JPH07170615A - 搬送装置の走行路 - Google Patents
搬送装置の走行路Info
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- JPH07170615A JPH07170615A JP34162893A JP34162893A JPH07170615A JP H07170615 A JPH07170615 A JP H07170615A JP 34162893 A JP34162893 A JP 34162893A JP 34162893 A JP34162893 A JP 34162893A JP H07170615 A JPH07170615 A JP H07170615A
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- traveling path
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走行路に簡単な施工を施すことにより段差の
計測精度を向上させる。 【構成】 複数個のつなぎ目１１’を有する走行路１０
と、この走行路１０に跨座して設けられエアベアリング
の作用によって浮上しリニアモータによって走行する走
行台車とからなる搬送装置において、前記走行台車に走
行路面を台車下面とのクリアランスを非接触で計測する
変位センサを搭載した計測用台車を走行路全長にわたっ
て走行させる。走行路１０には段差測定に必要なクリア
ランス計測位置であることを計測用台車に指示するため
の標識２０が設けられている。
計測精度を向上させる。 【構成】 複数個のつなぎ目１１’を有する走行路１０
と、この走行路１０に跨座して設けられエアベアリング
の作用によって浮上しリニアモータによって走行する走
行台車とからなる搬送装置において、前記走行台車に走
行路面を台車下面とのクリアランスを非接触で計測する
変位センサを搭載した計測用台車を走行路全長にわたっ
て走行させる。走行路１０には段差測定に必要なクリア
ランス計測位置であることを計測用台車に指示するため
の標識２０が設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置の走行路に係
り、特にクリーンルーム等において走行台車をエアベア
リングによって浮上しつつ走行させる搬送装置におい
て、走行路の段差を計測する計測用台車が段差を正確に
計測できるようにした搬送装置の走行路に関する。
り、特にクリーンルーム等において走行台車をエアベア
リングによって浮上しつつ走行させる搬送装置におい
て、走行路の段差を計測する計測用台車が段差を正確に
計測できるようにした搬送装置の走行路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば半導体製造工場等のク
リーンルーム内におけるウエハ搬送装置として、上面及
び両側面から圧縮空気を噴出させる走行路と、この走行
路に跨座して配置された走行台車とからなり、走行台車
が走行路よりの噴気によて浮上しつつ、走行路及び走行
台車とによって構成されたリニアモータの推力によって
走行する搬送装置が実施化されている。そして、前記走
行路は省スペースのため建屋の天井付近に懸架されてい
る。
リーンルーム内におけるウエハ搬送装置として、上面及
び両側面から圧縮空気を噴出させる走行路と、この走行
路に跨座して配置された走行台車とからなり、走行台車
が走行路よりの噴気によて浮上しつつ、走行路及び走行
台車とによって構成されたリニアモータの推力によって
走行する搬送装置が実施化されている。そして、前記走
行路は省スペースのため建屋の天井付近に懸架されてい
る。
【０００３】前記搬送装置は走行路と走行台車の占有面
積が小さく、高速でしかも無塵搬送ができるという利点
があるが、その反面、走行路の据付場所は高所、狭所に
あって高精度の平面度、水平度が要求される。従ってそ
の据付、調整に多くの工数を要するほか、保守、点検も
困難である。
積が小さく、高速でしかも無塵搬送ができるという利点
があるが、その反面、走行路の据付場所は高所、狭所に
あって高精度の平面度、水平度が要求される。従ってそ
の据付、調整に多くの工数を要するほか、保守、点検も
困難である。
