TW201713535A - 物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

物品搬送設備具備沿行走路徑配置之行走軌道、與在該行走軌道之行走面上使行走輪轉動的狀態下沿行走路徑被引導的行走車。行走車具備測量距行走面之距離的距離測量裝置，距離測量裝置具備沿行走車行走方向排列之一對距離感測器。

Description

物品搬送設備
發明領域 本發明是關於一種物品搬送設備，其具備沿行走路徑配置之行走軌道、與在該行走軌道行之走面上使行走輪轉動的狀態下沿行走路徑被引導的行走車，行走車具備測量距行走面間之距離的距離測量裝置。
發明背景 如上述之物品搬送設備的一例，已記載於日本專利特開2006-290177號公報(專利文獻1)中。該專利文獻1之物品搬送設備具備有沿行走路徑配設之行走軌道、與在該行走軌道之行走面上使行走輪轉動的狀態下沿行走路徑被引導的行走車。在該行走軌道的行走面上，行走軌道接縫上會有形成不連續部位或損傷等之高低差的情況，當行走車通過該高低差時，會產生對行走車造成振動或是加速行走車之行走輪的磨損等不良影響。 　因此，在上述專利文獻1所揭示之物品搬送設備中，構成為行走車上具備有距離感測器以測量距行走軌道之行走面的距離，物品搬送設備的控制器將會依據該距離感測器之測量結果，管理距行走軌道之行走面的距離。
發明概要 課題、用以解決課題之手段 當行走車沿行走軌道行走時，行走車會在行走輪通過行走軌道接縫上或存在於行走軌道上之微小顆粒之際振動，或行走車因行走驅動部的振動而振動。這種振動會傳達到設於行走車上之距離測量裝置。 在上述專利文獻1所揭示之物品搬送設備中，雖然行走車具備有單一的距離感測器，測量著該距離感測器與行走軌道之行走面間的距離，但如上所述，當振動傳達到距離感測器時，會有成為該距離感測器之測量值與距行走軌道之行走面的距離不具相關性之狀態的情況。因此，在僅設單一距離感測器的構成中，會有例如無法依據距離感測器的測量結果，獲知行走軌道之行走面上有無高低差的情況。
因此，行走車上設置距離測量裝置的構成中，需要一種即使在行走車振動時，也能夠適當地進行該距離測量裝置之測量的物品搬送設備。
有鑑於上述內容之物品搬送設備的特徵構成在於： 具備沿行走路徑配置之行走軌道；及在該行走軌道之行走面上使行走輪轉動的狀態下沿前述行走路徑被引導的行走車， 前述行走車具備測量距前述行走面之距離的距離測量裝置， 前述距離測量裝置具備沿前述行走車行走方向排列的一對距離感測器。
根據上述特徵構成之物品搬送設備，具備於行走車上之距離測量裝置具備沿行走車行走方向排列的一對距離感測器。沿行走方向排列之一對距離感測器的測量值的差值(絕對值)為去除隨著行走車行走所產生之振動的影響後的值。接下來，當一對距離感測器測量行走軌道之行走面上未形成高低差之處時，該差值為零，當一對距離感測器測量形成高低差之處時，該差值為比零大的值。結果，例如可以在去除隨著行走車行走所產生之振動的影響後的狀態下，適當地檢測出有時會形成在行走面上的高低差。
用以實施發明之形態 以下根據圖式說明實施形態之物品搬送設備。 如圖1~5所示，物品搬送設備具備有沿行走路徑1配置之行走軌道2、與在該行走軌道2之行走面上使行走輪15轉動的狀態下沿行走路徑1被引導的行走車3。作為該行走車3之單一檢查行走車3a具備測量距行走面之距離的距離感測器S7(距離測量裝置)。本實施形態中，檢查行走車3a相當於「行走車」。距離感測器S7測量該距離感測器S7與行走面間之距離。物品搬送設備具備有複數台將容納半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)作為物品搬送之物品搬送車3b，以作為行走車3。本實施形態中，作為行走車3之檢查行走車3a以及物品搬送車3b是作為天花板行走車而被具備著，該天花板行走車是行走在懸吊支撐於天花板的行走軌道2上。 此外，在物品搬送車3b方面，除了設置於其中之升降機構、橫行機構以及夾頭單元外，具有與後述之檢查行走車3a相同之構成，關於升降機構、橫行機構以及夾頭單元之構成，因為是眾所周知之構成，故此處省略其詳細之說明。
如圖1所示，行走路徑1具備有：1個環狀的主路徑4、經過複數個物品處理部P的環狀的副路徑5、和連接這些主路徑4與副路徑5的連接路徑6。行走路徑1具備有複數個副路徑5。主路徑4及複數個副路徑5皆是行走車3繞相同的方向(在圖1為順時針方向)行走之路徑。再者，在圖1中是以箭頭顯示行走車3的行走方向。 行走路徑1具備有設定成直線狀的直線部分1a及設定成曲線狀的曲線部分1b。具體而言，主路徑4是藉由平行的一對直線部分1a和連接一對直線部分1a彼此之端部的一對曲線部分1b而形成。複數個副路徑5各自是與主路徑4同樣地，以一對直線部分1a及一對曲線部分1b所形成。連接路徑6是以連接到主路徑4之曲線部分1b、及連接到副路徑5之直線部分1a所形成。像這樣，行走路徑1是組合直線部分1a及曲線部分1b而被設定著。 又，在連接路徑6方面，具備有：使行走車3從主路徑4朝向副路徑5分岐行走之分岐用的連接路徑6、和使行走車3從副路徑5朝向主路徑4匯合行走之匯合用的連接路徑6。
