KR20210133446A - 물품 이송 장치 - Google Patents

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KR20210133446A
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이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 물품을 이송하고 물품 처리부들로 상기 물품을 이적재하는 비히클이 주행하기 위한 중간 레일과, 상기 중간 레일의 상방에 배치되며 상기 비히클의 주행하기 위한 상부 레일과, 상기 중간 레일의 하방에 상기 중간 레일을 가로지르도록 배치되며 상기 비히클이 주행하기 위한 하부 레일 및 상기 중간 레일, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일 사이에서 상기 비히클을 승강시키기 위한 승강 유닛을 포함할 수 있다.

Description

물품 이송 장치{Apparatus for transferring articles}
본 발명은 물품 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비히클이 레일을 따라 이동하면서 물품을 이송하는 물품 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 물품 이송 장치는 증착, 노광, 식각, 세정 등을 각각 수행하는 물품 처리부들로 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등과 같은 물품을 이송한다. 상기 물품들은 FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다. 상기 물품 이송 장치는 상기 물품 처리부들 사이에서 물품을 이송하면서 이적재하는 비히클들이 주행하기 위한 하부 레일과 상기 하부 레일의 상방에 배치되며 상기 비히클이 상대적으로 빠른 속도로 주행하기 위한 상부 레일 및 상기 하부 레일과 상기 상부 레일을 연결하는 슬로프 레일들을 포함한다. 이때, 상기 하부 레일 및 상기 상부 레일은 각각 순환 구조를 갖는다.
상기 하부 레일을 기준으로 상기 물품 처리부가 서로 반대측에 위치하거나 서로 멀리 이격된 경우, 상기 물품의 이송하기 위한 상기 비히클의 주행 거리가 길어지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 길어진다. 따라서, 상기 물품의 이송 효율이 저하될 수 있다.
본 발명은 이송 효율을 향상시킬 수 있는 물품 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 물품 이송 장치는, 물품을 이송하고 물품 처리부들로 상기 물품을 이적재하는 비히클이 주행하기 위한 중간 레일과, 상기 중간 레일의 상방에 배치되며 상기 비히클의 주행하기 위한 상부 레일과, 상기 중간 레일의 하방에 상기 중간 레일을 가로지르도록 배치되며 상기 비히클이 주행하기 위한 하부 레일 및 상기 중간 레일, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일 사이에서 상기 비히클을 승강시키기 위한 승강 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 중간 레일은, 상기 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 상기 비히클이 상기 물품을 이송하면서 이적재하기 위한 다수의 제1 중간 레일들 및 상기 제1 중간 레일들과 연결되며, 상기 제1 중간 레일들 사이에서 상기 비히클이 상기 물품을 이송하기 위한 제2 중간 레일을 포함하고, 상기 하부 레일은 상기 제2 중간 레일을 가로지를 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 상부 레일은, 상기 제2 중간 레일 상에 배치되는 제1 상부 레일 및 상기 제1 중간 레일들의 상방에 배치되어 상기 제1 상부 레일과 연결되며, 상기 비히클을 상기 제1 상부 레일로부터 회피시키기 위한 제2 상부 레일을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 중간 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 상부 레일과 연결되는 제2 높이, 및 상기 하부 레일과 연결되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 구비되며, 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일 및 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 중간 레일, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일이 상하로 중첩된 부위에 위치할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 물품 이송 장치는 상기 하부 레일을 이용하여 상기 중간 레일을 가로질러 상기 물품 처리부들 사이에서 상기 물품을 이송한다. 상기 물품 처리부들 사이에서 상기 물품을 이송하기 위한 주행 거리가 짧아지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 단축된다. 따라서, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 중간 레일을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 승강 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 중간 레일을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 물품 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 승강 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 물품 이송 장치(100)는 물품 처리부(10)들 사이에서 물품(20)을 이송하기 위한 것으로, 중간 레일(110), 상부 레일(120), 하부 레일(130), 승강 유닛(140) 및 비히클(150)을 포함할 수 있다.
상기 비히클(150)은 상기 중간 레일(110), 상기 상부 레일(120), 상기 하부 레일(130) 및 상기 승강 유닛(140)을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 이송할 수 있다.
상기 물품 처리부(10)들은 증착, 노광, 식각, 세정 등을 다양한 반도체 소자 제조 공정을 각각 수행할 수 있다. 상기 물품(20)은 웨이퍼, 인쇄회로 기판, 레티클 등을 포함하며, FOUP, FOSB, 매거진, 레티클 포드 등에 적재된 상태로 이송될 수 있다.
상기 중간 레일(110)은 상기 물품(20)을 이송하고 상기 물품 처리부(10)들로 상기 물품(20)을 이적재하는 상기 비히클(150)이 주행한다.
