JP2019049447A - 検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することが可能な検査システムを提供する。【解決手段】検査システム１は、予め設定された搬送経路Ｒ上を走行する搬送車２が備える検知器３を検査対象とし、検知器３の検知状態を検査する検査装置５を備えている。検査装置５は、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に配置されている。【選択図】図１

Description

本発明は、搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムに関する。

例えば、下記の特許文献１（特開平１０−３２５８６６号公報）には、無人の搬送車（１）に備えられた検知器としての障害物センサ（６）を検査するための技術が開示されている。特許文献１の技術では、三次元方向に移動する模擬障害物（１１０）を障害物センサ（６）に検出させることで、障害物センサ（６）の検出範囲を検査するものとなっている。

特開平１０−３２５８６６号公報

しかし、特許文献１の技術では、検査対象となる障害物センサ（６）を備えた搬送車（１）を、搬送車（１）が物品を搬送するために走行する搬送経路とは別の場所（１２０）まで作業者によって移動させた上で、当該障害物センサ（６）の検査が行われる。そのため、障害物センサ（６）の検査を行うに際して、作業者による搬送車（１）の移動の手間が生じており、検査の手間の簡略化に向けて改善の余地があった。

そこで、予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することが可能な検査システムの実現が望まれる。

本開示に係る検査システムは、
予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、
前記検知器の検知状態を検査する検査装置を備え、
前記検査装置は、前記搬送車の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置されている。

本構成によれば、搬送車が備える検知器を検査するための検査装置が、搬送経路上に設定された検査場所に搬送車が在る状態で当該検知器の検知範囲内となる位置に配置されているため、搬送車が搬送経路上に在る状態で検知器の検査を行うことができる。更に、このような検査装置が、搬送車の走行軌跡と重ならない位置に配置されているため、搬送経路を走行する搬送車が検査装置に接触することもない。このため、搬送車に搬送経路を走行させつつ、任意のタイミングで検知器の検査を行うことができる。従って、搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することができる。

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

検査システムを備えた物品搬送設備のレイアウトの一例を示す平面図 搬送車の側面図 搬送車の正面図 検査装置によって検知器を検査している状態を示す説明図 検査装置の正面図 検査システムの制御構成を示すブロック図 その他の実施形態に係る検査システムの制御構成を示すブロック図

検査システムは、予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象としている。このような検知器は、例えば、搬送車が搬送経路上を安全に走行するために用いられる。検査システムは、搬送車によって物品を搬送する物品搬送設備に利用することができる。以下、検査システムが物品搬送設備に適用される場合を例に、当該検査システムの実施形態について説明する。

１．第一実施形態
１−１．物品搬送設備の構成
図１に示すように、物品搬送設備１００は、搬送経路Ｒに沿って走行する複数の搬送車２を備えている。本実施形態では、搬送経路Ｒは、天井に支持された走行レール９８（図２等参照）に沿って設定されている。そして、搬送車２は、このような走行レール９８を走行する天井搬送車として構成されており、物品搬送設備１００において工程間で材料や中間品を搬送する。

なお、以下の説明において、搬送経路Ｒに沿って走行する搬送車２に関して、その進行方向に沿って延びる方向を「前後方向Ｘ」と定義すると共に、搬送車２が進行する向きを基準として「前」及び「後」を定義するものとする。すなわち、進行方向に沿って進む先が「前」であり、その逆が「後」である。また、水平面内において搬送車２の進行方向に直交する方向を「幅方向Ｙ」と定義し、進行方向及び幅方向Ｙの双方に直交する方向を「上下方向Ｚ」と定義するものとする。なお、本明細書では、各部材についての寸法、配置方向、配置位置等に関する用語は、誤差（製造上許容され得る程度の誤差）による差異を有する状態をも含む概念として用いるものとする。

図１〜図３に示すように、物品搬送設備１００は、搬送経路Ｒに沿って配設された走行レール９８と、走行レール９８（搬送経路Ｒ）に沿って走行して物品Ｗを搬送する搬送車２と、を備えている。走行レール９８は、左右一対設けられて天井から吊り下げ支持されている。

図１に示すように、搬送経路Ｒは、直線状に形成された直線区間ＲＳと、湾曲状に形成されたカーブ区間ＲＣとを含んで構成されている。例えば、物品搬送設備１００は複数のベイ（工程）を有しており、搬送経路Ｒは、ベイ毎に設けられたベイ内経路と、複数のベイ内経路同士を接続するベイ間経路と、を含んで構成されている。そして、ベイ間経路及びベイ内経路のそれぞれは、複数の直線区間ＲＳと複数のカーブ区間ＲＣとが組み合わされて構成されている。

