JP6471651B2 - 物品搬送設備 - Google Patents
物品搬送設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6471651B2 JP6471651B2 JP2015168161A JP2015168161A JP6471651B2 JP 6471651 B2 JP6471651 B2 JP 6471651B2 JP 2015168161 A JP2015168161 A JP 2015168161A JP 2015168161 A JP2015168161 A JP 2015168161A JP 6471651 B2 JP6471651 B2 JP 6471651B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traveling
- pair
- travel
- vehicle
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 98
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 42
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B13/00—Other railway systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
- B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61C—LOCOMOTIVES; MOTOR RAILCARS
- B61C17/00—Arrangement or disposition of parts; Details or accessories not otherwise provided for; Use of control gear and control systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
- B61D15/00—Other railway vehicles, e.g. scaffold cars; Adaptations of vehicles for use on railways
- B61D15/08—Railway inspection trolleys
- B61D15/12—Railway inspection trolleys power propelled
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61D—BODY DETAILS OR KINDS OF RAILWAY VEHICLES
- B61D49/00—Other details
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61F—RAIL VEHICLE SUSPENSIONS, e.g. UNDERFRAMES, BOGIES OR ARRANGEMENTS OF WHEEL AXLES; RAIL VEHICLES FOR USE ON TRACKS OF DIFFERENT WIDTH; PREVENTING DERAILING OF RAIL VEHICLES; WHEEL GUARDS, OBSTRUCTION REMOVERS OR THE LIKE FOR RAIL VEHICLES
- B61F9/00—Rail vehicles characterised by means for preventing derailing, e.g. by use of guide wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/6776—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/02—Control or detection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
- B65G2203/04—Detection means
- B65G2203/042—Sensors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Description
そこで、上記特許文献1に開示の物品搬送設備にあっては、走行レールの走行面との距離を測定する距離センサを走行車に備えており、当該距離センサの測定結果に基づいて、物品搬送設備のコントローラが、走行レールの走行面との距離を管理するように構成されている。
上記特許文献1に開示の物品搬送設備にあっては、走行車に単一の距離センサを備え、当該距離センサと走行レールの走行面との距離を測定しているのであるが、上述の如く、距離センサに振動が伝達されると、当該距離センサの測定値と走行レールの走行面との距離とが相関を持たない状態となる場合があった。このため、単一の距離センサのみを設ける構成にあっては、例えば、距離センサの測定結果に基づいて、走行レールの走行面での段差の有無を知ることができない場合があった。
