KR102535709B1

KR102535709B1 - 검사 시스템

Info

Publication number: KR102535709B1
Application number: KR1020180105810A
Authority: KR
Inventors: 다카후미 야마자키; 고이치 오타; 요시타카 다나카; 도모아키 니시카와; 아야카 가와나미
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2017-09-08
Filing date: 2018-09-05
Publication date: 2023-05-22
Also published as: KR20190028318A; CN109470357A; CN109470357B; TWI786169B; TW201920945A; JP2019049447A; JP7006050B2

Abstract

[해결하려고 하는 과제] 미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기의 검사의 수고를 간략화할 수 있는 검사 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 검사 시스템(1)은, 미리 설정된 반송 경로(R) 상을 주행하는 반송차(2)가 구비하는 검지기(3)를 검사 대상으로 하고, 검지기(3)의 검지 상태를 검사하는 검사 장치(5)를 포함하고 있다. 검사 장치(5)는, 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 반송 경로(R) 상에 설정된 검사 장소 IP에 반송차(2)가 있는 상태에서 검지기(3)의 검지 범위 IE 내로 되는 위치에 배치되어 있다.

Description

검사 시스템{INSPECTION SYSTEM}

본 발명은, 반송차(搬送車)가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하는 검사 시스템에 관한 것이다.

예를 들면, 하기의 특허문헌 1(일본공개특허 평10-325866호 공보)에는, 무인의 반송차(1)에 구비된 검지기로서의 장해물 센서(6)를 검사하기 위한 기술이 개시되어 있다. 특허문헌 1의 기술에서는, 삼차원 방향으로 이동하는 모의 장해물(110)을 장해물 센서(6)로 검출시킴으로써, 장해물 센서(6)의 검출 범위를 검사하는 것으로 되어 있다.

일본공개특허 평 10-325866호 공보

그러나, 특허문헌 1의 기술에서는, 검사 대상이 되는 장해물 센서(6)를 구비한 반송차(1)를, 반송차(1)가 물품을 반송하기 위해 주행하는 반송 경로와는 별도의 장소(120)까지 작업자에 의해 이동시킨 후에, 상기 장해물 센서(6)의 검사가 행해진다. 그러므로, 장해물 센서(6)의 검사를 행함에 있어서, 작업자에 의한 반송차(1) 이동의 수고가 생기고 있고, 검사에 드는 수고의 간략화를 위해 개선의 여지가 있었다.

이에, 미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기의 검사의 수고를 간략화하는 것이 가능한 검사 시스템의 실현이 요망된다.

본 개시에 관한 검사 시스템은, 미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하는 검사 시스템으로서, 상기 검지기의 검지 상태를 검사하는 검사 장치를 포함하고, 상기 검사 장치는, 상기 반송차의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 상기 반송 경로 상에 설정된 검사 장소에 상기 반송차가 있는 상태에서 상기 검지기의 검지 범위 내로 되는 위치에 배치되어 있다.

본 구성에 의하면, 반송차가 구비하는 검지기를 검사하기 위한 검사 장치가, 반송 경로 상에 설정된 검사 장소에 반송차가 있는 상태에서 상기 검지기의 검지 범위 내로 되는 위치에 배치되어 있으므로, 반송차가 반송 경로 상에 있는 상태에서 검지기의 검사를 행할 수 있다. 또한, 이와 같은 검사 장치가, 반송차의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치에 배치되어 있으므로, 반송 경로를 주행하는 반송차가 검사 장치에 접촉하는 일도 없다. 그러므로, 반송차에 반송 경로를 주행시키면서, 임의의 타이밍에서 검지기의 검사를 행할 수 있다. 따라서, 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기의 검사의 수고를 간략화할 수 있다.

본 개시에 관한 기술의 추가의 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이고 또한 비한정적인 실시형태의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.

[도 1] 검사 시스템을 구비한 물품 반송 설비의 레이아웃의 일례를 나타내는 평면도이다.
[도 2] 반송차의 측면도이다.
[도 3] 반송차의 정면도이다.
[도 4] 검사 장치에 의해 검지기를 검사하고 있는 상태를 나타내는 설명도이다.
[도 5] 검사 장치의 정면도이다.
[도 6] 검사 시스템의 제어 구성을 나타낸 블록도이다.
[도 7] 기타의 실시형태에 관한 검사 시스템의 제어 구성을 나타낸 블록도이다.

검사 시스템은, 미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하고 있다. 이와 같은 검지기는, 예를 들면 반송차가 반송 경로 상을 안전하게 주행하기 위해 이용된다. 검사 시스템은 반송차에 의해 물품을 반송하는 물품 반송 설비에 이용할 수 있다. 이하, 검사 시스템이 물품 반송 설비에 적용될 경우를 예로, 상기 검사 시스템의 실시형태에 대하여 설명한다.

1. 제1 실시형태

1-1. 물품 반송 설비의 구성

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는 반송 경로(R)를 따라 주행하는 복수의 반송차(2)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 반송 경로(R)는 천장에 지지된 주행 레일(98)(도 2 등 참조)을 따라 설정되어 있다. 그리고, 반송차(2)는, 이와 같은 주행 레일(98)을 주행하는 천장 반송차로서 구성되어 있고, 물품 반송 설비(100)에 있어서 공정 사이에서 재료나 중간품을 반송한다.