物品搬送設備１００は、処理装置９６と、載置台９５と、を備えている。処理装置９６は、例えば半導体基板の加工等を行う半導体処理装置等であって良い。載置台９５は、複数の処理装置９６のそれぞれに隣接し、かつ、走行レール９８と平面視で重複する位置に設けられている。

物品搬送設備１００は、建屋内に設置されている。建屋は、四方を区画壁９３で囲まれている（図１には、一部の区画壁９３のみを表示）。なお、物品搬送設備１００には、設備内を複数の領域に区画するためのパーティションや、工程間における仕掛品を一時保管するための自動倉庫などが設けられていても良い。

搬送車２は、異なる載置台９５同士の間、又は、自動倉庫が設けられている場合には当該自動倉庫と載置台９５との間で、物品Ｗを搬送する。前述したように物品搬送設備１００が半導体製造設備である場合（処理装置９６が半導体処理装置である場合）には、物品Ｗは、例えば半導体基板を収容する容器（Front Opening Unified Pod；ＦＯＵＰ）等であると良い。

図２及び図３に示すように、搬送車２は、走行部２１と搬送本体部２２とを備えている。走行部２１は、車体本体２１Ａと、この車体本体２１Ａに回転自在に支持された複数の車輪２１Ｂとを有している。車体本体２１Ａは、前後一対設けられている。車輪２１Ｂは、前後一対の車体本体２１Ａのそれぞれにおいて左右一対設けられており、走行レール９８の上面を転動する。複数の車輪２１Ｂ（本例では４つ）のうちの少なくとも１つは、駆動モータ２１Ｃによって回転駆動される駆動輪であり、搬送車２に推進力を付与する。

走行部２１は、下部ガイドローラ２１Ｄと上部ガイドローラ２１Ｅとを有している。下部ガイドローラ２１Ｄは、車体本体２１Ａよりも下方において、当該車体本体２１Ａに対して上下軸周りに回転自在に支持されている。下部ガイドローラ２１Ｄは、走行レール９８の側面に接して転動する。上部ガイドローラ２１Ｅは、車体本体２１Ａよりも上方において、当該車体本体２１Ａに設けられた切替機構に対して上下軸周りに回転自在に支持されている。切替機構は、上部ガイドローラ２１Ｅの位置を左右（幅方向Ｙ）に切替自在に構成されている。上部ガイドローラ２１Ｅは、搬送経路Ｒの分岐点において、切替機構の状態に応じて、案内レール９７における左右いずれかの側面に接して転動する。

前後一対の車体本体２１Ａのそれぞれには連結軸２１Ｆが連結されており、これらの連結軸２１Ｆを介して、走行部２１に搬送本体部２２が吊り下げ支持されている。搬送本体部２２は、ケース２３と保持部２４とを備えている。図２に示す例では、ケース２３の内側に、保持部２４が収容されている。

ケース２３は、保持部２４に対して進行方向の前方側を覆う前方ケース部２３Ａと、保持部２４に対して進行方向の後方側を覆う後方ケース部２３Ｂと、保持部２４の上方を覆うと共に前方ケース部２３Ａ及び後方ケース部２３Ｂを連結する上方ケース部２３Ｃと、を有する。前方ケース部２３Ａは、上方ケース部２３Ｃの前方側の端部から下方に向かって延びており、後方ケース部２３Ｂは、上方ケース部２３Ｃの後方側の端部から下方に向かって延びている。ケース２３は、下方及び左右両側方に開口しており、幅方向Ｙ視で角張ったＵ字状に形成されている。

保持部２４は、物品Ｗを把持することにより当該物品Ｗを保持する。保持部２４は、物品Ｗを保持した状態で、当該物品Ｗを昇降自在に構成されている。保持部２４は、上昇位置でケース２３の内側に収容され、その状態で搬送車２が搬送経路Ｒに沿って走行する。搬送車２が移載箇所（例えば載置台９５の上方位置や自動倉庫の受け渡し部の上方位置）にある状態で、保持部２４は、降下位置まで降下し、物品Ｗの積み降ろしを行う。

