KR102172066B1 - 비히클 유지 보수용 승강 장치 - Google Patents

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Abstract

주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치가 개시된다. 상기 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 상부 주행 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 하부 주행 레일과 연결되는 제2 높이 및 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일들과, 상기 서포트 레일들을 승강시키기 위한 승강 기구 및 상기 작업 챔버 내의 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 각각 구비되며, 상기 비히클이 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 정확하게 위치하도록 상기 서포트 레일들에 지지된 상기 비히클을 감지하기 위한 비히클 감지 센서들을 포함할 수 있다.

Description

비히클 유지 보수용 승강 장치{Vehicle maintenance lift}
본 발명의 실시예들은 비히클 유지 보수용 승강 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 주행 이송 장치의 비히클(vehicle) 유지 보수를 위한 승강 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 대하여 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위하여 증착, 사진 식각, 산화, 이온 주입, 세정 등의 제조 공정들이 선택적 및/또는 반복적으로 수행될 수 있다.
상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 상기 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트, 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 수납 용기는 RGV(Rail Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 무인 반송 장치에 의해 상기 제조 공정들 사이에서 이송될 수 있다.
상기 OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치는, 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성된 비히클을 포함할 수 있다. 상기 비히클의 하부에는 이송 대상물의 운반을 위한 호이스트 모듈이 장착될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈은 상기 이송 대상물의 파지를 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇을 포함할 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057955호 (공개일자: 2013년 06월 03일)
본 발명의 실시예들은 상기 천장 주행 이송 장치의 비히클에 대한 유지 보수를 위해 상기 비히클을 수직 방향으로 승강시키며 아울러 상기 비히클의 유지 보수를 위한 측정 및 테스트를 수행할 수 있는 비히클 유지 보수용 승강 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 상부 주행 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 하부 주행 레일과 연결되는 제2 높이 및 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일들과, 상기 서포트 레일들을 승강시키기 위한 승강 기구 및 상기 작업 챔버 내의 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 각각 구비되며, 상기 비히클이 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 정확하게 위치하도록 상기 서포트 레일들에 지지된 상기 비히클을 감지하기 위한 비히클 감지 센서들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 비히클의 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 적어도 하나의 높이 측정 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 레일들의 상부에는 상기 비히클의 좌측 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 좌측 높이 측정 센서와 상기 비히클의 우측 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 우측 높이 측정 센서가 배치될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 서포트 레일들의 높이를 측정하기 위한 적어도 하나의 제2 높이 측정 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 비히클의 상부 가이드 휠들을 지지하기 위한 적어도 하나의 가이드 레일을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 서포트 레일들의 상부에는 상기 비히클의 주행 휠들과 대응하는 리세스들이 구비될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 리세스들에 삽입되며 상기 리세스들의 깊이와 동일한 두께를 갖는 스페이서들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버 전면의 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구들이 각각 구비될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 작업 챔버의 제3 높이에 배치되며 상기 비히클의 동작 테스트를 위한 테스트용 로드 포트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 테스트용 로드 포트의 일측에 배치되며 상기 비히클의 하방 장애물 감지 센서의 동작 테스트를 위한 제1 테스트 지그를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 테스트용 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 비히클의 전방 장애물 감지 센서의 동작 테스트를 위한 제2 테스트 지그를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 테스트용 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 비히클의 전방 거리 센서의 동작 테스트를 위한 제3 테스트 지그를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 개구와 상기 테스트용 로드 포트 사이에는 상기 비히클의 전방 장애물 감지 센서 및 전방 거리 센서의 동작 테스트를 위한 도어가 구비될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 상부 주행 레일 및 상기 하부 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 상부 주행 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 하부 주행 레일과 연결되는 제2 높이 및 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일들과, 상기 서포트 레일들을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내의 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 각각 구비되며, 상기 비히클이 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 정확하게 위치하도록 상기 서포트 레일들에 지지된 상기 비히클을 감지하기 위한 비히클 감지 센서들을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 비히클을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이로 정확하게 승강시킬 수 있다. 또한, 상기 서포트 레일들의 높이를 상기 상부 주행 레일 및 상기 하부 주행 레일의 높이와 정확하게 같게 함으로써 상기 비히클이 상기 서포트 레일들과 상기 상부 주행 레일 사이 및 상기 서포트 레일들과 상기 하부 주행 레일 사이를 안정적으로 이동할 수 있다.
