센서(354)가 상기 대상물(10)을 감지하지 못하다가 상기 대상물(10)을 감지한다. 상기 지지부(352)로부터 상기 대상물(10)이 언로딩되면, 상기 센서(354)가 상기 대상물(10)을 감지하다가 상기 대상물(10)을 감지하지 못하게 된다. 따라서, 상기 센서(354)를 이용하여 상기 지지부(352)에서 상기 대상물(10)의 로딩 또는 언로딩의 완료 여부를 확인할 수 있다.
상기 제1 비히클(320)에 파지된 상기 대상물(30)을 상기 제2 비히클(340)로 이송하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 상기 센서(354)로 상기 대상물(10)을 감지하여 상기 버퍼 유닛(350)에서 상기 대상물(10)을 확인한다. 상기 버퍼 유닛(350)이 빈 상태가 확인되면, 상기 제1 비히클(320)의 상기 제1 이송 유닛(324)이 상기 대상물(30)을 상기 버퍼 유닛(350)의 상기 지지부(352)를 향해 하방으로 이동시켜 상기 대상물(30)을 상기 지지부(352)에 로딩한다.
상기 센서(354)가 상기 대상물(30)을 감지하여 상기 대상물(30)의 로딩을 확인하면, 상기 제2 비히클(340)의 상기 제2 이송 유닛(344)이 상기 지지부(352)를 향해 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 대상물(30)을 상기 지지부(352)로부터 언로딩한다.
상기 제1 비히클(320)에 파지된 상기 대상물(30)을 상기 제2 비히클(340)로 이송하는 과정을 반대로 수행하여 상기 제2 비히클(340)에 파지된 상기 대상물(30)을 상기 제1 비히클(320)로 이송할 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(300)는 상기 버퍼 유닛(350)이 상기 대상물(30)만을 이송하므로, 종래의 리프트에 비해 상기 버퍼 유닛(350)의 크기와 무게를 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 버퍼 유닛(350)의 설치와 유지 보수가 편리하다.
또한, 상기 제1 비히클(320) 및 상기 제2 비히클(340)이 상기 대상물(30)을 상기 수평 방향 또는 상기 상하 방향으로 이송하므로, 상기 대상물의 이송시 발생하는 소음과 진동을 줄일 수 있다.
그리고, 상기 버퍼 유닛(350)의 개수를 증가시킬 수 있으므로, 상기 제1 비히클(320)과 상기 제2 비히클(340) 사이에서 상기 대상물(30)의 이송량을 증가시킬 수 있고, 상기 대상물 이송 장치(300)의 공간 활용도를 높일 수 있다.
상기 대상물 이송 장치(300)는 상기 제1 비히클(320)과 상기 제2 비히클(340)을 분리하여 운영할 수 있으므로, 상기 제1 비히클(320) 및 상기 제2 비히클(340)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 대상물 이송 장치는 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클 사이에서 상기 대상물만을 이송할 수 있으므로, 상기 제1 비히클과 상기 제2 비히클을 분리하여 운영할 수 있다. 따라서, 상기 제1 비히클 및 상기 제2 비히클의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100, 200, 300 : 대상물 이송 장치 110, 210, 310 : 제1 레일
120, 220, 320 : 제1 비히클 122, 222, 322 : 제1 주행 유닛
124, 224, 324 : 제1 승강 유닛 130, 230, 330 : 제2 레일
140, 240, 340 : 제2 비히클 142, 242, 342 : 제2 주행 유닛
144, 244, 344 : 제2 승강 유닛 150, 250 : 승강 유닛
152, 252, 352 : 지지부 154, 254 : 구동부
156, 256 : 제1 센서 158, 258 : 제2 센서
354 : 센서 10, 20, 30 : 대상물

Claims (8)

  1. 제1 레일을 따라 주행하며, 대상물을 수평 방향 및 상하 방향으로 이송하는 제1 비히클;
    상기 제1 레일의 하방에 배치되는 제2 레일을 따라 주행하며, 상기 대상물을 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이송하는 제2 비히클; 및
    상기 제1 레일 및 상기 제2 레일의 상기 수평 방향 측면에 배치되며, 상기 제1 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제1 높이 및 상기 제2 비히클과 상기 대상물을 전달받을 수 있는 제2 높이 사이에서 상기 대상물을 상기 상하 방향으로 이송하는 승강 유닛을 포함하고,
    상기 승강 유닛은,
    상기 대상물을 지지하며, 상기 제1 높이와 상기 제2 높이 사이에서 이동 가능하도록 구비되는 지지부; 및
    상기 지지부를 상기 상하 방향으로 이동시키기 위한 구동부를 포함하고,
    상기 제1 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 제1 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하고,
    상기 제2 비히클은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 제2 높이에 위치한 상기 지지부와의 사이에서 상기 대상물을 로딩 및 언로딩하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은, 상기 구동부에서 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이에 각각 구비되며, 상기 지지부가 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에 정확하게 위치하도록 상기 지지부를 감지하는 제1 센서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은, 상기 지지부의 상부면에 구비되며, 상기 대상물이 상기 지지부에 놓여지는지 여부를 감지하는 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 이송 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
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