前述のように、搬送車２は、検知器３を備えている。検知器３には、検知範囲ＩＥが設定されている。検知器３は、検知範囲ＩＥ内における物体を検知可能に構成されている。本実施形態では、検知器３は、搬送車２の前方部分に設けられている。図示の例では、検知器３は、ケース２３の前方ケース部２３Ａに設けられている。前述の検知範囲ＩＥは、搬送車２の前方に向かって予め定められた距離（例えば、数メートル〜数十メートル）の範囲に設定されている。

例えば、検知器３は、光学式のセンサとして構成されている。本実施形態では、検知器３は、光を投光する投光部３Ａと、光を受光する受光部３Ｂと、を有している。但し、このような構成に限らず、検知器３は、検知範囲ＩＥにおける物体を検知可能なものであれば良く、例えば、超音波センサなどであっても良い。

本実施形態では、搬送車２は、検知器３として、第１検知器３１に加えて、第１検知器３１とは異なる検知対象を検知する第２検知器３２を備えている。図示の例では、第１検知器３１及び第２検知器３２の双方が、ケース２３の前方ケース部２３Ａに設けられている。

本例では、第１検知器３１は、当該第１検知器３１を備える搬送車２の前方の他の搬送車２を検知するための前方車センサである。そして、第１検知器３１は、光を投光する第１投光部３１Ａと、光を受光する第１受光部３１Ｂと、を有している。図示の例では、第１検知器３１は、前方ケース部２３Ａの上部に１つ設けられている。また、図３に示すように、第１検知器３１は、搬送車２の幅方向Ｙにおける中央部分の１箇所に設けられている。そして、第１検知器３１は、第１投光部３１Ａによって光を前方に投光するように構成されている。本実施形態では、第１検知器３１の照射範囲Ｅである第１照射範囲３１Ｅは、幅方向Ｙに沿う直線状或いは帯状の範囲となっている（図５参照）。第１検知器３１は、第１投光部３１Ａによって、前方の搬送車２における後方ケース部２３Ｂに設けられた反射板４に向けて光を投光し、第１受光部３１Ｂによって、反射板４からの反射光を受光する。これにより、第１検知器３１は、前方の搬送車２を検知する。

また、本例では、第２検知器３２は、搬送車２の走行軌跡上の障害物を検知するための障害物センサである。そして、第２検知器３２は、光を投光する第２投光部３２Ａと、光を受光する第２受光部３２Ｂと、を有している。第２検知器３２は、第２投光部３２Ａによって光を前方に投光するように構成されている。図示の例では、第２検知器３２は、前方ケース部２３Ａにおける第１検知器３１が設けられている位置よりも下方に設けられている。また、図３に示すように、第２検知器３２は、搬送車２の幅方向Ｙにおける両側部分の２箇所に設けられた横側検知部３２Ｓと、それよりも下方であって幅方向Ｙにおける中央部分の１箇所に設けられた下側検知部３２Ｌと、を有している。本実施形態では、第２検知器３２の照射範囲Ｅである第２照射範囲３２Ｅは、複数（本例では３箇所）の範囲に設定されている。より詳細には、複数の第２照射範囲３２Ｅのうち２つは、２つの横側検知部３２Ｓから投光される光の照射範囲Ｅであり、上下方向Ｚに沿って延びる楕円状（或いは帯状）の範囲となっている（図５参照）。そして、複数の第２照射範囲３２Ｅのうち１つは、下側検知部３２Ｌから投光される光の照射範囲Ｅであり、幅方向Ｙに沿って延びる楕円状（或いは帯状）の範囲となっている（図５参照）。

このように、物品搬送設備１００では、搬送車２が備える第１検知器３１によって、前方の他の搬送車２を検知することができる。そして、前方の他の搬送車２との車間距離が近くなり過ぎた場合に搬送車２の走行速度を緩めるなどして前方の他の搬送車２への追突を回避することが可能となっている。また、物品搬送設備１００では、搬送車２が備える第２検知器３２によって、搬送車２の走行軌跡上の障害物を検知することができる。そして、障害物を検知した場合に搬送車２を停止させるなどして当該搬送車２と障害物との接触を回避することが可能となっている。

１−２．検査システムの構成
ここで、検知器３の検知状態が異常である場合には、検知対象を良好に検知することができない場合がある。例えば、前方車センサとして構成されている第１検知器３１の検知状態が異常であり前方の搬送車２を検知できない場合には、そのような第１検知器３１を備える搬送車２が、前方の搬送車２に追突する可能性がある。また、障害物センサとして構成されている第２検知器３２の検知状態が異常であり、搬送車２の走行軌跡上に障害物が在るにもかかわらず当該障害物を検知できない場合には、そのような第２検知器３２を備える搬送車２と障害物とが接触する可能性がある。

