TWI798186B - 軌道檢查裝置及軌道檢查系統 - Google Patents

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Abstract

一種軌道檢查裝置，具備：台車，具有車輪；第一滾輪，接觸於第一軌道之側面；第二滾輪，接觸於第二軌道之側面；第一位置感測器，檢測第一軌道之側面或第一滾輪之外表面的位置；第二位置感測器，檢測第二軌道之側面或第二滾輪之外表面的位置；及旋轉感測器，檢測車輪、第一滾輪、或第二滾輪的旋轉角。

Description

軌道檢查裝置及軌道檢查系統
發明領域 本發明是有關於一種軌道檢查裝置及軌道檢查系統。
發明背景 例如有時會被利用在物品搬送設備的天花板搬送車，是沿著一對行走軌道及設置於比一對行走軌道更上方處的導軌行走來搬送物品。在這種物品搬送設備中，若行走軌道或導軌的設置狀態並非良好的話，行走中的天花板搬送車就會產生振動。因此，將行走軌道或導軌設置成良好的狀態是很重要的。為此，宜形成為能夠簡易且確實地檢查軌道的設置狀態，被使用在如此目的之軌道檢查裝置已揭示於例如特開2006-290177號公報(專利文獻1)。
專利文獻1的軌道檢查裝置被構成為可檢查在軌道延伸方向上鄰接且相互抵接之2條行走軌道的接合部分之落差的程度(第一軌道與第二軌道的設置狀態之一例)。具體來說，是在天花板搬送車中的行走於行走軌道上的行走台車設置雷射距離計，藉由此雷射距離計，來測量從行走台車到行走軌道為止的上下方向上之間隔。然而，雖然行走軌道的接合部分無落差而呈連續一事也很重要，但例如一對行走軌道彼此的間隔、或導軌對行走軌道的位置關係成為洽當的狀態一事也同樣很重要。
例如在檢查導軌對行走軌道的位置關係是否洽當時，以往會使用如圖12所示之包含深度計的檢查用治具，來測量行走軌道與導軌之間的寬度方向上之間隔。亦即，作業者會將L字狀之檢查用治具的一端抵住導軌，並藉由設置於另一端的深度計測量到行走軌道為止的深度，藉此來測量行走軌道與導軌的間隔。然而，藉由這種手動作業所進行的方法，不僅作業效率不佳，也有仰賴作業者之測量技術的比例很高而在檢查精度上產生偏差的可能性。
發明概要 期望實現一種軌道檢查裝置，能夠有效率且在不仰賴作業者的狀態下以一定的精度來檢查第一軌道與第二軌道在寬度方向中的設置狀態。
本揭示之軌道檢查裝置是一種用來檢查第一軌道與第二軌道的設置狀態的軌道檢查裝置，具備： 台車，具有車輪，沿著設置於寬度方向上之不同位置的前述第一軌道及前述第二軌道來行走； 第一滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第一軌道之側面來轉動； 第二滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第二軌道之側面來轉動； 第一位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第一軌道之側面或前述第一滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置； 第二位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第二軌道之側面或前述第二滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；及 旋轉感測器，設置於前述台車，檢測前述車輪、前述第一滾輪、及第二滾輪中的至少1個的旋轉角。
依據這種構成，會具備第一滾輪與第二滾輪，且在與一般的天花板搬送車之行走台車相同構成的台車上，設置第一位置感測器、第二位置感測器、及旋轉感測器，來構成軌道檢查裝置。只要使這種模仿一般的天花板搬送車之行走台車所構成的軌道檢查裝置沿著第一軌道及第二軌道行走，就可以用第一位置感測器及第二位置感測器輕易地得知第一軌道或第二軌道之側面的寬度方向上之位置。並且，能夠從第一軌道或第二軌道之側面的寬度方向上之位置，算出兩軌道的寬度方向上之間隔，作為第一軌道與第二軌道的設置狀態。又，藉由以旋轉感測器檢測車輪、第一滾輪、或第二滾輪的旋轉角，能夠從該旋轉角算出在軌道延伸方向中的位置。另外，能夠令如上述進行所算出的軌道延伸方向上之位置、與第一軌道與第二軌道的寬度方向上之間隔互有關連。因此，能夠在短時間內連續地測量沿著軌道延伸方向之任意位置上的第一軌道與第二軌道的寬度方向間隔，能夠使檢查效率提升。由於只要沿著第一軌道及第二軌道使軌道檢查裝置行走即可，因此仰賴作業者之測量技術的比例很低，能夠在不仰賴作業者的狀態下確保一定的檢查精度。
本揭示之技術的更進一步之特徵與優點，透過參照圖式所記述之以下的例示性且非限定的實施形態之說明應可變得更加明確。
用以實施發明之形態 針對軌道檢查裝置及使用了該軌道檢查裝置之軌道檢查系統的實施形態，參照圖式加以說明。在本實施形態中，會以軌道檢查系統1及軌道檢查裝置2為例來說明，該軌道檢查系統1及該軌道檢查裝置2會檢查例如設置於半導體工廠等之無塵室等的物品搬送設備9所具有的行走軌道91及導軌92的設置狀態。
如圖1所示，本實施形態之軌道檢查系統1具備有：軌道檢查裝置2；及解析裝置6，與該軌道檢查裝置2連接成能夠通訊資訊。軌道檢查裝置2會沿著行走軌道91及導軌92行走而取得資料，並將取得的資料(後述之檢查結果資訊Ir)傳送至解析裝置6。解析裝置6會依據所接收的檢查結果資訊Ir，判定行走軌道91及導軌92的設置狀態有無異常、及在有異常時判定該異常内容。
如圖2~圖4所示，物品搬送設備9具備有：左右一對行走軌道91，沿著搬送路徑R配設；及天花板搬送車93，沿著行走軌道91行走來搬送物品。搬送路徑R(天花板搬送車93的行走路徑)是形成為會經過複數個物品處理部81的環狀。再者，雖然省略圖示，但圖2所示的子單元會聚集複數個，且該等子單元會作為一整體而形成為環狀。另外，聚集複數個由複數個子單元所構成的單元，且該等單元又再作為一整體而形成為環狀亦可。
