KR20170026176A

KR20170026176A - 물품 반송 설비

Info

Publication number: KR20170026176A
Application number: KR1020160106838A
Authority: KR
Inventors: 겐스케 이케나가; 쓰바사 야지마
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2015-08-27
Filing date: 2016-08-23
Publication date: 2017-03-08
Also published as: US9896275B2; TW201713535A; US20170057750A1; JP2017043257A; CN106477258A; TWI690441B; CN106477258B; JP6471651B2

Abstract

물품 반송 설비는, 주행 경로를 따라 배치된 주행 레일과, 상기 주행 레일의 주행면에서 주행륜을 전동시키는 상태에서 주행 경로를 따라 안내되는 주행차를 구비한다. 주행차는, 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 계측 장치를 구비하고, 거리 계측 장치는, 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 주행 경로를 따라 배치된 주행 레일과, 상기 주행 레일의 주행면에서 주행륜을 전동(轉動)시키는 상태로 주행 경로를 따라 안내되는 주행차(travel vehicle)를 구비하고, 주행차가 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 계측 장치를 구비한 물품 반송(搬送) 설비에 관한 것이다.

상기와 같은 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2006―290177호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 상기 특허 문헌 1의 물품 반송 설비는, 주행 경로를 따라 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일의 주행면에서 주행륜을 전동시키는 상태에서 주행 경로를 따라 안내되는 주행차를 구비하고 있다. 상기 주행 레일의 주행면에는, 주행 레일의 이음매(joint)에 불연속 부위나 상흔(damage) 등의 단차(段差; step)가 형성되는 경우가 있고, 상기 단차를 주행차가 통과하는 경우, 주행차에 진동이 생기게 하거나, 주행차의 주행륜의 마모를 촉진시키는 등의 악영향을 미친다.

그래서, 상기 특허 문헌 1에 개시된 물품 반송 설비에 있어서는, 주행 레일의 주행면까지의 거리를 측정하는 거리 센서를 주행차에 구비하고 있고, 상기 거리 센서의 측정 결과에 기초하여, 물품 반송 설비의 컨트롤러가, 주행 레일의 주행면까지의 거리를 관리하도록 구성되어 있다.

일본 공개특허 제2006―290177호 공보

주행차가 주행 레일을 따라 주행하는 경우, 주행 레일의 이음매 상이나, 주행 레일 상에 존재하는 미소한 미립자 상을 주행륜이 통과할 때 주행차가 진동하거나, 주행 구동부의 진동에 의해 주행차가 진동하거나 한다. 이와 같은 진동이 주행차에 설치되는 거리 계측 장치에 전달된다.

상기 특허 문헌 1에 개시된 물품 반송 설비에 있어서는, 주행차에 단일의 거리 센서를 구비하고, 상기 거리 센서와 주행 레일의 주행면과의 사이의 거리를 측정하고 있는 것이지만, 전술한 바와 같이, 거리 센서에 진동이 전달되면, 상기 거리 센서의 측정값과 주행 레일의 주행면까지의 거리가 상관을 가지지 않는 상태로 되는 경우가 있었다. 그러므로, 단일의 거리 센서만을 설치하는 구성에 있어서는, 예를 들면, 거리 센서의 측정 결과에 기초하여, 주행 레일의 주행면에서의 단차의 유무를 알 수 없는 경우가 있었다.

그래서, 주행차에 거리 계측 장치를 설치하는 구성에 있어서, 주행차가 진동하는 경우라도, 상기 거리 계측 장치에 의한 계측을 적절히 행할 수 있는 물품 반송 설비가 요구된다.

전술한 문제를 해결하기 위하여 물품 반송 설비의 특징적 구성은,

주행 경로를 따라 배치된 주행 레일과, 상기 주행 레일의 주행면에서 주행륜을 전동시키는 상태에서 상기 주행 경로를 따라 안내되는 주행차를 구비하고,

상기 주행차가, 상기 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 계측 장치를 구비하고,

상기 거리 계측 장치는, 상기 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비하는 점에 있다.

상기 특징적 구성의 물품 반송 설비에 의하면, 주행차에 구비되는 거리 계측 장치가, 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비한다. 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값(절대값)은, 주행차의 주행에 수반하여 발생하는 진동의 영향을 제거한 값으로 된다. 그리고, 주행 레일의 주행면에 단차가 형성되어 있지 않은 개소(箇所)를 한 쌍의 거리 센서가 측정하는 경우에는, 상기 차분값은 영(零; zero)으로 되고, 단차가 형성되는 개소를 한 쌍의 거리 센서가 측정하는 경우에는, 상기 차분값은 영보다 큰 값으로 된다. 이 결과, 예를 들면, 주행면에 형성되는 경우가 있는 단차를, 주행차의 주행에 따른 진동의 영향을 제거한 상태에서 적절히 검출하는 것이 가능해진다.

도 1은, 물품 반송 설비의 주요부 평면도이며,
도 2는, 검사 주행차의 측면도이며,
도 3은, 검사 주행차의 정면도이며,
도 4는, 검사 주행차의 평면도이며,
도 5는, 검사 주행차가, 주행 레일의 직선 부분 또는 곡선 부분을 주행하고 있을 때의 평면도이며,
도 6은, 각종 센서 및 제어 장치의 블록도이며,
도 7은, 한 쌍의 거리 센서의 주행 레일의 주행면에 대한 설치 상태를 나타낸 측면도이다.

이하, 실시형태에 관한 물품 반송 설비를 도면을 참조하여 설명한다.