そこで、図１に示すように、検査システム１は、検知器３の検知状態を検査する検査装置５を備えている。検査システム１は、検査装置５を用いることによって、検知器３の検知状態が正常であるか異常であるかを判定する。検知器３の検知状態が異常であると判定された場合には、当該検知器３がメンテナンスの対象として決定され、必要なメンテナンスが行われる。

検査装置５は、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に配置されている。搬送車２の走行軌跡は、搬送経路Ｒの全体に亘って、搬送経路Ｒ上を走行する搬送車２が通過する領域である。

本実施形態では、検査装置５は、搬送車２が特定の検査場所ＩＰに在る状態において、当該搬送車２の前方に延びる延長線上に配置されている。図１に示すように、本例では、検査装置５は、カーブ区間ＲＣの手前（進行方向後側）にある直線区間ＲＳの延長線と区画壁９３との交点を含む位置に配置されている。このように、検査装置５は、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に設けられた区画壁９３に取り付けられることにより、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に配置されている。

本実施形態では、検査場所ＩＰは、搬送車２の進行方向を「前」とした場合に、搬送経路Ｒにおけるカーブ区間ＲＣの後側に設定されている。すなわち、搬送経路Ｒを走行する搬送車２が検査場所ＩＰを通過した場合には、その後にカーブ区間ＲＣを通過することとなる。以上により、検知範囲ＩＥが搬送車２の前方に向かって設定されている構成において、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、搬送経路Ｒ上に設定された検査場所ＩＰに搬送車２が在る状態で検知器３の検知範囲ＩＥ内となる位置に、検査装置５を配置することが可能となっている。

図４及び図５に示すように、検査装置５は、検査面５Ｆを備えている。本実施形態では、検査装置５は、投光部３Ａから投光された光を反射する反射部５Ｒと、光を反射しない非反射部５Ｎと、を有している。ここで、反射部５Ｒ及び非反射部５Ｎの双方は、検査面５Ｆに形成されている。

本実施形態では、検査システム１は、検査場所ＩＰにおいて、反射部５Ｒにより反射された光を受光部３Ｂが受光したか否かによって、検知器３の検知状態が正常であるか異常であるかを判定する。これにより、検査対象である検知器３が備えられた搬送車２側において、当該検知器３の検知状態を判定することができる。

図５に示すように、本実施形態では、反射部５Ｒは、第１検知器３１の第１投光部３１Ａからの光を反射する第１反射領域５１Ｒと、第２検知器３２の第２投光部３２Ａからの光を反射する第２反射領域５２Ｒと、を有している。このように、検査装置５は、非反射部５Ｎと、第１反射領域５１Ｒ及び第２反射領域５２Ｒと、が形成される検査面５Ｆを備えている。

図５に示すように、第１反射領域５１Ｒと第２反射領域５２Ｒとは、検査面５Ｆにおける互いに異なる位置に配置されている。本実施形態では、第２反射領域５２Ｒは、検査面５Ｆにおける外縁部５３に配置されている。図示の例では、外縁部５３は、検査面５Ｆにおける、上縁部の一部分（中央部分）を除いた外縁に形成されており、幅方向Ｙの両縁部と下縁部とに沿って連続的に形成されている。また、搬送車２が検査場所ＩＰに在る状態において搬送車２と検査装置５とを前後方向Ｘに沿って重ねて見た場合に、外縁部５３は、搬送車２（搬送本体部２２）と重複しない位置に配置されている。また、本例では、第２反射領域５２Ｒは、第１検知器３１の第１投光部３１Ａにより投光される光の照射範囲Ｅである第１照射範囲３１Ｅから外れた位置に配置されている。これにより、第１投光部３１Ａにより投光される光が第２反射領域５２Ｒによって反射される可能性を低減することができる。

本実施形態では、非反射部５Ｎは、第２反射領域５２Ｒよりも検査面５Ｆの中央側に配置されている。換言すれば、第２反射領域５２Ｒは、幅方向Ｙの両側及び下側から非反射部５Ｎを囲むように形成されている。また、搬送車２が検査場所ＩＰに在る状態において搬送車２と検査装置５とを前後方向Ｘに沿って重ねて見た場合に、非反射部５Ｎは、その外形と搬送本体部２２の外形とが重複するように配置されている。