그리고, 이하의 설명에서, 반송 경로(R)를 따라 주행하는 반송차(2)에 관하여, 그 진행 방향을 따라 연장되는 방향을 「전후 방향 X」라고 정의하고, 또한 반송차(2)가 진행하는 방향을 기준으로 하여 「앞」 및 「뒤」를 정의한 것으로 한다. 즉, 진행 방향을 따라 진행하는 전방이 「앞」이고, 그 반대가 「뒤」이다. 또한, 수평면 내에 있어서 반송차(2)의 진행 방향에 직교하는 방향을 「폭 방향 Y」라고 정의하고, 진행 방향 및 폭 방향 Y의 양쪽에 직교하는 방향을 「상하 방향 Z」라고 정의하는 것으로 한다. 그리고, 본 명세서에서는, 각 부재에 관한 치수, 배치 방향, 배치 위치 등에 관한 용어는, 오차(제조상 허용될 수 있는 정도의 오차)에 의한 차이를 가지는 상태도 포함하는 개념으로서 사용하는 것으로 한다.

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는 반송 경로(R)를 따라 설치된 주행 레일(98)과, 주행 레일(98)[반송 경로(R)]을 따라 주행하여 물품(W)을 반송하는 반송차(2)를 구비하고 있다. 주행 레일(98)은, 좌우 한 쌍 설치되어 천장으로부터 매달려 지지되고 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 경로(R)는 직선형으로 형성된 직선 구간(RS)과, 만곡형으로 형성된 커브 구간(RC)을 포함하여 구성되어 있다. 예를 들면, 물품 반송 설비(100)는 복수의 베이(bay)(공정)를 가지고 있고, 반송 경로(R)는, 베이마다 설치된 베이내 경로와, 복수의 베이내 경로끼리를 접속하는 베이간 경로를 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 베이간 경로 및 베이내 경로 각각은, 복수의 직선 구간(RS)과 복수의 커브 구간(RC)이 조합되어 구성되어 있다.

물품 반송 설비(100)는 처리 장치(96)와, 탑재대(95)를 구비하고 있다. 처리 장치(96)는 예를 들면 반도체 기판의 가공 등을 행하는 반도체 처리 장치 등이면 된다. 탑재대(95)는 복수의 처리 장치(96)의 각각에 인접하고, 또한 주행 레일(98)과 평면에서 볼 때 중복되는 위치에 설치되어 있다.

물품 반송 설비(100)는 건물 내에 설치되어 있다. 건물은 사방을 구획 벽(93)으로 둘러싸여 있다[도 1에는, 일부의 구획 벽(93)만을 표시]. 그리고, 물품 반송 설비(100)에는, 설비 내를 복수의 영역으로 구획하기 위한 파티션이나, 공정 사이에 있어서의 제작 중인 물건을 일시 보관하기 위한 자동 창고 등이 설치되어 있어도 된다.

반송차(2)는 상이한 탑재대(95)끼리의 사이, 또는, 자동 창고가 설치되어 있는 경우에는 상기 자동 창고와 탑재대(95) 사이에서, 물품(W)을 반송한다. 전술한 바와 같이 물품 반송 설비(100)가 반도체 제조 설비인 경우[처리 장치(96)가 반도체 처리 장치인 경우]에는, 물품(W)은 예를 들면 반도체 기판을 수용하는 용기(Front Opening Unified Pod; FOUP) 등이면 된다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송차(2)는 주행부(21)와 반송 본체부(22)를 구비하고 있다. 주행부(21)는 차체 본체(21A)와, 이 차체 본체(21A)에 회전 가능하게 지지된 복수의 차륜(21B)을 가지고 있다. 차체 본체(21A)는 전후 한 쌍 설치되어 있다. 차륜(21B)은 전후 한 쌍의 차체 본체(21A) 각각에 있어서 좌우 한 쌍 설치되어 있고, 주행 레일(98)의 상면을 전동(轉動)한다. 복수의 차륜(21B)(본 예에서는 4개) 중 적어도 하나는, 구동 모터(21C)에 의해 회전 구동되는 구동륜이고, 반송차(2)에 추진력을 부여한다.

주행부(21)는 하부 가이드 롤러(21D)와 상부 가이드 롤러(21E)를 가지고 있다. 하부 가이드 롤러(21D)는 차체 본체(21A)보다 아래쪽에 있어서, 상기 차체 본체(21A)에 대하여 상하 축 주위로 회전 가능하게 지지되어 있다. 하부 가이드 롤러(21D)는 주행 레일(98)의 측면에 접하여 전동한다. 상부 가이드 롤러(21E)는 차체 본체(21A)보다 위쪽에 있어서, 상기 차체 본체(21A)에 설치된 전환 기구(機構)에 대하여 상하 축 주위로 회전 가능하게 지지되어 있다. 전환 기구는 상부 가이드 롤러(21E)의 위치를 좌우(폭 방향 Y)로 전환 가능하게 구성되어 있다. 상부 가이드 롤러(21E)는 반송 경로(R)의 분기점에 있어서, 전환 기구의 상태에 따라, 안내 레일(97)에 있어서의 좌우 어느 하나의 측면에 접하여 전동한다.

전후 한 쌍의 차체 본체(21A)의 각각에는 연결 축(21F)이 연결되어 있고, 이들 연결 축(21F)을 통하여, 주행부(21)에 반송 본체부(22)가 매달려 지지되고 있다. 반송 본체부(22)는 케이스(23)와 유지부(24)를 구비하고 있다. 도 2에 나타낸 예에서는, 케이스(23)의 내측에 유지부(24)가 수용되어 있다.

케이스(23)는, 유지부(24)에 대하여 진행 방향의 전방 측을 덮는 전방 케이스부(23A)와, 유지부(24)에 대하여 진행 방향의 후방 측을 덮는 후방 케이스부(23B)와, 유지부(24)의 상방을 덮고 또한 전방 케이스부(23A) 및 후방 케이스부(23B)를 연결하는 상방 케이스부(23C)를 갖는다. 전방 케이스부(23A)는, 상방 케이스부(23C)의 전방 측의 단부(端部)로부터 아래쪽을 향하여 연장되고 있고, 후방 케이스부(23B)는, 상방 케이스부(23C)의 후방 측의 단부로부터 아래쪽을 향하여 연장되고 있다. 케이스(23)는, 하방 및 좌우 양측으로 개구되어 있고, 폭 방향 Y에서 볼 때 네모진 U자형으로 형성되어 있다.