상기 중간 레일(110)은 제1 중간 레일(112)들 및 제2 중간 레일(114)들을 포함할 수 있다.
상기 제1 중간 레일(112)들은 상기 물품 처리부(10)들이 구비된 영역의 천장에 상기 물품 처리부들(10)을 지나도록 구비된다. 상기 각 제1 중간 레일(112)들은 고리 형상을 가지며, 상기 비히클(150)이 상기 각 제1 중간 레일(112)들을 따라 순환하도록 주행할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 각 제1 중간 레일(112)들은 서로 연결될 수도 있다.
상기 비히클(150)은 상기 제1 중간 레일(112)들을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 상기 물품 처리부(10)들로 로딩하거나, 상기 물품 처리부(10)들로부터 상기 물품(20)을 언로딩한다. 상기 비히클(150)은 상기 물품(20)을 승하강시켜 상기 물품(20)을 로딩 및 언로딩할 수 있다.
구체적으로 도시되지는 않았지만, 상기 비히클(150)은 주행부, 프레임부, 슬라이드부, 호이스트부, 핸드부, 연결부를 포함한다.
상기 주행부는 상기 비히클(150)을 상기 제1 중간 레일(112)들을 따라 이동시킨다. 상기 주행부의 양 측면에 주행 롤러가 구비된다. 상기 주행 롤러는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(150)이 상기 제1 중간 레일(112)들을 따라 주행한다.
한편, 상기 주행부는 상부면에 조향 롤러를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 제1 중간 레일(112)들의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 제1 중간 레일(112)들의 분기 지점 또는 합류 지점에서 상기 비히클(150)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임부는 상기 주행부의 하부면에 고정된다. 상기 프레임부는 상기 물품(20)을 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 프레임부는 하부면과 일측면 또는 양측면이 개방될 수 있다. 따라서, 상기 물품(20)이 상기 비히클(150)의 상하 방향을 따라 수직 이동하거나, 상기 비히클(150)의 주행 방향과 수직한 방향으로 수평 이동할 수 있다.
상기 슬라이드부는 상기 프레임부의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드부는 상기 호이스트부를 상기 수평 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트부는 상기 프레임부의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. 일 예로, 상기 슬라이드부는 가이드 레일과 이동 블록을 포함하는 LM 가이드를 포함할 수 있다.
상기 호이스트부는 상기 슬라이드부의 하부면에 상기 수평 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트부는 상기 핸드부를 고정하여 상기 상하 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트부는 벨트로 상기 핸드부를 고정한다. 상기 호이스트부는 상기 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 호이스트부를 승강시킬 수 있다.
상기 핸드부는 상기 벨트의 단부에 고정되며, 상기 물품(20)을 고정한다.
상기 물품(20)은 상기 슬라이드부에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트부에 의해 승강할 수 있다.
상기 연결부는 상기 슬라이드부와 상기 호이스트부 사이에 구비되며, 상기 호이스트부를 상기 슬라이드부에 대해 상기 수평 방향으로 이동 가능하도록 연결한다.
상기 제2 중간 레일(114)들은 상기 천장에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. 또한, 상기 제2 중간 레일(114)들은 상기 제1 중간 레일(112)들과 연결될 수 있다. 즉, 상기 제1 중간 레일(112)들은 상기 제2 중간 레일(114)들과 합류 및 분기할 수 있다.
또한, 상기 제2 중간 레일(114)들도 서로 연결될 수 있다. 상기 비히클(150)이 상기 제2 중간 레일(114)들 사이에서 이동할 수 있다.
상기 비히클(150)은 상기 제1 중간 레일(112)들 뿐만 아니라 상기 제2 중간 레일(114)들을 따라 이동하면서 상기 물품(20)을 이송한다.
구체적으로, 상기 제1 중간 레일(112)들과 상기 제2 중간 레일(114)들이 연결되므로, 상기 비히클(150)이 상기 제1 하부 레일(110) 뿐만 아니라 상기 제2 중간 레일(114)들을 따라 이동할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(150)이 상기 물품(20)을 하나의 제1 중간 레일(112)에서 다른 제1 중간 레일(112)로 이송할 수 있다.
이와 달리, 상기 비히클(150)은 다른 비히클(150)로부터 상기 물품(20)을 전달받고, 상기 제2 중간 레일(114)들을 따라 상기 물품(20)을 이송한 후, 상기 다른 비히클(150)로 상기 물품(20)을 다시 전달할 수도 있다. 이때, 상기 비히클(150)과 상기 다른 비히클(150)은 상기 천장에 별도로 구비된 버퍼 유닛(미도시)을 이용하여 상기 물품(20)을 전달할 수 있다.
상기 상부 레일(120)은 상기 중간 레일(110)의 상방에 배치되며, 상기 비히클(150)이 주행한다.
상기 상부 레일(120)은 제1 상부 레일(122)들 및 제2 상부 레일(124)을 포함할 수 있다.
상기 제1 상부 레일(122)들은 상기 천장에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. 또한, 상기 제1 상부 레일(122)들은 상기 제2 중간 레일(114)들의 상방에 배치된다. 상기 제1 상부 레일(122)들은 서로 연결될 수 있다. 따라서, 상기 비히클(150)이 상기 제1 상부 레일(122)들 사이에서 이동할 수 있다.
상기 제1 상부 레일(122)들에서는 상기 비히클(150)이 상기 물품(20)을 이적재하지 않는다. 따라서, 상기 비히클(150)이 상대적으로 빠른 속도로 상기 제1 상부 레일(122)들을 따라 주행할 수 있다.
상기 제2 상부 레일(124)은 상기 천장에 구비되며, 상기 제1 중간 레일(112)들의 상방에 배치된다. 또한, 상기 제2 상부 레일(124)은 상기 제1 상부 레일(122)들과 연결될 수 있다. 즉, 상기 제2 상부 레일(124)은 상기 제1 상부 레일(120)과 합류 및 분기할 수 있다. 상기 제2 상부 레일(124)은 상기 비히클(150)을 상기 제1 상부 레일(122)들로부터 회피시킬 수 있다.
상기 제1 상부 레일(140)에 상기 비히클(150)이 집중되는 경우 상기 비히클(150)을 상기 제2 상부 레일(124)로 회피시킬 수 있다. 또한, 상기 비히클(150)에 이상이 있는 경우 상기 이상 비히클(150)이 다른 정상 비히클(150)의 주행을 방해하지 않도록 상기 이상 비히클(150)을 상기 제2 상부 레일(124)로 회피시킬 수 있다.
상기 하부 레일(130)은 상기 천장에 구비되며, 고리 형상을 갖는다. 상기 하부 레일(130)은 상기 중간 레일(110)의 하방에 상기 중간 레일(110)을 가로지르도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 하부 레일(130)은 상기 제2 중간 레일(114)들을 가로지르도록 배치될 수 있다.
상기 비히클(150)이 상기 하부 레일(130)을 따라 주행하면서 상기 물품을 이송할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(150)이 상기 중간 레일(110)을 가로질러 상기 물품 처리부(10)들 사이에서 상기 물품(10)을 이송할 수 있다. 또한, 상기 하부 레일(130)이 상기 고리 형상을 가지므로, 상기 물품 처리부(10)들 사이에서 상기 물품(10)을 왕복 이송할 수 있다.
상기 하부 레일(130)이 상기 중간 레일(110)을 가로지르도록 배치되므로, 사기 비히클(150)이 상기 중간 레일(110)을 따라 상기 물품(20)을 이송할 때, 상기 물품 처리부(10)들 사이에서 상기 물품(20)을 이송하기 위한 주행 거리가 짧아지고, 상기 물품(20)의 이송에 소요되는 시간도 단축된다. 따라서, 상기 물품 이송 장치(100)의 이송 효율이 향상될 수 있다.
상기 승강 유닛(140)은 상기 중간 레일(110), 상기 상부 레일(120) 및 상기 하부 레일(130)이 상하로 중접되는 부위에 구비되며, 상기 중간 레일(110), 상기 상부 레일(120) 및 상기 하부 레일(130) 사이에서 상기 비히클(150)을 승강시킬 수 있다.
상기 승강 유닛(140)은 상기 중간 레일(110), 상기 상부 레일(120) 및 상기 하부 레일(130)과 연결되며 상기 비히클(150)의 승강을 위한 공간을 제공하는 챔버(141)와, 상기 중간 레일(110)과 연결되는 제1 높이, 상기 상부 레일(120)과 연결되는 제2 높이 및 상기 하부 레일(130)과 연결되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 챔버(141) 내에 배치되며 상기 챔버(141) 내에서 상기 비히클(150)을 지지하는 서포트 레일(142) 및 상기 서포트 레일(142)을 승강시키기 위한 승강 기구(143)를 포함할 수 있다.
상기 챔버(141)는 대략 직사각 형태를 가질 수 있다.
상기 챔버(141)의 상기 제1 높이에는 상기 비히클(150)의 출입을 위한 제1 개구(141a)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1 개구(141a) 내측에 상기 중간 레일(110)의 단부가 배치될 수 있다.
상기 챔버(141)의 상기 제2 높이에는 상기 비히클(150)의 출입을 위한 제2 개구(141b)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 제2 개구(141b) 내측에 상기 상부 레일(120)의 단부가 배치될 수 있다.