接下來依據圖2~7說明檢查行走車3a。 此外，以下將平面視角下相對於檢查行走車3a前後方向直交的方向稱為車體橫寬方向，並將與上述前後方向以及車體橫寬方向雙方直交的方向稱為車體上下方向。又，是在從檢查行走車3a之後方觀看前方的狀態下，特定出車體橫寬方向上之左右方向來說明。還有，關於行走部9，是將平面視角下相對於行走輪15之旋轉軸心直交的方向作為行走方向。在檢查行走車3a行走於行走路徑1之直線部分1a時，檢查行走車3a之前後方向與行走部9之行走方向會成為相同的方向。 又，關於行走路徑1，是將沿著行走路徑1之方向稱為路徑長邊方向，並將平面視角下相對於該路徑長邊方向直交的方向稱為路徑寬度方向來說明。順帶說明，例如在檢查行走車3a行走於行走路徑1之直線部分1a時，行走方向與路徑長邊方向會成為相同的方向，而車體橫寬方向與路徑寬度方向會成為相同的方向。
檢查行走車3a具備有：在懸吊支撐於天花板的左右一對行走軌道2上，沿該行走軌道2行走的行走部9、位於行走軌道2的下方而懸吊支撐於行走部9的檢查行走車本體10、及可從沿著行走路徑1配設之供電線11以非接觸方式接受驅動用電力之受電部12。 在行走部9方面，具備有：第1行走部9f、及和該第1行走部9f在前後方向上排列的第2行走部9r。再者，在前後方向上排列的一對行走部9之中，是將在前後方向上位於前方側之行走部9定為第1行走部9f，並將在前後方向上位於後方側之行走部9定為第2行走部9r。
在第1行走部9f上，被電動式之驅動馬達14旋轉驅動的左右一對行走輪15是以可行走於左右一對行走軌道2各自的上表面所形成之行走面上的狀態被裝備著。 又，在第1行走部9f上，繞著沿車體上下方向之軸心(繞著上下軸心)自由旋轉的左右一對引導輪16是以抵接於左右一對行走軌道2中的內側面的狀態被裝備著。再者，關於左右一對引導輪16，是以在車體前後方向上排列的狀態於第1行走部9f上裝備有2組。 在第2行走部9r上，與第1行走部9f同樣地裝備有1組左右一對行走輪15與2組左右一對引導輪16。 再者，具備於第1行走部9f上之作為行走輪15的第1行走輪15f，以及具備於第2行走部9r上之作為行走輪15的第2行走輪15r，會在行走軌道2的行走面轉動。
在第1行走部9f及第2行走部9r上，以比行走輪15之下端還要朝下方突出的狀態具備有連結軸17。在檢查行走車本體10上，具備有第1支撐機構18f及第2支撐機構18r。 如圖2所示，第1行走部9f的連結軸17和檢查行走車本體10的第1支撐機構18f是連結成可繞著沿上下方向的第1軸心相對旋轉自如。像這樣，藉由連結第1行走部9f與檢查行走車本體10，使得檢查行走車本體10被第1支撐機構18f支撐於第1行走部9f上。又，第1支撐機構18f是可繞著沿上下方向的第1軸心旋轉自如地被第1行走部9f所支撐。 第2行走部9r的連結軸17與檢查行走車本體10的第2支撐機構18r是連結成可繞著沿上下方向的第2軸心相對旋轉自如。像這樣，藉由連結第2行走部9r與檢查行走車本體10，使得檢查行走車本體10被第2支撐機構18r支撐於第2行走部9r上。又，第2支撐機構18r是可繞著沿上下方向的第2軸心旋轉自如地被第2行走部9r所支撐。 在此，第1軸心位在第1行走部9f之行走方向寬幅內，且是位於車體橫寬方向寬幅內，在平面視角下是配置成與第1行走部9f重疊。 第2軸心位在第2行走部9r之行走方向寬幅內，且是位於車體橫寬方向寬幅內，在平面視角下是配置成與第2行走部9r重疊。
第1行走部9f及第2行走部9r各自藉由其上所具備之2組引導輪16接觸於一對行走軌道2而受引導，而可在維持沿著行走路徑1的姿勢之同時沿著行走路徑1行走。具體而言，第1行走部9f或第2行走部9r在行走於行走路徑1之直線部分1a時，是以使行走方向沿著直線部分1a之路徑長邊方向的姿勢行走，而在行走於行走路徑1之曲線部分1b時，是以使行走方向沿著曲線部分1b之切線方向的姿勢行走。
如圖3、4所示，供電線11是配設有一對，以相對於受電部12在平面視角下位於路徑寬度方向的兩側。 如圖3所示，受電部12具備有：第1部分12a，位於一對供電線11之間且位於與一對供電線11相同的高度、和第2部分12b，從第1部分12a朝車體橫寬方向的兩側延伸而位於一對供電線11的上下兩側。 在第2部分12b方面，設置有：從第1部分12a的上端朝車體橫寬方向的兩側延伸的上側之第2部分12b、和從第1部分12a的下端朝車體橫寬方向的兩側延伸的下側之第2部分12b。