如圖3及圖4所示，在搬送路徑R中的分歧點B設置有導軌92。此導軌92是為了能夠將沿著行走軌道91行走之天花板搬送車93的行進方向在分歧點B中作切換而設置的。導軌92在一對行走軌道91的寬度方向W上之中央位置中，設置於比行走軌道91更上方處。在本實施形態中，一對行走軌道91各自從天花板被吊掛支撐，並且在U字狀之框體的下表面固定有導軌92，該U字狀之框體是跨於一對行走軌道91且在一對行走軌道91之上表面側連結。導軌92在分歧點B中被設置成雙叉狀 (參照圖3)。
天花板搬送車93具備有：行走台車94、車輪95、側滾輪96、導輪97、切換機構98、及移載單元99。行走台車94將車輪95、側滾輪96、及導輪97支撐成旋轉自如。車輪95左右分開且設置有複數個，會在行走軌道91上轉動。複數個車輪95當中至少1個是藉由驅動馬達所旋轉驅動的驅動輪，會對天花板搬送車93賦與推進力。側滾輪96左右分開且設置有複數個，會接觸於行走軌道91之側面91a來轉動。導輪97形成為藉由切換機構98而能夠自如地切換寬度方向W上的位置，並因應該寬度方向位置而接觸於導軌92的任一側面92a來轉動。
在本實施形態中，具有左右一對車輪95與左右一對的2個一組之側滾輪96的行走台車94，是在前後方向上之不同位置各自對移載單元99連結成旋動自如。至少在行進方向前方側的行走台車94上，還設置有導輪97與其切換機構98。
天花板搬送車93會遵從例如來自上位控制器的搬送指令，而沿著搬送路徑R(行走軌道91及導軌92)行走來搬送物品。例如天花板搬送車93會從收納部(圖未示)搬出物品，再將該物品搬送至併設於物品處理部81的載置台82，該收納部是搬送指令所指定之搬送起點，該物品處理部81是搬送指令所指定之搬送目的地。再者，作為物品，能夠舉例如收容半導體基板的容器(Front Opening Unified Pod；FOUP)等為例。
例如在圖2之例子中，表示於右下的天花板搬送車93構成為會將搬送中的物品搬送至圖示之載置台82當中任一者的話，在分歧點B中，切換機構98會將導輪97切換至行進方向側的位置。如此進行，導輪97能夠一邊接觸於導軌92的行進方向側之側面92a來轉動，一邊使天花板搬送車93朝向搬送對象的載置台82。
在此，一對行走軌道91及配置於其上部的導軌92有必要以良好的狀態加以設置。更具體來說，行走軌道91及導軌92各自有必要以高形狀精度加以形成，並且有必要以高組裝精度加以組裝。這是因為若行走軌道91或導軌92的設置狀態並非良好的話，行走中的天花板搬送車93就會產生振動的緣故。尤其，在分歧點B中，導輪97接觸於導軌92之側面92a來轉動且一邊伴隨方向轉換一邊行走時，天花板搬送車93會容易產生振動。
本實施形態之軌道檢查系統1及軌道檢查裝置2，為了能夠有效率且在不仰賴作業者的測量技術的狀態下以一定的精度來檢查行走軌道91及導軌92的設置狀態，是如以下所構成。
如上所述，軌道檢查系統1具備有連接成能夠通訊資訊的軌道檢查裝置2及解析裝置6。如圖5~圖7所示，軌道檢查裝置2中，作為主要的硬體構成，具備有：具有車輪22的台車20、第一滾輪31、第二滾輪32、第一位置感測器41、第二位置感測器42、旋轉感測器43、及控制單元50。又，如圖1所示，軌道檢查裝置2中，作為主要的軟體構成，是在控制單元50具備有：資料處理部51、資訊生成部52、記錄部53、及通訊部54。
台車20具有：台車本體21；及左右一對車輪22，被此台車本體21支撐成旋轉自如。車輪22是以沿著寬度方向W的旋轉軸心為中心旋動自如地被支撐。車輪22會在分開設置於寬度方向W上的一對行走軌道91上轉動。在本實施形態中，車輪22皆形成為在行走軌道91上隨動，台車20構成為非自走式。台車20(軌道檢查裝置2)能夠構成為例如藉由作業者的推壓操作或拉扯操作而沿著行走軌道91行走。再者，本實施形態之軌道檢查裝置2具備二組具有一對車輪22的台車20，這些台車20是在前後方向上之不同位置各自對連結體26連結成旋動自如。
第一滾輪31被支撐於台車20(具體來說是台車本體21)，並接觸於行走軌道91之側面91a來轉動。在本實施形態中，一對行走軌道91的其中一者相當於「第一軌道」。第一滾輪31是以沿著上下方向的旋轉軸心31x為中心旋動自如地被支撐於台車本體21。在本實施形態中，每1個台車設置有4個第一滾輪31，2個一組的第一滾輪31是左右分開設置。如圖7所示，2個一組的第一滾輪31各自在左右被台車本體21中的共通之基台36支撐成旋動自如。基台36形成為沿著寬度方向W滑動自如。如此進行，第一滾輪31是透過基台36，以沿著寬度方向W滑動自如的狀態被支撐。
基台36會藉由介於該基台36與台車本體21的支撐部23之間的賦與勢能件24，朝向寬度方向W的外側(對應的行走軌道91側)被賦與勢能。藉此，第一滾輪31會經常接觸於一對行走軌道91相互面對之側面91a(換句話來說是内面)來轉動。賦與勢能件24能夠以例如壓縮狀態的彈簧材或橡膠材等構成。藉由在此左右兩側中的賦與勢能件24的賦與勢能之力，會相對於一對行走軌道91的寬度方向W上之中央位置，來使台車20對準中心。在本實施形態中，是藉由設置於台車20的支撐部23、賦與勢能件24、及基台36，來構成定心機構C。
再者，在本實施形態中，4個第一滾輪31當中，有3個可以是與設置於天花板搬送車93之側滾輪96相同的滾輪。剩餘的1個第一滾輪31作為特定滾輪31S，以高精度的滾輪接觸件(roller contact)來構成是適宜的。在特定滾輪31S與其他的第一滾輪31外徑不同時，只要考量其差異，將特定滾輪31S的安裝位置調整成包含特定滾輪31S的4個第一滾輪31會同時接觸於行走軌道91之側面91a即可。
第二滾輪32被支撐於台車20(具體來說是台車本體21)，並接觸於導軌92之側面92a來轉動。在本實施形態中，導軌92相當於「第二軌道」。第二滾輪32是以沿著上下方向的旋轉軸心32x為中心旋動自如地被支撐於台車本體21的支撐台37。在本實施形態中，僅在其中一個台車上，在比寬度方向W上的中央位置更偏其中一側地設置有1個第二滾輪32。支撐台37形成為沿著寬度方向W滑動自如。如此進行，第二滾輪32是透過支撐台37，以沿著寬度方向W滑動自如的狀態被支撐。再者，雖然在此省略詳細之機構的說明，但支撐台37是朝向寬度方向W的中央側(導軌92側)被賦與勢能。藉此，第二滾輪32會經常接觸於導軌92之其中一個側面92a來轉動。第二滾輪32以高精度的滾輪接觸件來構成是適宜的。