물품 반송 설비는, 도 1∼도 5에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(1)를 따라 배치된 주행 레일(2)과, 상기 주행 레일(2)의 주행면에서 주행륜(15)을 전동시키는 상태에서 주행 경로(1)를 따라 안내되는 주행차(3)를 구비하고 있다. 상기 주행차(3)로서의 단일의 검사 주행차(3a)가, 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 센서(S7)(거리 계측 장치)를 구비한다. 본 실시형태에서는, 검사 주행차(3a)가 「주행차」에 상당한다. 거리 센서(S7)는, 상기 거리 센서(S7)와 주행면과의 사이의 거리를 계측한다. 물품 반송 설비는, 주행차(3)로서, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 물품으로서 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle)(3b)를 복수 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 주행차(3)로서의 검사 주행차(3a) 및 물품 반송차(3b)가, 천정에 현수 지지되는 주행 레일(2)을 주행하는 천정 주행차로서 구비되어 있다.

그리고, 물품 반송차(3b)로서는, 거기에 설치되는 승강 기구(vertically moving mechanism), 가로행 기구(laterally moving mechanism), 및 척 유닛(chuck unit)을 제외하고, 후술하는 검사 주행차(3a)와 동일한 구성을 가지고 있고, 승강 기구, 가로행 기구, 및 척 유닛의 구성에 관해서는, 공지의 구성이므로, 여기서는 그 상세한 설명을 생략한다.

주행 경로(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 1개의 환형(環形)의 주경로(4)와 복수의 물품 처리부(P)를 경유하는 환형의 부경로(5)와, 이들 주경로(4)와 부경로(5)를 접속하는 접속 경로(6)를 구비하고 있다. 주행 경로(1)는, 부경로(5)를 복수 구비하고 있다. 주경로(4) 및 복수의 부경로(5)는, 모두 같은 방향 주위(도 1에서, 시계 회전 방향)로 주행차(3)가 주행하는 경로이다. 그리고, 도 1에 있어서는, 주행차(3)의 주행 방향을 화살표로 나타내고 있다.

주행 경로(1)는, 직선형으로 설정된 직선 부분(1a)과 곡선형으로 설정된 곡선 부분(1b)을 구비하고 있다. 구체적으로는, 주경로(4)는, 평행한 한 쌍의 직선 부분(1a)과 한 쌍의 직선 부분(1a)의 단부(端部)끼리를 접속하는 한 쌍의 곡선 부분(1b)으로 형성되어 있다. 복수의 부경로(5)의 각각은, 주경로(4)와 마찬가지로, 한 쌍의 직선 부분(1a)과 한 쌍의 곡선 부분(1b)으로 형성되어 있다. 접속 경로(6)는, 주경로(4)에 접속되는 곡선 부분(1b)과 부경로(5)에 접속되는 직선 부분(1a)으로 형성되어 있다. 이와 같이, 주행 경로(1)는, 직선 부분(1a)과 곡선 부분(1b)을 조합시켜 설정되어 있다.

또한, 접속 경로(6)로서, 주경로(4)로부터 부경로(5)를 향해 주행차(3)를 분기 주행(branching travel)시키는 분기용의 접속 경로(6)와, 부경로(5)로부터 주경로(4)를 향해 주행차(3)를 합류 주행(merging travel)시키는 합류용의 접속 경로(6)가 구비되어 있다.

다음에, 검사 주행차(3a)에 대하여, 도 2∼도 7에 기초하여 설명한다.

그리고, 이하에서는, 검사 주행차(3a)의 전후 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향을 차체 가로 폭 방향이라고 하고, 상기 전후 방향 및 차체 가로 폭 방향의 양쪽과 직교하는 방향을 차체 상하 방향이라고 하여 설명한다. 또한, 검사 주행차(3a)의 후방으로부터 전방을 본 상태에서, 차체 가로 폭 방향에서의 좌우 방향을 특정하여 설명한다. 또한, 주행부(9)에 대해서는, 평면에서 볼 때 주행륜(15)의 회전 축심에 대하여 직교하는 방향을 주행 방향이라고 하고 있다. 검사 주행차(3a)가 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)을 주행하고 있을 때는, 검사 주행차(3a)의 전후 방향과 주행부(9)의 주행 방향이 같은 방향으로 된다.

또한, 주행 경로(1)에 대해서는, 주행 경로(1)에 따른 방향을 경로 길이 방향이라고 하고, 그 경로 길이 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향을 경로 폭 방향이라고 하여 설명한다. 또한, 예를 들면, 검사 주행차(3a)가 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)을 주행하고 있을 때는, 주행 방향과 경로 길이 방향과는 같은 방향으로 되고, 차체 가로 폭 방향과 경로 폭 방향과는 같은 방향으로 된다.

검사 주행차(3a)는, 천정으로부터 현수(懸垂) 지지된 좌우 한 쌍의 주행 레일(2) 상을 그 주행 레일(2)을 따라 주행하는 주행부(9)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하여 주행부(9)에 현수 지지된 검사 주행차 본체(10)와, 주행 경로(1)를 따라 설치된 급전선(11)으로부터 비접촉으로 구동용 전력을 수전(受電)하는 수전부(12)를 구비하고 있다.

주행부(9)로서, 제1 주행부(9f)와, 상기 제1 주행부(9f)와 전후 방향으로 배열되는 제2 주행부(9r)가 구비되어 있다. 그리고, 전후 방향으로 배열되는 한 쌍의 주행부(9) 중, 전후 방향에서 전방측에 위치하는 주행부(9)를 제1 주행부(9f)로 하고, 전후 방향에서 후방측에 위치하는 주행부(9)를 제2 주행부(9r)로 하고 있다.

제1 주행부(9f)에는, 전동식(電動式)의 구동 모터(14)에 의해 회전 구동되는 좌우 한 쌍의 주행륜(15)이, 좌우 한 쌍의 주행 레일(2)의 각각의 상면에 의해 형성되는 주행면을 주행하는 상태로 장비되어 있다. 또한, 제1 주행부(9f)에는, 차체 상하 방향을 따르는 축심(軸心) 주위(상하 축심 주위)에서 자유 회전하는 좌우 한 쌍의 안내륜(16)이, 좌우 한 쌍의 주행 레일(2)에서의 내측면에 맞닿은 상태로 장비되어 있다. 그리고, 좌우 한 쌍의 안내륜(16)에 대해서는, 차체 전후 방향으로 배열되는 상태로 제1 주행부(9f)에 2조 장비되어 있다.