【０００４】また地盤沈下等により建屋が歪むと、走行
路のつなぎ目にも段差や捩れが発生し、これにより走行
台車が擦過して発塵したり停止することになる。これら
の難点に対して、走行路側全長にわたってセンサを多数
配設し、走行路の不特定場所で発生する歪や走行台車と
走行路面とのクリアランスを走行路全長にわたって監視
するようにしている。しかし走行路全長が長くなると前
記監視も極めて困難となる。このため次のような手段が
とられている。
路のつなぎ目にも段差や捩れが発生し、これにより走行
台車が擦過して発塵したり停止することになる。これら
の難点に対して、走行路側全長にわたってセンサを多数
配設し、走行路の不特定場所で発生する歪や走行台車と
走行路面とのクリアランスを走行路全長にわたって監視
するようにしている。しかし走行路全長が長くなると前
記監視も極めて困難となる。このため次のような手段が
とられている。
【０００５】即ち前記走行台車に走行台車と走行路面と
の相対的な変位を測定する非接触式変位センサを被搬送
物に替えて搭載した計測用台車を用意し、この計測用台
車を走行路全長にわたって走行させて台車下面と走行路
面とのクリアランスを自動測定し、この測定結果によっ
て走行路のつなぎ目段差、歪等を計測するようにしてい
る。
の相対的な変位を測定する非接触式変位センサを被搬送
物に替えて搭載した計測用台車を用意し、この計測用台
車を走行路全長にわたって走行させて台車下面と走行路
面とのクリアランスを自動測定し、この測定結果によっ
て走行路のつなぎ目段差、歪等を計測するようにしてい
る。
【０００６】一方、前記走行路は軽量化のためアルミニ
ウム等の成形品を使用しており、走行路の表面には、数
ミクロンメートルの平坦度を得るために、精密加工が施
され、鏡面状に仕上げられている。または、走行路の表
面には走行台車の擦過に対する強度を増すために、アル
マイト処理が施され、アルマイト被膜が形成されてい
る。
ウム等の成形品を使用しており、走行路の表面には、数
ミクロンメートルの平坦度を得るために、精密加工が施
され、鏡面状に仕上げられている。または、走行路の表
面には走行台車の擦過に対する強度を増すために、アル
マイト処理が施され、アルマイト被膜が形成されてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、走行路
表面が鏡面状になっていると、僅かな疵や汚れによって
光の反射状態が大きく変化するため、非接触式変位セン
サとして光学式変位計を使用すると誤差が大きくなると
いう欠点があった。
表面が鏡面状になっていると、僅かな疵や汚れによって
光の反射状態が大きく変化するため、非接触式変位セン
サとして光学式変位計を使用すると誤差が大きくなると
いう欠点があった。
【０００８】また、走行路表面がアルマイト被膜の場合
には、前記クリアランスが普通８０〜１００ミクロンメ
ートルであるのに対し、その表面に拾数ミクロンメート
ルという厚い絶縁被膜が形成されるため、非接触式変位
センサとして静電容量式変位計を使用すると、この絶縁
被膜の厚さの変位により測定誤差が生じるという欠点が
あった。
には、前記クリアランスが普通８０〜１００ミクロンメ
ートルであるのに対し、その表面に拾数ミクロンメート
ルという厚い絶縁被膜が形成されるため、非接触式変位
センサとして静電容量式変位計を使用すると、この絶縁
被膜の厚さの変位により測定誤差が生じるという欠点が
あった。
【０００９】本発明は上記の点に鑑みて創案されたもの
で、走行路に簡単な施工を施すことにより、走行路の段
差の計測精度を向上するようにした搬送装置の走行路を
提供することを目的としている。
で、走行路に簡単な施工を施すことにより、走行路の段
差の計測精度を向上するようにした搬送装置の走行路を
提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送装置の
走行路は、複数個のつなぎ目を有する走行路と、この走
行路に跨座して設けられエアベアリングの作用によって
浮上しつつリニアモータによって走行する走行台車とか
らなる搬送装置において、前記走行台車に走行路面と台
車下面とのクリアランスを非接触で計測する変位センサ
を搭載し、かつ、前記走行路全長にわたって走行せしめ