특히, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 비히클의 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 높이 측정 센서 및 상기 비히클의 가이드 휠들의 위치 조절을 위한 가이드 레일을 구비할 수 있으며, 상기 서포트 레일들에는 상기 가이드 휠들의 위치 조절을 위한 리세스들이 구비될 수 있다. 또한, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는 상기 비히클의 각종 센서들의 동작 테스트를 위한 테스트 지그들을 구비할 수 있다.
따라서, 상기 비히클에 대한 다양한 유지 보수 작업들이 상기 작업 챔버 내에서 수행될 수 있으므로 상기 비히클의 유지 보수에 소요되는 비용과 시간이 감소될 수 있다. 특히, 종래 기술에서 사용되었던 테스트 벤치와 같은 별도의 테스트 장치가 필요하지 않으므로 상기 비히클의 유지 보수에 소요되는 비용이 더욱 절감될 수 있으며, 아울러 상기 비히클을 상기 테스트 장치로 이동하는데 소요되는 시간이 불필요하므로 상기 비히클의 유지 보수에 소요되는 시간이 더욱 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 주행 모듈들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 서포트 구조물을 설명하기 위한 확대 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 서포트 레일들과 비히클을 설명하기 위한 개략적인 확대 구성도이다.
도 5는 도 4에 도시된 베이스 패널을 설명하기 위한 개략적인 확대 저면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 가이드 휠들의 위치 조절 방법을 설명하기 위한 개략적인 확대 구성도이다.
도 7은 도 1에 도시된 테스트용 로드 포트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 테스트용 로드 포트를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 주행 모듈들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 물건 이송을 위한 비히클(30)의 유지 보수를 위해 상기 비히클(30)을 수직 방향으로 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치(10)의 비히클(30)에 대한 유지 보수를 위해 사용될 수 있다.
상기 천장 주행 이송 장치(10)는 클린룸의 천장에 복층으로 설치되는 상부 주행 레일(20)과 하부 주행 레일(22) 및 상기 상부 주행 레일(20)과 상기 하부 주행 레일(22) 상에서 각각 이동 가능하게 구성되는 비히클(30)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 비히클(30)은 상기 상부 주행 레일(20)과 상기 하부 주행 레일(22)을 따라 이동하기 위한 추진력을 제공하는 주행 모듈들(40)과 상기 주행 모듈들(40)의 하부에 장착되며 물건의 이송을 위한 호이스트 모듈(70)을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈(70)은 이송 대상물의 픽업을 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇 등을 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 각각의 주행 모듈(40)은, 상기 상부 주행 레일(20)과 상기 하부 주행 레일(22) 상에 배치되는 주행 휠들(42)과, 상기 주행 휠들(42)이 장착되는 본체(44)와, 상기 본체(44) 상에 배치되며 분기 지점에서 상기 주행 모듈(40)을 지지하고 안내하기 위한 가이드 휠들(46)을 구비할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 본체(44)는 상기 주행 휠들(42)을 회전시키기 위한 제1 구동 유닛과 상기 가이드 휠들(46)을 주행 방향에 대하여 좌우 방향으로 이동시키기 위한 제2 구동 유닛을 구비할 수 있다. 상기 가이드 휠들(46)은 상기 좌우 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동 부재(48) 상에 배치될 수 있으며, 아울러 상기 본체(44)의 상부 양측에는 상기 가동 부재(48)를 지지하기 위한 서포트 구조물(50)이 각각 배치될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 서포트 구조물을 설명하기 위한 확대 평면도이다.
도 3을 참조하면, 각각의 서포트 구조물(50)은 상기 본체(44) 상에 장착된 서포트 프레임(52)과, 상기 서포트 프레임(52)으로부터 소정 간격 이격되도록 배치된 알루미늄과 같은 금속으로 이루어진 스토퍼 부재(54)와, 상기 스토퍼 부재(54)의 측면 상에 배치되며 상기 가동 부재(48)를 지지하기 위한 폴리아세탈과 같은 플라스틱 재질의 서포트 부재(56)를 포함할 수 있다. 상기 플라스틱 재질의 서포트 부재(56)는 파티클 발생을 감소시키기 위해 사용될 수 있으며, 상기 서포트 부재(56)와 상기 스토퍼 부재(54)는 볼트 등의 체결 부재에 의해 상기 서포트 프레임(52)에 장착될 수 있다.