제2 주행부(9r)에는, 제1 주행부(9f)와 마찬가지로, 1조의 좌우 한 쌍의 주행륜(15)과 2조의 좌우 한 쌍의 안내륜(16)이 장비되어 있다.

그리고, 제1 주행부(9f)에 구비되어 있는 주행륜(15)으로서의 제1 주행륜(15f), 및 제2 주행부(9r)에 구비되어 있는 주행륜(15)으로서의 제2 주행륜(15r)이, 주행 레일(2)의 주행면을 전동한다.

제1 주행부(9f) 및 제2 주행부(9r)에는, 주행륜(15)의 하단(下端)보다 아래쪽으로 돌출하는 상태로 연결축(17)이 구비되어 있다. 검사 주행차 본체(10)에는, 제1 지지 기구(18f)와 제2 지지 기구(18r)가 구비되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 주행부(9f)의 연결축(17)과 검사 주행차 본체(10)의 제1 지지 기구(18f)는, 상하 방향을 따르는 제1 축심 주위에 상대 회전 가능하게 연결되어 있다. 이와 같이, 제1 주행부(9f)와 검사 주행차 본체(10)를 연결함으로써, 검사 주행차 본체(10)는, 제1 지지 기구(18f)에 의해 제1 주행부(9f)에 지지되어 있다. 또한, 제1 지지 기구(18f)는, 상하 방향을 따르는 제1 축심 주위로 회전 가능하게, 제1 주행부(9f)에 지지되어 있다.

제2 주행부(9r)의 연결축(17)과 검사 주행차 본체(10)의 제2 지지 기구(18r)는, 상하 방향을 따르는 제2 축심 주위에 상대 회전 가능하게 연결되어 있다. 이와 같이, 제2 주행부(9r)와 검사 주행차 본체(10)를 연결함으로써, 검사 주행차 본체(10)는, 제2 지지 기구(18r)에 의해 제2 주행부(9r)에 지지되어 있다. 또한, 제2 지지 기구(18r)는, 상하 방향을 따르는 제2 축심 주위로 회전 가능하게, 제2 주행부(9r)에 지지되어 있다.

여기서, 제1 축심은, 제1 주행부(9f)에서의 주행 방향의 폭 내에서 또한 차체 가로 폭 방향의 폭 내에 위치하고 있고, 평면에서 볼 때 제1 주행부(9f)와 중첩되도록 배치되어 있다.

제2 축심은, 제2 주행부(9r)에서의 주행 방향의 폭 내에서 또한 차체 가로 폭 방향의 폭 내에 위치하고 있고, 평면에서 볼 때 제2 주행부(9r)와 중첩되도록 배치되어 있다.

제1 주행부(9f) 및 제2 주행부(9r)는, 거기에 구비된 2조의 안내륜(16)이 한 쌍의 주행 레일(2)에 접촉하여 안내되는 것에 의해, 주행 경로(1)에 따른 자세를 유지하면서 주행 경로(1)를 따라 주행한다. 구체적으로는, 제1 주행부(9f)나 제2 주행부(9r)는, 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)을 주행하는 경우에는, 주행 방향이 직선 부분(1a)의 경로 길이 방향을 따르는 자세로 주행하고, 주행 경로(1)의 곡선 부분(1b)을 주행하는 경우에는, 주행 방향이 곡선 부분(1b)의 접선 방향을 따른 자세로 주행한다.

도 3, 도 4에 나타낸 바와 같이, 급전선(11)은, 수전부(12)에 대하여, 평면에서 볼 때 경로 폭 방향의 양측에 위치하도록 한 쌍 설치되어 있다.

수전부(12)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 급전선(11)의 사이에 위치하고 또한 한 쌍의 급전선(11)과 같은 높이에 위치하는 제1 부분(12a)과, 제1 부분(12a)으로부터 차체 가로 폭 방향의 양측으로 연장되어 한 쌍의 급전선(11)의 상하 양측에 위치하는 제2 부분(12b)을 구비하고 있다.

제2 부분(12b)으로서는, 제1 부분(12a)의 상단(上端)으로부터 차체 가로 폭 방향의 양측으로 연장되는 상측의 제2 부분(12b)과, 제1 부분(12a)의 하단으로부터 차체 가로 폭 방향의 양측으로 연장되는 하측의 제2 부분(12b)이 설치되어 있다.

도 3, 도 4, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 주행부(9f)에는, 주행륜(15)보다 상방측 개소에, 상하 축심(차체 상하 방향을 따르는 축심) 주위에서 회전하는 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)과, 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)을 일체로 차체 가로 폭 방향으로 이동시키는 구동부(20)가 장비되어 있다. 그리고, 제2 주행부(9r)에는, 제1 주행부(9f)와 마찬가지로 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)과 구동부(20)가 장비되어 있다.

주행 경로(1)에서의 경로가 분기 또는 합류하는 접속 부분[주경로(4)와 접속 경로(6)가 접속되는 부분이나 부경로(5)와 접속 경로(6)가 접속되는 부분]에는, 안내 보조륜(19)을 안내하는 안내 레일(21)이 설치되어 있다. 상기 안내 레일(21)은, 주행 레일(2)보다 위쪽에, 평면에서 볼 때 좌우 한 쌍의 주행 레일(2)의 중간에 위치하도록 배치되어 있다.