る計測用台車に対し、走行路の段差測定に必要なクリア
ランス計測位置であることを指示するための標識を前記
走行路の所定位置に設けたことを特徴とする搬送装置の
走行路としている。
走行路は、複数個のつなぎ目を有する走行路と、この走
行路に跨座して設けられエアベアリングの作用によって
浮上しつつリニアモータによって走行する走行台車とか
らなる搬送装置において、前記走行台車に走行路面と台
車下面とのクリアランスを非接触で計測する変位センサ
を搭載し、かつ、前記走行路全長にわたって走行せしめ
る計測用台車に対し、走行路の段差測定に必要なクリア
ランス計測位置であることを指示するための標識を前記
走行路の所定位置に設けたことを特徴とする搬送装置の
走行路としている。
【００１１】また、前記標識は鏡面仕上げされたつなぎ
目端面より所定の距離にわたって設けられ、走行路表面
に塗装又は非鏡面加工を施して形成されており、かつ、
前記変位センサは光学式変位計であるものを含んでい
る。さらに前記標識はアルマイト加工されたつなぎ目端
面より所定の距離にわたって走行路表面を切欠いてアル
マイト非被膜を除去して形成されており、かつ、前記変
位センサは静電容量式変位計であるものを含んでいる。
目端面より所定の距離にわたって設けられ、走行路表面
に塗装又は非鏡面加工を施して形成されており、かつ、
前記変位センサは光学式変位計であるものを含んでい
る。さらに前記標識はアルマイト加工されたつなぎ目端
面より所定の距離にわたって走行路表面を切欠いてアル
マイト非被膜を除去して形成されており、かつ、前記変
位センサは静電容量式変位計であるものを含んでいる。
【００１２】
【作用】走行路を走行中の計測用台車に設けた変位セン
サによって、つなぎ目の両端部に設けた２箇所の標識を
検出し、当該標識上でのクリアランスの計測値を比較し
てつなぎ目の段差を測定する。
サによって、つなぎ目の両端部に設けた２箇所の標識を
検出し、当該標識上でのクリアランスの計測値を比較し
てつなぎ目の段差を測定する。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る搬送装置
の走行路（以下本発明走行路という）の一実施例を説明
する。図１は鏡面仕上げをした走行路のつなぎ目に設け
た塗装標識を示す説明図で、図１（Ａ）は上面平面図、
図１（Ｂ）は側面図、図２は図１に於て非鏡面加工を施
した標識を示す説明図で、図２（Ａ）は上面平面図、図
２（Ｂ）は側面図である。
の走行路（以下本発明走行路という）の一実施例を説明
する。図１は鏡面仕上げをした走行路のつなぎ目に設け
た塗装標識を示す説明図で、図１（Ａ）は上面平面図、
図１（Ｂ）は側面図、図２は図１に於て非鏡面加工を施
した標識を示す説明図で、図２（Ａ）は上面平面図、図
２（Ｂ）は側面図である。
【００１４】図３はアルマイト加工した走行路つなぎ目
よりアルマイト被膜を切除して形成した標識を示す説明
図で図３（Ａ）は上面平面図、図３（Ｂ）は切除前の側
面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）の側面図、図４は図３に
於てアルマイト被膜を切欠して形成した標識を示す説明
図で、図４（Ａ）は上面平面図、図４（Ｂ）は切欠前の
側面図、図４（Ｃ）は図４の側面図である。
よりアルマイト被膜を切除して形成した標識を示す説明
図で図３（Ａ）は上面平面図、図３（Ｂ）は切除前の側
面図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）の側面図、図４は図３に
於てアルマイト被膜を切欠して形成した標識を示す説明
図で、図４（Ａ）は上面平面図、図４（Ｂ）は切欠前の
側面図、図４（Ｃ）は図４の側面図である。
【００１５】図５は計測用台車および計測装置の構成を
示す説明図、図６は測定方法を例示する説明図で、図６
（Ａ）は走行路に対する測定位置の経時変化説明図、図
６（Ｂ）は図６（Ａ）に対応した変位センサの検知波形
例示図である。
示す説明図、図６は測定方法を例示する説明図で、図６
（Ａ）は走行路に対する測定位置の経時変化説明図、図
６（Ｂ）は図６（Ａ）に対応した変位センサの検知波形
例示図である。
【００１６】本発明走行路は従来の技術で述べたものと
同様に所定長を有するアルミニウム等の成形品よりな