走行経路に沿って配置された走行レールと、当該走行レールの走行面で走行輪を転動させる状態で前記走行経路に沿って案内される走行車とを備え、前記走行車が前記走行面との間の距離を計測する距離センサを備える物品搬送設備であって、その特徴構成は、
前記距離センサは、走行方向に沿って一対並べられ、
前記一対の距離センサの一方が、前記走行面における第1箇所までの距離を計測し、前記一対の距離センサの他方が、前記走行面における前記第1箇所に対して前記走行方向に離間した第2箇所までの距離を計測し、
前記一対の距離センサの測定値の差分値に基づいて、前記走行レールの前記走行面との距離を管理する検査用制御部を備え、
前記検査用制御部は、前記一対の距離センサの測定値の差分値に基づいて、前記走行レールの前記走行面の段差の有無を判定する点にある。
即ち、検査用制御部が、一対の距離センサの測定値の差分値に基づいて、走行レールの走行面との距離を管理することで、例えば、走行面に形成されることがある段差を、走行車の走行に伴う振動の影響を除去した状態で適切に検出できる。
結果、例えば、管理されている走行面との距離を用いて、走行レールの保守を適切に行うことができる物品搬送設備を実現できる。
尚、上記特徴構成において、「走行レールの走行面との距離の管理」とは、走行レールの走行面との距離として、一対の距離センサの測定値の絶対値を、走行レールの位置情報と共に記憶する制御のみを指す場合も含んでいる。つまり、上記特徴構成にあっては、検査用制御部は、走行レールの走行面の段差の有無の判定に係る制御を行わないものも含む概念である。
従って、当該差分値に基づいて、走行レールの走行面の段差の有無を判定することで、走行車が振動等する場合であっても、走行レールの走行面の段差の有無を良好に判定できる。
前記検査用制御部は、前記一対の距離センサの測定値の前記差分値を段差の深さとして抽出し、前記差分値が、段差判定閾値以上の場合に、前記段差として補修対象段差が有ると判定する点にある。
本願に係る物品搬送設備にあっては、一対の距離センサの測定値の差分値を段差判定の指標としているのであるが、当該差分値は、段差の深さに対応する値となる。
そこで、上記特徴構成にあっては、測定された差分値が、予め決定され記憶部に記憶される段差判定閾値(例えば、5mm)以上の場合に、修復対象段差であると判定する構成を採用することで、差分値が計測された箇所のうち、特に、即座に補修が必要な深い段差と、即座に補修の必要のない浅い段差とを良好に区別できる。
これにより、例えば、補修対象段差を優先して補修する指示等の制御指令を、検査用制御部が表示装置等に出力することで、作業者は、補修すべき段差を対象として補修することができ、メンテナンスを効率良く実行できる。
前記走行経路は、直線状に設定された直線部分と曲線状に設定された曲線部分とを有し、前記曲線部分において、少なくとも当該曲線部分に沿う案内レールを前記走行レールとは別に備え、
前記走行車は、前記走行経路の前記曲線部分において前記案内レールに案内されて前記曲線部分を走行する前記走行車の走行方向視での姿勢を規定する案内補助輪を備える点にある。
当該傾斜姿勢にあっては、通常走行姿勢と比較して、一対の距離センサと走行レールの走行面との距離が変化することとなる。上記特徴構成にあっては、このような傾斜姿勢にあっても、走行車が走行方向で一対の距離センサの測定値の差分値は、傾斜の影響を除去した値となるから、走行レールの走行面との距離の管理(段差の有無の判定)を良好に実行できる。
尚、当該明細書において、走行方向とは、平面視で走行輪の回転軸心に対して直交する方向であるものとする。
前記一対の距離センサは、走行方向で前記走行車の前記走行輪の前方側に設けられている点にある。
前記走行レールとして、走行方向に沿って配置された一対の走行レールを備え、
前記走行車が、第1の前記一対の距離センサと、第2の前記一対の距離センサとを各別に備え、
前記第1の前記一対の距離センサが、前記一対の走行レールの一方の前記走行面との間の距離を計測すると共に、前記第2の前記一対の距離センサが、前記一対の走行レールの他方の前記走行面との間の距離を計測する形態で配設されている点にある。
前記走行車の前記走行経路上での走行を制御する走行制御部を備え、
前記走行車は、前記一対の距離センサの測定値を記憶する記憶部を有する前記検査用制御部を備え、
前記検査用制御部は、前記走行車の前記走行経路上での位置に係る情報である位置情報を前記走行制御部から取得し、当該位置情報と当該位置情報に対応する位置にて前記一対の距離センサの測定値の前記差分値とを紐付けて前記記憶部に記憶する点にある。
前記走行レールの検査を行う前記走行車である検査走行車とは別に、搬送対象の物品を搬送する物品搬送車を備え、
前記検査走行車の走行速度の上限値を、前記物品搬送車の走行速度の上限値と同一に制御する走行制御部を備える点にある。
これに対し、本願の物品搬送設備の検査走行車は、走行方向に並ぶ一対の距離センサを備え、それらの測定値の差分値を検査指標としているから、走行速度を上げた場合であっても、振動等の影響を適切に除去した状態で、走行レールの走行面との距離の管理(例えば、走行面での段差の有無の判定)を良好に実行できる。