第一位置感測器41被固定於台車20(具體來說是台車本體21)，在本實施形態中會檢測複數個第一滾輪31當中1個(具體來說是特定滾輪31S)之外表面31b的寬度方向W上之位置。在本實施形態中，作為第一位置感測器41，使用的是接觸式的位置感測器。第一位置感測器41就根本來說，會檢測感測頭的變位量，該感測頭會接觸於作為檢測對象物的特定滾輪31S之外表面31b。感測頭的基準位置為已知時，藉由在該基準位置加上感測頭的變位量，就也能夠藉由運算來算出特定滾輪31S之外表面31b的寬度方向位置。因此，在本實施形態中，依據感測頭直接接觸之部位(在此為特定滾輪31S之外表面31b)的變位量所直接算出的寬度方向位置，也當作藉由第一位置感測器41所「檢測」的位置來考量。
在本實施形態中，第一位置感測器41設置成其感測頭會接觸於特定滾輪31S中的外表面31b，該外表面31b是相對於該特定滾輪31S的旋轉軸心31x，與行走軌道91之接點為完全相反側的外表面。在這種構成中，第一位置感測器41會檢測特定滾輪31S的外表面31b當中，成為在寬度方向W上最靠近導軌92側之部分的寬度方向W上之位置。第一位置感測器41的位置分辨能力(position resolution)是例如0.01mm左右，能夠進行10微米單位之高精度的位置檢測。再者，在藉由以往所使用之檢查用治具(參照圖12)的測量中，100微米單位的精度已是極限，與以往相比，變得能夠大幅地(具體來說是10倍左右)使測量精度提升。
第二位置感測器42被固定於台車20(具體來說是台車本體21)，在本實施形態中會檢測第二滾輪32之外表面32b的寬度方向W上之位置。在本實施形態中，作為第二位置感測器42，使用的是與第一位置感測器41相同之接觸式的位置感測器。第二位置感測器42就根本來說，會檢測感測頭的變位量，該感測頭會接觸於作為檢測對象物的第二滾輪32之外表面32b。感測頭的基準位置為已知時，藉由在該基準位置加上感測頭的變位量，就也能夠藉由運算來算出第二滾輪32之外表面32b的寬度方向位置。因此，在本實施形態中，依據感測頭直接接觸之部位(在此為第二滾輪32之外表面32b)的變位量所直接算出的寬度方向位置，也當作藉由第二位置感測器42所「檢測」的位置來考量。
在本實施形態中，第二位置感測器42設置成其感測頭會接觸於第二滾輪32中的外表面32b，該外表面32b是相對於該第二滾輪32的旋轉軸心32x，與導軌92之接點為完全相反側的外表面。在這種構成中，第二位置感測器42會檢測第二滾輪32的外表面32b當中，成為在寬度方向W上最靠近其中一者的行走軌道91側之部分的寬度方向W上之位置。第二位置感測器42的位置分辨能力也是例如0.01mm左右，能夠進行10微米單位之高精度的位置檢測。
旋轉感測器43被設置於台車20(具體來說是台車本體21)，會檢測車輪22、第一滾輪31、及第二滾輪32中的至少1個的旋轉角。在本實施形態中，由於車輪22、第一滾輪31、及第二滾輪32皆是以經常接觸於行走軌道91或導軌92的狀態來轉動，因此無論以哪一個來作為旋轉角檢測對象皆可。又，以車輪22、第一滾輪31、及第二滾輪32當中的2個以上來作為旋轉角檢測的對象亦可。旋轉感測器43能夠以例如旋轉編碼器(rotary encoder)或解角器 (resolver)等來構成。
控制單元50是執行各種運算處理的單元，被構成為包含 CPU(Central Processing Unit)或PLC(Programmable Logic Controller)等之運算處理裝置。控制單元50被構成為能夠從第一位置感測器41、第二位置感測器42、及旋轉感測器43，取得其各自所檢測到的檢測資訊。構成控制單元50的資料處理部51、資訊生成部52、記錄部53、及通訊部54被構成為能夠相互交換資訊。
資料處理部51會對以第一位置感測器41、第二位置感測器42、及旋轉感測器43所取得的原始資料(取得資料)進行各種資料處理。資料處理部51會依據來自第一位置感測器41之取得資料的特定滾輪31S之外表面31b的寬度方向W上之位置、及已知的特定滾輪31S的外徑，來算出行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置。又，資料處理部51會依據來自第二位置感測器42之取得資料的第二滾輪32之外表面32b的寬度方向W上之位置、及已知的第二滾輪32的外徑，來算出導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置。又，資料處理部51會依據所算出的行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置、及導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置，來算出行走軌道91的其中一者與導軌92之間的寬度方向間隔Δw。又，資料處理部51會依據來自旋轉感測器43之取得資料的車輪22、第一滾輪31、或第二滾輪32的旋轉角、關於對象滾輪之已知的外徑、及規定的基準位置，來算出沿著行走軌道91之延伸方向E上的台車20之位置。