り、これを所定長にわたってつなぎ合わせ、つなぎ目が
形成されている。
同様に所定長を有するアルミニウム等の成形品よりな
り、これを所定長にわたってつなぎ合わせ、つなぎ目が
形成されている。
【００１７】前記走行路の表面は精密加工仕上げによっ
て数ミクロンメートルの平坦度を有する鏡面状に仕上げ
られており、または前記表面にアルマイト処理が施さ
れ、アルマイト被膜が形成されている。
て数ミクロンメートルの平坦度を有する鏡面状に仕上げ
られており、または前記表面にアルマイト処理が施さ
れ、アルマイト被膜が形成されている。
【００１８】そして、走行路１０（以下走行路を総称す
るときのみ符号１０を用いる。）のつなぎ目端面より所
定距離にわたって標識２０（以下標識を総称するときの
み符号２０を用いるものとする）が設けられている。以
下標識２０の一実施例を説明する。
るときのみ符号１０を用いる。）のつなぎ目端面より所
定距離にわたって標識２０（以下標識を総称するときの
み符号２０を用いるものとする）が設けられている。以
下標識２０の一実施例を説明する。
【００１９】図１に於て、１１は表面が鏡面状に加工さ
れた走行路で、２１はつなぎ目１１’の上端面より所定
距離にわたって設けられた標識（図示例では２個）であ
る。前記標識２１は鏡面状上面に適宜塗料を用いて所定
膜厚でもって適宜形状に塗装し、当該部分が非鏡面化さ
れている。
れた走行路で、２１はつなぎ目１１’の上端面より所定
距離にわたって設けられた標識（図示例では２個）であ
る。前記標識２１は鏡面状上面に適宜塗料を用いて所定
膜厚でもって適宜形状に塗装し、当該部分が非鏡面化さ
れている。
【００２０】図２は他の実施例を示すもので、同一部品
は同一の符号を使用して説明する。１１は走行路、２２
はつなぎ目１１’の上面所定位置に設けられた標識であ
る。前記標識２２は鏡面状上面を所定距離にわたって切
欠いて適宜形状の切欠面を形成し、この切欠面を所定膜
厚の塗装又は適宜機械加工によって非鏡面化されてい
る。
は同一の符号を使用して説明する。１１は走行路、２２
はつなぎ目１１’の上面所定位置に設けられた標識であ
る。前記標識２２は鏡面状上面を所定距離にわたって切
欠いて適宜形状の切欠面を形成し、この切欠面を所定膜
厚の塗装又は適宜機械加工によって非鏡面化されてい
る。
【００２１】図３は前記と異なる実施例を示すもので、
走行路片側は図示を省略している。図に於て、１２は表
面がアルマイト加工された走行路で、つなぎ目１２’の
端面近傍部には上面が突出した突縁１２ａが形成されて
いる。標識２３は前記突縁１２ａを機械加工等により切
除し、アルマイト被膜１３を除去して形成されており、
非アルマイト面１４が露出している。
走行路片側は図示を省略している。図に於て、１２は表
面がアルマイト加工された走行路で、つなぎ目１２’の
端面近傍部には上面が突出した突縁１２ａが形成されて
いる。標識２３は前記突縁１２ａを機械加工等により切
除し、アルマイト被膜１３を除去して形成されており、
非アルマイト面１４が露出している。
【００２２】図４は図３の異なる実施例を示すもので、
同一部品は同一の符号を使用して説明する。１２は走行
路、標識２４は走行路表面の一部を切欠いてアルマイト
被膜１３を除去して形成されており、非アルマイト面１
４が露出している。
同一部品は同一の符号を使用して説明する。１２は走行
路、標識２４は走行路表面の一部を切欠いてアルマイト
被膜１３を除去して形成されており、非アルマイト面１
４が露出している。
【００２３】次に図５を参照して前記走行路１０と組み
合わされて使用される計測用台車３０を説明する。計測
用台車３０は図外の走行台車と同じ台車で、これに載置
される被搬送物に替えて非接触変位センサ３１と、デー
タロガー３２とが搭載されている。図中１５は走行路１
０より圧搾空気を噴出させる噴気孔である。
合わされて使用される計測用台車３０を説明する。計測
用台車３０は図外の走行台車と同じ台車で、これに載置
される被搬送物に替えて非接触変位センサ３１と、デー
タロガー３２とが搭載されている。図中１５は走行路１
０より圧搾空気を噴出させる噴気孔である。
【００２４】前記非接触変位センサ３１は前記台車下面
と走行路面とのクリアランスを計測するものであり、デ
ータロガー３２は前記非接触変位センサ３１によって計