そこで、上記特徴構成によれば、走行制御部は、検査走行車の走行速度の上限値を、物品搬送車の走行速度の上限値と同一に制御することで、走行レールの走行面との距離の管理(走行面での段差の有無の判定)を良好に行いながらも、検査走行車が物品搬送車による物品の搬送を邪魔することなく、物品搬送を良好に実現し得る物品搬送設備を実現できる。
物品搬送設備は、図1〜5に示すように、走行経路1に沿って配置された走行レール2と、当該走行レール2の走行面で走行輪15を転動させる状態で走行経路1に沿って案内される走行車3とを備え、当該走行車3としての単一の検査走行車3aが走行面との間の距離を計測する距離センサS7を備える。本実施形態では、検査走行車3aが本願発明の「走行車」に相当する。走行車3として、半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)を物品として搬送する物品搬送車3bを複数備えている。本実施形態では、走行車3としての検査走行車3a及び物品搬送車3bが、天井に吊り下げ支持される走行レール2を走行する天井走行車として備えられている。
尚、物品搬送車3bとしては、それに設けられる昇降機構、横行機構、及びチャックユニットを除き、後述する検査走行車3aと同一の構成を有しており、昇降機構、横行機構、及びチャックユニットの構成に関しては、公知の構成であるため、ここではその詳細な説明を割愛する。
走行経路1は、直線状に設定された直線部分1aと曲線状に設定された曲線部分1bとを備えている。具体的には、主経路4は、平行な一対の直線部分1aと一対の直線部分1aの端部同士を接続する一対の曲線部分1bとから形成されている。複数の副経路5の夫々は、主経路4と同様に、一対の直線部分1aと一対の曲線部分1bとで形成されている。接続経路6は、主経路4に接続される曲線部分1bと副経路5に接続される直線部分1aとで形成されている。このように、走行経路1は、直線部分1aと曲線部分1bとを組み合わせて設定されている。
また、接続経路6として、主経路4から副経路5に向けて走行車3を分岐走行させる分岐用の接続経路6rと、副経路5から主経路4に向けて走行車3を合流走行させる合流用の接続経路6と、が備えられている。
尚、以下では、検査走行車3aの前後方向に対して平面視で直交する方向を車体横幅方向と称し、上記前後方向及び車体横幅方向の双方に直交する方向を車体上下幅方向と称して説明する。また、検査走行車3aの後方から前方を見た状態で、車体横幅方向における左右方向を特定して説明する。また、走行部9については、平面視で走行輪15の回転軸心に対して直交する方向を走行方向としている。検査走行車3が走行経路1の直線部分1aを走行しているときは、検査走行車3aの前後方向と走行部9の走行方向とが同じ方向となる。
また、走行経路1については、走行経路1に沿う方向を経路長手方向とし、その経路長手方向に対して平面視で直交する方向を経路幅方向と称して説明する。ちなみに、例えば、検査走行車3aが走行経路1の直線部分1aを走行しているときは、走行方向と経路長手方向とは同じ方向となり、車体幅方向と経路幅方向とは同じ方向となる。
走行部9として、第1走行部9fと、当該第1走行部9fと前後方向に並ぶ第2走行部9rと、が備えられている。尚、前後方向に並ぶ一対の走行部9のうち、前後方向で前方側に位置する走行部9を第1走行部9fとし、前後方向で後方側に位置する走行部9を第2走行部9rとしている。
第2走行部9rには、第1走行部9fと同様に、1組の左右一対の走行輪15と2組の左右一対の案内輪16とが装備されている。
尚、第1走行部9fに備えられている走行輪15としての第1走行輪15f、及び第2走行部9rに備えられている走行輪15としての第2走行輪15rが、走行レール2の走行面を転動する。
図2に示すように、第1走行部9fの連結軸17と検査走行車本体10の第1支持機構18fとは、上下方向に沿う第1軸心回りに相対回転自在に連結されている。このように、第1走行部9fと検査走行車本体10とを連結することで、検査走行車本体10は、第1支持機構18fにより第1走行部9fに支持されている。また、第1支持機構18fは、検査走行車本体10を上下方向に沿う第1軸心回りに回転自在に支持している。
第2走行部9rの連結軸17と検査走行車本体10の第2支持機構18rとは、上下方向に沿う第2軸心回りに相対回転自在に連結されている。このように、第2走行部9rと検査走行車本体10とを連結することで、検査走行車本体10は、第2支持機構18rにより第2走行部9rに支持されている。また、第2支持機構18rは、第2走行部9rを上下方向に沿う第2軸心周りに回転自在に支持している。
ここで、第1軸心は、第1走行部9fにおける走行方向の幅内で且つ車体横幅方向の幅内に位置しており、平面視で第1走行部9fと重畳するように配置されている。
第2軸心は、第2走行部9rにおける走行方向の幅内で且つ車体横幅方向の幅内に位置しており、平面視で第2走行部9rと重畳するように配置されている。
受電部12は、図3に示すように、一対の給電線11の間に位置し且つ一対の給電線11と同じ高さに位置する第1部分12aと、第1部分12aから車体横幅方向の両側に延出して一対の給電線11の上下両側に位置する第2部分12bと、を備えている。