한편, 상기 서포트 프레임(52)과 스토퍼 부재(54) 사이에는 상기 가이드 휠들(46)의 위치를 조절하기 위한 심 플레이트들(60)이 삽입될 수 있다. 예를 들면, 약 0.2mm 정도의 두께를 갖는 심 플레이트들(60)이 상기 서포트 프레임(52)과 스토퍼 부재(54) 사이에 삽입될 수 있으며, 상기 삽입된 심 플레이트들(60)의 개수에 따라 상기 가이드 휠들(46)의 위치가 조절될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 상부 주행 레일(20) 및 상기 하부 주행 레일(22)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 상부 주행 레일(20)과 연결되는 제1 높이, 상기 하부 주행 레일(22)과 연결되는 제2 높이 및 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일들(120)과, 상기 서포트 레일들(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 서포트 레일들(120)의 상부에 배치되며 상기 비히클(30)의 주행 휠들(42)의 높이를 측정하기 위한 높이 측정 센서(150)를 포함할 수 있다.
상기 작업 챔버(110)는 대략 직사각 형태를 가질 수 있다.
상기 작업 챔버(110) 전면의 상기 제1 높이에는 상기 비히클(30)의 출입을 위한 제1 개구(111)가 구비될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 제1 개구(111) 내측에 상기 상부 주행 레일(20)의 단부가 배치될 수 있다. 아울러, 상기 작업 챔버(110) 후면의 상기 제1 높이에도 상기 비히클(30)의 출입을 위한 제2 개구(112)가 구비될 수 있다.
상기 작업 챔버(110) 전면의 상기 제2 높이에는 상기 비히클(30)의 출입을 위한 제3 개구(113)가 구비될 수 있다. 상기 제3 개구(113) 내측에 상기 하부 주행 레일(22)의 단부가 배치될 수 있다. 상기 작업 챔버(110) 후면의 상기 제2 높이에도 상기 비히클(30)의 출입을 위한 제4 개구(114)가 구비될 수 있다.
상기 서포트 레일들(120)은 상기 상부 주행 레일(20)의 단부에 인접하는 상기 제1 높이, 상기 하부 주행 레일(22)의 단부에 인접하는 상기 제2 높이 및 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 상기 제3 높이 사이에서 승강될 수 있다.
상기 승강 기구(130)는 상기 비히클(30)이 상기 제1 높이에서 상기 서포트 레일들(120) 상으로 이동된 후 상기 서포트 레일들(120)을 상기 제3 높이로 하강시킬 수 있다. 또한, 상기 승강 기구(130)는 상기 비히클(30)이 상기 제2 높이에서 상기 서포트 레일들(120) 상으로 이동된 후 상기 서포트 레일들(120)을 상기 제3 높이로 하강시킬 수 있다.
예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 승강 기구(130)는 상기 서포트 레일들(120)을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 기구들과 상기 서포트 레일들(120)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부는 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 구동부의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
도 4는 도 1에 도시된 서포트 레일들과 비히클을 설명하기 위한 개략적인 확대 구성도이고, 도 5는 도 4에 도시된 베이스 패널을 설명하기 위한 개략적인 확대 저면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 서포트 레일들(120)은 연결 브릿지들(122)에 의해 서로 연결될 수 있으며, 상기 연결 브릿지들(122)의 상부에는 베이스 패널(124)이 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 베이스 패널(124)의 하부면에는 상기 주행 모듈(40)의 좌측 및 우측 주행 휠들(42)의 높이를 측정하기 위한 좌측 및 우측 높이 측정 센서들(150)이 장착될 수 있다.
또한, 상기 베이스 패널(124)의 하부면에는 상기 서포트 레일들(120)의 높이를 측정하기 위한 제2 높이 측정 센서들(152)이 장착될 수 있다. 즉, 상기 좌측 및 우측 높이 측정 센서들(150)에 의해 측정된 상기 주행 휠들(42)의 높이와 상기 제2 높이 측정 센서들(152)에 의해 측정된 상기 서포트 레일들(120)의 높이를 서로 비교하여 상기 주행 휠들(42)의 마모 정도를 판단할 수 있으며, 그 결과에 따라 상기 주행 휠들(42)의 교체 여부가 결정될 수 있다.