測されたデータを蓄積記憶するとともに、蓄積されたデ
ータを固定側ステーションＳに伝達するように構成され
ている。なお、前記ステーションでは伝送されたデータ
を解析するパソコン４０と、パソコン４０出力に基づい
てグラフ表示するプリンタ４１が設けられている。
と走行路面とのクリアランスを計測するものであり、デ
ータロガー３２は前記非接触変位センサ３１によって計
測されたデータを蓄積記憶するとともに、蓄積されたデ
ータを固定側ステーションＳに伝達するように構成され
ている。なお、前記ステーションでは伝送されたデータ
を解析するパソコン４０と、パソコン４０出力に基づい
てグラフ表示するプリンタ４１が設けられている。
【００２５】前記非接触変位センサ３１は前記標識２０
と対向する位置に設けられ（図示例では２個）、光学式
変位計又は静電容量式変位計が用いられる。光学式変位
計は被測定物にレーザ光を照射し、その輝点の位置を受
光レンズを通してイメージセンサに結像させることによ
り被測定物の変位を検出するように構成されている。
と対向する位置に設けられ（図示例では２個）、光学式
変位計又は静電容量式変位計が用いられる。光学式変位
計は被測定物にレーザ光を照射し、その輝点の位置を受
光レンズを通してイメージセンサに結像させることによ
り被測定物の変位を検出するように構成されている。
【００２６】また前記静電容量式変位計は被測定物の変
位による静電容量の変化を電圧で検出するもので、いず
れも広く実施化されているものである。
位による静電容量の変化を電圧で検出するもので、いず
れも広く実施化されているものである。
【００２７】次に本発明走行路の作用について説明す
る。走行路に非鏡面状にした標識２１、２２を設けた場
合（図１、図２参照）は光学式変位計と組み合わせて用
い、非アルマイト状にした標識２３、２４（図３、図４
参照）を設けた場合には静電容量式変位計と組み合わせ
て用いる。
る。走行路に非鏡面状にした標識２１、２２を設けた場
合（図１、図２参照）は光学式変位計と組み合わせて用
い、非アルマイト状にした標識２３、２４（図３、図４
参照）を設けた場合には静電容量式変位計と組み合わせ
て用いる。
【００２８】前記いずれの場合も作用は同じであり、以
下変位センサ３１に静電容量式変位計を用いた場合につ
いて図５、図６を参照して説明する。図中１０１、１０
２はつなぎ目１０１を挟む走行路、２０１、２０２は走
行路１０１、１０２に設けた標識である。 計測用台車３０が走行路１０１を走行中、台車下面と
走行路上までのクリアランスｄ1 を変位センサ３１によ
って検出し、この検出結果がデータロガー３２に入力さ
れ記憶される。
下変位センサ３１に静電容量式変位計を用いた場合につ
いて図５、図６を参照して説明する。図中１０１、１０
２はつなぎ目１０１を挟む走行路、２０１、２０２は走
行路１０１、１０２に設けた標識である。 計測用台車３０が走行路１０１を走行中、台車下面と
走行路上までのクリアランスｄ1 を変位センサ３１によ
って検出し、この検出結果がデータロガー３２に入力さ
れ記憶される。
【００２９】計測用台車３０がさらに走行し、標識２
０１上に達すると、台車下面と標識２０１とのクリアラ
ンスｄ2 を検出し、データロガー３２に入力記録され
る。この際２０１は非アルマイト面で形成されているの
で、絶縁被膜によって誤差を生ずることなく正確に計測
される。 計測用台車３０がさらに走行してつなぎ目１０’を通
過し走行路１０２の標識２０２上に達し、クリアランス
ｄ3 を検出し入力される。この際表記２０２は前記と同
様に非アルマイト面で形成されているので、正確に計測
される。
０１上に達すると、台車下面と標識２０１とのクリアラ
ンスｄ2 を検出し、データロガー３２に入力記録され
る。この際２０１は非アルマイト面で形成されているの
で、絶縁被膜によって誤差を生ずることなく正確に計測
される。 計測用台車３０がさらに走行してつなぎ目１０’を通
過し走行路１０２の標識２０２上に達し、クリアランス
ｄ3 を検出し入力される。この際表記２０２は前記と同
様に非アルマイト面で形成されているので、正確に計測
される。
【００３０】計測用台車３０が標識２０２を通過し、
前記に準じ走行路上よりのクリアランスｄ4 を検出し入
力される。 前記のようにして、計測用台車３０が全走行路を一巡す