如圖3、4、5所示，於第1行走部9f上，裝備有在比行走輪15更上方側之處繞著上下軸心(沿車體上下方向之軸心)旋轉的前後一對引導輔助輪19、與使前後一對的引導輔助輪19一體地於車體橫寬方向上移動的驅動部20。再者，在第2行走部9r上，與第1行走部9f同樣地裝備有前後一對引導輔助輪19與驅動部20。 在行走路徑1中的路徑分岐或匯合之連接部分(主路徑4與連接路徑6連接之部分或副路徑5與連接路徑6連接之部分)上，設有引導引導輔助輪19的導軌21。該導軌21是配置成位於比行走軌道2還要上方，且在平面視角下位於左右一對行走軌道2之中間的位置。 接下來，第1行走部9f是構成為藉由以驅動部20使前後一對引導輔助輪19往車體橫寬方向移動，使得前後一對引導輔助輪19的位置往右引導位置與左引導位置移動，其中，右引導位置是前後一對引導輔助輪19位於第1行走部9f之車體橫寬方向中央靠右側，並從右側對導軌21抵接的位置；左引導位置是前後一對引導輔助輪19位於第1行走部9f之車體橫寬方向中央靠左側，並從左側對導軌21抵接的位置。 第2行走部9r是與第1行走部9f同樣地構成為，利用驅動部20使前後一對引導輔助輪19的位置移動到右引導位置及左引導位置。
接著，根據圖1及圖5來說明檢查行走車3a之行走。 如圖5所示，在行走路徑1的連接部分設置有：沿著行走路徑1之直線部分1a(圖示於圖1)設置的直線導軌21a、和沿著行走路徑1之曲線部分1b(圖示於圖1)設置的曲線導軌21b，以作為導軌21。 如圖5所示，行走於副路徑5(圖示於圖1)的檢查行走車3a在進入路徑分岐的連接部分時，藉由在已使2組前後一對引導輔助輪19(以下，簡稱為引導輔助輪19)移動至左引導位置的狀態下進入，檢查行走車3a就會在引導輔助輪19位於直線導軌21a之左側的狀態下行走。因此，引導輔助輪19不會被曲線導軌21b所引導，而檢查行走車3a會從副路徑5(圖示於圖1)之直線部分1a(圖示於圖1)分歧行走至連接路徑6的直線部分1a(圖示於圖1)。 又，行走於副路徑5的檢查行走車3a在進入路徑分岐的連接部分時，藉由在已使引導輔助輪19移動至右引導位置的狀態下進入，檢查行走車3a就會在引導輔助輪19位於直線導軌21a之右側的狀態下行走。因此，引導輔助輪19會被曲線導軌21b所引導，而檢查行走車3a會從直線部分1a往曲線部分1b (圖示於圖1)地行走於副路徑5。 亦即，檢查行走車3a在引導輔助輪19被曲線導軌21b所引導，而行走於行走路徑1之曲線部分1b時，將會以藉由引導輔助輪19規定為傾斜姿勢的形態來行走，該傾斜姿勢是檢查行走車3a在行走方向視角下的姿勢朝向曲線部分1b之內側(和施加於檢查行走車的離心力為相反側)傾斜的姿勢。
先前說明過之物品搬送設備的行走軌道2的行走面上，如圖7所示，例如在行走軌道2的接縫上，會有形成作為造成行走面不連續的不連續部位或損傷等之高低差D的情況。 因此，本實施形態之物品搬送設備中，在檢查行走車3a之第1行走部9f上，沿行走方向排列具備有一對測量距行走面之距離的距離感測器S7(S7a、S7b)。亦即，檢查行走車3a具備測量距行走軌道2之行走面之距離的距離測量裝置，此距離測量裝置具備有沿行走方向排列之一對距離感測器S7a、S7b。又，本實施形態之物品搬送設備具備有檢查控制裝置S2(檢查用控制部的一例)，會根據該一對距離感測器S7a、S7b之測量值的差值，來管理距行走軌道2之行走面的距離。再者，本說明書中，所謂「管理距行走軌道之行走面的距離」，也包含了僅意指作為距行走軌道之行走面的距離，將一對距離感測器之測量值的絕對值與行走軌道之位置資訊同時記憶的控制的情況。亦即，檢查用控制部不進行判定行走軌道之行走面有無高低差的相關控制的構成，也包含在本說明書的揭示範圍內。 在本實施形態中，檢查控制裝置S2是以在檢查行走車本體10內部被支撐板10a支撐的形態被設置著。亦即，在本實施形態中，檢查控制裝置S2是具備於檢查行走車3a中。再者，如圖6所示，進行對物品搬送設備之行走車3的運行指示等之設備控制裝置S1(行走控制部的一例)是與檢查控制裝置S2分開設置，檢查控制裝置S2是構成為透過設於檢查行走車本體10內之通訊控制部(未圖示)，而可與設備控制裝置S1進行通訊。順帶說明，在本實施形態中，操作裝置S3是藉由有線或無線而電連接於設備控制裝置S1，在作業員以該操作裝置S3指定檢查路徑的形態下，執行由檢查行走車3a所進行的檢查。
一對距離感測器S7a、S7b在行走方向上的間隔，設定為20mm以上45mm以下。接下來，一對距離感測器S7a、S7b，如圖2及圖3所示，是以受到從驅動部20在第1行走部9f之車體橫寬方向上往兩側延伸設置之支架所支撐的形態下，設置有2組。當第1行走部9f行走於行走路徑1之直線部分1a時，一對距離感測器S7a、S7b是配設成在平面視角下如圖5所示，在行走路徑1之曲線部分中行走軌道2不存在的部分以外，與行走軌道2之行走面重疊。亦即，相對於一對行走軌道2各別設有一對距離感測器S7a、S7b。 亦即，在一對距離感測器S7a、S7b方面，各別具備有第1之一對距離感測器S7a、S7b(第1距離感測器對)與第2之一對距離感測器S7a、S7b(第2距離感測器對)，且是依以下形態配設，即在第1之一對距離感測器S7a、S7b測量距一對行走軌道2中之一者(第1行走軌道)之行走面的距離的同時，第2之一對距離感測器S7a、S7b測量距一對行走軌道2中之另一者(第2行走軌道)之行走面的距離。 再者，一對距離感測器S7a、S7b為了降低第1行走部9f之行走輪15(第1行走輪15f)通過高低差等時所產生之振動對測量值的影響，而在行走方向上配置於第1行走部9f之行走輪15的前方。 又，在本實施形態中，一對距離感測器S7a、S7b連接感測放大器(Sensor amplifier)，該感測放大器具有導出並輸出兩測量值之差值的功能。