第2部分12bとしては、第1部分12aの上端から車体横幅方向の両側に延出する上側の第2部分12bと、第1部分12aの下端から車体横幅方向の両側に延出する下側の第2部分12bとが設けられている。
走行経路1における経路が分岐又は合流する接続部分(主経路4と接続経路6とが接続される部分や副経路5と接続経路6とが接続される部分)には、案内補助輪19を案内する案内レール21が設けられている。当該案内レール21は、走行レール2よりも上方に、平面視で左右一対の走行レール2の中間に位置するように配置されている。
そして、第1走行部9fは、駆動部20にて前後一対の案内補助輪19を車体横幅方向に移動させることによって、前後一対の案内補助輪19の位置を、前後一対の案内補助輪19が第1走行部9fの車体横幅方向の中央より右側に位置して案内レール21に対して右側から当接する右案内位置と、前後一対の案内補助輪19が第1走行部9fの車体横幅方向の中央より左側に位置して案内レール21に対して左側から当接する左案内位置とに移動させるように構成されている。
第2走行部9rは、第1走行部9fと同様に、駆動部20にて前後一対の案内補助輪19の位置を右案内位置と左案内位置とに移動させるように構成されている。
図5に示すように、走行経路1の接続部分には、案内レール21として、走行経路1の直線部分1a(図1に図示)に沿って設置される直線案内レール21aと、走行経路1の曲線部分1b(図1に図示)に沿って設置される曲線案内レール21bと、が設置されている。
図5に示すように、副経路5(図1に図示)を走行する検査走行車3aが、経路が分岐する接続部分に進入するときに、2組の前後一対の案内補助輪19(以下、単に案内補助輪19と称する)を左案内位置に移動させた状態で進入することで、検査走行車3aは、案内補助輪19が直線案内レール21aの左側に位置する状態で走行する。このため、案内補助輪19は曲線案内レール21bにて案内されることなく、検査走行車3aは副経路5(図1に図示)の直線部分1a(図1に図示)から接続経路6の直線部分1a(図1に図示)に分岐走行する。
また、副経路5を走行する検査走行車3aが、経路が分岐する接続部分に進入するときに、案内補助輪19を右案内位置に移動させた状態で進入することで、検査走行車3aは、案内補助輪19は直線案内レール21aの右側に位置する状態で走行する。そのため、案内補助輪19は曲線案内レール21bにて案内されて、検査走行車3aは、副経路5を直線部分1aから曲線部分1b(図1に図示)に走行する。
即ち、検査走行車3aは、案内補助輪19が曲線案内レール21bにて案内されて、走行経路1の曲線部分1bを走行する場合、案内補助輪19にて検査走行車3aの走行方向視での姿勢が、曲線部分1bの内側(検査走行車にかかる遠心力と逆側)に傾斜する傾斜姿勢に規定される形態で、走行することとなる。
そこで、当該実施形態に係る物品搬送設備にあっては、検査走行車3aの第1走行部9fに、走行面との間の距離を計測する距離センサS7(S7a、S7b)を、走行方向に沿って一対並べて備えると共に、当該一対の距離センサS7a、S7bの測定値の差分値に基づいて、走行レール2の走行面との距離を管理する検査制御装置S2(検査用制御部の一例)を備えている。
当該実施形態においては、検査制御装置S2は、検査走行車本体10の内部に支持板10aに支持される形態で設けられている。尚、図6に示すように、物品搬送設備の走行車3に対する運行指示等を行う設備制御装置S1(走行制御部の一例)が、検査制御装置S2とは別に設けられており、検査制御装置S2は、検査走行車本体10内に設けられる通信制御部(図示せず)を介して、設備制御装置S1と通信可能に構成されている。ちなみに、当該実施形態にあっては、設備制御装置S1に操作装置S3が有線又は無線により電気的に接続されており、作業者が当該操作装置S3にて検査ルートを指定する形態で、検査走行車3aによる検査が実行される。
即ち、一対の距離センサS7a、S7bとして、第1の一対の距離センサS7a、S7bと、第2の一対の距離センサS7a、S7bとを各別に備えており、第1の一対の距離センサS7a、S7bが、一対の走行レール2の一方の走行面との間の距離を計測すると共に、第2の一対の距離センサS7a、S7bが、一対の走行レール2の他方の走行面との間の距離を計測する形態で配設されている。
尚、一対の距離センサS7a、S7bは、第1走行部9fの走行輪15rが段差等を通過して生じる振動の測定値に対する影響を低減するため、走行方向において、第1走行部9fの走行輪15の前方に配置されている。
また、当該実施形態にあっては、一対の距離センサS7a、S7bは、センサアンプに接続されており、当該センサアンプは、両者の測定値の差分値を導出し出力する機能を有する。
尚、走行レール2の下面には、走行経路1の位置情報が記されるバーコードBが経路長手方向で特定距離毎に設けられており、検査走行車3aには、検査走行車本体10の上方にバーコードBを読み取るバーコードリーダーS6が設けられている。当該バーコードリーダーS6が読み取った位置情報、及び読み取った時間に係る時間情報が、通信制御部(図示せず)を介して設備制御装置S1に送信され、設備制御装置S1が、それらの情報を記憶する。