ると、データロガー３２よりパソコン４０にデータが転
送され、パソコン４０を介して走行路１０に於けるクリ
アランスｄがプリンタ４１にグラフ出力される。
前記に準じ走行路上よりのクリアランスｄ4 を検出し入
力される。 前記のようにして、計測用台車３０が全走行路を一巡す
ると、データロガー３２よりパソコン４０にデータが転
送され、パソコン４０を介して走行路１０に於けるクリ
アランスｄがプリンタ４１にグラフ出力される。
【００３１】前記したように、計測用台車３０が走行路
１０上の標識２０の部分を安定して検出するができるの
で、つなぎ目１０’を挟む２箇所の標識２０１、２０２
を検出して当該標識２０上に於けるクリアランスｄの計
測値を比較することにより、つなぎ目の段差Ｄを容易に
かつ、誤差なく計測することができる。
１０上の標識２０の部分を安定して検出するができるの
で、つなぎ目１０’を挟む２箇所の標識２０１、２０２
を検出して当該標識２０上に於けるクリアランスｄの計
測値を比較することにより、つなぎ目の段差Ｄを容易に
かつ、誤差なく計測することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明走行路には
計測用台車に対して走行路の段差測定に必要なクリアラ
ンス計測位置であることを指示するための標識を設けて
いる。前記標識は簡単な施工によって容易に走行路に設
けられるとともに、標識によって計測用台車によるクリ
アランス測定精度が向上する。従って走行路の経時変化
等を判定し、据付、保守を効果的に行うことができると
いう利点がある。
計測用台車に対して走行路の段差測定に必要なクリアラ
ンス計測位置であることを指示するための標識を設けて
いる。前記標識は簡単な施工によって容易に走行路に設
けられるとともに、標識によって計測用台車によるクリ
アランス測定精度が向上する。従って走行路の経時変化
等を判定し、据付、保守を効果的に行うことができると
いう利点がある。
【００３３】特にクリーンルーム等に使用される搬送装
置においては、据付後の人手ではできなかった狭いダク
ト内でも走行路全長にわたって段差、歪等が正確に計測
できる。従って的確な保守、点検、調整が容易となり、
走行路変形に起因する突然のシステムダウンにより生産
が中断したり、不良品が発生する率が減少する。
置においては、据付後の人手ではできなかった狭いダク
ト内でも走行路全長にわたって段差、歪等が正確に計測
できる。従って的確な保守、点検、調整が容易となり、
走行路変形に起因する突然のシステムダウンにより生産
が中断したり、不良品が発生する率が減少する。
【図１】本発明に係る図面であって、鏡面仕上げをした
走行路に形成された塗装標識を示す説明図で、図１Ａは
上面平面図、図１Ｂは側面図である。
走行路に形成された塗装標識を示す説明図で、図１Ａは
上面平面図、図１Ｂは側面図である。
【図２】図１に於て非鏡面加工を施した標識を示す説明
図であって、図２Ａは上面平面図、図２Ｂは側面図であ
る。
図であって、図２Ａは上面平面図、図２Ｂは側面図であ
る。
【図３】アルマイト加工した走行路に、アルマイト被膜
を切除して形成した標識を示す説明図で、図３Ａは上面
平面図、図３Ｂは切除前の側面図、図３Ｃは図３Ａの側
面図である。
を切除して形成した標識を示す説明図で、図３Ａは上面
平面図、図３Ｂは切除前の側面図、図３Ｃは図３Ａの側
面図である。
【図４】図３に於てアルマイト被膜を切欠して形成した
標識を示す説明図、図４Ａは上面平面図、図４Ｂは切欠
前の側面図、図４Ｃは図４Ａの側面図である。
標識を示す説明図、図４Ａは上面平面図、図４Ｂは切欠
前の側面図、図４Ｃは図４Ａの側面図である。
【図５】計測用台車及び計測装置の構成を示す説明図で
ある。
ある。
【図６】クリアランス測定方法を例示する説明図であっ
て、図６Ａは走行路に対する測定位置の経時変化説明
図、図６Ｂは図６Ａに対応した変位センサの検知被形例
示図である。
て、図６Ａは走行路に対する測定位置の経時変化説明
図、図６Ｂは図６Ａに対応した変位センサの検知被形例
示図である。
１０ 走行路 １１’つなぎ目 ２０ 標識 ３０ 計測台車 ３１ 非接触変位センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｂ 21/16 Ｇ０１Ｖ 9/00 Ｂ 9406−2Ｇ
