JPH06253411A - 空気浮上走行路の点検走行台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気浮上走行する台車の走行中に、台車の浮
上量・レールの段差発生等を容易に、かつ精度よく検出
する。 【構成】 上面及び側面に空気噴出孔を有する空気浮上
走行路４上に跨座し、走行路４からの噴気により浮上走
行する台車１の底面の少なくとも三隅角部以上もしくは
その近傍に走行路４の表面との距離を測定するセンサ７
を夫々配設する。そしてこの各センサ７による計測値に
より台車１の走行中に走行路４の表面と台車１の底面と
のクリアランス及び走行路４の継目における段差等を検
出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は空気浮上走行路上に跨座
し走行する台車の浮上走行中に、走行路と非接触で台車
の浮上量・レールの段差発生等を容易に、かつ精度よく
検出するのに適した空気浮上走行路の点検走行台車に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工場等においてウエハ
ー等の搬送品を搬送する場合、空気浮上走行路上に跨座
した台車を浮上させ、リニアモータで駆動する方式の搬
送装置がある。例えば図７、図８に示すようなものがあ
る。この走行路は省スペースのため建屋の天井付近に懸
架して設置されたダクト内に配設されており占有面積が
小さく、高速でしかも無塵搬送ができる利点がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし走行路は高所、
狭所で高精度の平面度や水平度が要求され、据え付け調
整に多くの工数を要し保守・点検も困難なこと、地盤沈
下などで建屋が歪むと浮上走行路継目部にも段差や捻れ
が発生し走行台車が擦過発塵したり停止するなどの問題
がある。また空気浮上走行路には数１０ｍｍのピッチで
噴気孔が多数穿設されているので、走行台車の底板先端
が噴気孔に進入する毎に上向きの力を受け、ピッチング
運動を起こし、これによって走行台車に取り付けたセン
サも揺動して走行路段差の高精度の検出が困難となって
いる。

【０００４】本発明は空気浮上走行台車の前後左右の少
なくとも三隅角部以上にセンサを突設して走行路との浮
上量・段差検出を高精度に行うことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、上面及び側面に空気噴出孔を
有する空気浮上走行路上に跨座し、走行路からの噴気に
より浮上走行する台車において、該台車底面の少なくと
も三隅角部以上もしくはその近傍に走行路表面との距離
を測定するセンサを夫々配設し、この各センサにより計
測値により台車走行中に走行路表面と台車底面とのクリ
アランス及び走行路の継目における段差等を検出するよ
うになしたことを要旨とする。

【０００６】

【作用】数１０ｍｍ間隔で噴気孔を穿孔した空気浮上走
行路上を跨座して浮上走行する台車の、前後左右の少な
くとも三隅角部もしくはその近傍にセンサを設けてい
る。そして噴気孔位置に台車底板先端にさしかかって台
車がピッチング動作をしても、その台車のピッチング動
作はほぼ台車の重心を中心に台車前後で逆方向になって
いるため、台車前後のセンサ出力値は異なる。しかしこ
の台車前後のセンサ出力を平均すれば台車がピッチング
運動を起こしても変動の少ない検出値を得られ、走行路
継目部等における段差部の検出も高精度に行えるものと
なる。

【０００７】

【実施例】以下本発明空気浮上走行路の点検走行台車を
図示の実施例にもとづいて説明する。図１において１は
浮上台車で、この浮上台車１は工場内等に設置された空
気浮上走行路４に跨座し、数１０ｍｍ間隔で穿孔された
噴気孔より噴射される空気圧にて浮上し、かつ走行路内
に設けたリニアモータ３にて所定速度にて走行するよう
になす。

【０００８】浮上台車１の荷台１１の下面には走行路側
のリニアモータ３にて推力を受け、浮上台車を走行させ
るリアクションプレート２を一体に設けるとともに、こ
の荷台１１に計測用の電源となるバッテリー１０、デー
タロガー９、センサアンプ８を搭載し、さらに荷台１１
の前後部の左右の少なくとも三隅角部以上にセンサ台１
２を夫々突設し、この各センサ台１２に走行路路上面の
変位を計測するセンサ７を設ける。