本実施形態では、第１反射領域５１Ｒは、非反射部５Ｎの中に配置されている。図示の例では、第１反射領域５１Ｒは、検査面５Ｆの上部における幅方向Ｙの中央側に配置されている。また、搬送車２が検査場所ＩＰに在る状態において搬送車２と検査装置５とを前後方向Ｘに沿って重ねて見た場合に、第１反射領域５１Ｒは、第１検知器３１と同じ高さとなるように配置されている。また、本例では、第１反射領域５１Ｒは、第２検知器３２の第２投光部３２Ａにより投光される光の照射範囲Ｅである第２照射範囲３２Ｅから外れた位置に配置されている。これにより、第２投光部３２Ａにより投光される光が第１反射領域５１Ｒによって反射される可能性を低減することができる。

本実施形態では、検査システム１は、検査場所ＩＰにおいて、第１検知器３１の第１受光部３１Ｂが第１反射領域５１Ｒにより反射された光を受光した場合に、第１検知器３１の検知状態が正常であると判定する。換言すれば、検査システム１は、第１受光部３１Ｂが第１反射領域５１Ｒにより反射された光を受光した場合に、第１照射範囲３１Ｅが正常であると判定する。つまり、本例では、図５に示すように、第１照射範囲３１Ｅが、第１反射領域５１Ｒと重複している場合に、「第１照射範囲３１Ｅが正常である」と判定する。なお、第１照射範囲３１Ｅが、第１反射領域５１Ｒと重複していない場合には、第１照射範囲３１Ｅが異常である、すなわち、第１検知器３１の検知状態が異常であると判定する。

また、本実施形態では、検査システム１は、検査場所ＩＰにおいて、第２検知器３２の第２受光部３２Ｂが光を受光しない場合に、第２検知器３２の検知状態が正常であると判定する。換言すれば、検査システム１は、第２受光部３２Ｂが光を受光しない場合に、第２照射範囲３２Ｅが正常であると判定する。つまり、本例では、図５に示すように、第２照射範囲３２Ｅの全体が、非反射部５Ｎと重複している場合に、「第２照射範囲３２Ｅが正常である」と判定する。なお、第２照射範囲３２Ｅの少なくとも一部が、第２反射領域５２Ｒと重複している場合には、第２照射範囲３２Ｅが異常である、すなわち、第２検知器３２の検知状態が異常であると判定する。

１−３．検査システムの制御構成
図６に示すように、検査システム１は、システム全体を管理する統括制御装置Ｈｔと、搬送車２を制御する個別制御装置Ｈｍと、を備えている。統括制御装置Ｈｔ及び個別制御装置Ｈｍは、相互に通信可能に構成されている。これらの制御装置は、例えば、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、各機能が実現される。

本実施形態では、個別制御装置Ｈｍは、複数の搬送車２のそれぞれに備えられると共に、当該複数の搬送車２のそれぞれの制御を行う。例えば、個別制御装置Ｈｍは、搬送車２の走行、停止、及び物品Ｗの移載などを制御する。

本実施形態では、統括制御装置Ｈｔは、複数の搬送車２を含む物品搬送設備１００の全体の制御を行う。そして、統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）に対して搬送指令などの各種の指令を行う。本例では、統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）に対して、検知器３を検査させるための検査指令を行う。統括制御装置Ｈｔからの検査指令には、搬送車２を検査場所ＩＰまで走行させる指令と、検査場所ＩＰにおいて検査のための動作を搬送車２に行わせる指令とが含まれている。統括制御装置Ｈｔから検査指令を受けた個別制御装置Ｈｍは、検査場所ＩＰまで自車（搬送車２）を走行させる。そして、本例では、個別制御装置Ｈｍは、検査場所ＩＰにおいて自車（搬送車２）を停止させた状態で、検知器３の検査を行う。但し、このような構成に限らず、検査システム１は、検査場所ＩＰの前後において搬送車２が走行している状態（好ましくは低速走行の状態）で、検知器３の検査を行うようにしても良い。検査場所ＩＰにおける検査のための動作は、具体的には、以下のように行われる。すなわち、まず、投光部３Ａから検査装置５に向けて光を投光する。そして、検査装置５によって反射された反射光が受光部３Ｂによって受光されるか否かを判定する。そして、この判定結果に応じて検知器３が正常であるあるか否かを判定する。このようにして、検査場所ＩＰにおいて検知器３の検査が行われる。なお、投光部３Ａからの光の投光は、搬送車２の走行中常に行っていても良いし、搬送車２が検査場所ＩＰに停止した後に投光を開始するようにしても良い。