유지부(24)는 물품(W)을 파지하는 것에 의해 상기 물품(W)을 유지한다. 유지부(24)는 물품(W)을 유지한 상태에서, 상기 물품(W)을 승강 가능하게 구성되어 있다. 유지부(24)는 상승 위치에서 케이스(23)의 내측에 수용되고, 그 상태에서 반송차(2)가 반송 경로(R)를 따라 주행한다. 반송차(2)가 이송탑재(移載) 개소[예를 들면, 탑재대(95)의 상방 위치나 자동 창고의 주고받기부의 상방 위치]에 있는 상태에서, 유지부(24)는 하강 위치까지 하강하고, 물품(W)의 하역을 행한다.

전술한 바와 같이, 반송차(2)는 검지기(3)를 구비하고 있다. 검지기(3)에는 검지 범위 IE가 설정되어 있다. 검지기(3)는, 검지 범위 IE 내에서의 물체를 검지 가능하게 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 검지기(3)는 반송차(2)의 전방 부분에 설치되어 있다. 도시한 예에서는, 검지기(3)는 케이스(23)의 전방 케이스부(23A)에 설치되어 있다. 전술한 검지 범위 IE는, 반송차(2)의 전방을 향하여 사전에 정해진 거리(예를 들면, 수미터∼수십미터)의 범위로 설정되어 있다.

예를 들면, 검지기(3)는 광학식 센서로서 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 검지기(3)는 광을 투광하는 투광부(3A)와, 광을 수광하는 수광부(3B)를 가지고 있다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검지기(3)는, 검지 범위 IE에서의 물체를 검지 가능한 것이면 되고, 예를 들면 초음파 센서 등이어도 된다.

본 실시형태에서는, 반송차(2)는 검지기(3)로서 제1 검지기(31)에 더하여, 제1 검지기(31)와는 상이한 검지 대상을 검지하는 제2 검지기(32)를 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 제1 검지기(31) 및 제2 검지기(32) 양쪽이, 케이스(23)의 전방 케이스부(23A)에 설치되어 있다.

본 예에서는, 제1 검지기(31)는, 상기 제1 검지기(31)를 구비하는 반송차(2)의 전방의 다른 반송차(2)를 검지하기 위한 전방 차 센서이다. 그리고, 제1 검지기(31)는 광을 투광하는 제1 투광부(31A)와, 광을 수광하는 제1 수광부(31B)를 가지고 있다. 도시한 예에서는, 제1 검지기(31)는 전방 케이스부(23A)의 상부에 하나 설치되어 있다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 검지기(31)는 반송차(2)의 폭 방향 Y에 있어서의 중앙 부분의 1개소에 설치되어 있다. 그리고, 제1 검지기(31)는 제1 투광부(31A)에 의해 광을 전방으로 투광하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 검지기(31)의 조사(照射) 범위 (E)인 제1 조사 범위(31E)는, 폭 방향 Y를 따르는 직선형 또는 밴드형의 범위로 되어 있다(도 5 참조). 제1 검지기(31)는 제1 투광부(31A)에 의해, 전방의 반송차(2)에 있어서의 후방 케이스부(23B)에 설치된 반사판(4)을 향하여 광을 투광하고, 제1 수광부(31B)에 의해, 반사판(4)으로부터의 반사광을 수광한다. 이에 의해, 제1 검지기(31)는 전방의 반송차(2)를 검지한다.

또한, 본 예에서는, 제2 검지기(32)는 반송차(2)의 주행 궤적상의 장해물을 검지하기 위한 장해물 센서이다. 그리고, 제2 검지기(32)는 광을 투광하는 제2 투광부(32A)와, 광을 수광하는 제2 수광부(32B)를 가지고 있다. 제2 검지기(32)는 제2 투광부(32A)에 의해 광을 전방으로 투광하도록 구성되어 있다. 도시한 예에서는, 제2 검지기(32)는 전방 케이스부(23A)에 있어서의 제1 검지기(31)가 설치되어 있는 위치보다 아래쪽에 설치되어 있다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 검지기(32)는, 반송차(2)의 폭 방향 Y에 있어서의 양측 부분의 2개소에 설치된 횡측 검지부(32S)와, 그것보다 하방으로서 폭 방향 Y에 있어서의 중앙 부분의 1개소에 설치된 하측 검지부(32L)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 제2 검지기(32)의 조사 범위(E)인 제2 조사 범위(32E)는, 복수(본 예에서는 3개소)의 범위로 설정되어 있다. 보다 상세하게는, 복수의 제2 조사 범위(32E) 중 2개는, 2개의 횡측 검지부(32S)로부터 투광되는 광의 조사 범위(E)이고, 상하 방향 Z를 따라 연장되는 타원형(또는 밴드형)의 범위로 되어 있다(도 5 참조). 그리고, 복수의 제2 조사 범위(32E) 중 하나는, 하측 검지부(32L)로부터 투광되는 광의 조사 범위(E)이고, 폭 방향 Y를 따라 연장되는 타원형 (또는 밴드형)의 범위로 되어 있다(도 5 참조).

이와 같이, 물품 반송 설비(100)에서는, 반송차(2)가 구비하는 제1 검지기(31)에 의해, 전방의 다른 반송차(2)를 검지할 수 있다. 그리고, 전방의 다른 반송차(2)와의 차간 거리가 지나치게 가까워진 경우에 반송차(2)의 주행 속도를 늦추는 것 등을 행하여 전방의 다른 반송차(2)로의 추돌을 회피하는 것이 가능해지고 있다. 또한, 물품 반송 설비(100)에서는, 반송차(2)가 구비하는 제2 검지기(32)에 의해, 반송차(2)의 주행 궤적상의 장해물을 검지할 수 있다. 그리고, 장해물을 검지한 경우에 반송차(2)를 정지시키는 것 등을 행하여 상기 반송차(2)와 장해물의 접촉을 회피하는 것이 가능해지고 있다.