検査制御装置S2は、記憶部S5に記憶している差分値と、当該差分値が取得された位置に関する位置情報及び時間に関する時間情報を設備制御装置S1から取得し、差分値に紐付ける状態で記憶部S5に記憶する。
解析装置S4は、一対の距離センサS7a、S7bの測定値の差分値に基づいて、走行レール2の走行面の段差Dの有無を判定する。具体的には、解析装置S4は、一対の距離センサS7a、S7bの測定値の差分値を段差Dの深さ(図7におけるΔx)とし、差分値が段差判定閾値(例えば、5mm)以上の場合に、補修対象段差が有ると判定(走行レール2の走行面との距離の管理の一例)する。
解析装置S4は、例えば、走行経路1上で補修対象段差が存在する箇所を表示する表示部及び表示ソフトウェアを備え、作業者に、走行経路1上の何れかに補修対象段差が存在するかを視覚により視認させる機能を有する。
(1)上記実施形態では、検査走行車3aと物品搬送車3bとを、同時に走行レール2上を走行させる例を示した。
しかしながら、検査走行車3aと物品搬送車3bとを同時に走行レール2上を走行させるのみに限らず、検査走行車3aのみを走行レール2上を走行させるものも含むものとする。また、上記実施形態にあっては、単一の検査走行車3aを走行させる例を示したが、複数の検査走行車3aを同時に走行させる構成を採用しても構わない。
しかしながら、一対の距離センサS7a、S7bは、走行方向において、第1走行部9fの走行輪15fの後方に配置する構成を採用しても構わない。
しかしながら、検査制御装置S2は、地上に設置されていても良い。この場合、検査走行車本体10の通信制御部は、一対の距離センサS7a、S7bが取得した測定値の差分値を、逐次検査制御装置S2を介して解析装置S4へ送信する構成を採用しても良い。
しかしながら、両者の測定値の差分値を導出する機能は、検査制御装置S2が有するように構成しても構わない。
しかしながら、別に、検査走行車3aの速度上限値と、物品搬送車3bの速度上限値とは異なる値に設定されていても構わない。
つまり、解析装置S4を備えない物品搬送設備も、本発明の権利範囲に含まれ、この場合、物品搬送設備とは別に、解析装置を備えることが好ましい。
1a :直線部分
1b :曲線部分
2 :走行レール
3a :検査走行車(走行車)
3b :物品搬送車
6 :接続経路
15 :走行輪
19 :案内補助輪
21 :案内レール
D :段差
S1 :設備制御装置
S2 :検査制御装置
S4 :解析装置
S5 :記憶部
S7 :距離センサ
Claims (7)
- 走行経路に沿って配置された走行レールと、当該走行レールの走行面で走行輪を転動させる状態で前記走行経路に沿って案内される走行車とを備え、前記走行車が前記走行面との間の距離を計測する距離センサを備える物品搬送設備であって、
前記距離センサは、走行方向に沿って一対並べられ、
前記一対の距離センサの一方が、前記走行面における第1箇所までの距離を計測し、前記一対の距離センサの他方が、前記走行面における前記第1箇所に対して前記走行方向に離間した第2箇所までの距離を計測し、
前記一対の距離センサの測定値の差分値に基づいて、前記走行レールの前記走行面との距離を管理する検査用制御部を備え、
前記検査用制御部は、前記一対の距離センサの測定値の差分値に基づいて、前記走行レールの前記走行面の段差の有無を判定する物品搬送設備。 - 前記検査用制御部は、前記一対の距離センサの測定値の前記差分値を段差の深さとして抽出し、前記差分値が、段差判定閾値以上の場合に、前記段差として補修対象段差が有ると判定する請求項1に記載の物品搬送設備。
- 前記走行経路は、直線状に設定された直線部分と曲線状に設定された曲線部分とを有し、前記曲線部分において、少なくとも当該曲線部分に沿う案内レールを前記走行レールとは別に備え、
前記走行車は、前記走行経路の前記曲線部分において前記案内レールに案内されて前記曲線部分を走行する前記走行車の走行方向視での姿勢を規定する案内補助輪を備える請求項1又は2に記載の物品搬送設備。 - 前記一対の距離センサは、走行方向で前記走行車の前記走行輪の前方側に設けられている請求項1〜3の何れか一項に記載の物品搬送設備。
- 前記走行レールとして、走行方向に沿って配置された一対の走行レールが備えられ、
前記走行車が、第1の前記一対の距離センサと、第2の前記一対の距離センサとを各別に備え、
前記第1の前記一対の距離センサが、前記一対の走行レールの一方の前記走行面との間の距離を計測すると共に、前記第2の前記一対の距離センサが、前記一対の走行レールの他方の前記走行面との間の距離を計測する形態で配設されている請求項1〜4の何れか一項に記載の物品搬送設備。 - 前記走行車の前記走行経路上での走行を制御する走行制御部を備え、
前記走行車は、前記一対の距離センサの測定値を記憶する記憶部を有する前記検査用制御部を備え、
前記検査用制御部は、前記走行車の前記走行経路上での位置に係る情報である位置情報を前記走行制御部から取得し、当該位置情報と当該位置情報に対応する位置にて前記一対の距離センサの測定値の前記差分値とを紐付けて前記記憶部に記憶する請求項1〜5の何れか一項に記載の物品搬送設備。 - 前記走行レールの検査を行う前記走行車である検査走行車とは別に、搬送対象の物品を搬送する物品搬送車を備え、