藉由採用該構成，可從一對行走軌道2各自取得一對距離感測器S7a、S7b之測量值的差值。該差值(精確地說，是差值的絕對值)是與距行走軌道2之行走面的距離有關的值。例如，該差值的絕對值在行走軌道2之行走面上並未形成高低差等的情況下，會成為零，而在有形成高低差的情況下，會輸出與該高低差之深度相對應的值。
因此，檢查控制裝置S2，是將上述差值之絕對值記憶於記憶部S5中，作為與距行走軌道2之行走面的距離有關的值。亦即，檢查控制裝置S2是使用一對距離感測器S7a、S7b之測量值的差值，作為管理距行走軌道2之行走面的距離的指標。結果，例如可以利用檢查控制裝置S2所管理之距行走面的距離，來適當地進行行走軌道2的維修。 再者，在行走軌道2的下表面，在路徑長邊方向上每隔特定距離設有寫入行走路徑1之位置資訊的條碼B，在檢查行走車3a中，於檢查行走車本體10的上方設有讀取條碼B的條碼讀取器S6。該條碼讀取器S6所讀取的位置資訊，以及與讀取時間有關的時間資訊，會透過通訊控制部(未圖示)被發送至設備控制裝置S1，設備控制裝置S1會記憶這些資訊。 檢查控制裝置S2從設備控制裝置S1取得記憶於記憶部S5中之差值所取得之有關於位置的位置資訊以及該差值所取得之有關於時間的時間資訊，並且以將這些位置資訊以及時間資訊連結到差值的形態，記憶於記憶部S5中。
檢查行走車3a在檢查的行走結束的時間點，或從開始檢查的時間點起每隔預定時間，移動到設備控制裝置S1的附近，且作業員以有線連接檢查控制裝置S2與設備控制裝置S1的形態下，將被記憶於檢查控制裝置S2之記憶部S5的資料，透過設備控制裝置S1，發送到分析裝置S4(檢查用控制部的一例)。 分析裝置S4根據一對距離感測器S7a、S7b之測量值的差值，判定行走軌道2之行走面有無高低差D(距行走軌道2之行走面的距離管理之一例)。具體而言，分析裝置S4將一對距離感測器S7a、S7b之測量值的差值作為高低差D的深度(圖7之Δｘ)，當差值在高低差判定閾值(例如5mm)以上時，判定為有修補對象高低差(距行走軌道2之行走面的距離管理之一例)。再者，距行走軌道2之行走面的距離，是例如距離感測器S7與該行走面間的距離，或行走部9(第1行走部9f)與該行走面間的距離。 分析裝置S4具備例如標示在行走路徑1上存在修補對象高低差之地點的標示部以及標示軟體，具有使作業員能以視覺辨認在行走路徑1上的何處存在修補對象高低差的功能。
再者，設備控制裝置S1對檢查行走車3a以及物品搬送車3b雙方，在行走路徑1上由條碼B所規定的每一區間，預先指示速度上限值，檢查行走車3a以及物品搬送車3b雙方記憶這些資訊，且檢查行走車3a以及物品搬送車3b雙方根據這些資訊來行走。接下來，在本實施形態中，設備控制裝置S1在同一區間中，將檢查行走車3a之速度上限值與物品搬送車3b之速度上限值設定成相等。藉由該構成，不但可以良好地進行檢查行走車3a之檢查，且檢查行走車3a之行走速度不會變慢，可以防止物品搬送車3b堵塞，讓物品搬送車3b能夠順暢地進行物品的搬送。
[其他實施形態] (1)在上述實施形態中，表示了使檢查行走車3a與物品搬送車3b同時行走於行走軌道2上的例子。 但是，不僅限於使檢查行走車3a與物品搬送車3b同時行走於行走軌道2上，也包含僅使檢查行走車3a行走於行走軌道2上的情況。又，在上述實施形態中，雖表示了使單一之檢查行走車3a行走的例子，但也可採用使複數輛檢查行走車3a同時行走的構成。
(2) 在上述實施形態中，表示了作為行走車3之檢查行走車3a以及物品搬送車3b為天花板行走車的例子。但是，兩者也可以是行走於配置於地面之行走軌道2上的行走車。
(3) 在上述實施形態中，表示了將一對距離感測器S7a、S7b在行走方向上配置於第1行走部9f之第1行走輪15f前方的構成例。 但是，也可以採用一對距離感測器S7a、S7b在行走方向上配置於第1行走部9f之第1行走輪15f後方的構成。
(4) 在上述實施形態中，表示了檢查控制裝置S2搭載於檢查行走車3a之檢查行走車本體10的例子。 但是，檢查控制裝置S2也可以設置於地面。此時，也可以採用檢查行走車本體10的通訊控制部將一對距離感測器S7a、S7b所取得之測量值的差值，逐次透過檢查控制裝置S2發送至分析裝置S4的構成。
(5) 在上述實施形態中，是以一對距離感測器S7a、S7b所連接之感測放大器具有導出兩者測量值之差值的功能作為例子進行了說明。 但是，也可以構成為由檢查控制裝置S2具有導出兩者測量值之差值的功能。