1-2. 검사 시스템의 구성

여기에서, 검지기(3)의 검지 상태가 이상한 경우에는, 검지 대상을 양호하게 검지할 수 없는 경우가 있다. 예를 들면, 전방 차 센서로서 구성되어 있는 제1 검지기(31)의 검지 상태가 이상하여 전방의 반송차(2)를 검지할 수 없는 경우에는, 그와 같은 제1 검지기(31)를 구비하는 반송차(2)가, 전방의 반송차(2)에 추돌할 가능성이 있다. 또한, 장해물 센서로서 구성되어 있는 제2 검지기(32)의 검지 상태가 이상하여, 반송차(2)의 주행 궤적상에 장해물이 있음에도 불구하고 상기 장해물을 검지할 수 없는 경우에는, 그와 같은 제2 검지기(32)를 구비하는 반송차(2)와 장해물이 접촉할 가능성이 있다.

그래서, 도 1에 나타낸 바와 같이, 검사 시스템(1)은 검지기(3)의 검지 상태를 검사하는 검사 장치(5)를 포함하고 있다. 검사 시스템(1)은 검사 장치(5)를 이용함으로써, 검지기(3)의 검지 상태가 정상인지 이상인지를 판정한다. 검지기(3)의 검지 상태가 이상이라고 판정된 경우에는, 상기 검지기(3)가 유지보수의 대상으로서 결정되고, 필요한 유지보수가 행해진다.

검사 장치(5)는, 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 반송 경로(R) 상에 설정된 검사 장소 IP에 반송차(2)가 있는 상태에서 검지기(3)의 검지 범위 IE 내로 되는 위치에 배치되어 있다. 반송차(2)의 주행 궤적은 반송 경로(R)의 전체에 걸쳐, 반송 경로(R) 상을 주행하는 반송차(2)가 통과하는 영역이다.

본 실시형태에서는, 검사 장치(5)는, 반송차(2)가 특정한 검사 장소 IP에 있는 상태에 있어서, 상기 반송차(2)의 전방으로 연장되는 연장선상에 배치되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 예에서는, 검사 장치(5)는 커브 구간(RC)의 앞(진행 방향 뒤쪽)에 있는 직선 구간(RS)의 연장선과 구획 벽(93)의 교점을 포함하는 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 검사 장치(5)는 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치에 설치된 구획 벽(93)에 장착되는 것에 의해, 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치에 배치되어 있다.

본 실시형태에서는, 검사 장소 IP는 반송차(2)의 진행 방향을 「앞」으로 한 경우에, 반송 경로(R)에 있어서의 커브 구간(RC)의 뒤쪽에 설정되어 있다. 즉, 반송 경로(R)를 주행하는 반송차(2)가 검사 장소 IP를 통과한 경우에는, 상기 반송차(2)는 그 후에 커브 구간(RC)을 통과하게 된다. 이상에 의해, 검지 범위 IE가 반송차(2)의 전방을 향하여 설정되어 있는 구성에 있어서, 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 반송 경로(R) 상에 설정된 검사 장소 IP에 반송차(2)가 있는 상태에서 검지기(3)의 검지 범위 IE 내로 되는 위치에, 검사 장치(5)를 배치하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 검사 장치(5)는 검사면(5F)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 검사 장치(5)는 투광부(3A)로부터 투광된 광을 반사하는 반사부(5R)와, 광을 반사하지 않는 비반사부(5N)를 가지고 있다. 여기에서, 반사부(5R) 및 비반사부(5N)의 양쪽은, 검사면(5F)에 형성되어 있다.

본 실시형태에서는, 검사 시스템(1)은, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에서, 반사부(5R)에 의해 반사된 광을 수광부(3B)가 수광했는지의 여부에 의해, 검지기(3)의 검지 상태가 정상인지 이상인지를 판정한다. 이에 의해, 검사 대상인 검지기(3)가 구비된 반송차(2) 측에 있어서, 상기 검지기(3)의 검지 상태를 판정할 수 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반사부(5R)는 제1 검지기(31)의 제1 투광부(31A)로부터의 광을 반사하는 제1 반사 영역(51R)과, 제2 검지기(32)의 제2 투광부(32A)로부터의 광을 반사하는 제2 반사 영역(52R)을 가지고 있다. 이와 같이, 검사 장치(5)는 비반사부(5N)와, 제1 반사 영역(51R) 및 제2 반사 영역(52R)이 형성되는 검사면(5F)을 구비하고 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 반사 영역(51R)과 제2 반사 영역(52R)은, 검사면(5F)에 있어서의 서로 상이한 위치에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 반사 영역(52R)은 검사면(5F)에 있어서의 외측 에지부(53)에 배치되어 있다. 도시한 예에서는, 외측 에지부(53)는 검사면(5F)에 있어서의 상측 에지부의 일부분(중앙 부분)을 제외한 외측 에지에 형성되어 있고, 폭 방향 Y의 양측 에지부와 하측 에지부를 따라 연속하여 형성되어 있다. 또한, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에 있어서 반송차(2)와 검사 장치(5)를 전후 방향 X를 따라 겹쳐서 본 경우에, 외측 에지부(53)는 반송차(2)[반송 본체부(22)]와 중복되지 않는 위치에 배치되어 있다. 또한, 본 예에서는, 제2 반사 영역(52R)은 제1 검지기(31)의 제1 투광부(31A)에 의해 투광되는 광의 조사 범위(E)인 제1 조사 범위(31E)로부터 벗어난 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 제1 투광부(31A)에 의해 투광되는 광이 제2 반사 영역(52R)에 의해 반사될 가능성을 저감할 수 있다.