前記検査走行車の走行速度の上限値を、前記物品搬送車の走行速度の上限値と同一に制御する走行制御部を備える請求項1〜6の何れか一項に記載の物品搬送設備。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015168161A JP6471651B2 (ja) | 2015-08-27 | 2015-08-27 | 物品搬送設備 |
TW105125591A TWI690441B (zh) | 2015-08-27 | 2016-08-11 | 物品搬送設備 |
KR1020160106838A KR20170026176A (ko) | 2015-08-27 | 2016-08-23 | 물품 반송 설비 |
US15/247,111 US9896275B2 (en) | 2015-08-27 | 2016-08-25 | Article transport facility |
CN201610730894.9A CN106477258B (zh) | 2015-08-27 | 2016-08-26 | 物品运送设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015168161A JP6471651B2 (ja) | 2015-08-27 | 2015-08-27 | 物品搬送設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017043257A JP2017043257A (ja) | 2017-03-02 |
JP6471651B2 true JP6471651B2 (ja) | 2019-02-20 |
Family
ID=58104307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015168161A Active JP6471651B2 (ja) | 2015-08-27 | 2015-08-27 | 物品搬送設備 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9896275B2 (ja) |
JP (1) | JP6471651B2 (ja) |
KR (1) | KR20170026176A (ja) |
CN (1) | CN106477258B (ja) |
TW (1) | TWI690441B (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2831452T3 (es) * | 2014-10-23 | 2021-06-08 | Spherea Test & Services | Banco dinámico para probar un conjunto de tren, en especial un conjunto de tren de metro automático, equipado de un árbol eléctrico |
JP6717243B2 (ja) * | 2017-03-14 | 2020-07-01 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6743750B2 (ja) * | 2017-04-14 | 2020-08-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US10564632B2 (en) * | 2017-11-29 | 2020-02-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for sensory automated material handing |
GB2561969B (en) * | 2018-03-02 | 2019-05-15 | Kannegiesser Uk Ltd | Cleaning apparatus for cleaning a rail system |
KR102169581B1 (ko) * | 2018-08-07 | 2020-10-23 | 세메스 주식회사 | 비히클 유지 보수용 승강 장치 |
US10401870B1 (en) * | 2018-11-15 | 2019-09-03 | Grey Orange Pte. Ltd. | System and method for handling items using movable-bots |
KR102172066B1 (ko) * | 2018-12-06 | 2020-10-30 | 세메스 주식회사 | 비히클 유지 보수용 승강 장치 |
JP7040487B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2022-03-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
AT522334B1 (de) * | 2019-08-13 | 2020-10-15 | Knapp Ag | Schienenkreuzung für ein Regallager |