상기 챔버(141)의 상기 제3 높이에는 상기 비히클(150)의 출입을 위한 제3 개구(141c)가 구비될 수 있다. 즉, 상기 제3 개구(141c) 내측에 상기 하부 레일(130)의 단부가 배치될 수 있다.
상기 서포트 레일(142)은 상기 중간 레일(110)의 단부에 인접하는 상기 제1 높이, 상기 상부 레일(120)의 단부에 인접하는 상기 제2 높이 및 상기 하부 레일(130)의 단부에 인접하는 상기 제3 높이 사이에서 승강될 수 있다.
상기 승강 기구(143)는 상기 비히클(150)을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이로 승강시킬 수 있다.
예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 승강 기구(143)는 상기 서포트 레일(142)을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 기구들과 상기 서포트 레일(142)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부는 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 구동부의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 챔버(141)의 내측면에는 상기 비히클(150)을 감지하기 위한 제1 센서(144), 제2 센서(145) 및 제3 센서(146)가 구비될 수 있다.
상기 제1 센서(144)는 상기 제1 높이에 배치되고, 상기 제2 센서(145)는 상기 제2 높이에 배치되고, 상기 제3 센서(146)는 상기 제3 높이에 배치된다.
상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)는 상기 서포트 레일(142)을 감지함으로써 상기 비히클(150)을 감지 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)는 상기 비히클(150)을 직접 감지할 수 있다.
상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)는 근접 센서들 또는 광 센서들일 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)로서 상기 광 센서들이 사용될 경우, 상기 서포트 레일(142)이나 상기 비히클(150)에 반사판이 구비될 수 있다.
상기 승강 기구(143)는 상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)가 상기 비히클(150)을 감지할 때까지 상기 서포트 레일(142)을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이 사이에서 승강시킨다. 상기 제1 센서(144), 상기 제2 센서(145) 및 상기 제3 센서(146)를 이용하여 상기 챔버(141) 내에서 상기 비히클(150)의 위치를 확인할 수 있으므로, 상기 승강 기구(143)는 상기 서포트 레일(142)에 지지된 상기 비히클(150)을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이로 정확하고 장정적으로 승강시킬 수 있다.
상기 비히클(150)이 상기 승강 유닛(140)을 통해 상기 중간 레일(110), 상기 상부 레일(120) 및 상기 하부 레일(130)로 신속하고 용이하게 이동할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 물품 이송 장치에서 상기 비히클이 상기 승강 유닛과 상기 하부 레일을 이용하여 상기 물품을 이송할 수 있으므로, 상기 물품 처리부들 사이에서 상기 물품을 이송하기 위한 주행 거리가 짧아지고, 상기 물품의 이송에 소요되는 시간도 단축된다. 따라서, 상기 물품 이송 장치의 이송 효율이 향상될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 물품 이송 장치 110 : 중간 레일
112 : 제1 중간 레일 114 : 제2 중간 레일
120 : 상부 레일 122 : 제1 상부 레일
124 : 제2 상부 레일 130 : 하부 레일
140 : 승강 유닛 150 : 비히클
10 : 물품 처리부 20 : 물품

Claims (5)

  1. 물품을 이송하고 물품 처리부들로 상기 물품을 이적재하는 비히클이 주행하기 위한 중간 레일;
    상기 중간 레일의 상방에 배치되며 상기 비히클의 주행하기 위한 상부 레일;
    상기 중간 레일의 하방에 상기 중간 레일을 가로지르도록 배치되며 상기 비히클이 주행하기 위한 하부 레일; 및
    상기 중간 레일, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일 사이에서 상기 비히클을 승강시키기 위한 승강 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 중간 레일은,
    상기 물품 처리부들을 지나도록 구비되고, 상기 물품 처리부들 사이에서 상기 비히클이 상기 물품을 이송하면서 이적재하기 위한 다수의 제1 중간 레일들; 및
    상기 제1 중간 레일들과 연결되며, 상기 제1 중간 레일들 사이에서 상기 비히클이 상기 물품을 이송하기 위한 제2 중간 레일을 포함하고,
    상기 하부 레일은 상기 제2 중간 레일을 가로지르는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 상부 레일은,
    상기 제2 중간 레일 상에 배치되는 제1 상부 레일; 및
    상기 제1 중간 레일들의 상방에 배치되어 상기 제1 상부 레일과 연결되며, 상기 비히클을 상기 제1 상부 레일로부터 회피시키기 위한 제2 상부 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은,
    상기 중간 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 상부 레일과 연결되는 제2 높이, 및 상기 하부 레일과 연결되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 구비되며, 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일; 및
    상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은, 상기 중간 레일, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일이 상하로 중첩된 부위에 위치하는 것을 특징으로 하는 물품 이송 장치.
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