그러나, 상기와 다르게, 상기 서포트 레일들(120)의 높이는 상기 좌측 및 우측 높이 측정 센서들(150)에 의해 측정될 수도 있다. 이 경우, 상기 제2 높이 측정 센서들(152)은 생략될 수 있다.
아울러, 상기 베이스 패널(124)의 하부면에는 상기 가이드 휠들(46)의 위치를 조절하기 위한 가이드 레일(160)이 배치될 수 있다. 상기 가이드 레일(160)은 상기 비히클(30)의 주행 방향으로 길게 배치될 수도 있고, 도시된 바와 같이 두 개의 가이드 레일들(160)이 상기 주행 방향으로 소정 간격 이격되어 배치될 수도 있다.
도 6은 도 2에 도시된 가이드 휠들의 위치 조절 방법을 설명하기 위한 개략적인 확대 구성도이다.
도 6을 참조하면, 상기 서포트 레일들(120)의 상부에는 상기 비히클(30)의 주행 휠들(42)과 대응하는 리세스들(126)이 구비될 수 있으며, 상기 리세스들(126)에는 상기 리세스들(126)의 깊이와 동일한 두께를 갖는 스페이서들(128)이 삽입될 수 있다. 특히, 상기 주행 휠들(42)이 상기 스페이서들(128) 상에 위치되는 경우 상기 가이드 휠들(46)이 상기 가이드 레일들(160)의 측면 상에 위치될 수 있다.
상기와 같이 가이드 휠들(46)이 상기 가이드 레일들(160)의 측면들 상에 위치된 상태에서 도시된 바와 같이 상기 스페이서들(128) 중 하나를 제거하는 경우, 상기 스페이서(128)가 제거된 리세스(126)의 저면과 이에 대응하는 주행 휠(42) 사이에는 소정의 갭(G)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 리세스(126)의 깊이는 약 2mm 정도일 수 있다.
한편, 상기 심 플레이트들(60)의 개수가 증가됨에 따라 상기 갭(G)도 함께 증가될 수 있으므로, 상기 갭(G)이 기 설정된 수치가 되도록 상기 심 플레이트(60)의 장착 개수를 조절할 수 있다. 예를 들면, 상기 갭(G)이 약 2.3mm 내지 2.5mm 정도가 되도록 상기 심 플레이트(60)의 장착 개수를 조절할 수 있으며, 상기와 같은 가이드 휠들(46)의 위치 조절 단계는 각각의 주행 휠들(42)에 대하여 4번 반복적으로 수행할 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기와 같이 비히클(30)이 상기 제3 높이로 하강된 후 상기 비히클(30)에 대한 동작 상태 점검이 수행될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 작업 챔버(110)의 측면에는 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 비히클(30)이 상기 하부 위치로 하강된 후 작업자는 상기 제1 도어를 개방한 후 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검할 수 있다. 예를 들면, 상기 주행 모듈들(40)과 호이스트 모듈(70)의 동작 상태, 각종 센서들의 동작 상태 등이 작업자에 의해 점검될 수 있다.
한편, 상기 비히클(30)의 동작 상태가 불량하여 고장 수리, 부품 교체 등이 요구되는 경우 상기 비히클(30)은 상기 작업 챔버(110)로부터 반출될 수 있다. 이를 위해 상기 작업 챔버(110) 후면의 상기 제3 높이에는 상기 비히클(30)의 반입 및 반출을 위한 제2 도어(115)가 구비될 수 있다.
아울러, 상기 작업 챔버(110) 전면의 상기 제3 높이에는 상기 각종 센서들의 동작 테스트를 위한 제3 도어(116)가 구비될 수 있다. 상기 제3 도어(116)는 상기 제3 개구(113) 아래에 위치될 수 있으며, 후술될 테스트용 로드 포트(140) 상부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제3 도어(116)는 상기 3 개구(113)와 상기 테스트용 로드 포트(140) 사이에 위치될 수 있다.