(6) 在上述實施形態中，表示了設備控制裝置S1在行走路徑1上由條碼B所規定的區間中，將檢查行走車3a之速度上限值與物品搬送車3b之速度上限值設定成相等的例子。 但是，將檢查行走車3a之速度上限值與物品搬送車3b之速度上限值亦可設定成相異的值。
(7) 在上述實施形態中，雖說明過了分析裝置S4也包含在檢查用控制部中的概念，但該分析裝置S4不包含於檢查用控制部中的構成也包含在本發明的權利範圍內。 亦即，不具備分析裝置S4的物品搬送設備也包含於本發明之權利範圍內，此時，在物品搬送設備之外另外具備分析裝置較佳。
再者，上述實施形態(含其他實施形態，以下相同)中所揭示之構成，只要不產生矛盾，都可以和其他實施形態中所揭示之構成組合後適用，又，本說明書中所揭示之實施形態是舉例表示，本發明之實施形態並不受限於此，可以在不脫離本發明之目標的範圍內，做適當的變更。
[上述實施形態的概要] 以下，針對在上述所說明之物品搬送設備的概要進行說明。
物品搬送設備具備沿行走路徑配置之行走軌道；及在該行走軌道之行走面上使行走輪轉動的狀態下沿前述行走路徑被引導的行走車， 前述行走車具備測量距前述行走面之距離的距離測量裝置， 前述距離測量裝置具備沿前述行走車行走方向排列的一對距離感測器。
根據上述之物品搬送設備，具備於行走車上之距離測量裝置具備沿行走車行走方向排列的一對距離感測器。沿行走方向排列之一對距離感測器的測量值的差值(絕對值)為去除隨著行走車行走所產生之振動的影響後的值。接下來，當一對距離感測器測量行走軌道之行走面上未形成高低差之處時，該差值為零，當一對距離感測器測量形成高低差之處時，該差值為比零大的值。結果，例如可以在去除隨著行走車行走所產生之振動的影響後的狀態下，適當地檢測出有時會形成在行走面上的高低差。
在此，具備檢查用控制部，其根據前述一對距離感測器之測量值的差值，判定前述行走軌道之前述行走面有無高低差，如此是較為理想的。
沿行走方向排列的狀態下所設置之一對距離感測器之測量值的差值，會成為去除隨著行走車行走而發生之振動的影響，並且在例如以一對距離感測器去測量行走軌道之行走面上有形成作為非連續部位等之高低差之處時，其絕對值是被輸出為較大之值。 因此，藉由根據該差值來判定行走軌道之行走面有無高低差，即使在行走車振動等時，也可以良好地判定行走軌道之行走面有無高低差。
又，前述檢查用控制部將前述一對距離感測器之測量值的前述差值抽出作為高低差的深度，當前述差值在高低差判定閾值以上時，即判定其具有作為前述高低差之修補對象高低差，如此是較為理想的。
在物品搬送設備中，形成於行走軌道之行走面上之高低差，例如存在有深度達5mm以上而需要立即修補的修補對象高低差、及深度未達5mm而無需立即修補的高低差。 本發明之物品搬送設備，雖將一對距離感測器之測量值的差值作為判定高低差的指標，但該差值為對應於高低差深度的值。 因此，在上述構成中，藉由採用當所測量之差值在被事先決定並記憶於記憶部之高低差判定閾值(例如5mm)以上時，即判定為修補對象高低差的構成，便可以在已測量出差值之處中，良好地區分出尤其是需要立即修補之較深的高低差與不需要立即修補之較淺的高低差。 藉此，例如可藉由檢查用控制部對顯示裝置等輸出將修補對象高低差優先修補之指示等控制指令，作業員就可以將需修補之高低差作為對象進行修補，而有效率地進行維修作業。
又，除前述行走軌道之外另外具備導軌， 前述行走路徑具有設定成直線狀之直線部分與設定成曲線狀之曲線部分， 前述導軌在前述曲線部分中是配置成沿著該曲線部分， 前述行走車具備有在前述行走路徑之前述曲線部分中被前述導軌引導之引導輔助輪， 前述引導輔助輪規定行走於前述曲線部分之前述行走車在行走方向視角下的姿勢，如此是較為理想的。
一般的物品搬送設備，其構成是當行走車行走於行走路徑之曲線部分時，具備於行走車上且被導軌引導之引導輔助輪會規定行走於曲線部分之行走車在行走方向視角下的姿勢，相對於行走車行走於行走路徑之直線部分時的一般行走姿勢，採取令行走車在行走方向視角下傾斜的傾斜姿勢。在此，傾斜姿勢是考慮到行走車行走於行走路徑之曲線部分時的離心力，令行走車在行走方向視角下朝向曲線部分之內側(和施加離心力的方向為相反側)傾斜的姿勢。 與一般行走姿勢比較，該傾斜姿勢會改變一對距離感測器與行走軌道之行走面間的距離。在上述構成中，即使是此種傾斜姿勢，因為沿行走車行走方向排列設置之一對距離感測器之測量值的差值為去除掉傾斜影響後的值，所以可以良好地執行距行走軌道之行走面之距離的管理(判定有無高低差)。 再者，本說明書中，所謂行走方向是平面視角下相對於行走輪之旋轉軸心直交的方向。
又，前述一對距離感測器在前述行走方向上設置於前述行走車的前述行走輪的前方側，如此是較為理想的。
如上述構成，在行走方向上於行走車的行走輪前方具備一對距離感測器，一對距離感測器就可以在例如行走輪通過行走軌道之接縫等而產生振動前，進行接縫上頻發之高低差的測量，因此可更高精密度地執行該測量下之有無高低差的判定。