그리고, 제1 주행부(9f)는, 구동부(20)에 의해 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)을 차체 가로 폭 방향으로 이동시킴으로써, 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)의 위치를, 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)이 제1 주행부(9f)의 차체 가로 폭 방향의 중앙보다 우측에 위치하여 안내 레일(21)에 대하여 우측으로부터 맞닿는 우측 안내 위치와, 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)이 제1 주행부(9f)의 차체 가로 폭 방향의 중앙보다 좌측에 위치하여 안내 레일(21)에 대하여 좌측으로부터 맞닿는 좌측 안내 위치로 이동시키도록 구성되어 있다.

제2 주행부(9r)는, 제1 주행부(9f)와 마찬가지로, 구동부(20)에 의해 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)의 위치를 우측 안내 위치와 좌측 안내 위치로 이동시키도록 구성되어 있다.

다음에, 도 1 및 도 5에 기초하여, 검사 주행차(3a)의 주행에 대하여 설명한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(1)의 접속 부분에는, 안내 레일(21)로서, 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)(도 1에 도시)을 따라 설치되는 직선 안내 레일(21a)과, 주행 경로(1)의 곡선 부분(1b)(도 1에 도시)을 따라 설치되는 곡선 안내 레일(21b)이 설치되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 부경로(5)(도 1에 도시)를 주행하는 검사 주행차(3a)가, 경로가 분기되는 접속 부분에 진입할 때, 2조의 전후 한 쌍의 안내 보조륜(19)[이하, 단지 안내 보조륜(19)이라고 함]을 좌측 안내 위치로 이동시킨 상태로 진입함으로써, 검사 주행차(3a)는, 안내 보조륜(19)이 직선 안내 레일(21a)의 좌측에 위치하는 상태로 주행한다. 그러므로, 안내 보조륜(19)은 곡선 안내 레일(21b)에 의해 안내되지 않고, 검사 주행차(3a)는 부경로(5)(도 1에 도시)의 직선 부분(1a)(도 1에 도시)으로부터 접속 경로(6)의 직선 부분(1a)(도 1에 도시)으로 분기 주행한다.

또한, 부경로(5)를 주행하는 검사 주행차(3a)가, 경로가 분기되는 접속 부분에 진입할 때, 안내 보조륜(19)을 우측 안내 위치로 이동시킨 상태로 진입함으로써, 검사 주행차(3a)는, 안내 보조륜(19)이 직선 안내 레일(21a)의 우측에 위치하는 상태로 주행한다. 그러므로, 안내 보조륜(19)은 곡선 안내 레일(21b)에 의해 안내되어, 검사 주행차(3a)는, 부경로(5)를 직선 부분(1a)으로부터 곡선 부분(1b)(도 1에 도시)에 주행한다.

즉, 검사 주행차(3a)는, 안내 보조륜(19)이 곡선 안내 레일(21b)에 의해 안내되어, 주행 경로(1)의 곡선 부분(1b)을 주행하는 경우, 안내 보조륜(19)에 의해 검사 주행차(3a)의 주행 방향에서 볼 때의 자세가, 곡선 부분(1b)의 내측[검사 주행차에 관한 원심력(遠心力)은 반대측]에 경사지는 경사 자세로 규정되는 형태로, 주행하게 된다.

지금까지 설명한 물품 반송 설비의 주행 레일(2)의 주행면에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 주행 레일(2)의 이음매에 있어서, 주행면이 불연속으로 되는 불연속 부위나 상흔 등으로서의 단차(D)가 형성되는 경우가 있다.

그래서, 본 실시형태에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 검사 주행차(3a)의 제1 주행부(9f)에, 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 센서(S7)[S7a, S7b]를, 주행 방향을 따라 한 쌍 배열하여 구비하고 있다. 즉, 검사 주행차(3a)는, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 계측 장치를 구비하고, 이 거리 계측 장치는, 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에 관한 물품 반송 설비는, 상기 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 측정값의 차분값에 기초하여, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리를 관리하는 검사 제어 장치(S2)(검사용 제어부의 일례)를 구비하고 있다. 그리고, 본 명세서에 있어서, 「주행 레일의 주행면까지의 거리의 관리」란, 주행 레일의 주행면까지의 거리로서, 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 절대값을, 주행 레일의 위치 정보와 함께 기억하는 제어만을 가리키는 경우도 포함하고 있다. 즉, 검사용 제어부가, 주행 레일의 주행면의 단차의 유무의 판정에 관한 제어를 행하지 않는 구성도, 본 명세서의 개시 범위에 포함된다.

본 실시형태에 있어서는, 검사 제어 장치(S2)는, 검사 주행차 본체(10)의 내부에 지지판(10a)에 지지되는 형태로 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 검사 제어 장치(S2)는, 검사 주행차(3a)에 구비되어 있다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비의 주행차(3)에 대한 운행 지시 등을 행하는 설비 제어 장치(S1)(주행 제어부의 일례)가, 검사 제어 장치(S2)와는 별도로 형성되어 있고, 검사 제어 장치(S2)는, 검사 주행차 본체(10) 내에 설치되는 통신 제어부(도시하지 않음)를 통하여, 설비 제어 장치(S1)와 통신 가능하게 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 설비 제어 장치(S1)에 조작 장치(S3)가 유선 또는 무선에 의해 전기적으로 접속되어 있고, 작업자가 상기 조작 장치(S3)에 의해 검사 루트를 지정하는 형태로, 검사 주행차(3a)에 의한 검사가 실행된다.

한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 주행 방향에서의 간격은, 20㎜ 이상 45㎜ 이하로 설정되어 있다. 그리고, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 구동부(20)로부터 제1 주행부(9f)의 차체 가로 폭 방향에서 양측으로 연장되는 브래킷(bracket)에 의해 지지되어 있는 형태로, 2조 설치되어 있다. 제1 주행부(9f)가 주행 경로(1)의 직선 부분(1a)을 주행하고 있는 경우, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)는, 평면에서 볼 때, 도 5에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(1)의 곡선 부분에서 주행 레일(2)이 존재하지 않는 부분 이외에 있어서, 주행 레일(2)의 주행면에 중첩되도록 설치된다. 즉, 한 쌍의 주행 레일(2)의 각각에 대하여, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)가 설치되게 된다.