상기 테스트용 로드 포트(140)는 상기 비히클(30)이 상기 작업 챔버(110)로 이동되기 전 상기 하부 주행 레일(22) 상에 위치된 비히클(30)의 동작 상태를 테스트하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 테스트용 로드 포트(140)는 공정 설비에 구비되는 로드 포트와 동일하게 구성될 수 있으며, 카세트 또는 FOUP 등과 같은 기판 수납 용기를 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 테스트용 로드 포트(140)는 상기 기판 수납 용기의 로드/언로드 테스트, 상기 호이스트 모듈의 티칭 상태 등을 테스트하기 위해 사용될 수 있다.
상기 비히클(30)에는 하방 장애물 감지 센서(80)와 전방 장애물 감지 센서(82) 및 전방 거리 센서(84) 등이 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 하방 장애물 감지 센서(80)는 상기 호이스트 모듈(70)의 하부에 장착될 수 있으며, 상기 전방 장애물 감지 센서(82)와 전방 거리 센서(84)는 상기 호이스트 모듈(70)의 전면 부위들에 장착될 수 있다. 상기 하방 장애물 감지 센서(80)는 이송 대상물을 로드 또는 언로드하는 경우 상기 호이스트 모듈(70)의 하부에 장애물이 있는지 여부를 판단하기 위해 사용될 수 있으며, 상기 전방 장애물 감지 센서(82)는 상기 비히클(30)의 주행 중 전방에 장애물이 있는지 여부를 판단하기 위해 사용될 수 있다. 아울러, 상기 전방 거리 센서(84)는 전방에 위치된 다른 비히클과의 거리를 측정하기 위해 사용될 수 있다.
도 7은 도 1에 도시된 테스트용 로드 포트를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 8은 도 1에 도시된 테스트용 로드 포트를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 테스트용 로드 포트(140)에는 상기 센서들의 동작 테스트를 위한 테스트 지그들이 장착될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 테스트용 로드 포트(140)의 일측에는 상기 하방 장애물 감지 센서(80)의 동작 테스트를 위한 제1 테스트 지그(170)가 배치될 수 있으며, 상기 하방 장애물 감지 센서(80)의 동작 테스트는 상기 비히클(30)이 상기 하부 주행 레일(22)을 따라 상기 작업 챔버(110) 내부로 이동되기 전에 수행될 수 있다.
또한, 상기 테스트용 로드 포트(140)의 상부에는 상기 전방 장애물 감지 센서(82)와 전방 거리 센서(84)의 동작 테스트를 위한 제2 테스트 지그(172)와 제3 테스트 지그(174)가 배치될 수 있다. 상기 전방 장애물 감지 센서(82)와 전방 거리 센서(84)의 동작 테스트는 상기 비히클(30)이 상기 제3 높이로 하강된 후 수행될 수 있다. 이때, 상기 제3 도어(116)는 개방될 수 있으며, 상기 제2 및 제3 테스트 지그들(172, 174)은 도시된 바와 같이 상기 제3 높이로 하강된 비히클(30)과 마주하도록 배치될 수 있다.
일 예로서, 상기 하방 장애물 감지 센서(80)와 전방 장애물 감지 센서(82) 및 전방 거리 센서(84)로서 광 센서들이 사용될 경우, 상기 제1, 제2 및 제3 테스트 지그들(170, 172, 174)로서 반사판들이 사용될 수 있다.
상기 작업 챔버(110)의 내측면에는 상기 비히클(30)을 감지하기 위한 제1 비히클 감지 센서(180), 제2 비히클 감지 센서(182) 및 제3 비히클 감지 센서(184)가 구비될 수 있다.
상기 제1 비히클 감지 센서(180)는 상기 제1 높이에 배치되고, 상기 제2 비히클 감지 센서(182)는 상기 제2 높이에 배치되고, 상기 제3 비히클 감지 센서(184)는 상기 제3 높이에 배치된다.
상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)는 상기 서포트 레일들(120)을 감지함으로써 상기 비히클(30)을 감지 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)는 상기 비히클(30)을 직접 감지할 수 있다.
상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)는 근접 센서들 또는 광 센서들일 수 있다.
일 예로서, 상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)로서 상기 광 센서들이 사용될 경우, 상기 서포트 레일들(120)이나 상기 비히클(30)에 반사판이 구비될 수 있다.