更具體來說，資料處理部51會算出行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置，該位置是作為相對於特定滾輪31S之外表面31b的寬度方向W上之位置，朝寬度方向W上的外側偏移了相當於特定滾輪31S之外徑的位置。又，資料處理部51會算出導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置，該位置是作為相對於第二滾輪32之外表面32b的寬度方向W上之位置，朝寬度方向W的中央側偏移了相當於第二滾輪32之外徑的位置。又，資料處理部51會算出行走軌道91的其中一者與導軌92之間的寬度方向間隔Δw，該間隔是作為行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置與導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置的差分。又，資料處理部51會算出台車20的位置，該位置是作為相對於規定的基準位置，朝行進方向前方側偏移了相當於因應對象滾輪之外徑及旋轉角之延伸周長的位置。再者，所算出的台車20的位置會作為檢查位置P而提供給之後的處理。
在本實施形態中，以資料處理部51所算出的行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置相當於「將來自第一位置感測器41之取得資料加工所得到的加工資料」。同樣地，導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置相當於「將來自第二位置感測器42之取得資料加工所得到的加工資料」，檢查位置P相當於「將來自旋轉感測器43之取得資料加工所得到的加工資料」。另外，行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw相當於「將來自第一位置感測器41及第二位置感測器42之各個取得資料加工所得到的加工資料」。
本實施形態之資訊生成部52會將行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw與檢查位置P，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊Ir加以生成。亦即，資訊生成部52會生成檢查結果資訊Ir，該資訊是作為顯示沿著行走軌道91之延伸方向E上的各檢查位置P中的行走軌道91與導軌92之間的各個寬度方向間隔Δw之資訊。這種檢查結果資訊Ir可以作為相對於檢查位置P的連續性變化，寬度方向間隔Δw也連續性地變化之無縫的資訊而取得。再者，在本實施形態中，導軌92之側面92a的寬度方向位置之資訊也包含在檢查結果資訊Ir。
本實施形態之記錄部53會將行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw與檢查位置P，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊Ir加以記錄。亦即，記錄部53會記錄檢查結果資訊Ir，該資訊是作為顯示沿著行走軌道91之延伸方向E上的各檢查位置P中的行走軌道91與導軌92之間的各個寬度方向間隔Δw之資訊。記錄部53能夠以例如快閃記憶體等之半導體記憶體來構成。在控制單元50包含CPU時，記錄部53以例如RAM(Random Access Memory)等其他半導體記憶體或磁碟、光碟等來構成亦可。記錄部53構成為將例如以資訊生成部52所生成的檢查結果資訊Ir直接加以保存亦可。
通訊部54構成為能夠與解析裝置6的通訊部61無線通訊。通訊部54構成為具備遵照例如無線LAN或Wi-Fi、Bluetooth等規格的傳送接收單元。
如圖1所示，解析裝置6具備有：通訊部61、記錄部62、判定部63、及報知部64。解析裝置6能夠以例如個人電腦或工作站等來構成。通訊部61構成為能夠與軌道檢查裝置2的通訊部54無線通訊。通訊部61構成為具備遵照與軌道檢查裝置2的通訊部54相同之規格的傳送接收單元。
記錄部62會將行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw與檢查位置P，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊Ir加以記錄。亦即，記錄部62會記錄檢查結果資訊Ir，該資訊是作為顯示沿著行走軌道91之延伸方向E上的各檢查位置P中的行走軌道91與導軌92之間的各個寬度方向間隔Δw之資訊。記錄部62以例如快閃記憶體或RAM等之半導體記憶體、磁碟、光碟等來構成亦可。記錄部62構成為將例如從軌道檢查裝置2之控制單元50所接收的檢查結果資訊Ir直接保存亦可。
在本實施形態中，記錄部53相當於「軌道檢查裝置」的「記錄部」，且記錄部53、62各自相當於「軌道檢查系統」的「記錄部」。
判定部63會依據檢查結果資訊Ir，來判定行走軌道91與導軌92的設置狀態有無異常。判定部63會依據檢查結果資訊Ir，將各檢查位置P、與行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw之關係加以圖表化，並依據所得到的圖表來判定設置狀態的異常。例如判定部63會在以横軸作為檢查位置P且以縱軸為作寬度方向間隔Δw的二維平面上繪圖來進行回歸分析，並依據該分析結果來判定設置狀態的異常。更具體來說，例如判定部63在線性回歸時之相關係數成為「1」附近的規定範圍(例如「0.97」以上「1.03」以下的正常判定範圍)内的情況下會判定為正常，在偏離上述正常判定範圍的情況下會判定為異常。再者，正常判定範圍可因應所要求之規格等來適當設定。
另外在本實施形態中，判定部63在判定行走軌道91與導軌92的設置狀態有異常時，會依據如上述般進行所得到的圖表，來識別行走軌道91及導軌92中的至少一者之加工精度的偏差、及行走軌道91與導軌92之組裝精度的偏差。行走軌道91及導軌92中的至少一者之加工精度有偏差的話，如圖8所示，看得出來相對於檢查位置P之變化，寬度方向間隔Δw會不規則地變動的傾向。另一方面，行走軌道91與導軌92之組裝精度有偏差的話，如圖9所示，看得出來相對於檢查位置P之變化以一定之傾斜來變化的寬度方向間隔Δw會以特定的檢查位置P為分界而變化成不同之傾斜的傾向。因此判定部63會藉由識別相對於檢查位置P之變化的寬度方向間隔Δw之變化態様，來識別加工精度的偏差與組裝精度的偏差。