즉, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)로서, 제1 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)(제1 거리 센서 쌍)와, 제2 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)(제2 거리 센서 쌍)를 별개로 구비하고 있고, 제1 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)가, 한 쌍의 주행 레일(2)의 한쪽(제1 주행 레일)의 주행면까지의 거리를 계측하는 동시에, 제2 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)가, 한 쌍의 주행 레일(2)의 다른 쪽(제2 주행 레일)의 주행면까지의 거리를 계측하는 형태로 설치되어 있다.

그리고, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)는, 제1 주행부(9f)의 주행륜(15)[제1 주행륜(15f)]이 단차 등을 통과하여 생기는 진동의 측정값에 대한 영향을 저감하기 위해, 주행 방향에 있어서, 제1 주행부(9f)의 주행륜(15)의 전방에 배치되어 있다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)는, 센서 앰프에 접속되어 있고, 상기 센서 앰프는, 양자의 측정값의 차분값을 도출하여 출력하는 기능을 가진다.

상기 구성을 채용함으로써, 한 쌍의 주행 레일(2)의 각각에 있어서, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 측정값의 차분값을 취득하는 것이 가능해진다. 상기 차분값(보다 상세하게는 차분값의 절대값)은, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리에 상관을 가지는 값으로 된다. 예를 들면, 상기 차분값의 절대값은, 주행 레일(2)의 주행면에 단차 등이 형성되어 있지 않은 경우에는, 영으로 되고, 단차가 형성되어 있는 경우에는, 그 단차의 깊이에 대응하는 값이 출력되게 된다.

그래서, 검사 제어 장치(S2)는, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리에 상관을 가지는 값으로서, 상기 차분값의 절대값을 기억부(S5)에 기억하고 있다. 즉, 검사 제어 장치(S2)는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 측정값의 차분값을, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리를 관리하는 지표로서 사용하고 있다. 이 결과, 예를 들면, 검사 제어 장치(S2)에 의해 관리되고 있는 주행면까지의 거리를 사용하여, 주행 레일(2)의 보수(補修)를 적절히 행하는 것이 가능해진다.

그리고, 주행 레일(2)의 하면에는, 주행 경로(1)의 위치 정보가 기록되는 바코드(B)가 경로 길이 방향으로 특정 거리마다 형성되어 있고, 검사 주행차(3a)에는, 검사 주행차 본체(10)의 위쪽에 바코드(B)를 판독하는 바코드 리더(S6)가 설치되어 있다. 상기 바코드 리더(S6)가 판독한 위치 정보, 및 판독한 시간에 관한 시간 정보가, 통신 제어부(도시하지 않음)를 통하여 설비 제어 장치(S1)에 송신되고, 설비 제어 장치(S1)가, 이들 정보를 기억한다.

검사 제어 장치(S2)는, 기억부(S5)에 기억되어 있는 차분값이 취득된 위치에 관한 위치 정보 및 상기 차분값이 취득된 시간에 관한 시간 정보를, 설비 제어 장치(S1)로부터 취득하고, 이들 위치 정보 및 시간 정보를 차분값에 결부되는 상태로 기억부(S5)에 기억한다.

검사 주행차(3a)는, 검사에 관한 주행이 완료된 시점(時点), 또는 검사를 개시한 시점에서 소정 시간마다, 설비 제어 장치(S1)의 근방까지 이동하고, 검사 제어 장치(S2)와 설비 제어 장치(S1)를 작업자가 유선에 의해 접속하는 형태로, 검사 제어 장치(S2)의 기억부(S5)에 기억된 데이터를, 설비 제어 장치(S1)를 통하여, 해석 장치(S4)(검사용 제어부의 일례)에 송신한다.

해석 장치(S4)는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 측정값의 차분값에 기초하여, 주행 레일(2)의 주행면의 단차(D)의 유무를 판정[주행 레일(2)의 주행면까지의 거리의 관리의 일례]한다. 구체적으로는, 해석 장치(S4)는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)의 측정값의 차분값을 단차(D)의 깊이(도 7에서의 Δx)로 하고, 차분값이 단차 판정 임계값(예를 들면, 5㎜) 이상인 경우에, 보수 대상 단차가 있으므로, 판정[주행 레일(2)의 주행면까지의 거리의 관리의 일례]한다. 그리고, 주행 레일(2)의 주행면까지의 거리는, 예를 들면, 거리 센서(S7)와 상기 주행면과의 사이의 거리, 또는 주행부(9)[제1 주행부(9f)]와 상기 주행면과의 사이의 거리이다.

해석 장치(S4)는, 예를 들면, 주행 경로(1) 상에서 보수 대상 단차가 존재하는 개소를 표시하는 표시부 및 표시 소프트웨어를 구비하고, 작업자에게, 주행 경로(1) 상 중 어느 하나의 위치에 보수 대상 단차가 존재할 것인지를 시각에 의해 육안 관찰시키는 기능을 가진다.

그리고, 설비 제어 장치(S1)는, 검사 주행차(3a) 및 물품 반송차(3b)의 양쪽에 대하여, 주행 경로(1)와 바코드(B)에 의해 규정되는 구간마다, 속도 상한값을 미리 지시하고, 검사 주행차(3a) 및 물품 반송차(3b)의 양쪽이 이들을 기억하고 있고, 검사 주행차(3a) 및 물품 반송차(3b)의 양쪽이, 이들 정보에 기초하여 주행한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 설비 제어 장치(S1)는, 동일 구간에 있어서, 검사 주행차(3a)의 속도 상한값과, 물품 반송차(3b)의 속도 상한값을 같게 설정하고 있다. 상기 구성에 의해, 검사 주행차(3a)에 의한 검사를 양호하게 행할 수 있으면서도, 검사 주행차(3a)의 주행 속도가 지연되지 않고, 물품 반송차(3b)가 정체하는 것을 방지할 수 있어, 물품 반송차(3b)에 의한 물품의 반송을 원활하게 행할 수 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 실시형태에서는, 검사 주행차(3a)와 물품 반송차(3b)를, 동시에 주행 레일(2) 상을 주행시키는 예를 나타낸다.