상기 승강 기구(130)는 상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)가 상기 비히클(30)을 감지할 때까지 상기 서포트 레일들(120)을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이 사이에서 승강시킨다. 상기 제1 비히클 감지 센서(180), 상기 제2 비히클 감지 센서(182) 및 상기 제3 비히클 감지 센서(184)를 이용하여 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)의 위치를 확인할 수 있으므로, 상기 승강 기구(130)가 상기 서포트 레일들(120)에 지지된 상기 비히클(30)을 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이로 정확하게 승강시킬 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 주행 레일(20)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 상부 주행 레일(20)과 연결되는 상기 제1 높이, 상기 하부 주행 레일(22)과 연결되는 상기 제2 높이 및 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 상기 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일들(120)과, 상기 서포트 레일들(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 작업 챔버(110) 내의 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 각각 구비되며, 상기 비히클이 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 정확하게 위치하도록 상기 서포트 레일들(120)에 지지된 상기 비히클(30)을 감지하기 위한 비히클 감지 센서들(180, 182, 184)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 비히클(30)을 상기 작업 챔버(110)상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이로 정확하게 승강시킬 수 있다. 또한, 상기 서포트 레일들(130)의 높이를 상기 상부 주행 레일(20) 및 상기 하부 주행 레일(22)의 높이와 정확하게 같게 함으로써 상기 비히클(30)이 안정적으로 이동할 수 있다.
특히, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 상기 서포트 레일들(120)의 상부에 배치되며 상기 비히클(30)의 주행 휠들(42)의 높이를 측정하기 위한 높이 측정 센서들(150) 및 상기 비히클(30)의 가이드 휠들(46)의 위치 조절을 위한 가이드 레일(160)을 구비할 수 있으며, 상기 서포트 레일들(120)에는 상기 가이드 휠들(46)의 위치 조절을 위한 리세스들(126)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 상기 비히클(30)의 각종 센서들의 동작 테스트를 위한 테스트 지그들(170, 172, 174)을 구비할 수 있다.
따라서, 상기 비히클(30)에 대한 다양한 유지 보수 작업들이 상기 작업 챔버(110) 내에서 수행될 수 있으므로 상기 비히클(30)의 유지 보수에 소요되는 비용과 시간이 감소될 수 있다. 특히, 종래 기술에서 사용되었던 테스트 벤치와 같은 별도의 테스트 장치가 필요하지 않으므로 상기 비히클(30)의 유지 보수에 소요되는 비용이 더욱 절감될 수 있으며, 아울러 상기 비히클(30)을 상기 테스트 장치로 이동하는데 소요되는 시간이 불필요하므로 상기 비히클(30)의 유지 보수에 소요되는 시간이 더욱 단축될 수 있다.
이하에서는 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)의 동작 과정에 대해 설명한다.
상기 비히클(30)의 동작 상태가 불량하여 고장 수리, 부품 교체 등이 요구되는 경우 상기 비히클(30)은 상기 작업 챔버(110)를 통해 반출될 수 있다
구체적으로, 상기 승강 기구(130)에 의해 상기 서포트 레일(120)이 상기 상부 주행 레일(20)과 연결되는 상기 제1 높이 또는 상기 하부 주행 레일(22)과 연결되는 상기 제2 높이로 승강할 수 있다.
상기 제1 비히클 감지 센서(180) 및 상기 제2 비히클 감지 센서(182)로 상기 서포트 레일(120)이 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에 위치하는지 확인한다.
이후, 상기 비히클(30)이 상기 상부 주행 레일(20) 또는 상기 하부 주행 레일(22)을 따라 상기 작업 챔버(110) 내부로 이동하여 상기 서포트 레일(120)에 지지될 수 있다.
상기 비히클(30)이 상기 서포트 레일(120)에 지지되면, 상기 비히클(30)은 상기 승강 기구(130)에 의해 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에서 상기 제3 높이에 이송된다. 이후, 상기 비히클(30)은 상기 제2 도어(115)를 통해 반출될 수 있다.
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하나의 상기 비히클(30)이 상기 작업 챔버(110)의 상기 제2 도어(115)를 통해 반출되면, 새로운 비히클(30)이 상기 작업 챔버(110)의 상기 제2 도어(115)를 통해 반입될 수 있다.