본 실시형태에서는, 비반사부(5N)는 제2 반사 영역(52R)보다 검사면(5F)의 중앙 측에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 제2 반사 영역(52R)은, 폭 방향 Y의 양측 및 하측으로부터 비반사부(5N)를 둘러싸도록 형성되어 있다. 또한, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에 있어서 반송차(2)와 검사 장치(5)를 전후 방향 X를 따라 겹쳐서 본 경우에, 비반사부(5N)는 그 외형과 반송 본체부(22)의 외형이 중복되도록 배치되어 있다.

본 실시형태에서는, 제1 반사 영역(51R)은 비반사부(5N) 내에 배치되어 있다. 도시한 예에서는, 제1 반사 영역(51R)은 검사면(5F)의 상부에 있어서의 폭 방향 Y의 중앙 측에 배치되어 있다. 또한, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에서 반송차(2)와 검사 장치(5)를 전후 방향 X를 따라 겹쳐서 본 경우에, 제1 반사 영역(51R)은 제1 검지기(31)와 같은 높이로 되도록 배치되어 있다. 또한, 본 예에서는, 제1 반사 영역(51R)은 제2 검지기(32)의 제2 투광부(32A)에 의해 투광되는 광의 조사 범위(E)인 제2 조사 범위(32E)로부터 벗어난 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 제2 투광부(32A)에 의해 투광되는 광이 제1 반사 영역(51R)에 의해 반사될 가능성을 저감할 수 있다.

본 실시형태에서는, 검사 시스템(1)은, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에 있어서, 제1 검지기(31)의 제1 수광부(31B)가 제1 반사 영역(51R)에 의해 반사된 광을 수광한 경우에, 제1 검지기(31)의 검지 상태가 정상이라고 판정한다. 바꾸어 말하면, 검사 시스템(1)은, 제1 수광부(31B)가 제1 반사 영역(51R)에 의해 반사된 광을 수광한 경우에, 제1 조사 범위(31E)가 정상이라고 판정한다. 즉, 본 예에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 조사 범위(31E)가 제1 반사 영역(51R)과 중복되어 있는 경우에, 「제1 조사 범위(31E)가 정상임」이라고 판정한다. 그리고, 제1 조사 범위(31E)가 제1 반사 영역(51R)과 중복되어 있지 않은 경우에는, 제1 조사 범위(31E)가 이상하면, 즉 제1 검지기(31)의 검지 상태가 이상이라고 판정한다.

또한, 본 실시형태에서는, 검사 시스템(1)은, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에 있어서, 제2 검지기(32)의 제2 수광부(32B)가 광을 수광하지 않는 경우에, 제2 검지기(32)의 검지 상태가 정상이라고 판정한다. 바꾸어 말하면, 검사 시스템(1)은 제2 수광부(32B)가 광을 수광하지 않는 경우에, 제2 조사 범위(32E)가 정상이라고 판정한다. 즉, 본 예에서는 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 조사 범위(32E)의 전체가 비반사부(5N)와 중복되어 있는 경우에, 「제2 조사 범위(32E)가 정상임」이라고 판정한다. 그리고, 제2 조사 범위(32E) 중 적어도 일부가 제2 반사 영역(52R)과 중복되어 있는 경우에는, 제2 조사 범위(32E)가 이상인, 즉 제2 검지기(32)의 검지 상태가 이상이라고 판정한다.

1-3. 검사 시스템의 제어 구성

도 6에 나타낸 바와 같이, 검사 시스템(1)은, 시스템 전체를 관리하는 통괄 제어 장치(Ht)와, 반송차(2)를 제어하는 개별 제어 장치(Hm)를 포함하고 있다. 통괄 제어 장치(Ht) 및 개별 제어 장치(Hm)는 서로 통신 가능하게 구성되어 있다. 이들 제어 장치는 예를 들면 마이크로컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들 하드웨어와, 컴퓨터 등의 프로세서상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 각 기능이 실현된다.

본 실시형태에서는, 개별 제어 장치(Hm)는 복수의 반송차(2)의 각각에 구비되고, 또한 상기 복수의 반송차(2) 각각의 제어를 행한다. 예를 들면, 개별 제어 장치(Hm)는 반송차(2)의 주행, 정지 및 물품(W)의 이송탑재 등을 제어한다.

본 실시형태에서는, 통괄 제어 장치(Ht)는 복수의 반송차(2)를 포함하는 물품 반송 설비(100) 전체의 제어를 행한다. 그리고, 통괄 제어 장치(Ht)는, 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]에 대하여 반송 지령 등의 각종 지령을 행한다. 본 예에서는, 통괄 제어 장치(Ht)는 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]에 대하여, 검지기(3)를 검사시키기 위한 검사 지령을 행한다. 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 검사 지령에는, 반송차(2)를 검사 장소 IP까지 주행시키는 지령과, 검사 장소 IP에 있어서 검사를 위한 동작을 반송차(2)에 행하게 하는 지령이 포함되어 있다. 통괄 제어 장치(Ht)로부터 검사 지령을 받은 개별 제어 장치(Hm)는, 검사 장소 IP까지 자차[반송차(2)]를 주행시킨다. 그리고, 본 예에서는, 개별 제어 장치(Hm)는 검사 장소 IP에서 자차[반송차(2)]를 정지시킨 상태에서, 검지기(3)의 검사를 행한다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 검사 시스템(1)은 검사 장소 IP의 전후에 있어서 반송차(2)가 주행하고 있는 상태(바람직하게는 저속 주행의 상태)에서, 검지기(3)의 검사를 행하도록 해도 된다. 검사 장소 IP에 있어서의 검사를 위한 동작은, 구체적으로는 다음과 같이 행해진다. 즉, 먼저, 투광부(3A)로부터 검사 장치(5)를 향하여 광을 투광한다. 그리고, 검사 장치(5)에 의해 반사된 반사광이 수광부(3B)에 의해 수광되는지의 여부를 판정한다. 그리고, 이 판정 결과에 따라서 검지기(3)가 정상인지의 여부를 판정한다. 이와 같이 하여, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에서 검지기(3)의 검사가 행해진다. 그리고, 투광부(3A)로부터의 광의 투광은 반송차(2)의 주행 중에 항상 행하고 있어도 되고, 반송차(2)가 검사 장소 IP에 정지한 후에 투광을 개시하도록 해도 된다.