그러나, 검사 주행차(3a)와 물품 반송차(3b)를 동시에 주행 레일(2) 상을 주행시키는데만 한정되지 않고, 검사 주행차(3a)만을 주행 레일(2) 상을 주행시키는 것도 포함하는 것으로 한다. 또한, 상기 실시형태에 있어서는, 단일의 검사 주행차(3a)를 주행시키는 예를 나타냈으나, 복수의 검사 주행차(3a)를 동시에 주행시키는 구성을 채용해도 상관없다.

(2) 상기 실시형태에서는, 주행차(3)로서의 검사 주행차(3a) 및 물품 반송차(3b)가, 천정 주행차인 예를 나타낸다. 그러나, 양자는, 지상에 배치되는 주행 레일(2)을 주행하는 주행차라도 된다.

(3) 상기 실시형태에 있어서는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)를, 주행 방향에 있어서, 제1 주행부(9f)의 제1 주행륜(15f)의 전방에 배치하는 구성예를 나타낸다.

그러나, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)는, 주행 방향에 있어서, 제1 주행부(9f)의 제1 주행륜(15f)의 후방에 배치하는 구성을 채용해도 상관없다.

(4) 상기 실시형태에서는, 검사 제어 장치(S2)가, 검사 주행차(3a)의 검사 주행차 본체(10)에 탑재되는 예를 나타낸다.

그러나, 검사 제어 장치(S2)는, 지상에 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 검사 주행차 본체(10)의 통신 제어부는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)가 취득한 측정값의 차분값을, 순차 검사 제어 장치(S2)를 통하여 해석 장치(S4)에 송신하는 구성을 채용해도 된다.

(5) 상기 실시형태에 있어서는, 한 쌍의 거리 센서(S7a, S7b)가 접속되는 센서 앰프가, 양자의 측정값의 차분값을 도출(導出)하는 기능을 가지는 것을 예로서 설명하였다.

그러나, 양자의 측정값의 차분값을 도출하는 기능은, 검사 제어 장치(S2)가 가지도록 구성해도 상관없다.

(6) 상기 실시형태에 있어서는, 설비 제어 장치(S1)는, 주행 경로(1)에서 바코드(B)에 의해 규정되는 구간에 있어서, 검사 주행차(3a)의 속도 상한값과, 물품 반송차(3b)의 속도 상한값을 동등하게 설정하고 있는 예를 나타낸다.

그러나, 검사 주행차(3a)의 속도 상한값과, 물품 반송차(3b)의 속도 상한값과는 상이한 값으로 설정되어 있어도 상관없다.

(7) 상기 실시형태에 있어서는, 해석 장치(S4)도 검사용 제어부에 포함되는 개념으로서 설명하였으나, 상기 해석 장치(S4)를 검사용 제어부에 포함되지 않는 구성도 본 발명의 권리 범위에 포함하는 것이다.

즉, 해석 장치(S4)를 구비하지 않는 물품 반송 설비도, 본 발명의 권리 범위에 포함되고, 이 경우, 물품 반송 설비와는 별도로, 해석 장치를 구비한 것이 바람직하다.

그리고, 상기 실시형태(다른 실시형태를 포함함, 이하 동일)에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용하는 것이 가능하며, 또한 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 예시로서, 본 발명의 실시형태는 이에 한정되지 않고, 본 발명의 목적을 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 개변(改變)할 수 있다.

[상기 실시형태의 개요]

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.

물품 반송 설비는,

상기 거리 계측 장치는, 상기 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비한다.

상기한 물품 반송 설비에 의하면, 주행차에 구비되는 거리 계측 장치가, 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비한다. 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값(절대값)은, 주행차의 주행에 수반하여 발생하는 진동의 영향을 제거한 값으로 된다. 그리고, 주행 레일의 주행면에 단차가 형성되어 있지 않은 개소를 한 쌍의 거리 센서가 측정하는 경우에는, 상기 차분값은 영으로 되고, 단차가 형성되는 개소를 한 쌍의 거리 센서가 측정하는 경우에는, 상기 차분값은 영보다 큰 값으로 된다. 이 결과, 예를 들면, 주행면에 형성되는 경우가 있는 단차를, 주행차의 주행에 따른 진동의 영향을 제거한 상태에서 적절히 검출하는 것이 가능해진다.

여기서, 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값에 기초하여, 상기 주행 레일의 상기 주행면의 단차의 유무를 판정하는 검사용 제어부를 구비하는 것이 바람직하다.

주행 방향을 따라 배열되는 상태로 설치되는 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값은, 주행차의 주행에 수반하여 발생하는 진동의 영향을 제거한 값으로 되고, 또한 예를 들면, 주행 레일의 주행면에 비연속 부위 등으로서의 단차가 형성되는 개소를 한 쌍의 거리 센서가 측정하는 경우에는, 그 절대값이 큰 값으로서 출력된다.

따라서, 상기 차분값에 기초하여, 주행 레일의 주행면의 단차의 유무를 판정함으로써, 주행차가 진동 등하는 경우라도, 주행 레일의 주행면의 단차의 유무를 양호하게 판정할 수 있다.

또한, 상기 검사용 제어부는, 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 상기 차분값을 단차의 깊이로서 추출하고, 상기 차분값이 단차 판정 임계값 이상인 경우에, 상기 단차로서 보수 대상 단차가 있는 것으로 판정하는 것이 바람직하다.