另外在本實施形態中，判定部63構成為也會依據檢查結果資訊Ir中所包含之導軌92之側面92a的寬度方向位置的資訊，來進行導軌92是否設置於洽當之位置的簡易判定。例如判定部63在以第二位置感測器42所檢測之從第二滾輪32的外表面32b之基準位置起算的變位量在預定基準値以内的情況下會暫定判定為洽當位置，在超過基準値的情況下會判定為不洽當的位置。這種篩選功能構成為藉由操作開關來切換開啟(ON)/關閉(OFF)是適宜的。例如可以作成為在導軌92設置後，首先將操作開關開啟來進行簡易的篩選檢查，再以通過該檢查者為對象，在將操作開關關閉的狀態下，實施如上述之更詳細的檢查。
報知部64在行走軌道91與導軌92的設置狀態被判定有異常時，會對作業者報知該訊息。報知部64連接於例如螢幕等的圖像輸出裝置或喇叭等的聲音輸出裝置、警示燈等的光輸出裝置等，並藉由這些來自各裝置所輸出的圖像、聲音、或光等來報知異常。亦可將這些中的2個以上加以組合。又，像本實施形態那樣區別加工精度的偏差與組裝精度的偏差來判定時，報知部64在判定為加工精度的偏差時與判定為組裝精度的偏差時，亦可使報知態様有所差異。
又，報知部64在上述之簡易的篩選功能被開啟的情況下，在判定導軌92的設置位置為不洽當時，也會對作業者報知該訊息。報知部64在以篩選檢查判斷為異常時，對於被判定為加工精度或組裝精度的偏差時的報知態様，亦可使報知態様進一步有所差異。
依據本實施形態之軌道檢查系統1，只要沿著軌道延伸方向E使軌道檢查裝置2行走，就能夠得到無縫的檢查結果資訊Ir。並且，能夠一邊得到該檢查結果資訊Ir，一邊依據該檢查結果資訊Ir來有效率地判定行走軌道91與導軌92的設置狀態有無異常。此時，能夠在不仰賴作業者的測量技術或判斷能力的狀態下，藉由以判定部63所進行的運算處理來確保一定的檢查精度。
又，由於能夠識別加工精度的偏差與組裝精度的偏差，所以在發現設置狀態的異常時，將很容易洽當地決定針對該異常的後續對應方針。
藉由使用具備高分辨能力之接觸式的第一位置感測器41及第二位置感測器42的軌道檢查2來實施檢查，最後就能夠將行走軌道91及導軌92各自以高形狀精度來形成並且以高組裝精度來組裝。其結果，能夠有效地抑制在搬送路徑R的分歧點B中，天花板搬送車93產生振動的情況。
[其他的實施形態] (1)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，第一位置感測器41檢測第一滾輪31(特定滾輪31S)之外表面31b的寬度方向W上之位置，第二位置感測器42檢測第二滾輪32之外表面32b的寬度方向W上之位置。然而，並非限定於這種構成，亦可構成為例如第一位置感測器41接觸於行走軌道91之側面91a，直接檢測該行走軌道91之側面91a的寬度方向W上之位置。又，亦可構成為第二位置感測器42接觸於導軌92之側面92a，直接檢測該導軌92之側面92a的寬度方向W上之位置。在這些情況下，在一定程度容許位置分辨能力或測量精度的降低時，作為第一位置感測器41及第二位置感測器42，亦可使用例如雷射距離計等之非接觸式的位置感測器。
(2)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，軌道檢查裝置2的台車20構成為非自走式，藉由作業者的推壓操作或拉扯操作來行走。然而，並非限定於這種構成，亦可構成為與天花板搬送車93的行走台車94或專用的牽引台車等其他自走式的行走體連動，來使台車20行走。或是，例如在台車20具備將一對車輪22當中至少1個進行旋轉驅動的驅動馬達等，使台車20構成為自走式亦可。
(3)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，定心機構C已設置於台車20，且該定心機構C會相對於一對行走軌道91的寬度方向W上之中央位置，來將該台車20對準中心。然而，並非限定於這種構成，例如在軌道檢查裝置2未搭載與導軌92之設置位置有關的篩選功能時，台車20未必要設置定心機構C亦可。
(4)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，軌道檢查系統1及軌道檢查裝置2會檢查一對行走軌道91的其中一者與導軌92的設置狀態。然而，並非限定於這種構成，亦可構成為例如軌道檢查系統1及軌道檢查裝置2會檢查一對行走軌道91之間的寬度方向W上之間隔，來作為一對行走軌道91彼此的設置狀態。此時，例如圖10及圖11所示，只要將接觸於一對行走軌道91之側面91a的特定之2個第一滾輪31各自作為對象滾輪31T，並設置2個位置感測器45來使感測頭接觸於這些對象滾輪31T之外表面即可。在如此構成中，一對行走軌道91相當於「第一軌道」及「第二軌道」，2個對象滾輪31T相當於「第一滾輪」及「第二滾輪」，2個位置感測器45相當於「第一位置感測器」及「第二位置感測器」。這種構成的軌道檢查系統1及軌道檢查裝置2，能夠利用於例如用來檢查鐵路軌道的設置狀態(具體來說是一對軌道的寬度方向間隔)。
(5)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，記錄部53令行走軌道91與導軌92之間的寬度方向間隔Δw與檢查位置P互有關連而作為檢查結果資訊Ir加以記錄，該間隔是將來自第一位置感測器41及第二位置感測器42的各個取得資料加工所得到的，該位置是將來自旋轉感測器43的取得資料加工所得到的。然而，並非限定於這種構成，例如記錄部53令以第一位置感測器41及第二位置感測器42各自所取得的原始資料(取得資料)、與以旋轉感測器43所取得的原始資料(取得資料)互有關連而作為檢查結果資訊Ir加以記錄亦可。
(6)在上述實施形態中所說明的，藉由判定部63所進行之行走軌道91與導軌92的設置狀態有無異常的判定基準只不過是一例。判定部63亦可構成為遵從與上述實施形態不同的基準來判定設置狀態有無異常。