본 실시형태에서는, 검사 시스템(1)은 검지기(3)의 검사 결과를 기억하는 기억 장치(M)를 더 포함하고 있다. 기억 장치(M)는 통괄 제어 장치(Ht)와 통신 가능하게 구성되어 있다. 반송차(2)가 검사 장소 IP에 있는 상태에서 검지기(3)의 검사가 종료된 경우에는, 개별 제어 장치(Hm)로부터 통괄 제어 장치(Ht)에 검사 결과가 송신된다. 본 실시형태에서는, 개별 제어 장치(Hm)는 검지기(3)의 검사 결과와 함께, 복수의 반송차(2) 중으로부터 자차를 식별하기 위한 식별 정보를 통괄 제어 장치(Ht)에 송신한다. 통괄 제어 장치(Ht)는, 개별 제어 장치(Hm)로부터 송신된 검사 결과 및 식별 정보를 기억 장치(M)에 송신한다. 그리고, 기억 장치(M)는 통괄 제어 장치(Ht)로부터 송신된 검사 결과 및 식별 정보를 기억한다. 이에 의해, 기억 장치(M)는, 검사 결과를 송신한 개별 제어 장치(Hm)에 대응하는 반송차(2)의 식별 정보와 함께, 상기 검사 결과를 기억한다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 검지기(3)의 검사 결과를, 반송차(2) 측[개별 제어 장치(Hm) 측]에서 취득할 수 있게 구성되어 있다. 그리고, 검사 결과와 함께 반송차(2)의 식별 정보가 송신되는 것에 의해, 상기 검사 결과와 검사가 행해진 검지기(3)에 대응하는 반송차(2)가 관련된 상태에서, 각 장치간[본 예에서는 제어 장치(Ht, Hm)나 기억 장치(M)]에서의 정보의 교환을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 상기와 같은 구성에 한정되지 않고, 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]는, 기억 장치(M)와의 사이에서 통신 가능하게 구성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]는, 검지기(3)의 검사 결과를 기억 장치(M)에 대하여 직접 송신하도록 해도 된다. 또한, 이 외에도, 통괄 제어 장치(Ht)가 개별 제어 장치(Hm)로부터 송신된 검사 결과를 기억하는 기억 기능을 가지고 있어도 된다. 이 경우에는, 기억 장치(M)는 포함되어 있지 않아도 된다.

검사 장소 IP에 있어서 검지기(3)의 검사가 행해진 결과, 검지기(3)가 정상이라고 판정된 경우에는, 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]는, 통괄 제어 장치(Ht)로부터의 반송 지령 등에 따른 통상의 운용을 재개하면 바람직하다. 한편, 검지기(3)가 이상이라고 판정된 경우에는, 통괄 제어 장치(Ht)는, 예를 들면 물품(W)의 반송 등을 행하지 않는 반송차(2)를 위한 퇴피 장소를 향하여 상기 반송차(2)를 이동시키면 바람직하다. 다만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 개별 제어 장치(Hm)[반송차(2)]는, 검지기(3)가 이상이라고 판정된 경우라도, 예를 들면 반송 중의 물품의 반송이 종료될 때까지의 사이 등, 한정적으로 통상의 운용을 재개해도 된다.

2. 기타의 실시형태

다음에, 검사 시스템의 기타의 실시형태에 대하여 설명한다.

(1) 상기의 실시형태에서는, 검사 장치(5)가 구획 벽(93)에 배치되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 검사 장치(5)는 반송차(2)의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치에 배치되어 있으면 된다. 예를 들면, 물품 반송 설비(100)에 자동 창고나 파티션이 설치되어 있는 경우에는, 검사 장치(5)는 자동 창고의 외벽부나 파티션에 배치되어 있어도 된다.

(2) 상기의 실시형태에서는, 제1 검지기(31)가 전방 차 센서로서, 제2 검지기(32)가 장해물 센서인 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 제1 검지기(31) 및 제2 검지기(32)의 한쪽이 전방의 반송차(2)를 검지하기 위한 전방 차 센서이고, 다른 쪽이 주행 궤적상의 장해물을 검지하기 위한 장해물 센서이면 된다. 즉, 제1 검지기(31)가 장해물 센서로서, 제2 검지기(32)가 전방 차 센서라도 된다.

(3) 상기의 실시형태에서는, 제1 검지기(31)가 상기 제1 검지기(31)를 구비하는 반송차(2)의 전방을 주행하는 다른 반송차(2)를 검지 대상으로 하고 있고, 제2 검지기(32)가 반송차(2)의 주행 궤적상의 장해물을 검지 대상으로 하고 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 제1 검지기(31) 및 제2 검지기(32)의 검지 대상은, 설비의 특성 등에 맞추어 적절히 설정되면 된다.

(4) 상기의 실시형태에서는, 반송차(2)가 천장 반송차로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 반송차(2)는 예를 들면 바닥면 상을 주행하는 무인 반송차여도 된다. 그 경우에는, 반송 경로(R)는 바닥면 상의 주행 레일을 따라 설정되고 있어도 되고, 주행 레일에 따르지 않고, 예를 들면 자기(磁氣) 등을 이용하여 다만 바닥면 상에 설정된 것이어도 된다.