本実施形態では、検査システム１は、検知器３の検査結果を記憶する記憶装置Ｍを更に備えている。記憶装置Ｍは、統括制御装置Ｈｔと通信可能に構成されている。検査場所ＩＰにおいて検知器３の検査が終了した場合は、個別制御装置Ｈｍから統括制御装置Ｈｔに検査結果が送信される。本実施形態では、個別制御装置Ｈｍは、検知器３の検査結果と共に、複数の搬送車２の中から自車を識別するための識別情報を統括制御装置Ｈｔに送信する。統括制御装置Ｈｔは、個別制御装置Ｈｍから送信された検査結果及び識別情報を記憶装置Ｍに送信する。そして、記憶装置Ｍは、統括制御装置Ｈｔから送信された検査結果及び識別情報を記憶する。これにより、記憶装置Ｍは、検査結果を送信した個別制御装置Ｈｍに対応する搬送車２の識別情報と共に、当該検査結果を記憶する。

このように、本実施形態では、検知器３の検査結果を、搬送車２側（個別制御装置Ｈｍ側）において取得できるように構成されている。そして、検査結果と共に搬送車２の識別情報が送信されることにより、当該検査結果と検査が行われた検知器３に対応する搬送車２とが関連付けられた状態で、各装置間（本例では制御装置Ｈｔ，Ｈｍや記憶装置Ｍ）での情報のやり取りを行うことが可能となっている。なお、上記のような構成に限らず、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）は、記憶装置Ｍとの間で通信可能に構成されていても良い。この場合には、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）は、検知器３の検査結果を、記憶装置Ｍに対して直接送信するようにしても良い。また、この他にも、統括制御装置Ｈｔが、個別制御装置Ｈｍから送信された検査結果を記憶する記憶機能を有していても良い。この場合には、記憶装置Ｍは備えられていなくても良い。

検査場所ＩＰにおいて検知器３の検査が行われた結果、検知器３が正常であると判定された場合には、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）は、統括制御装置Ｈｔからの搬送指令等に応じた通常の運用を再開すると好適である。一方、検知器３が異常であると判定された場合には、統括制御装置Ｈｔは、例えば、物品Ｗの搬送等を行わない搬送車２のための退避場所に向かって当該搬送車２を移動させると好適である。但し、このような構成に限らず、個別制御装置Ｈｍ（搬送車２）は、検知器３が異常であると判定された場合であっても、例えば、搬送中の物品の搬送が終了するまで等、限定的に通常の運用を再開しても良い。

２．その他の実施形態
次に、検査システムのその他の実施形態について説明する。

（１）上記の実施形態では、検査装置５が区画壁９３に配置されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、検査装置５は、搬送車２の走行軌跡と重ならない位置に配置されていれば良い。例えば、物品搬送設備１００に自動倉庫やパーティションが設けられている場合には、検査装置５は、自動倉庫の外壁部やパーティションに配置されていても良い。

（２）上記の実施形態では、第１検知器３１が前方車センサであって、第２検知器３２が障害物センサである例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１検知器３１及び第２検知器３２の一方が、前方の搬送車２を検知するための前方車センサであり、他方が、走行軌跡上の障害物を検知するための障害物センサであれば良い。すなわち、第１検知器３１が障害物センサであって、第２検知器３２が前方車センサであっても良い。

（３）上記の実施形態では、第１検知器３１が、当該第１検知器３１を備える搬送車２の前方を走行する他の搬送車２を検知対象としており、第２検知器３２が、搬送車２の走行軌跡上の障害物を検知対象としている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、第１検知器３１及び第２検知器３２の検知対象は、設備の特性等に合わせて適宜設定されると良い。

（４）上記の実施形態では、搬送車２が天井搬送車として構成されている例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、搬送車２は、例えば、床面上を走行する無人搬送車であっても良い。その場合には、搬送経路Ｒは、床面上の走行レールに沿って設定されていても良いし、走行レールによらず、例えば磁気等を用いて単に床面上に設定されたものであっても良い。