又，作為前述行走軌道之第1行走軌道與第2行走軌道是沿前述行走路徑配置， 前述距離測量裝置具備前述一對距離感測器之第1距離感測器對，與另外一對距離感測器之第2距離感測器對， 且依以下形態配設，即在前述第1距離感測器對測量距前述第1行走軌道之前述行走面的距離的同時，前述第2距離感測器對測量距前述第2行走軌道之行走面的距離，如此是較為理想的。
通常，物品搬送設備中，一對行走軌道是沿行走方向配置的，但目前為止所說明過的高低差，其存在於一對行走軌道上之任何一處的高低差也都是測量的對象。根據上述構成，存在於一對行走軌道上之任何一處的高低差也都能作為測量的對象，可以良好地判定一對行走軌道雙方上面有無高低差。
又，具備控制前述行走車在前述行走路徑上之行走的行走控制部， 前述行走車具備具有記憶部之檢查用控制部，以記憶前述一對距離感測器之測量值， 前述檢查用控制部從前述行走控制部取得前述行走車在前述行走路徑上之位置相關資訊的位置資訊，將該位置資訊與對應於該位置資訊之位置中的前述一對距離感測器之測量值的差值作連結，並記憶於前述記憶部中，如此是較為理想的。
根據上述構成，因為是在使一對距離感測器之測量值的差值與行走路徑上之位置相對應的狀態下進行記憶，所以可輕易地將行走路徑上產生高低差之位置的資訊，或今後可能成為高低差之位置的資訊予以輸出，達到提升維修品質的目標。
又，在進行前述行走軌道之檢查的前述行走車的檢查行走車之外，另外具備搬送搬送對象之物品的物品搬送車， 並具備將前述檢查行走車之行走速度上限值控制在與前述物品搬送車之行走速度上限值相同的行走控制部，如此是較為理想的。
通常，各別具備搬送搬送對象之物品的物品搬送車、與具備一對距離感測器來進行行走軌道之檢查的檢查行走車時，從提高檢查精密度的觀點來看，檢查行走車之行走速度是設定成較物品搬送車為慢。此時，恐有低速檢查行走車在前頭沿行走軌道而發生堵塞，使物品搬送車之物品搬送延遲之虞。 對此，本發明之物品搬送設備的檢查行走車，因具備排列於行走方向上之一對距離感測器，且將這些測量值之差值作為檢查指標，所以即使在行走速度提高時，也能在適當去除振動等影響的狀態下，良好地執行距行走軌道之行走面的距離的管理(例如，判定行走面上有無高低差)。 因此，依據上述構成，藉由行走控制部將檢查行走車之行走速度上限值控制在與物品搬送車之行走速度上限值相同，可以實現一種良好地進行距行走軌道之行走面之距離的管理(判定行走面上有無高低差)之同時，檢查行走車不會妨礙物品搬送車進行物品搬送，而可良好地實現物品搬送的物品搬送設備。
1‧‧‧行走路徑
1a‧‧‧直線部分
1b‧‧‧曲線部分
2‧‧‧行走軌道
3‧‧‧行走車
3a‧‧‧檢查行走車
3b‧‧‧物品搬送車
4‧‧‧主路徑
5‧‧‧副路徑
6‧‧‧連接路徑
9‧‧‧行走部
9f‧‧‧第1行走部
9r‧‧‧第2行走部
10‧‧‧檢查行走車本體
10a‧‧‧支撐板
11‧‧‧供電線
12‧‧‧受電部
12a‧‧‧第1部分
12b‧‧‧第2部分
14‧‧‧驅動馬達
15‧‧‧行走輪
15f‧‧‧第1行走輪
15r‧‧‧第2行走輪
16‧‧‧引導輪
17‧‧‧連結軸
18f‧‧‧第1支撐機構
18r‧‧‧第2支撐機構
19‧‧‧引導輔助輪
20‧‧‧驅動部
21‧‧‧導軌
21a‧‧‧直線導軌
21b‧‧‧曲線導軌
B‧‧‧條碼
D‧‧‧高低差
P‧‧‧物品處理部
Δx‧‧‧深度
S1‧‧‧設備控制裝置
S2‧‧‧檢查控制裝置
S3‧‧‧操作裝置
S4‧‧‧分析裝置
S5‧‧‧記憶部
S6‧‧‧條碼讀取器
S7(S7a、S7b)‧‧‧距離感測器
圖1為物品搬送設備之主要部位平面圖。 圖2為檢查行走車之側面圖。 圖3為檢查行走車之正面圖。 圖4為檢查行走車之平面圖。 圖5為檢查行走車行走於行走軌道之直線部分或曲線部分時的平面圖。 圖6為各種感測器以及控制裝置之塊狀圖。 圖7為表示一對距離感測器對行走軌道之行走面上的設置狀態的側面圖。
2‧‧‧行走軌道
3‧‧‧行走車
3a‧‧‧檢查行走車
9‧‧‧行走部
9f‧‧‧第1行走部
9r‧‧‧第2行走部
10‧‧‧檢查行走車本體
10a‧‧‧支撐板
12‧‧‧受電部
14‧‧‧驅動馬達
15‧‧‧行走輪
15f‧‧‧第1行走輪
15r‧‧‧第2行走輪
16‧‧‧引導輪
17‧‧‧連結軸
18f‧‧‧第1支撐機構
18r‧‧‧第2支撐機構
19‧‧‧引導輔助輪
20‧‧‧驅動部
B‧‧‧條碼
S2‧‧‧檢查控制裝置
S6‧‧‧條碼讀取器
S7(S7a、S7b)‧‧‧距離感測器

Claims (8)

  1. 一種物品搬送設備，具備以下： 沿行走路徑配置之行走軌道；及 在前述行走軌道之行走面上使行走輪轉動的狀態下沿前述行走路徑被引導的行走車， 在此，前述行走車具備測量距前述行走面之距離的距離測量裝置， 其具有以下特徵： 前述距離測量裝置具備沿前述行走車行走方向排列之一對距離感測器。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中具備檢查用控制部，其根據前述一對距離感測器之測量值的差值，判定前述行走軌道之前述行走面有無高低差。
  3. 如請求項2之物品搬送設備，其中前述檢查用控制部將前述一對距離感測器之測量值的前述差值抽出作為高低差的深度，當前述差值在高低差判定閾值以上時，即判定其具有作為前述高低差之修補對象高低差。
  4. 如請求項1至3中任一項之物品搬送設備，其中前述行走軌道之外另外具備導軌， 前述行走路徑具有設定成直線狀之直線部分與設定成曲線狀之曲線部分， 前述導軌在前述曲線部分中是配置成沿著該曲線部分， 前述行走車具備有在前述行走路徑之前述曲線部分中被前述導軌引導之引導輔助輪， 前述引導輔助輪規定行走於前述曲線部分之前述行走車在行走方向視角下的姿勢。
  5. 如請求項1至3中任一項之物品搬送設備，其中前述一對距離感測器在前述行走方向上設置於前述行走車的前述行走輪的前方側。
  6. 如請求項1至3中任一項之物品搬送設備，其中作為前述行走軌道之第1行走軌道與第2行走軌道是沿前述行走路徑配置， 前述距離測量裝置具備前述一對距離感測器之第1距離感測器對，與另外一對距離感測器之第2距離感測器對， 且是依以下形態配設，即在前述第1距離感測器對測量距前述第1行走軌道之前述行走面的距離的同時，前述第2距離感測器對測量距前述第2行走軌道之行走面的距離。
  7. 如請求項1至3中任一項之物品搬送設備，其中具備控制前述行走車在前述行走路徑上之行走的行走控制部， 前述行走車具備具有記憶部之檢查用控制部，以記憶前述一對距離感測器之測量值， 前述檢查用控制部從前述行走控制部取得前述行走車在前述行走路徑上之位置相關資訊的位置資訊，將該位置資訊與對應於該位置資訊之位置中的前述一對距離感測器之測量值的差值作連結，並記憶於前述記憶部中。
  8. 如請求項1至3中任一項之物品搬送設備，其中在進行前述行走軌道之檢查的前述行走車的檢查行走車之外，另外具備搬送搬送對象之物品的物品搬送車， 並具備將前述檢查行走車之行走速度上限值控制在與前述物品搬送車之行走速度上限值相同的行走控制部。
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6778687B2 (ja) * 2014-10-23 2020-11-04 スフェレア テスト アンド サービシズ 列車，特に自動地下鉄列車の試験用ダイナミックリグ用回転ユニット，及び本ユニットを備えたリグ
JP6717243B2 (ja) * 2017-03-14 2020-07-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6743750B2 (ja) * 2017-04-14 2020-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10564632B2 (en) * 2017-11-29 2020-02-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for sensory automated material handing
GB2561969B (en) * 2018-03-02 2019-05-15 Kannegiesser Uk Ltd Cleaning apparatus for cleaning a rail system
KR102169581B1 (ko) * 2018-08-07 2020-10-23 세메스 주식회사 비히클 유지 보수용 승강 장치
US10401870B1 (en) * 2018-11-15 2019-09-03 Grey Orange Pte. Ltd. System and method for handling items using movable-bots
KR102172066B1 (ko) * 2018-12-06 2020-10-30 세메스 주식회사 비히클 유지 보수용 승강 장치
JP7040487B2 (ja) * 2019-03-20 2022-03-23 株式会社ダイフク 物品搬送設備
AT522334B1 (de) * 2019-08-13 2020-10-15 Knapp Ag Schienenkreuzung für ein Regallager
KR102313087B1 (ko) * 2020-01-14 2021-10-18 세메스 주식회사 Oht 주행 시스템 및 oht 주행 시스템에서의 오차 보정 방법
JP7327174B2 (ja) * 2020-01-14 2023-08-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102332917B1 (ko) * 2020-04-23 2021-11-29 시너스텍 주식회사 Oht 레일 체크 장치