KR102313087B1 (ko) * | 2020-01-14 | 2021-10-18 | 세메스 주식회사 | Oht 주행 시스템 및 oht 주행 시스템에서의 오차 보정 방법 |
JP7327174B2 (ja) * | 2020-01-14 | 2023-08-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR102332917B1 (ko) * | 2020-04-23 | 2021-11-29 | 시너스텍 주식회사 | Oht 레일 체크 장치 |
JP7318589B2 (ja) * | 2020-05-25 | 2023-08-01 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR102650609B1 (ko) * | 2021-12-31 | 2024-03-26 | 세메스 주식회사 | 물품 반송 장치 및 주행 레일의 단차 측정 방법, 반송 시스템 |
JP7544080B2 (ja) * | 2022-01-26 | 2024-09-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
AT525853A1 (de) * | 2022-02-04 | 2023-08-15 | Tgw Mechanics Gmbh | Verbesserte Hängefördervorrichtung für ein Kommissioniersystem und Transportträger zum Transport von Hängeware |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9200973U1 (de) * | 1992-01-28 | 1992-05-21 | CFC-Fördersysteme GmbH, 7500 Karlsruhe | Einschienenhängebahn |
JPH05264261A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-12 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | クレーンレールのうねり、高低差測定装置 |
JPH07170615A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-07-04 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置の走行路 |
DE102005004629B4 (de) * | 2005-01-27 | 2014-02-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Abstandssensor-Anordnung für einen Magneten des Tragmagneten einer Magnetschwebebahn |
JP4410707B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2010-02-03 | 東海旅客鉄道株式会社 | レール継目検出器および軌道検測車のレール継目位置検出装置 |
JP4665592B2 (ja) * | 2005-04-12 | 2011-04-06 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP2008207755A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車の走行状況監視システム |
JP5264261B2 (ja) | 2007-05-21 | 2013-08-14 | 株式会社日本環境プロジェクト | コンテナ管理システム |
US8190377B2 (en) * | 2007-11-15 | 2012-05-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Enhanced rail inspection |
JP5440870B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2014-03-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US8857262B2 (en) * | 2010-11-29 | 2014-10-14 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Systems and methods for ultrasonically evaluating structural properties |
US8424387B2 (en) * | 2011-08-22 | 2013-04-23 | Herzog Services, Inc. | Apparatus for detecting defects |