(7)在上述實施形態中，說明了下列構成來作為例子，即，判定部63會識別行走軌道91及導軌92中的至少一者之加工精度的偏差、及行走軌道91與導軌92之組裝精度的偏差。然而，並非限定於這種構成，判定部63亦可構成為只判定設置狀態有無異常，而不進行到識別加工精度的偏差與組裝精度的偏差。
(8)在上述實施形態中，軌道檢查系統1亦可還具備認證賦與部，該認證賦與部會在依據檢查結果資訊Ir判定行走軌道91與導軌92的設置狀態為正常時，賦與該訊息之認證。認證賦與部會發出例如記載有設置狀態為正常之訊息的檢驗報告(合格證明)。在檢驗報告中，亦可一併記載在以判定部63進行之判定中所参照的數值資料等。
(9)在上述實施形態中所說明的，軌道檢查系統1的各功能部對軌道檢查裝置2的控制單元50及解析裝置6的分配只是單純一例，並非限定於這種構成。例如連判定部63或報知部64也包含在內的所有功能部都具備於控制單元50，使軌道檢查系統1的所有功能都集中於軌道檢查裝置2亦可。又，亦可構成為例如軌道檢查裝置2的記錄部53令各感測器41~43的原始資料(取得資料)互有關連而作為檢查結果資訊Ir加以記錄時，使資料處理部51或資訊生成部52具備於解析裝置6，軌道檢查裝置2專門進行測量並將該測量資料傳送至解析裝置6，將必要的運算處理全部以解析裝置6側來進行。
(10)在上述各實施形態(包含上述實施形態及其他實施形態；以下相同)所揭示之構成，只要不產生矛盾，與在其他實施形態所揭示之構成加以組合而應用也是可行的。關於其他構成，本說明書中所揭示之實施形態在各方面僅為例示，在不脫離本揭示內容之要旨的範圍內適當地改變是可行的。
[實施形態之概要] 統整以上所述，本揭示之軌道檢查裝置及軌道檢查系統適合具備以下的各構成。
一種檢查第一軌道與第二軌道的設置狀態的軌道檢查裝置，具備： 台車，具有車輪，沿著設置於寬度方向上之不同位置的前述第一軌道及前述第二軌道來行走； 第一滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第一軌道之側面來轉動； 第二滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第二軌道之側面來轉動； 第一位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第一軌道之側面或前述第一滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置； 第二位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第二軌道之側面或前述第二滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；及 旋轉感測器，設置於前述台車，檢測前述車輪、前述第一滾輪、及第二滾輪中的至少1個的旋轉角。
依據這種構成，會具備第一滾輪與第二滾輪，且在與一般的天花板搬送車之行走台車相同構成的台車上，設置第一位置感測器、第二位置感測器、及旋轉感測器，來構成軌道檢查裝置。只要使這種模仿一般的天花板搬送車之行走台車所構成的軌道檢查裝置沿著第一軌道及第二軌道行走，就可以用第一位置感測器及第二位置感測器輕易地得知第一軌道或第二軌道之側面的寬度方向上之位置。並且，能夠從第一軌道或第二軌道之側面的寬度方向上之位置，算出兩軌道的寬度方向上之間隔，作為第一軌道與第二軌道的設置狀態。又，藉由以旋轉感測器檢測車輪、第一滾輪、或第二滾輪的旋轉角，能夠從該旋轉角算出在軌道延伸方向中的位置。另外，能夠令如上述進行所算出的軌道延伸方向上之位置、與第一軌道與第二軌道的寬度方向上之間隔互有關連。因此，能夠在短時間內連續地測量沿著軌道延伸方向之任意位置上的第一軌道與第二軌道的寬度方向間隔，能夠使檢查效率提升。由於只要沿著第一軌道及第二軌道使軌道檢查裝置行走即可，因此仰賴作業者之測量技術的比例很低，能夠在不仰賴作業者的狀態下確保一定的檢查精度。
作為一態様，較理想的是還具備記錄部， 該記錄部會將以前述第一位置感測器及前述第二位置感測器所取得的各個取得資料或將該等資料加工所得到的加工資料、與以前述旋轉感測器所取得的取得資料或將該資料加工所得到的加工資料，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊加以記錄。
依據此構成，藉由在檢查結果資訊顯示理想結果時記錄該檢查結果資訊，能夠客觀地保證第一軌道與第二軌道的設置狀態為良好。又，藉由記錄並蓄積各檢查時的檢查結果資訊，在物品搬送設備中產生有可能是起因於第一軌道與第二軌道的設置狀態的不良狀況時，能夠參照所蓄積的檢查結果資訊用以究明原因。因此，能夠使可追溯性提升。
作為一態様，較理想的是，前述車輪在分開設置於前述寬度方向上的一對行走軌道上轉動， 前述第一軌道是一對前述行走軌道當中一者， 前述第二軌道是為了能夠將沿著前述行走軌道行走之天花板搬送車的行進方向在分歧點作切換，而設置於比前述行走軌道更上方處的導軌， 前述記錄部會依據前述第一軌道與前述第二軌道之間的前述寬度方向上之間隔、與作為檢查位置的沿著前述行走軌道的延伸方向上之前述台車的位置，將各檢查位置中的前述行走軌道與前述導軌之間的前述寬度方向上之間隔的資訊作為前述檢查結果資訊加以記錄，該間隔是從來自前述第一位置感測器及前述第二位置感測器之取得資料所算出的，該位置是從來自前述旋轉感測器之取得資料所算出的。
依據此構成，能夠有效率且在不仰賴作業者的狀態下以一定的精度來各檢查位置中的行走軌道與導軌之間的寬度方向間隔。因此，能夠使行走軌道與導軌之間的寬度方向間隔維持洽當的間隔。行走軌道與導軌之間的寬度方向間隔為不洽當時，在物品搬送設備中，於設置有導軌之分歧點的位置上，天花板搬送車會容易產生振動，但藉由採用上述的構成，能夠有效地抑制此種振動的產生。
作為一態様，較理想的是，前述車輪在分開設置於前述寬度方向上的一對行走軌道上轉動， 前述第一軌道是一對前述行走軌道當中一者， 前述第二軌道是為了能夠將沿著前述行走軌道行走之天花板搬送車的行進方向在分歧點作切換，而設置於比前述行走軌道更上方處的導軌， 在前述台車設置有定心機構，該定心機構會相對於一對前述行走軌道的前述寬度方向上之中央位置，來將該台車對準中心。