【０００９】この各センサ台１２に取り付けられたセン
サ７はリアクションプレート２の左右前後端より前方及
び後方数１０ｍｍの位置の走行路との間隔を測定できる
ように設け、これにより走行路の継目に浮上台車１が達
っし、ピッチング動作を起こしても前後のセンサにより
検出の平均値にて走行路継目での段差を高精度に測定で
きるようになす。

【００１０】空気浮上走行路４は予め定めた長さのもの
を互いにその端面を突き合わせるようにして連結して所
望長ルートの走行路を形成するもので、この定尺走行路
部材はジョイント部材またはターンテーブルなどを介し
て連繋される。

【００１１】次に本発明を図１に示すように走行台車の
前端左右と、後端の一箇所の計三箇所の位置にセンサ７
を設けた実施例にもとづいてその動作を図４、図５、図
６を参照して説明する。

【００１２】センサ取付点Ａ，Ｂ，Ｃで規定される長方
形をした台車の平面を平面ＡＢＣＤとし、着地時のセン
サ出力を零、浮上時のセンサ出力をａ，ｂ，ｃとする。
また浮上体の重心は対角線ＡＣのほぼ中央になるように
荷重が調整されている。

【００１３】今、浮上走行路４に設けた噴気孔より圧搾
空気を噴出し、浮上走行路４に内蔵したリニアモータ固
定子３を励磁すると、アルミ合金等で成る台車の底板２
はリアクションプレートとして推力を発生し浮上状態で
走行路上を滑走する。

【００１４】走行路上には一定間隔で噴気口が開口して
おり、台車走行に伴って台車底板先端は断続的に浮上方
向の力を受けることになる。センサＡ，Ｃで検出される
量をａ，ｃとしてセンサ出力をプロットすると図６に示
すように台車はピッチング運動をしながら走行してい
る。データレコーダで（ａ＋ｂ）／２を出力すると、一
点鎖線で示すように重心の軌跡として脈動の少ない出力
が得られる。

【００１５】またセンサＡ，Ｂは台車底板１１より数１
０ｍｍ前方の左右に取り付けてあり、図５に示すように
走行路４１から走行路４２に乗り移る場合、走行路４１
上の浮上状態において走行路４２との浮上距離が計測で
きるようになっている。

【００１６】ジョイント上面は走行路４１，４２の上面
より下げて取り付けてあるので、計測値が急変しジョイ
ント部が特定でき、かつ台車速度は

【００１７】

【式１】

【００１８】として求められるので、時間軸上で移動距
離を知ることができ、乗り移り先の走行路噴気の影響を
受けない区間においてジョイント前後の測定値を比較す
ることができる。

【００１９】

【式２】

【００２０】この段差とＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ点の最小浮上量
と比較することで、走行路と接触しないような走行路の
据え付けや保守・点検が効果的に行える。

【００２１】

【発明の効果】本発明空気浮上走行路の点検走行台車は
上面及び側面に空気噴出孔を有する空気浮上走行路上に
跨座し、走行路からの噴気により浮上走行する台車にお
いて、該台車底面の少なくとも三隅角部以上もしくはそ
の近傍に走行路表面との距離を測定するセンサを夫々配
設し、この各センサにより計測値により台車走行中に走
行路表面と台車底面とのクリアランス及び走行路の継目
における段差等を検出するようになしたため、走行路と
のクリアランス及び段差を高精度に計測できる利点があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明空気浮上走行路の点検走行台車の平面図
である。

【図２】同側面図である。

【図３】同正面図である。

【図４】走行台車の浮上量測定状態を示す説明図であ
る。

【図５】段差のある走行路を乗り移るときの測定状態を
示す説明図である。

【図６】走行台車が継目を通過する前後の浮上量測定値
の線図である。

【図７】公知例の説明図である。

【図８】公知例の説明図である。

【符号の説明】

１ 走行台車 ２ リアクションプレート ３ リニアモータ ４ 空気浮上走行路 ７ センサ １１ 荷台 １２ センサ台

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面及び側面に空気噴出孔を有する空気
   浮上走行路上に跨座し、走行路からの噴気により浮上走
   行する台車において、該台車底面の少なくとも三隅角部
   以上もしくはその近傍に走行路表面との距離を測定する
   センサを夫々配設し、この各センサによる計測値により
   台車走行中に走行路表面と台車底面とのクリアランス及
   び走行路の継目における段差等を検出するようになした
   ことを特徴とする空気浮上走行路の点検走行台車。