JP5590422B2 (ja) * | 2012-06-13 | 2014-09-17 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
WO2014026091A2 (en) * | 2012-08-10 | 2014-02-13 | General Electric Company | Route examining system and method |
US9607446B2 (en) * | 2013-09-18 | 2017-03-28 | Global Patent Operation | System and method for identifying damaged sections of a route |
US10151716B2 (en) * | 2015-08-06 | 2018-12-11 | Georgetown Rail Equipment Company | System and method for internal inspection of rail components |
-
2015
- 2015-08-27 JP JP2015168161A patent/JP6471651B2/ja active Active
-
2016
- 2016-08-11 TW TW105125591A patent/TWI690441B/zh active
- 2016-08-23 KR KR1020160106838A patent/KR20170026176A/ko not_active Application Discontinuation
- 2016-08-25 US US15/247,111 patent/US9896275B2/en active Active
- 2016-08-26 CN CN201610730894.9A patent/CN106477258B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI690441B (zh) | 2020-04-11 |
KR20170026176A (ko) | 2017-03-08 |
TW201713535A (zh) | 2017-04-16 |
CN106477258A (zh) | 2017-03-08 |
JP2017043257A (ja) | 2017-03-02 |
US9896275B2 (en) | 2018-02-20 |
US20170057750A1 (en) | 2017-03-02 |
CN106477258B (zh) | 2020-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6471651B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TWI638766B (zh) | Inspection method for the truck system and the truck system, and inspection trolley | |
JP6652084B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP4117625B2 (ja) | 搬送車システム | |
JP6863224B2 (ja) | 車両 | |
JP6696454B2 (ja) | 検査システム | |
TW201819228A (zh) | 軌道檢查裝置及軌道檢查系統 | |
TW201730076A (zh) | 物品搬送設備 | |
JP2015522812A (ja) | 車載式輻射検査システム | |
JP7318589B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
KR101423146B1 (ko) | 반송차 시스템 | |
JP7494833B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TW201920945A (zh) | 檢查系統 | |
TWI538826B (zh) | The supply line remains constructed | |
JP5598183B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP2020148611A (ja) | 第三軌条測定装置 | |
JP2012063920A (ja) | 搬送車システム | |
KR101246225B1 (ko) | 무인대차용 위치 측정장치 | |
JP2005255303A (ja) | 搬送装置の踏段状態検出装置 | |
TW202301057A (zh) | 有軌道台車系統 | |
JP2658628B2 (ja) | 無人車の治具測定装置 | |
JP2006164007A (ja) | 有軌道台車システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6471651 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |