JP6696454B2 - 検査システム - Google Patents

Description

本発明は、検査システムに関する。

例えば物品を製造する物品製造設備等において、工程間で材料や中間品を搬送するため、複数の車輪を有し予め定められた走行経路に沿って走行する搬送車が利用されている。このような搬送車では、経時による車体各部の劣化が避けられないため、例えば不具合の発生を未然に防ぐ等の目的で、搬送車を対象とする検査が実施されることが好ましい。その際、検査効率の観点からは、そのような検査が自動で実施されるようになっていることが好ましい。

例えば特開２００５−６１９３３号公報（特許文献１）には、搬送車〔トロリ２〕に備わっている車輪の軸受部〔ローラ５を支持する軸受部６〕について、その劣化の程度を自動で検査する検査システム〔軸受部劣化検査装置１〕が開示されている。特許文献１の検査システムでは、搬送車が走行する左右のレールに偏向斜面を設けるとともに、当該偏向斜面を通過する車輪〔ローラ５〕の側面に向けて斜め上方から光を照射し、その照射光の光軸の傾きを測定することによって軸受部の劣化の程度を検査している。

しかし、劣化の程度が搬送車の走行に影響し得るものとして検査すべき対象は、軸受部に限られない。例えば車輪の摩耗が進むと、車輪の外径が小さくなることによって推定走行距離に比べて実走行距離が短くなり、搬送車の制御精度（例えば停止精度）が低下する場合がある。この点、特許文献１には、車輪の摩耗の程度を検査する必要性に関する記載はないし、当然ながら、それをどのように検査するかに関する記載も一切存在しない。

特開２００５−６１９３３号公報

走行経路に沿って走行する搬送車を対象として、当該搬送車に設けられる車輪の摩耗の程度を効率的に検査することができる検査システムの実現が望まれる。

本開示に係る検査システムは、
複数の車輪を有し予め定められた走行経路に沿って走行する搬送車を対象として、前記車輪の劣化の程度を検査する検査システムであって、
複数の前記車輪のそれぞれの側面に付された、前記車輪毎に固有の識別マークと、
前記走行経路を走行する前記搬送車の前記車輪を、当該車輪の全体像が撮影範囲内に収まるように前記走行経路の側方から撮影する撮影装置と、
前記撮影装置によって得られる前記車輪の側面の画像データに基づき、前記画像データに対する画像処理によって前記車輪の外径を検出し、その検出値に基づいて前記車輪の摩耗の程度を検査するとともに、前記画像データの中から前記識別マークを検出することにより、検査対象となった前記車輪の個体特定を行う検査部と、を備える。

この構成によれば、識別マークが付された車輪の側面を走行経路の側方に設置された撮影装置で撮影するだけで、得られた画像データに基づいて、画像データに対する画像処理技術や、画像データ中の特定のマークの読取技術を利用して、車輪の個体特定を行いつつその車輪の摩耗の程度を検査することができる。よって、個々の車輪についての摩耗の程度を効率的に検査して、その結果を当該車輪に関連付けることができる。また、共通の撮影装置で撮影される画像データに基づいて摩耗検査と個体特定との両方を行うことが可能なので、そのような場合にはシステム構成の簡素化を図ることができる。

本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。

検査システムが組み込まれた物品搬送設備における搬送経路を示す模式図 天井搬送車の側面図 検査位置における天井搬送車の正面図 搬送経路の分岐点での天井搬送車の状態を示す平面図 天井搬送車の各車輪の側面の様子を示す模式図 制御システムのブロック図 車輪の摩耗検査の原理を示す模式図 別態様の天井搬送車の各車輪の側面の様子を示す模式図 別態様の検査システムの模式図 別態様の天井搬送車の各車輪の側面の様子を示す模式図

検査システムの実施形態について説明する。本実施形態では、一例として、例えば各種製品の製造設備（工場）等で用いられる物品搬送設備２に組み込まれた検査システム１について説明する。物品搬送設備２は、複数の車輪１３を有し予め定められた走行経路Ｒに沿って走行する搬送車１０を備えている。検査システム１は、その搬送車１０を対象として、当該搬送車１０に備えられた車輪１３の劣化の程度を検査する。以下、本実施形態の検査システム１及び物品搬送設備２について、詳細に説明する。

まず、物品搬送設備２の主要な構成について説明する。図１〜図４に示すように、物品搬送設備２は、走行経路Ｒに沿って配設された走行レール６と、走行レール６に沿って走行して物品Ａを搬送する搬送車１０とを備えている。製造設備は複数のベイ（工程）を有しており、走行経路Ｒ（搬送車１０の走行経路）は、ベイ毎に設けられたベイ内経路Ｒａと、複数のベイ内経路Ｒａどうしを接続するベイ間経路Ｒｅとを含んで構成されている。ベイ内経路Ｒａに沿って複数の処理装置２１が設けられている。それぞれの処理装置２１に隣接し、かつ、走行レール６と上下方向に重複する位置（本例では走行レール６の直下となる位置）に、載置台２２が設けられている。処理装置２１は、例えば半導体基板の加工等を行う半導体処理装置等であって良い。

図３に示すように、走行レール６は、左右一対設けられて天井から吊り下げ支持されている。搬送車１０は、この走行レール６の上面を走行するように構成されている。すなわち、本実施形態の搬送車１０は、有軌道式の天井搬送車として構成されている。走行経路Ｒの分岐点には、案内レール８が設置されている（図４も参照）。案内レール８は、左右一対の走行レール６の幅方向の中央位置において、走行レール６よりも上方に設置されている。案内レール８は、分岐点において二股状に設けられている。

図２及び図３に示すように、搬送車１０は、走行体１１と移載ユニット１７とを備えている。走行体１１は、車体本体１２と、この車体本体１２に回転自在に支持された複数の車輪１３とを有する。車体本体１２は、前後一対設けられている。車輪１３は、前後一対の車体本体１２のそれぞれにおいて、左右一対設けられている。こうして、本実施形態の走行体１１は、右前輪、左前輪、右後輪、及び左後輪の計４つの車輪１３を備えている。車輪１３は走行レール６上を転動する。複数の車輪１３のうちの少なくとも１つは、駆動モータによって回転駆動される駆動輪であり、搬送車１０に推進力を付与する。

走行体１１は、ガイドローラ１４をさらに有している。ガイドローラ１４は、下部ローラ１４Ｄと上部ローラ１４Ｕとを含む。下部ローラ１４Ｄは、車体本体１２よりも下方において、当該車体本体１２に回転自在に支持されている。下部ローラ１４Ｄは、走行レール６の側面に接して転動する。上部ローラ１４Ｕは、車体本体１２よりも上方において、当該車体本体１２に設けられた切替機構に回転自在に支持されている。切替機構は、上部ローラ１４Ｕの位置を左右に切替自在に構成されている。上部ローラ１４Ｕは、走行経路Ｒの分岐点において、切替機構の状態に応じて、案内レール８のいずれかの側面に接して転動する。

前後一対の車体本体１２のそれぞれに連結軸１５が連結されており、これらの連結軸１５を介して、走行体１１に本体ケース１６が吊り下げ支持されている。本体ケース１６の内部には、物品Ａを把持して当該物品Ａの移載動作を行う移載ユニット１７が収容されている。移載ユニット１７は、物品Ａを把持した状態で、当該物品Ａを昇降自在に構成されている。

このような物品搬送設備２において、搬送車１０は、走行経路Ｒ（走行レール６）に沿って走行して、異なる載置台２２どうしの間で物品Ａを搬送する。上述したように処理装置２１が半導体処理装置である場合には、物品Ａは、例えば半導体基板を収容する容器（Front Opening Unified Pod；ＦＯＵＰ）等であると良い。

搬送車１０の車輪１３は、経時により（より具体的には、累積走行距離が長くなるに従い）摩耗して擦り減っていく。車輪１３の摩耗が進むと、車輪１３の外径が小さくなることにより、当該車輪１３の回転角に基づいて推定される推定走行距離に比べて、実走行距離が短くなってしまう。その結果、搬送車１０の制御精度（例えば停止精度）が低下してしまう。また、車輪１３の摩耗がある程度進むと、さらに摩耗が進みやすくなり、塵挨の発生量が増加する可能性がある。

そこで、本実施形態の物品搬送設備２には、搬送車１０を対象として、当該搬送車１０に備えられた車輪１３の劣化の程度（具体的には、摩耗の程度）を検査する検査システム１が組み込まれている。検査システム１は、車輪１３の摩耗の程度を自動で検査することができるように構成されている。検査システム１は、走行レール６の近傍に設置された撮影装置３２（図３を参照）と、搬送車１０が有する複数の車輪１３のそれぞれの側面に付された識別マーク４０（図５を参照）と、摩耗検査の実体的な処理を行う検査部５４（図６を参照）とを備えている。なお、検査部５４は、検査用のプログラム（アプリケーション）がインストールされたコンピュータで構成することができる。

図３に示すように、走行レール６（走行経路Ｒ）の両側方における当該走行レール６と同じ高さの位置に、支持台３１がそれぞれ設置されている。これらの両側方の支持台３１に、撮影装置３２が、走行レール６側を向く（すなわち、走行レール６側を撮影可能となる）ようにそれぞれ設置されている。撮影装置３２は、走行経路Ｒに沿って走行する搬送車１０の車輪１３を、走行経路Ｒの側方から撮影する。撮影装置３２は、走行経路Ｒを走行する搬送車１０の車輪１３の全体像が、当該撮影装置３２の撮影範囲Ｓ（図７を参照）内に収まるように設置されている。撮影装置３２としては、例えば１００万程度の画素数で１秒間に２０００コマ以上の撮影が可能な、高速度カメラを用いることができる。もちろん、そのようなスペックは必須ではなく、撮影装置３２の性能は要求レベルに応じて適宜設定されて良い。

撮影装置３２の設置位置は特に限定されず、走行経路Ｒにおける任意の位置に撮影装置３２を設置することができる。但し、走行経路Ｒがループ状に形成されて直線区間とカーブ区間とを含む場合において、設置スペースの確保の観点からは、撮影装置３２は直線区間に設置されると好適である。また、各搬送車１０の車輪１３を撮影する際の効率の観点からは、撮影装置３２は、ベイ内経路Ｒａに比べてより多くの搬送車１０が走行し得るベイ間経路Ｒｅに設置されると好適である。

また、撮影装置３２は、走行経路Ｒにおける搬送車１０の予め定められた停止位置Ｐ（図１を参照）に設置されていると好適である。物品搬送設備２では、例えばベイ間経路Ｒｅからベイ内経路Ｒａへの分岐点の手前に、これから進入しようとしているベイ内経路Ｒａに他の搬送車１０が存在する場合に搬送車１０が停止して待機する待機位置Ｗ（図１を参照）が設定される場合がある。このような待機位置Ｗが、停止位置Ｐの一例として例示される。撮影装置３２は、複数箇所に設定される待機位置Ｗ（停止位置Ｐ）のうちのいずれかの箇所に設置されていると好適である。撮影装置３２の設置位置は、“検査位置”と称することもできる。

撮影装置３２は、通信ケーブル３３を介して検査部５４に接続されている。すなわち、撮影装置３２と検査部５４との情報通信は、有線通信によって行われる。撮影装置３２で撮影された搬送車１０の車輪１３の側面を含む画像データＩ（図７を参照）は、通信ケーブル３３を介した有線通信によって検査部５４に伝送される。撮影装置３２が、物品搬送設備２が設置された建屋における制御室又はサーバー室から最も近い位置にある待機位置Ｗ（停止位置Ｐ）に設置されれば、有線ＬＡＮ（Local Area Network）の構築が比較的容易となるので好ましい。

図３に示すように、左右一対の走行レール６の一方の下面には、下向きに突出する支持部材３５が固定されている。支持部材３５は、走行経路Ｒ（走行レール６）に沿って見てコの字状（角張ったＵ字状）をなすように形成されている。この支持部材３５には、例えば投光部と受光部との組からなる光センサ３６（図３では図示省略、図６を参照）が固定されている。コの字状の支持部材３５の一方の支持脚に投光部が固定され、他方の支持脚に受光部が固定されている。

一方、搬送車１０の本体ケース１６の上面には、上向きに突出する不透明の遮蔽板３８が固定されている。遮蔽板３８は、走行レール６に固定されたコの字状の支持部材３５の一対の支持脚の間を通過可能となるように固定されている。搬送車１０が走行経路Ｒ（走行レール６）に沿って走行し、支持部材３５を遮蔽板３８が通過すると、投光部からの光が遮蔽板３８によって遮光されて受光部で検出できなくなる。この現象を利用して、撮影装置３２は、受光部における検出から非検出への変化をトリガーとして、一定時間撮影を行うように構成されている。

図５に示すように、搬送車１０の車輪１３には、車輪１３毎に固有の識別マーク４０が付されている。識別マーク４０には、車輪１３毎に付与される識別番号（車輪ＩＤ）の情報が埋め込まれている。このような識別マーク４０として、本実施形態では２次元バーコード４１（ＱＲコード）が用いられている。２次元バーコード４１であれば、回転方向の傾きによらずに読取可能であるので、搬送車１０の走行中（車輪１３の回転中）であっても読取可能となるので好ましい。本実施形態では、全ての車輪１３に、識別マーク４０としての２次元バーコード４１が貼付されている。

また、２次元バーコード４１の貼付位置は特に限定されず、車輪１３の側面における任意の位置に２次元バーコード４１を貼付することができる。本実施形態では、２次元バーコード４１は、車輪１３の中心位置（車軸の位置）に貼付されている。このようにすれば、２次元バーコード４１の回転軌跡の径が小さく抑えられるので、狭い読取領域で２次元バーコード４１を精度良く読み取ることができて好ましい。

検査システム１及び物品搬送設備２の制御システムを図６に示す。この制御システムは、上位制御部５０と、搬送制御部５２と、検査部５４とを備えている。上位制御部５０は、搬送制御部５２及び検査部５４を統合制御する。搬送制御部５２は、搬送車１０の動作を制御する。本実施形態では、搬送制御部５２と搬送車１０との情報通信は無線通信によって行われる。搬送制御部５２で生成された搬送車１０の制御指令は、無線通信によって各搬送車１０に伝送される。

検査部５４は、撮影装置３２によって得られる車輪１３の側面の画像データＩに基づき、車輪１３の摩耗の程度を検査し、合わせて、検査対象となった車輪１３の個体特定を行う。このような機能を実現するため、検査部５４は、画像データ取得部５５と、個体特定部５６と、画像処理部５７と、判定部５８とを備えている。また、本実施形態では、検査部５４は、通知部５９をさらに備えているとともに、表示装置６０に接続されている。

画像データ取得部５５は、撮影装置３２によって得られる車輪１３の側面の画像データＩを取得する。画像データ取得部５５は、撮影装置３２が車輪１３の側面を撮影して画像データＩが生成されると、その画像データＩを通信ケーブル３３を介して受信して取得する。取得された画像データＩは、フラッシュメモリやハードディスク等の記憶装置に記憶されると良い。この車輪１３の側面の画像データＩ（図７を参照）は、当該車輪１３の摩耗の程度を検査するために用いられる。

個体特定部５６は、車輪１３の側面の画像データＩに基づき、検査対象となった車輪１３の個体特定を行う。図７における上段右側に示すように、個体特定部５６は、画像データＩ中の車輪１３の中心部を含む一定領域を対象として、読取処理を行う。車輪１３の中心部には識別マーク４０としての２次元バーコード４１の画像が含まれるので、個体特定部５６は、その２次元バーコード４１を読み取ることで当該車輪１３の識別番号の情報を取得し、その識別番号に基づいて検査対象の車輪１３を一意に特定する。なお、検査部５４には、物品搬送設備２に備えられる全ての搬送車１０が有する全ての車輪１３について、その所在（どの搬送車１０におけるどの位置の車輪であるか）の情報が、識別番号に関連付けて記憶されている。このため、個体特定部５６は、検査対象の車輪１３が、どの搬送車１０におけるどの位置の車輪であるかを特定することが可能となっている。

画像処理部５７は、車輪１３の側面の画像データＩに対する画像処理を行う。図７における下段に示すように、画像処理部５７は、例えば二値化処理やエッジ検出処理等を行うことにより、車輪１３の側面の画像データＩに含まれている車輪１３の輪郭線Ｅを抽出する。

判定部５８は、検査対象の車輪１３の摩耗の程度を判定する。判定部５８は、抽出された車輪１３の輪郭線Ｅの情報に基づき、検査対象の車輪１３の外径Ｄを演算によって取得し、当該推定値に基づいて検査対象の車輪１３の摩耗の程度を判定する。検査部５４には、各車輪１３の初期径の情報が記憶されている。判定部５８は、車輪１３の外径Ｄの推定値と、初期径よりも小さい値に予め設定された基準径との大小関係を比較し、推定値が基準径以下である場合に、当該車輪１３の摩耗が看過できない程度に進んでいると判定する。この場合、基準径は、例えば初期径の９５％〜９９％程度の外径に設定することができる。

１つの基準径だけが設定されるような構成に限定されることなく、複数の基準径が設定されても良い。例えば初期径よりも小さい値に予め設定された第一基準径と、その第一基準径よりもさらに小さい値に予め設定された第二基準径とが設定されても良い。この場合、判定部５８は、車輪１３の外径Ｄの推定値と第一基準径及び第二基準径のそれぞれとの大小関係を比較し、推定値が第一基準径以下である場合に当該車輪１３の摩耗が進みつつあると判定し、推定値が第二基準径以下である場合に当該車輪１３の摩耗が看過できない程度に進んでいると判定するように構成されても良い。この場合、第一基準径は、例えば初期径の９９％〜９９．５％程度の外径に設定することができ、第二基準径は、例えば初期径の９５％〜９９％程度の外径に設定することができる。

このように、本実施形態の検査システム１では、検査部５４は、撮影装置３２によって得られる車輪１３の側面の画像データＩに基づき、車輪１３の摩耗の程度を検査し、合わせて、検査対象となった車輪１３の個体特定を行う。より具体的には、検査部５４は、画像データＩに対する画像処理によって車輪１３の外径を検出し、その検出値に基づいて車輪１３の摩耗の程度を検査するとともに、画像データＩの中から識別マーク４０を検出することによって車輪１３の個体特定を行う。撮影装置３２で撮影して得られた画像データＩに基づいて、車輪１３の個体特定を行いつつその車輪１３の摩耗の程度を検査するので、個々の車輪１３について摩耗の程度を効率的に検査することができる。

通知部５９は、車輪１３の外径Ｄの推定値が基準径以下（或いは、第一基準径以下又は第二基準径以下）であると判定された場合に、それらに応じた内容の通知を行う。例えば通知部５９は、検査部５４を構成するコンピュータに接続されたモニタ等の表示装置６０に、対象の車輪１３の所在を特定しつつ、警告メッセージや注意喚起メッセージを表示する。警告メッセージは、例えば当該車輪１３を直ちに交換するように促すメッセージとすることができ、注意喚起メッセージは、例えば当該車輪１３について精密検査を受けるように促すメッセージとすることができる。通知部５９は、例えば当該車輪１３の外径Ｄの推定値や当該車輪１３の側面の画像データＩも、合わせて表示装置６０に表示しても良い。

このようにすれば、作業者による特別な作業時間をほとんど要することなく、摩耗が進んでいる車輪１３を早期に交換することができる。よって、車輪１３の摩耗に伴って搬送車１０の制御精度が低下するのを抑制することができ、また、塵挨の発生量を少なく抑えることができる。

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、識別マーク４０が２次元バーコード４１だけで構成され、全ての車輪１３に識別マーク４０としての２次元バーコード４１が貼付されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図８に示すように、識別マーク４０が、搬送車１０毎に、第一識別マーク４０Ａと第二識別マーク４０Ｂとの組み合わせによって構成されても良い。第一識別マーク４０Ａは搬送車１０毎に固有のマークであり、第一識別マーク４０Ａには、搬送車１０毎に付与される識別番号（搬送車ＩＤ）の情報が埋め込まれている。第一識別マーク４０Ａは、例えば２次元バーコード４４であって良い。第二識別マーク４０Ｂは、搬送車１０における車輪１３毎の設置位置を示すマークであり、設置位置毎に異なる形状とされている。第二識別マーク４０Ｂは、例えば幾何学マーク４５であって良く、図示の例では１〜４本の同心円マークとされている。第二識別マーク４０Ｂは、全ての車輪１３の側面の中心位置に、当該車輪１３の設置位置に応じてそれぞれ貼付されている。第一識別マーク４０Ａは、搬送車１０毎に当該搬送車１０が有する全ての車輪１３のうちの１つの車輪１３の側面に貼付されている。このような構成では、走行経路Ｒの両側方のうち、車輪１３に第二識別マーク４０Ｂだけが貼付される側に設置される撮影装置３２は、２次元バーコード４４を読み取る必要がなく、互いに異なる幾何学マーク４５だけを判別できれば良い。このため、その撮影装置３２として、より低スペックの低速度カメラを用いることができ、システム全体の低コスト化を図ることができるという利点がある。

（２）上記の実施形態では、撮影装置３２が走行経路Ｒ（走行レール６）の両側方に設置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図９に示すように、光学系７０を利用しつつ、撮影装置３２を走行経路Ｒの両側方のうちの一方だけに設置しても良い。この光学系７０は、撮影装置３２と車輪１３とを結ぶ光路として、２つの光路（第一光路７１及び第二光路７２）を備えている。第一光路７１は、撮影装置３２と当該撮影装置３２が設置された側の車輪１３とを直線的に結んでいる。第二光路７２は、撮影装置３２と当該撮影装置３２が設置された側とは反対側の車輪１３とを、複数（本例では３つ）のミラー７４によって折線状に結んでいる。第一光路７１及び第二光路７２は、撮影装置３２側の一部を共用しており、分岐部Ｂにて２つの光路に分岐している。そして、第一光路７１と第二光路７２との分岐部Ｂには、光路切替装置７６が設けられている。光路切替装置７６は、例えば液晶シャッターで構成することができる。このような構成では、液晶シャッターのオン／オフに伴う光の透過／非透過を一定周期で切り替えることにより、１台の撮影装置３２で、一対の車輪１３のそれぞれの側面の画像データＩを時分割して同時期に得ることができる。このような構成では、例えば図１０に示すように、左右一対の車輪１３で、識別マーク４０の貼付位置を異ならせても良い。このようにすれば、個体特定部５６による読取領域を左右一対の車輪１３で明確に分けることができるので、撮影装置３２の設置台数を減らしつつ、そのことに起因して個体特定の精度が低下するのを抑制することができる。

（３）上記の実施形態では、識別マーク４０として２次元バーコード４１が用いられている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、識別マーク４０は、例えば１次元バーコードであっても良いし、単なる文字列（例えば、車輪１３毎の識別番号そのもの）等であっても良い。

（４）上記の実施形態では、撮影装置３２の設置位置が走行経路Ｒにおける搬送車１０の停止位置Ｐとされ、さらにその停止位置Ｐがベイ間経路Ｒｅにおけるベイ内経路Ｒａへの分岐点の手前に設定された待機位置Ｗとされている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば搬送車１０に対する他の検査を行うためのメンテナンス位置、搬送車１０毎の個体差を補正するキャリブレーション位置、又は搬送車１０がバッテリを搭載している場合における充電位置等に、撮影装置３２が設置されても良い。また、ベイ間経路Ｒｅに限定されることなく、ベイ内経路Ｒａに設定される停止位置Ｐに撮影装置３２が設置されても良い。ベイ内経路Ｒａの停止位置Ｐとしては、例えば搬送車１０の停止状態で物品Ａの授受が行われる場合がある、載置台２２の位置を例示することができる。或いは、搬送車１０の停止位置Ｐに限らず、カーブ区間に撮影装置３２が設置されても良いし、例えば徐行区間が予め設定されている場合には、当該徐行区間に撮影装置３２が設置されても良い。

（５）上記の実施形態において、例えば上位制御部５０が、摩耗検査の結果に基づいて車輪１３の部品管理を行うように構成されても良い。より具体的には、例えばある車輪１３の外径Ｄの推定値が基準径以下と判定された場合に、その車輪１３と同じ型番の車輪を発注する等、部品交換に向けた手配を上位制御部５０が自動で行うように構成されても良い。或いは、例えば上位制御部５０が、摩耗検査の結果に基づいて個々の搬送車１０の稼働率を管理するように構成されても良い。より具体的には、例えばある車輪１３の外径Ｄの推定値が基準径以下と判定された場合に、上位制御部５０は、部品交換が完了するまではその車輪１３を有する搬送車１０の稼働率を低下させても良い。

（６）上記の実施形態では、撮影装置３２と検査部５４との情報通信が有線通信によって行われる構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、撮影装置３２と検査部５４との情報通信も無線通信によって行われても良い。