一般來說，導軌的寬度方向上之設置位置大多設定成與一對行走軌道的寬度方向上之中央位置一致。考量到這種導軌對於一對行走軌道的標準位置關係，而在上述構成中，在軌道檢查裝置的台車設置有定心機構。藉由如此進行，僅依據以第二位置感測器所得知的導軌之側面的寬度方向上之位置資訊，就能夠簡易地判定該導軌是否已設置於洽當的位置。因此，在導軌設置後，也能夠將軌道檢查裝置利用於簡易的篩選檢查。
作為一態様，較理想的是，前述第一位置感測器的檢測對象物是前述第一滾輪， 前述第二位置感測器的檢測對象物是前述第二滾輪， 前述第一位置感測器會接觸於前述第一滾輪中的相對於該第一滾輪的旋轉軸心是與前述第一軌道之接點為完全相反側的外表面，並檢測前述第一滾輪的外表面當中成為最靠近前述第二軌道側之部分的前述寬度方向上之位置， 前述第二位置感測器會接觸於第二滾輪中的相對於該第二滾輪的旋轉軸心是與前述第二軌道之接點為完全相反側的外表面，並檢測前述第二滾輪的外表面當中成為最靠近前述第一軌道側之部分的前述寬度方向上之位置。
依據此構成，能夠使用接觸式的第一位置感測器，透過第一滾輪妥當地檢測第一軌道之側面的位置，該位置是位於相隔了相當於該第一滾輪之外徑的位置。又，能夠使用接觸式的第二位置感測器，透過第二滾輪妥當地檢測第二軌道之側面的位置，該位置是位於相隔了相當於該第二滾輪之外徑的位置。藉由使用接觸式的感測器作為第一位置感測器及第二位置感測器，能夠確實地決定測量對象的2點，得到可靠度高的位置資訊。又，即便使用接觸式的感測器，由於將該等感測器設置成接觸於第一滾輪或第二滾輪且不會直接接觸於第一軌道或第二軌道，所以不需要擔心在檢查中會損傷第一軌道或第二軌道。
一種軌道檢查系統，具備： 上述軌道檢查裝置； 記錄部，將以前述第一位置感測器及前述第二位置感測器所取得的各個取得資料或將該等資料加工所得到的加工資料、與以前述旋轉感測器所取得的取得資料或將該資料加工所得到的加工資料，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊加以記錄；及 判定部，依據前述檢查結果資訊，來判定前述第一軌道與前述第二軌道的設置狀態有無異常。
依據此構成，只要沿著第一軌道及第二軌道使軌道檢查裝置行走，就能夠一邊得到檢查結果資訊，一邊依據該檢查結果資訊來有效率地判定第一軌道與第二軌道的設置狀態有無異常。能夠在不仰賴作業者的測量技術或判斷能力的狀態下，藉由以判定部所進行的運算處理確保一定的檢查精度。
作為一態様，較理想的是，前述設置狀態的異常包含：前述第一軌道及前述第二軌道中的至少一者之加工精度的偏差、及前述第一軌道與前述第二軌道之組裝精度的偏差， 前述判定部會依據前述檢查結果資訊，將來自前述旋轉感測器側之資料與來自前述第一位置感測器及前述第二位置感測器側之資料的關係加以圖表化，並依據所得到的圖表的形狀，在判定前述設置狀態有異常時，進而識別前述加工精度的偏差與前述組裝精度的偏差。
例如在使用以往的檢查用治具測量2條軌道間的寬度方向間隔時，就算測量値有異常這件事本身是能夠判定的，但卻難以識別那是起因於各軌道的加工時之誤差的異常，或是起因於組裝時之誤差的異常。這點依據上述構成，依據顯示出來自旋轉感測器側之資料與來自第一位置感測器及第二位置感測器側之資料間的關係性之圖表形狀，就能夠識別是起因於各軌道的加工時之誤差的異常，或是起因於組裝時之誤差的異常。因此，在判定第一軌道及第二軌道的設置狀態有異常時，將很容易妥當地決定針對該異常的後續對應方針。
1‧‧‧軌道檢查系統2‧‧‧軌道檢查裝置20‧‧‧台車21‧‧‧台車本體22‧‧‧車輪23‧‧‧支撐部24‧‧‧賦與勢能件26‧‧‧連結體31‧‧‧第一滾輪31b‧‧‧第一滾輪的外表面31S‧‧‧特定滾輪31T‧‧‧對象滾輪31x‧‧‧第一滾輪的旋轉軸心32‧‧‧第二滾輪32b‧‧‧第二滾輪的外表面32x‧‧‧第二滾輪的旋轉軸心36‧‧‧基台37‧‧‧支撐台41‧‧‧第一位置感測器42‧‧‧第二位置感測器43‧‧‧旋轉感測器45‧‧‧位置感測器50‧‧‧控制單元51‧‧‧資料處理部52‧‧‧資訊生成部53、62‧‧‧記錄部54、61‧‧‧通訊部6‧‧‧解析裝置63‧‧‧判定部64‧‧‧報知部81‧‧‧物品處理部82‧‧‧載置台9‧‧‧物品搬送設備91‧‧‧行走軌道91a‧‧‧行走軌道的側面92‧‧‧導軌92a‧‧‧導軌的側面93‧‧‧天花板搬送車94‧‧‧行走台車95‧‧‧車輪96‧‧‧側滾輪97‧‧‧導輪98‧‧‧切換機構99‧‧‧移載單元E‧‧‧軌道延伸方向(行走軌道的延伸方向)W‧‧‧寬度方向B‧‧‧分歧點C‧‧‧定心機構Ir‧‧‧檢查結果資訊Δw‧‧‧寬度方向間隔P‧‧‧檢查位置R‧‧‧搬送路徑
圖1是顯示實施形態之軌道檢查系統的控制構成的方塊圖。 圖2是顯示物品搬送設備中的搬送路徑的示意圖。 圖3是物品搬送裝置的平面圖。 圖4是物品搬送裝置的正面圖。 圖5是軌道檢查裝置的正面圖。 圖6是軌道檢查裝置的平面圖。 圖7是顯示軌道檢查裝置之內部構造的示意圖。 圖8是顯示各檢查位置與寬度方向間隔之關係的一態樣的圖表。 圖9是顯示各檢查位置與寬度方向間隔之關係的一態樣的圖表。 圖10是其他態樣之軌道檢查裝置的正面圖。 圖11是其他態樣之軌道檢查裝置的平面圖。 圖12是以往所使用之檢查用治具的使用狀態圖。
2‧‧‧軌道檢查裝置
20‧‧‧台車
21‧‧‧台車本體
22‧‧‧車輪
31‧‧‧第一滾輪
31b‧‧‧第一滾輪的外表面
31S‧‧‧特定滾輪
31x‧‧‧第一滾輪的旋轉軸心
32‧‧‧第二滾輪
32b‧‧‧第二滾輪的外表面
32x‧‧‧第二滾輪的旋轉軸心
37‧‧‧支撐台
41‧‧‧第一位置感測器
42‧‧‧第二位置感測器
43‧‧‧旋轉感測器
50‧‧‧控制單元
91‧‧‧行走軌道
91a‧‧‧行走軌道的側面
92‧‧‧導軌
92a‧‧‧導軌的側面
W‧‧‧寬度方向

Claims (7)

  1. 一種軌道檢查裝置，用來檢查第一軌道與第二軌道的設置狀態，具有以下的特徵，具備：台車，具有車輪，且前述台車是沿著設置於寬度方向上之不同位置的前述第一軌道及前述第二軌道來行走；第一滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第一軌道之側面來轉動；第二滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第二軌道之側面來轉動；第一位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第一軌道之側面或前述第一滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；第二位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第二軌道之側面或前述第二滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；旋轉感測器，設置於前述台車，檢測前述車輪、前述第一滾輪、及第二滾輪中的至少1個的旋轉角；及記錄部，該記錄部會將以前述第一位置感測器及前述第二位置感測器所取得的各個取得資料或將該等資料加工所得到的加工資料、與以前述旋轉感測器所取得的取得資料或將該資料加工所得到的加工資料，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊加以記錄，前述車輪在分開設置於前述寬度方向上的一對行走軌道上轉動，前述第一軌道是一對前述行走軌道中的其中一者，前述第二軌道是為了能夠將沿著前述行走軌道行走之天花板搬送車的行進方向在分歧點作切換，而設置於比前述行走軌道更上方處的導軌，前述記錄部會依據前述行走軌道的其中一者與前述導軌之間的前 述寬度方向上之間隔、與作為檢查位置的沿著前述行走軌道的延伸方向上之前述台車的位置，將各檢查位置中的前述行走軌道與前述導軌之間的前述寬度方向上之間隔的資訊作為前述檢查結果資訊加以記錄，該間隔是從來自前述第一位置感測器及前述第二位置感測器之取得資料所算出的，該位置是從來自前述旋轉感測器之取得資料所算出的。
  2. 一種軌道檢查裝置，用來檢查第一軌道與第二軌道的設置狀態，具有以下的特徵，具備：台車，具有車輪，且前述台車是沿著設置於寬度方向上之不同位置的前述第一軌道及前述第二軌道來行走；第一滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第一軌道之側面來轉動；第二滾輪，以沿著前述寬度方向滑動自如的狀態被前述台車所支撐，並接觸於前述第二軌道之側面來轉動；第一位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第一軌道之側面或前述第一滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；第二位置感測器，固定於前述台車，檢測前述第二軌道之側面或前述第二滾輪之外表面的前述寬度方向上之位置；及旋轉感測器，設置於前述台車，檢測前述車輪、前述第一滾輪、及第二滾輪中的至少1個的旋轉角，前述車輪在分開設置於前述寬度方向上的一對行走軌道上轉動，前述第一軌道是一對前述行走軌道當中一者，前述第二軌道是為了能夠將沿著前述行走軌道行走之天花板搬送車的行進方向在分歧點作切換，而設置於比前述行走軌道更上方處的導軌， 在前述台車設置有定心機構，該定心機構會相對於一對前述行走軌道的前述寬度方向上之中央位置，來將該台車對準中心。
  3. 如請求項1或2之軌道檢查裝置，其中，前述第一位置感測器的檢測對象物是前述第一滾輪，前述第二位置感測器的檢測對象物是前述第二滾輪，前述第一位置感測器會接觸於前述第一滾輪中的相對於該第一滾輪的旋轉軸心是與前述第一軌道之接點為完全相反側的外表面，並檢測前述第一滾輪的外表面當中成為最靠近前述第二軌道側之部分的前述寬度方向上之位置，前述第二位置感測器會接觸於前述第二滾輪中的相對於該第二滾輪的旋轉軸心是與前述第二軌道之接點為完全相反側的外表面，並檢測前述第二滾輪的外表面當中成為最靠近前述第一軌道側之部分的前述寬度方向上之位置。
  4. 一種軌道檢查系統，具備以下：如請求項1之軌道檢查裝置；及判定部，依據前述檢查結果資訊，來判定前述第一軌道與前述第二軌道的設置狀態有無異常。
  5. 一種軌道檢查系統，具備以下：如請求項2之軌道檢查裝置；記錄部，將以前述第一位置感測器及前述第二位置感測器所取得的各個取得資料或將該等資料加工所得到的加工資料、與以前述旋轉感測器所取得的取得資料或將該資料加工所得到的加工資料，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊加以記錄；及判定部，依據前述檢查結果資訊，來判定前述第一軌道與前述第二軌道的設置狀態有無異常。
  6. 一種軌道檢查系統，具備以下：如請求項3之軌道檢查裝置；記錄部，將以前述第一位置感測器及前述第二位置感測器所取得的各個取得資料或將該等資料加工所得到的加工資料、與以前述旋轉感測器所取得的取得資料或將該資料加工所得到的加工資料，以互有關連的狀態作為檢查結果資訊加以記錄；及判定部，依據前述檢查結果資訊，來判定前述第一軌道與前述第二軌道的設置狀態有無異常。
  7. 如請求項4至6中任一項之軌道檢查系統，其中前述設置狀態的異常包含：前述第一軌道及前述第二軌道中的至少一者之加工精度的偏差、及前述第一軌道與前述第二軌道之組裝精度的偏差，前述判定部會依據前述檢查結果資訊，將來自前述旋轉感測器側之資料與來自前述第一位置感測器及前述第二位置感測器側之資料的關係加以圖表化，並依據所得到的圖表的形狀，在判定前述設置狀態有異常時，進而識別前述加工精度的偏差與前述組裝精度的偏差。
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