물품 반송 설비에 있어서, 주행 레일의 주행면에 형성되는 단차는, 예를 들면, 깊이가 5㎜ 이상에서 즉시 보수가 필요한 보수 대상 단차와, 깊이가 5㎜ 미만에서 즉시 보수의 필요가 없는 단차가 존재한다.

본원에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값을 단차 판정의 지표로 하고 있는 것이지만, 상기 차분값은, 단차의 깊이에 대응하는 값으로 된다.

그래서, 상기 구성에 있어서는, 측정된 차분값이, 미리 결정되어 기억부에 기억되는 단차 판정 임계값(예를 들면, 5㎜) 이상인 경우에, 수복 대상 단차인 것으로 판정하는 구성을 채용함으로써, 차분값이 계측된 개소 중, 특히, 즉시 보수가 필요한 깊은 단차와, 즉시 보수의 필요가 없는 얕은 단차를 양호하게 구별할 수 있다.

이로써, 예를 들면, 보수 대상 단차를 우선적으로 보수하는 지시 등의 제어 지령을, 검사용 제어부가 표시 장치 등에 출력함으로써, 작업자는, 보수해야 할 단차를 대상으로 하여 보수할 수 있어, 유지보수를 효율적으로 실행할 수 있다.

또한, 상기 주행 레일과는 별도로 안내 레일을 포함하고,

상기 주행 경로는, 직선형으로 설정된 직선 부분과 곡선형으로 설정된 곡선 부분을 가지고,

상기 안내 레일은, 상기 곡선 부분에서, 상기 곡선 부분을 따르도록 배치되고,

상기 주행차는, 상기 주행 경로의 상기 곡선 부분에서 상기 안내 레일에 안내되는 안내 보조륜을 구비하고,

상기 안내 보조륜은, 상기 곡선 부분을 주행하는 상기 주행차의 주행 방향에서 볼 때의 자세를 규정하는 것이 바람직하다.

통상의 물품 반송 설비에서는, 주행차가 주행 경로의 곡선 부분을 주행하는 경우, 주행차에 구비되어 안내 레일에 안내되는 안내 보조륜이, 곡선 부분을 주행하는 주행차의 주행 방향에서 볼 때의 자세를 규정하고, 주행차가 주행 경로의 직선 부분을 주행할 때의 통상 주행 자세에 대하여, 주행차가 주행 방향에서 볼 때 경사지는 경사 자세를 취하도록 구성되어 있다. 여기서, 경사 자세는, 주행차가 주행 경로의 곡선 부분을 주행하는 경우의 원심력을 고려하여 주행차가 주행 방향에서 볼 때 곡선 부분의 내측(원심력이 걸리는 방향과는 반대측)으로 경사지는 자세이다.

상기 경사 자세에 있어서는, 통상 주행 자세와 비교하여, 한 쌍의 거리 센서와 주행 레일의 주행면과의 사이의 거리가 변화하게 된다. 상기 구성에 있어서는, 이와 같은 경사 자세에 있어도, 주행차의 주행 방향을 따라 배열되어 설치되는 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값은, 경사의 영향을 제거한 값으로 되므로, 주행 레일의 주행면까지의 거리의 관리(단차의 유무의 판정)를 양호하게 실행할 수 있다.

그리고, 본 명세서에 있어서, 주행 방향과는, 평면에서 볼 때 주행륜의 회전 축심에 대하여 직교하는 방향인 것으로 한다.

또한, 상기 한 쌍의 거리 센서는, 상기 주행 방향에서 상기 주행차의 상기 주행륜의 전방측에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 구성과 같이, 주행 방향에서 주행차의 주행륜의 전방측에, 한 쌍의 거리 센서를 구비함으로써, 예를 들면, 주행륜이 주행 레일의 이음매 등을 통과하여 진동하기 전에, 한 쌍의 거리 센서가, 이음매에 발생하는 경우가 많은 단차의 측정을 행할 수 있으므로, 상기 측정에 기초한 단차의 유무의 판정을, 더욱 양호한 정밀도로 실행할 수 있다.

또한, 상기 주행 레일로서의 제1 주행 레일과, 제2 주행 레일이, 상기 주행 경로를 따라 배치되고,

상기 거리 계측 장치가, 상기 한 쌍의 거리 센서인 제1 거리 센서 쌍과, 별개의 한 쌍의 거리 센서인 제2 거리 센서 쌍을 포함하고,

상기 제1 거리 센서 쌍이, 상기 제1 주행 레일의 상기 주행면까지의 거리를 계측하는 동시에, 상기 제2 거리 센서 쌍이, 상기 제2 주행 레일의 주행면까지의 동안의 거리를 계측하는 형태로 설치되어 있는 것이 바람직하다.

통상, 물품 반송 설비에서는, 주행 방향을 따라 한 쌍의 주행 레일이 배치되어 있는 것이지만, 지금까지 설명한 단차는, 한 쌍의 주행 레일의 어느 쪽에 존재하는 것도 측정 대상에 있다. 상기 구성에 의하면, 한 쌍의 주행 레일의 어느 쪽에 존재하는 단차도 측정 대상으로서, 한 쌍의 주행 레일의 양쪽에서의 단차의 유무를 양호하게 판정할 수 있다.