（５）上記の実施形態では、検査装置５によって反射された反射光を受光部３Ｂによって受光するか否かにより、搬送車２に備えられた個別制御装置Ｈｍ側において検知器３の検査結果を取得する例について説明した。しかし、このような例に限定されることなく、図７に示すように、搬送車２の投光部３Ａから投光された光を検査装置５が受光することにより当該検査装置５が検知器３の検査結果を取得するようにしても良い。この場合には、検査装置５と統括制御装置Ｈｔとが通信可能に構成され、検査装置５から統括制御装置Ｈｔに検査結果を送信するように構成されていると良い。この場合、検査装置５は、例えば、上記実施形態における第１反射領域５１Ｒに対応する位置に、第１検知器３１の第１投光部３１Ａから投光される光を受光するための受光部を有し、非反射部５Ｎ（或いは、第２照射範囲３２Ｅ）に対応する位置に、第２検知器３２の第２投光部３２Ａから投光される光を受光するための受光部を有していると好適である。また、これらの受光部によって第１投光部３１Ａ又は第２投光部３２Ａからの光が受光されたか否か（検知器３が正常であるか否か）を判定するための判定部を有していると良い。本例では、各受光部によって光が受光された場合には、各検知器３が正常であると判定され、その検査結果が統括制御装置Ｈｔに送信される。また、このような構成に限らず、例えば、第２検知器３２の第２投光部３２Ａから投光される光を受光するための受光部は、上記実施形態における第２反射領域５２Ｒに対応する位置に設けられていても良い。この場合、判定部は、当該受光部によって第２投光部３２Ａから投光された光が受光された場合に、第２検知器３２が異常であると判定する。

（６）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した検査システムの概要について説明する。

予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、
前記検知器の検知状態を検査する検査装置を備え、
前記検査装置は、前記搬送車の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置されている。

本構成によれば、搬送車が備える検知器を検査するための検査装置が、搬送経路上に設定された検査場所に搬送車が在る状態で当該検知器の検知範囲内となる位置に配置されているため、搬送車が搬送経路上に在る状態で検知器の検査を行うことができる。更に、このような検査装置が、搬送車の走行軌跡と重ならない位置に配置されているため、搬送経路を走行する搬送車が検査装置に接触することもない。このため、搬送車に搬送経路を走行させつつ、任意のタイミングで検知器の検査を行うことができる。従って、搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器の検査の手間を簡略化することができる。

ここで、前記検知器は、光を投光する投光部と、光を受光する受光部と、を有し、
前記検査装置は、前記投光部から投光された光を反射する反射部と、光を反射しない非反射部と、を有し、
前記検査場所において、前記反射部により反射された光を前記受光部が受光したか否かによって、前記検知状態が正常であるか異常であるかを判定すると好適である。

本構成によれば、検知器が備えられた搬送車側において、当該検知器の検知状態が正常であるか異常であるかを判定することができる。このため、検知器の検査結果の情報と当該検査結果に係る搬送車を特定する情報との関連付けを検査システムにおいて容易に行うことができる。従って、検査システムの簡略化を図ることが容易となる。

また、前記搬送車は、前記検知器である第１検知器に加えて、前記第１検知器とは異なる検知対象を検知する第２検知器を備え、
前記第２検知器は、光を投光する第２投光部と、光を受光する第２受光部と、を有し、
前記反射部は、前記第１検知器の前記投光部である第１投光部からの光を反射する第１反射領域と、前記第２検知器の前記第２投光部からの光を反射する第２反射領域と、を有し、
前記検査場所において、前記第１検知器の前記受光部である第１受光部が前記第１反射領域により反射された光を受光した場合に、前記第１検知器の前記検知状態が正常であると判定し、
前記検査場所において、前記第２検知器の前記第２受光部が光を受光しない場合に、前記第２検知器の前記検知状態が正常であると判定すると好適である。

本構成によれば、一つの検査場所において一つの検査装置を用いて、互いに異なる検知対象を検知する第１検知器と第２検知器との検査を行うことができる。またこの際、第１検知器については第１受光部が反射光を受光した場合に正常と判定し、第２検知器については第２受光部が反射光を受光しない場合に正常と判定する構成であるため、正しい反射領域からの反射光以外の反射光による誤判定が生じる可能性を低減することができる。

また、前記第１検知器及び前記第２検知器の一方は、前方の前記搬送車を検知するための前方車センサであり、他方は、前記走行軌跡上の障害物を検知するための障害物センサであると好適である。

本構成によれば、１台の搬送車が前方車センサと障害物センサとを備える場合において、これらの双方のセンサを簡易かつ適切に検査することができる。

また、前記検査装置は、前記非反射部と、前記第１反射領域及び前記第２反射領域とが形成される検査面を備え、
前記第２反射領域は、前記検査面における外縁部に配置され、
前記非反射部は、前記第２反射領域よりも前記検査面の中央側に配置され、
前記第１反射領域は、前記非反射部の中に配置されていると好適である。