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상기 작업 챔버(110)로 투입된 상기 비히클(30)는 상기 제3 높이에 위치한다. 이후, 상기 비히클(30)은 상기 승강 기구(130)에 의해 상기 상부 주행 레일(20)과 연결되는 상기 제1 높이 또는 상기 하부 주행 레일(22)과 연결되는 상기 제2 높이로 승강할 수 있다.
상기 제1 비히클 감지 센서(180) 및 상기 제2 비히클 감지 센서(182)로 상기 비히클(30)이 상기 제1 높이 또는 상기 제2 높이에 위치하는지 확인한다.
이후, 상기 비히클(30)이 상기 상부 주행 레일(20) 또는 상기 하부 주행 레일(22)을 따라 이동할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 천장 주행 이송 장치 20 : 주행 레일
30 : 비히클 40 : 주행 모듈
42 : 주행 휠 44 : 본체
46 : 가이드 휠 48 : 가동 부재
50 : 서포트 구조물 60 : 심 플레이트
70 : 호이스트 모듈 80 : 하방 장애물 감지 센서
82 : 전방 장애물 감지 센서 84 : 전방 거리 센서
100 : 비히클 유지 보수용 승강 장치
110 : 작업 챔버 120 : 서포트 레일
122 : 연결 브릿지 124 : 베이스 패널
126 : 리세스 128 : 스페이서
130 : 승강 기구 140 : 테스트용 로드 포트
150 : 높이 측정 센서 152 : 제2 높이 측정 센서
160 : 가이드 레일 170 : 제1 테스트 지그
172 : 제2 테스트 지그 174 : 제3 테스트 지그
180 : 제1 비히클 감지 센서 182 : 제2 비히클 감지 센서
184 : 제3 비히클 감지 센서

Claims (13)

  1. 상부 주행 레일 및 하부 주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서,
    상기 상부 주행 레일 및 상기 하부 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버;
    상기 상부 주행 레일과 연결되는 제1 높이, 상기 하부 주행 레일과 연결되는 제2 높이 및 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 제3 높이 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일들;
    상기 서포트 레일들을 승강시키기 위한 승강 기구; 및
    상기 작업 챔버 내의 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 각각 구비되며, 상기 비히클이 상기 제1 높이, 상기 제2 높이 및 상기 제3 높이에 정확하게 위치하도록 상기 서포트 레일들에 지지된 상기 비히클을 감지하기 위한 비히클 감지 센서들을 포함하고,
    서포트 레일들의 상부에는 비히클의 주행 휠들과 대응하는 위치에 상기 비히클의 가이드 휠들의 위치를 조정하기 위한 리세스들이 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 비히클의 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 적어도 하나의 높이 측정 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 서포트 레일들의 상부에는 상기 비히클의 좌측 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 좌측 높이 측정 센서와 상기 비히클의 우측 주행 휠들의 높이를 측정하기 위한 우측 높이 측정 센서가 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 서포트 레일들의 높이를 측정하기 위한 적어도 하나의 제2 높이 측정 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 서포트 레일들의 상부에 배치되며 상기 비히클의 상부 가이드 휠들을 지지하기 위한 적어도 하나의 가이드 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 리세스들에 삽입되며 상기 리세스들의 깊이와 동일한 두께를 갖는 스페이서들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버 전면의 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구들이 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 작업 챔버의 전방에 제3 높이에 해당하는 높이로 배치되며 상기 비히클의 동작 테스트를 위한 테스트용 로드 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 테스트용 로드 포트의 일측에 배치되며 상기 비히클의 하방 장애물 감지 센서의 동작 테스트를 위한 제1 테스트 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 테스트용 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 비히클의 전방 장애물 감지 센서의 동작 테스트를 위한 제2 테스트 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 테스트용 로드 포트의 상부에 배치되며 상기 비히클의 전방 거리 센서의 동작 테스트를 위한 제3 테스트 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 작업 챔버 전면의 상기 제3 높이에 구비되고, 상기 테스트용 로드 포트의 상부에 배치되며, 상기 비히클의 전방 장애물 감지 센서 및 전방 거리 센서의 동작 테스트를 위한 도어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.
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