(5) 상기의 실시형태에서는, 검사 장치(5)에 의해 반사된 반사광을 수광부(3B)에 의해 수광할 지의 여부에 의해, 반송차(2)에 구비된 개별 제어 장치(Hm) 측에 있어서 검지기(3)의 검사 결과를 취득하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 이와 같은 예에 한정되지 않고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송차(2)의 투광부(3A)로부터 투광된 광을 검사 장치(5)가 수광하는 것에 의해 상기 검사 장치(5)가 검지기(3)의 검사 결과를 취득하도록 해도 된다. 이 경우에는, 검사 장치(5)와 통괄 제어 장치(Ht)가 통신 가능하게 구성되고, 검사 장치(5)로부터 통괄 제어 장치(Ht)에 검사 결과를 송신하도록 구성되어 있으면 된다. 이 경우, 검사 장치(5)는 예를 들면 상기 실시형태에 있어서의 제1 반사 영역(51R)에 대응하는 위치에, 제1 검지기(31)의 제1 투광부(31A)로부터 투광되는 광을 수광하기 위한 수광부를 가지고, 비반사부(5N)[또는, 제2 조사 범위(32E)]에 대응하는 위치에, 제2 검지기(32)의 제2 투광부(32A)로부터 투광되는 광을 수광하기 위한 수광부를 가지고 있으면 바람직하다. 또한, 이들 수광부에 의해 제1 투광부(31A) 또는 제2 투광부(32A)로부터의 광이 수광되었는지의 여부[검지기(3)가 정상인지의 여부]를 판정하기 위한 판정부를 가지고 있으면 된다. 상기 구성에서는, 각 수광부에 의해 광이 수광된 경우에는, 각 검지기(3)가 정상이라고 판정되고, 그 검사 결과가 통괄 제어 장치(Ht)에 송신된다. 또한, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 제2 검지기(32)의 제2 투광부(32A)로부터 투광되는 광을 수광하기 위한 수광부는, 상기 실시형태에 있어서의 제2 반사 영역(52R)에 대응하는 위치에 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 판정부는, 상기 수광부에 의해 제2 투광부(32A)로부터 투광된 광이 수광된 경우에, 제2 검지기(32)가 이상이라고 판정한다.

(6) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용시키는 것도 가능하다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나치지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.

3. 상기 실시형태의 개요

이하, 상기에서 설명한 검사 시스템의 개요에 대하여 설명한다.

미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하는 검사 시스템으로서, 상기 검지기의 검지 상태를 검사하는 검사 장치를 포함하고, 상기 검사 장치는, 상기 반송차의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 상기 반송 경로 상에 설정된 검사 장소에 상기 반송차가 있는 상태에서 상기 검지기의 검지 범위 내로 되는 위치에 배치되어 있다.

여기에서, 상기 검지기는 광을 투광하는 투광부와, 광을 수광하는 수광부를 가지고, 상기 검사 장치는 상기 투광부로부터 투광된 광을 반사하는 반사부와, 광을 반사하지 않는 비반사부를 가지고, 상기 검사 장소에 있어서, 상기 반사부에 의해 반사된 광을 상기 수광부가 수광했는지의 여부에 의해, 상기 검지 상태가 정상인지 이상인지를 판정하면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 검지기가 구비된 반송차 측에 있어서, 상기 검지기의 검지 상태가 정상인지 이상인지를 판정할 수 있다. 그러므로, 검지기의 검사 결과의 정보와 상기 검사 결과에 관한 반송차를 특정하는 정보와의 관련짓기를 검사 시스템에 있어서 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 검사 시스템의 간략화를 도모하는 것이 용이하게 된다.

또한, 상기 반송차는 상기 검지기인 제1 검지기에 더하여, 상기 제1 검지기와는 상이한 검지 대상을 검지하는 제2 검지기를 구비하고, 상기 제2 검지기는 광을 투광하는 제2 투광부와, 광을 수광하는 제2 수광부를 가지고, 상기 반사부는 상기 제1 검지기의 상기 투광부인 제1 투광부로부터의 광을 반사하는 제1 반사 영역과, 상기 제2 검지기의 상기 제2 투광부로부터의 광을 반사하는 제2 반사 영역을 가지고, 상기 검사 장소에 있어서, 상기 제1 검지기의 상기 수광부인 제1 수광부가 상기 제1 반사 영역에 의해 반사된 광을 수광한 경우에, 상기 제1 검지기의 상기 검지 상태가 정상이라고 판정하고, 상기 검사 장소에 있어서, 상기 제2 검지기의 상기 제2 수광부가 광을 수광하지 않는 경우에, 상기 제2 검지기의 상기 검지 상태가 정상이라고 판정하면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 하나의 검사 장소에 있어서 하나의 검사 장치를 이용하여, 서로 상이한 검지 대상을 검지하는 제1 검지기와 제2 검지기의 검사를 행할 수 있다. 또한, 이 때, 제1 검지기에 대해서는 제1 수광부가 반사광을 수광한 경우에 정상이라고 판정하고, 제2 검지기에 대해서는 제2 수광부가 반사광을 수광하지 않는 경우에 정상이라고 판정하는 구성이므로, 올바른 반사 영역으로부터의 반사광 이외의 반사광에 의한 오판정이 생길 가능성을 저감시킬 수 있다.