本構成によれば、第１投光部からの光を反射する第１反射領域と、第２投光部からの光を反射する第２反射領域とを、互いに離れた位置に配置すると共にその間に非反射部を配置することができる。そのため、例えば、第１投光部からの光が第２反射領域によって反射されたり、第２投光部からの光が第１反射領域によって反射されたりすることによる誤判定が生じる可能性を低減することができる。

また、前記第１反射領域は、前記第２検知器の前記第２投光部により投光される光の照射範囲から外れた位置に配置されており、
前記第２反射領域は、前記第１検知器の前記第１投光部により投光される光の照射範囲から外れた位置に配置されていると好適である。

本構成によれば、第２投光部からの光が第１反射領域によって反射されることを抑制できると共に、第１投光部からの光が第２反射領域によって反射されることを抑制することができる。これにより、第１投光部からの光が第２反射領域によって反射されたり、第２投光部からの光が第１反射領域によって反射されたりすることによる誤判定が生じる可能性を更に低減することができる。

本開示に係る技術は、搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムに利用することができる。

１ ：検査システム
２ ：搬送車
３ ：検知器
３Ａ ：投光部
３Ｂ ：受光部
５ ：検査装置
５Ｆ ：検査面
５Ｎ ：非反射部
５Ｒ ：反射部
３１ ：第１検知器
３１Ａ ：第１投光部
３１Ｂ ：第１受光部
３１Ｅ ：第１照射範囲
３２ ：第２検知器
３２Ａ ：第２投光部
３２Ｂ ：第２受光部
３２Ｅ ：第２照射範囲
５１Ｒ ：第１反射領域
５２Ｒ ：第２反射領域
５３ ：外縁部
Ｅ ：照射範囲
ＩＥ ：検知範囲
ＩＰ ：検査場所
Ｒ ：搬送経路

Claims (6)

1. 予め設定された搬送経路上を走行する搬送車が備える検知器を検査対象とする検査システムであって、
   前記検知器の検知状態を検査する検査装置を備え、
   前記検査装置は、前記搬送車の走行軌跡と重ならない位置であって、且つ、前記搬送経路上に設定された検査場所に前記搬送車が在る状態で前記検知器の検知範囲内となる位置に配置されている検査システム。
2. 前記検知器は、光を投光する投光部と、光を受光する受光部と、を有し、
   前記検査装置は、前記投光部から投光された光を反射する反射部と、光を反射しない非反射部と、を有し、
   前記検査場所において、前記反射部により反射された光を前記受光部が受光したか否かによって、前記検知状態が正常であるか異常であるかを判定する請求項１に記載の検査システム。
3. 前記搬送車は、前記検知器である第１検知器に加えて、前記第１検知器とは異なる検知対象を検知する第２検知器を備え、
   前記第２検知器は、光を投光する第２投光部と、光を受光する第２受光部と、を有し、
   前記反射部は、前記第１検知器の前記投光部である第１投光部からの光を反射する第１反射領域と、前記第２検知器の前記第２投光部からの光を反射する第２反射領域と、を有し、
   前記検査場所において、前記第１検知器の前記受光部である第１受光部が前記第１反射領域により反射された光を受光した場合に、前記第１検知器の前記検知状態が正常であると判定し、
   前記検査場所において、前記第２検知器の前記第２受光部が光を受光しない場合に、前記第２検知器の前記検知状態が正常であると判定する請求項２に記載の検査システム。
4. 前記第１検知器及び前記第２検知器の一方は、前方の前記搬送車を検知するための前方車センサであり、他方は、前記走行軌跡上の障害物を検知するための障害物センサである請求項３に記載の検査システム。
5. 前記検査装置は、前記非反射部と、前記第１反射領域及び前記第２反射領域とが形成される検査面を備え、
   前記第２反射領域は、前記検査面における外縁部に配置され、
   前記非反射部は、前記第２反射領域よりも前記検査面の中央側に配置され、
   前記第１反射領域は、前記非反射部の中に配置されている請求項３又は４に記載の検査システム。
6. 前記第１反射領域は、前記第２検知器の前記第２投光部により投光される光の照射範囲から外れた位置に配置されており、
   前記第２反射領域は、前記第１検知器の前記第１投光部により投光される光の照射範囲から外れた位置に配置されている請求項５に記載の検査システム。

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