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個のつなぎ目を有する走行路と、こ
の走行路に跨座して設けられエアベアリングの作用によ
って浮上しつつリニアモータによって走行する走行台車
とからなる搬送装置において、前記走行台車に走行路面
と台車下面とのクリアランスを非接触で計測する変位セ
ンサを搭載し、かつ、前記走行路全長にわたって走行せ
しめる計測用台車に対し、走行路の段差測定に必要なク
リアランス計測位置であることを指示するための標識を
前記走行路の所定位置に設けたことを特徴とする搬送装
置の走行路。 - 【請求項２】 前記標識は表面を鏡面仕上げされた走行
路のつなぎ目端面より所定の距離にわたって設けられ、
走行路表面に塗装又は非鏡面加工を施して形成されてお
り、かつ、前記変位センサは光学式変位計である請求項
（１）記載の搬送装置の走行路。 - 【請求項３】 前記標識は表面をアルマイト加工された
走行路のつなぎ目端面より所定の距離にわたって走行路
表面を切欠いてアルマイト被膜を除去して形成されてお
り、かつ、前記変位センサは静電容量式変位計である請
求項（１）記載の搬送装置の走行路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34162893A JPH07170615A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 搬送装置の走行路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34162893A JPH07170615A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 搬送装置の走行路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07170615A true JPH07170615A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=18347567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34162893A Pending JPH07170615A (ja) | 1993-12-09 | 1993-12-09 | 搬送装置の走行路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07170615A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100840730B1 (ko) * | 2001-08-03 | 2008-06-23 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 도포장치 |
| JP2008207755A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車の走行状況監視システム |
| JP2017043257A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
1993
- 1993-12-09 JP JP34162893A patent/JPH07170615A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100840730B1 (ko) * | 2001-08-03 | 2008-06-23 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 도포장치 |
| JP2008207755A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車の走行状況監視システム |
| JP2017043257A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
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