（７）上記の実施形態では、検査対象の搬送車１０が有軌道式の天井搬送車である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば有軌道式の地上搬送車も、検査システム１による検査対象とすることができる。さらに、予め定められた走行経路に沿って走行するものであれば、例えば無軌道式の地上搬送車も、検査システム１による検査対象とすることができる。

（８）上記の実施形態では、物品Ａが半導体基板を収容する容器（ＦＯＵＰ）である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、物品Ａは、例えばレチクルを収容する小型のレチクルポッドであっても良いし、食品や医薬品等を収容する容器であっても良い。

（９）上述した各実施形態（上記の実施形態及びその他の実施形態を含む；以下同様）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。

〔実施形態の概要〕
以上をまとめると、本開示に係る検査システムは、好適には、以下の各構成を備える。

複数の車輪を有し予め定められた走行経路に沿って走行する搬送車を対象として、前記車輪の劣化の程度を検査する検査システムであって、
複数の前記車輪のそれぞれの側面に付された、前記車輪毎に固有の識別マークと、
前記走行経路を走行する前記搬送車の前記車輪を、当該車輪の全体像が撮影範囲内に収まるように前記走行経路の側方から撮影する撮影装置と、
前記撮影装置によって得られる前記車輪の側面の画像データに基づき、前記画像データに対する画像処理によって前記車輪の外径を検出し、その検出値に基づいて前記車輪の摩耗の程度を検査するとともに、前記画像データの中から前記識別マークを検出することにより、検査対象となった前記車輪の個体特定を行う検査部と、を備える。

この構成によれば、識別マークが付された車輪の側面を走行経路の側方に設置された撮影装置で撮影するだけで、得られた画像データに基づいて、画像データに対する画像処理技術や、画像データ中の特定のマークの読取技術を利用して、車輪の個体特定を行いつつその車輪の摩耗の程度を検査することができる。よって、個々の車輪についての摩耗の程度を効率的に検査して、その結果を当該車輪に関連付けることができる。また、共通の撮影装置で撮影される画像データに基づいて摩耗検査と個体特定との両方を行うことが可能なので、そのような場合にはシステム構成の簡素化を図ることができる。

一態様として、
前記識別マークが、２次元バーコードを含むことが好ましい。

この構成によれば、画像データ中の傾きによらずに読取可能な２次元バーコードを利用して、搬送車の走行中（車輪の回転中）であっても、車輪の個体特定を適切に行うことができる。

一態様として、
前記撮影装置が、前記走行経路における前記搬送車の予め定められた停止位置に設置されていることが好ましい。

この構成によれば、搬送車が停止位置で停止し、車輪も停止している状態で、画像データ中の特定のマークを良好に読み取ることができる。よって、比較的低コストの撮影装置を用いたり、車輪の個体特定の精度を高めたりすることができる。

一態様として、
前記搬送車の動作を制御する搬送制御部をさらに備え、
前記搬送制御部と前記搬送車との情報通信が無線通信によって行われ、
前記撮影装置と前記検査部との情報通信が有線通信によって行われることが好ましい。

この構成によれば、走行経路に沿って自在に走行する搬送車に対して、無線通信により、その位置によらずに搬送制御部からの指令を適切に伝送することができる。撮影装置に関しては、基本的にはその設置位置が特定位置に固定されるので、撮影により得た画像データの検査部へのデータ送信は有線通信でも問題なく行うことができる。加えて、実際に有線通信を利用することで、無線通信のための周波数帯が限られているような場合に、無線通信の必要性が高い他の機器のために周波数帯を空けておくことができる。

一態様として、
前記識別マークが、前記搬送車毎に固有の第一識別マークと、前記搬送車における前記車輪毎の設置位置を示す第二識別マークと、の組み合わせによって構成され、
前記第二識別マークが全ての前記車輪の側面に当該車輪の設置位置に応じてそれぞれ付されているとともに、前記第一識別マークが、前記搬送車毎に当該搬送車が有する全ての前記車輪のうちの一部の前記車輪の側面に付されていることが好ましい。

この構成によれば、搬送車毎に固有の第一識別マークを読み取るとともに、各搬送車における車輪毎の設置位置を示す第二識別マークを読み取り、それらから得られる情報を組み合わせることにより、車輪の個体特定を適切に行うことができる。また、例えば第一識別マークを読取可能な第１の撮影装置と第二識別マークを読取可能な第２の撮影装置とを走行経路の両側方に振り分けて設置することも可能となる。このような場合において、第２の撮影装置として、第１の撮影装置に比べて性能の低い撮影装置を用いることで、高性能の撮影装置を走行経路の両側方に設置するような構成に比べて、システム全体の低コスト化を図ることができる。