또한, 상기 주행차의 상기 주행 경로 상에서의 주행을 제어하는 주행 제어부를 구비하고,

상기 주행차는, 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값을 기억하는 기억부를 가지는 검사용 제어부를 구비하고,

상기 검사용 제어부는, 상기 주행차의 상기 주행 경로 상에서의 위치에 관한 정보인 위치 정보를 상기 주행 제어부로부터 취득하여, 상기 위치 정보와 상기 위치 정보에 대응하는 위치에서의 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값을 부가하여 상기 기억부에 기억시키는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값과 주행 경로 상의 위치를 대응시키는 상태로 기억하기 때문에, 주행 경로 상에 있어서 단차가 발생하고 있는 위치의 정보나, 향후 단차로 될 수 있는 위치의 정보를, 용이하게 출력할 수 있어, 유지보수성의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 주행 레일의 검사을 행하는 상기 주행차인 검사 주행차와는 별도로, 반송 대상의 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비하고,

상기 검사 주행차의 주행 속도의 상한값을, 상기 물품 반송차의 주행 속도의 상한값과 동일하게 제어하는 주행 제어부를 구비하는 것이 바람직하다.

통상, 반송 대상의 물품을 반송하는 물품 반송차와, 한 쌍의 거리 센서를 구비하여 주행 레일의 검사를 행하는 검사 주행차를 별개로 구비하는 경우, 검사 주행차의 주행 속도는, 검사 정밀도를 높이는 관점에서, 물품 반송차에 비해 늦게 설정된다. 이 경우, 저속의 검사 주행차를 선두에 주행 레일을 따라 정체가 발생하여, 물품 반송차의 물품의 반송을 지체시킬 우려가 있다.

이에 대하여, 본원의 물품 반송 설비의 검사 주행차는, 주행 방향으로 배열되는 한 쌍의 거리 센서를 구비하고, 이들 측정값의 차분값을 검사 지표로 하고 있기 때문에, 주행 속도를 올린 경우라도, 진동 등의 영향을 적절히 제거한 상태에서, 주행 레일의 주행면까지의 거리의 관리(예를 들면, 주행면에서의 단차의 유무의 판정)를 양호하게 실행할 수 있다.

그래서, 상기 구성에 의하면, 주행 제어부는, 검사 주행차의 주행 속도의 상한값을, 물품 반송차의 주행 속도의 상한값과 동일하게 제어함으로써, 주행 레일의 주행면까지의 거리의 관리(주행면에서의 단차의 유무의 판정)를 양호하게 행하면서도, 검사 주행차가 물품 반송차에 의한 물품의 반송을 방해하지 않고, 물품 반송을 양호하게 실현할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있다.

1 : 주행 경로
1a : 직선 부분
1b : 곡선 부분
2 : 주행 레일
3a : 검사 주행차(주행차)
3b : 물품 반송차
6 : 접속 경로
15 : 주행륜
19 : 안내 보조륜
21 : 안내 레일
D : 단차
S1 : 설비 제어 장치
S2 : 검사 제어 장치
S4 : 해석 장치
S5 : 기억부
S7 : 거리 센서

Claims

주행 경로를 따라 배치된 주행 레일; 및
상기 주행 레일의 주행면에서 주행륜을 전동(轉動)시키는 상태로 상기 주행 경로를 따라 안내되는 주행차(travel vehicle);
를 포함하고,
상기 주행차가, 상기 주행면까지의 거리를 계측하는 거리 계측 장치를 구비하고,
상기 거리 계측 장치는, 상기 주행차의 주행 방향을 따라 정렬되는 한 쌍의 거리 센서를 구비하는,
물품 반송 설비.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값에 기초하여, 상기 주행 레일의 상기 주행면의 단차(段差)의 유무를 판정하는 검사용 제어부를 더 포함하는 물품 반송 설비.
제2항에 있어서,
상기 검사용 제어부는, 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 상기 차분값을 단차의 깊이로서 추출하고, 상기 차분값이 단차 판정 임계값 이상인 경우에, 상기 단차로서 보수(補修) 대상 단차가 있는 것으로 판정하는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주행 레일과는 별도로 안내 레일을 더 포함하고,
상기 주행 경로는, 직선형으로 설정된 직선 부분과 곡선형으로 설정된 곡선 부분을 포함하고,
상기 안내 레일은, 상기 곡선 부분에서, 상기 곡선 부분을 따르도록 배치되고,
상기 주행차는, 상기 주행 경로의 상기 곡선 부분에서 상기 안내 레일에 안내되는 안내 보조륜을 구비하고,
상기 안내 보조륜은, 상기 곡선 부분을 주행하는 상기 주행차의 주행 방향에서 볼 때의 자세를 규정하는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 한 쌍의 거리 센서는, 상기 주행 방향에서 상기 주행차의 상기 주행륜의 전방측에 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주행 레일로서의 제1 주행 레일과, 제2 주행 레일이, 상기 주행 경로를 따라 배치되고,
상기 거리 계측 장치가, 상기 한 쌍의 거리 센서인 제1 거리 센서 쌍(sensor pair)과, 별개의 한 쌍의 거리 센서인 제2 거리 센서 쌍을 포함하고,
상기 제1 거리 센서 쌍이, 상기 제1 주행 레일의 상기 주행면까지의 거리를 계측하는 동시에, 상기 제2 거리 센서 쌍이, 상기 제2 주행 레일의 주행면까지의 거리를 계측하는 형태로 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주행차의 상기 주행 경로 상에서의 주행을 제어하는 주행 제어부를 더 포함하고,
상기 주행차는, 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값을 기억하는 기억부를 구비하는 검사용 제어부를 구비하고,
상기 검사용 제어부는, 상기 주행차의 상기 주행 경로 상에서의 위치에 관한 정보인 위치 정보를 상기 주행 제어부로부터 취득하여, 상기 위치 정보와 상기 위치 정보에 대응하는 위치에서의 상기 한 쌍의 거리 센서의 측정값의 차분값을 부가하여 상기 기억부에 기억시키는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 주행 레일의 검사를 행하는 상기 주행차인 검사 주행차와는 별도로, 반송 대상의 물품을 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle)를 더 포함하고,
상기 검사 주행차의 주행 속도의 상한값을, 상기 물품 반송차의 주행 속도의 상한값과 동일하게 제어하는 주행 제어부를 구비하는, 물품 반송 설비.