JP7318589B2 (ja) * 2020-05-25 2023-08-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102650609B1 (ko) * 2021-12-31 2024-03-26 세메스 주식회사 물품 반송 장치 및 주행 레일의 단차 측정 방법, 반송 시스템
AT525853A1 (de) * 2022-02-04 2023-08-15 Tgw Mechanics Gmbh Verbesserte Hängefördervorrichtung für ein Kommissioniersystem und Transportträger zum Transport von Hängeware

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9200973U1 (de) * 1992-01-28 1992-05-21 CFC-Fördersysteme GmbH, 7500 Karlsruhe Einschienenhängebahn
JPH05264261A (ja) * 1992-03-19 1993-10-12 Hitachi Kiden Kogyo Ltd クレーンレールのうねり、高低差測定装置
JPH07170615A (ja) * 1993-12-09 1995-07-04 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 搬送装置の走行路
DE102005004629B4 (de) * 2005-01-27 2014-02-13 Siemens Aktiengesellschaft Abstandssensor-Anordnung für einen Magneten des Tragmagneten einer Magnetschwebebahn
JP4410707B2 (ja) * 2005-03-08 2010-02-03 東海旅客鉄道株式会社 レール継目検出器および軌道検測車のレール継目位置検出装置
JP4665592B2 (ja) * 2005-04-12 2011-04-06 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2008207755A (ja) * 2007-02-28 2008-09-11 Hitachi Plant Technologies Ltd 搬送台車の走行状況監視システム
JP5264261B2 (ja) 2007-05-21 2013-08-14 株式会社日本環境プロジェクト コンテナ管理システム
US8190377B2 (en) * 2007-11-15 2012-05-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Enhanced rail inspection
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2012074997A1 (en) * 2010-11-29 2012-06-07 Board Of Regents Of The University Of Nebraska System and method for ultrasonically evaluating structural properties
US8485035B2 (en) * 2011-08-22 2013-07-16 Herzog Services, Inc. Method of detecting defects
JP5590422B2 (ja) * 2012-06-13 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
AU2013299501B2 (en) * 2012-08-10 2017-03-09 Ge Global Sourcing Llc Route examining system and method
US9607446B2 (en) * 2013-09-18 2017-03-28 Global Patent Operation System and method for identifying damaged sections of a route
US10151716B2 (en) * 2015-08-06 2018-12-11 Georgetown Rail Equipment Company System and method for internal inspection of rail components

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