一態様として、
前記撮影装置が、前記走行経路の両側方のうちの一方だけに設置され、
前記撮影装置と当該撮影装置が設置された側の前記車輪とを結ぶ第一光路と、
複数のミラーを介して、前記撮影装置と当該撮影装置が設置された側とは反対側の前記車輪とを結ぶ第二光路と、
前記第一光路と前記第二光路との分岐部に設けられた光路切替装置と、を備え、
前記搬送車の進行方向に対して両側に位置する一対の前記車輪のそれぞれの側面の画像データを、前記光路切替装置を用いた時分割によって同時期に得ることが好ましい。

この構成によれば、複数のミラーと光路切替装置とを用いて構築される光学系を利用して、走行経路の一方の側方に設置される共通の撮影装置で、進行方向に対して両側に位置する一対の車輪のそれぞれの側面を撮影することができる。よって、２台の撮影装置を走行経路の両側方に振り分けて設置するような構成に比べて、システム全体の低コスト化を図ることができる。

本開示に係る検査システムは、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができれば良い。

１ 検査システム
１０ 搬送車
１３ 車輪
３２ 撮影装置
４０ 識別マーク
４１ ２次元バーコード
４０Ａ 第一識別マーク
４０Ｂ 第二識別マーク
５２ 搬送制御部
５４ 検査部
７１ 第一光路
７２ 第二光路
７４ ミラー
７６ 光路切替装置
Ｒ 走行経路
Ｐ 停止位置
Ｉ 画像データ
Ｓ 撮影範囲

Claims (6)

1. 複数の車輪を有し予め定められた走行経路に沿って走行する搬送車を対象として、前記車輪の劣化の程度を検査する検査システムであって、
   複数の前記車輪のそれぞれの側面に付された、前記車輪毎に固有の識別マークと、
   前記走行経路を走行する前記搬送車の前記車輪を、当該車輪の全体像が撮影範囲内に収まるように前記走行経路の側方から撮影する撮影装置と、
   前記撮影装置によって得られる前記車輪の側面の画像データに基づき、前記画像データに対する画像処理によって前記車輪の外径を検出し、その検出値に基づいて前記車輪の摩耗の程度を検査するとともに、前記画像データの中から前記識別マークを検出することにより、検査対象となった前記車輪の個体特定を行う検査部と、を備える検査システム。
2. 前記識別マークが、２次元バーコードを含む請求項１に記載の検査システム。
3. 前記撮影装置が、前記走行経路における前記搬送車の予め定められた停止位置に設置されている請求項１又は２に記載の検査システム。
4. 前記搬送車の動作を制御する搬送制御部をさらに備え、
   前記搬送制御部と前記搬送車との情報通信が無線通信によって行われ、
   前記撮影装置と前記検査部との情報通信が有線通信によって行われる請求項１から３のいずれか一項に記載の検査システム。
5. 前記識別マークが、前記搬送車毎に固有の第一識別マークと、前記搬送車における前記車輪毎の設置位置を示す第二識別マークと、の組み合わせによって構成され、
   前記第二識別マークが全ての前記車輪の側面に当該車輪の設置位置に応じてそれぞれ付されているとともに、前記第一識別マークが、前記搬送車毎に当該搬送車が有する全ての前記車輪のうちの一部の前記車輪の側面に付されている請求項１から４のいずれか一項に記載の検査システム。
6. 前記撮影装置が、前記走行経路の両側方のうちの一方だけに設置され、
   前記撮影装置と当該撮影装置が設置された側の前記車輪とを結ぶ第一光路と、
   複数のミラーを介して、前記撮影装置と当該撮影装置が設置された側とは反対側の前記車輪とを結ぶ第二光路と、
   前記第一光路と前記第二光路との分岐部に設けられた光路切替装置と、を備え、
   前記搬送車の進行方向に対して両側に位置する一対の前記車輪のそれぞれの側面の画像データを、前記光路切替装置を用いた時分割によって同時期に得る請求項１から５のいずれか一項に記載の検査システム。

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