또한, 상기 제1 검지기 및 상기 제2 검지기의 한쪽은 전방의 상기 반송차를 검지하기 위한 전방 차 센서이고, 다른 쪽은 상기 주행 궤적상의 장해물을 검지하기 위한 장해물 센서이면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 1대의 반송차가 전방 차 센서와 장해물 센서를 구비하는 경우에 있어서, 이들 양쪽의 센서를 간이하면서 또한 적절하게 검사할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치는 상기 비반사부와, 상기 제1 반사 영역 및 상기 제2 반사 영역이 형성되는 검사면을 구비하고, 상기 제2 반사 영역은 상기 검사면에 있어서의 외측 에지부에 배치되고, 상기 비반사부는 상기 제2 반사 영역보다도 상기 검사면의 중앙 측에 배치되고, 상기 제1 반사 영역은 상기 비반사부 내에 배치되어 있으면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 제1 투광부로부터의 광을 반사하는 제1 반사 영역과, 제2 투광부로부터의 광을 반사하는 제2 반사 영역을 서로 떨어진 위치에 배치하고, 또한 그 사이에 비반사부를 배치할 수 있다. 그러므로, 예를 들면 제1 투광부로부터의 광이 제2 반사 영역에 의해 반사되거나, 제2 투광부로부터의 광이 제1 반사 영역에 의해 반사되거나 하는 것에 의한 오판정이 생길 가능성을 저감할 수 있다.

또한, 상기 제1 반사 영역은, 상기 제2 검지기의 상기 제2 투광부에 의해 투광되는 광의 조사 범위로부터 벗어난 위치에 배치되어 있고, 상기 제2 반사 영역은, 상기 제1 검지기의 상기 제1 투광부에 의해 투광되는 광의 조사 범위로부터 벗어난 위치에 배치되어 있으면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 제2 투광부로부터의 광이 제1 반사 영역에 의해 반사되는 것을 억제할 수 있고, 또한 제1 투광부로부터의 광이 제2 반사 영역에 의해 반사되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 제1 투광부로부터의 광이 제2 반사 영역에 의해 반사되거나, 제2 투광부로부터의 광이 제1 반사 영역에 의해 반사되거나 하는 것에 의한 오판정이 생길 가능성을 더욱 저감할 수 있다.

본 개시에 관한 기술은, 반송차가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하는 검사 시스템에 이용할 수 있다.

1 : 검사 시스템
2 : 반송차
3 : 검지기
3A : 투광부
3B : 수광부
5 : 검사 장치
5F : 검사면
5N : 비반사부
5R : 반사부
31: 제1 검지기
31A : 제1 투광부
31B : 제1 수광부
31E : 제1 조사 범위
32: 제2 검지기
32A : 제2 투광부
32B : 제2 수광부
32E : 제2 조사 범위
51R : 제1 반사 영역
52R : 제2 반사 영역
53: 외측 에지부
E : 조사 범위
IE : 검지 범위
IP : 검사 장소
R : 반송 경로

Claims

미리 설정된 반송 경로 상을 주행하는 반송차(搬送車)가 구비하는 검지기를 검사 대상으로 하는 검사 시스템으로서,
상기 검지기의 검지 상태를 검사하는 검사 장치를 포함하고,
상기 검사 장치는, 상기 반송차의 주행 궤적과 겹치지 않는 위치로서, 또한 상기 반송 경로 상에 설정된 검사 장소에 상기 반송차가 있는 상태에서 상기 검지기의 검지 범위 내로 되는 위치에 배치되어 있고,
상기 검지기는, 광을 투광하는 투광부와, 광을 수광하는 수광부를 가지고,
상기 검사 장치는, 상기 투광부로부터 투광된 광을 반사하는 반사부와, 광을 반사하지 않는 비반사부를 가지고,
상기 검사 장소에 있어서, 상기 반사부에 의해 반사된 광을 상기 수광부가 수광했는지의 여부에 의해, 상기 검지 상태가 정상인지 이상인지를 판정하고,
상기 반송차는, 상기 검지기인 제1 검지기에 더하여, 상기 제1 검지기와는 상이한 검지 대상을 검지하는 제2 검지기를 구비하고,
상기 제2 검지기는, 광을 투광하는 제2 투광부와, 광을 수광하는 제2 수광부를 가지고,
상기 반사부는, 상기 제1 검지기의 상기 투광부인 제1 투광부로부터의 광을 반사하는 제1 반사 영역과, 상기 제2 검지기의 상기 제2 투광부로부터의 광을 반사하는 제2 반사 영역을 가지고,
상기 검사 장소에 있어서, 상기 제1 검지기의 상기 수광부인 제1 수광부가 상기 제1 반사 영역에 의해 반사된 광을 수광한 경우에, 상기 제1 검지기의 상기 검지 상태가 정상이라고 판정하고,
상기 검사 장소에 있어서, 상기 제2 검지기의 상기 제2 수광부가 상기 제2 투광부에 의한 투광 시에 광을 수광하지 않는 경우에, 상기 제2 검지기의 상기 검지 상태가 정상이라고 판정하는,
검사 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 검지기 및 상기 제2 검지기의 한쪽은 전방의 상기 반송차를 검지하기 위한 전방 차 센서이고, 상기 제1 검지기 및 상기 제2 검지기의 다른 쪽은 상기 주행 궤적상의 장해물을 검지하기 위한 장해물 센서인, 검사 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 검사 장치는, 상기 비반사부와, 상기 제1 반사 영역 및 상기 제2 반사 영역이 형성되는 검사면을 구비하고,
상기 제2 반사 영역은 상기 검사면에 있어서의 외측 에지부에 배치되고,
상기 비반사부는 상기 제2 반사 영역보다도 상기 검사면의 중앙 측에 배치되고,
상기 제1 반사 영역은 상기 비반사부 내에 배치되어 있는, 검사 시스템.
제3항에 있어서,
상기 제1 반사 영역은, 상기 제2 검지기의 상기 제2 투광부에 의해 투광되는 광의 조사(照射) 범위로부터 벗어난 위치에 배치되어 있고,
상기 제2 반사 영역은, 상기 제1 검지기의 상기 제1 투광부에 의해 투광되는 광의 조사 범위로부터 벗어난 위치에 배치되어 있는, 검사 시스템.
삭제
삭제