CN108426547A - 检查系统 - Google Patents

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Abstract

实现一种检查系统，前述检查系统将沿行进路径行进的搬运车作为对象，能够高效率地检查设置于该搬运车的车轮的磨损程度。检查沿行进路径行进的搬运车的车轮(13)的老化程度的检查系统具备识别标记(40)、拍摄装置、检查部，前述识别标记(40)被标于车轮(13)的侧面，是每个车轮(13)固有的，前述拍摄装置以车轮(13)的整体像收纳于拍摄范围(S)内的方式从行进路径的侧方拍摄，前述检查部基于车轮(13)的侧面的图像数据(I)，检查车轮(13)的磨损程度，并且进行作为检查对象的车轮(13)的个体特定。

Description

检查系统
技术领域
本发明涉及检查系统。
背景技术
在例如制造物品的物品制造设备等中，为了在工序间搬运材料、中间产品，利用具有多个车轮而沿预先确定的行进路径行进的搬运车。在这样的搬运车，无法避免车体各部分随时间老化，所以例如以将不良情况的发生防范于未然等为目的，优选地实施将搬运车作为对象的检查。此时，从检查效率的观点来看，优选为，这样的检查被自动实施。
例如在日本特开2005-61933号公报(专利文献1)，公开了对于搬运车〔手推车2〕具备的车轮的轴承部〔支承辊5的轴承部6〕自动检查其老化的程度的检查系统〔轴承部老化检查装置1〕。在专利文献1的检查系统中，在搬运车行进的左右的轨道设置偏向斜面，并且向通过该偏向斜面的车轮〔辊5〕的侧面从斜上方照射光，测定该照射光的光轴的倾斜，由此检查轴承部的老化的程度。
但是，作为老化的程度能够影响搬运车的行进的部件而应检查的对象不限于轴承部。例如若车轮的磨损发展，则车轮的外径变小，由此与推定行进距离相比实行进距离变短，有搬运车的控制精度(例如停止精度)下降的情况。关于这点，在专利文献1中，没有记载关于检查车轮的磨损程度的必要性，当然关于如何检查车轮的磨损程度也完全没有记载。
专利文献1：日本特开2005-61933号公报。
发明内容
希望实现一种检查系统，前述检查系统能够以沿行进路径行进的搬运车为对象，高效率地检查设置于该搬运车的车轮的磨损程度。
本发明的检查系统以搬运车为对象，检查车轮的老化程度，前述搬运车具有多个前述车轮，沿预先确定的行进路径行进，前述检查系统具备识别标记和拍摄装置，前述识别标记被标于多个前述车轮的各自的侧面，是每个前述车轮固有的，前述拍摄装置将在前述行进路径行进的前述搬运车的前述车轮以该车轮的整体像收纳于拍摄范围内的方式从前述行进路径的侧方拍摄，前述检查系统具备检查部，前述检查部基于借助前述拍摄装置所得到的前述车轮的侧面的图像数据，检查前述车轮的磨损程度，并且进行作为检查对象的前述车轮的个体特定。
根据该方案，能够仅通过将标有识别标记的车轮的侧面借助被设置于行进路径的侧方的拍摄装置拍摄，基于所得到的图像数据，进行车轮的个体特定，并且检查该车轮的磨损程度。由此，高效率地检查关于各个车轮的磨损程度，能够将其结果与该车轮建立对应关系。此外，能够基于被共通的拍摄装置拍摄的图像数据进行磨损检查和个体特定二者，所以在这样的情况下能够实现系统结构的简单化。
根据参照附图记述的以下例示性的且非限定的的实施方式的说明，显然进一步明确本发明的技术的进一步的特征和优点。
附图说明
图1是表示加入有检查系统的物品搬运设备的搬运路径的示意图。
图2是顶棚搬运车的侧视图。
图3是检查位置的顶棚搬运车的主视图。
图4是表示搬运路径的分岔点处的顶棚搬运车的状态的俯视图。
图5是表示顶棚搬运车的各车轮的侧面的情况的示意图。
图6是控制系统的框图。
图7是表示车轮的磨损检查的原理的示意图。
图8是表示其他方式的顶棚搬运车的各车轮的侧面的情况的示意图。
图9是其他方式的检查系统的示意图。
图10是表示其他方式的顶棚搬运车的各车轮的侧面的情况的示意图。
具体实施方式
对检查系统的实施方式进行说明。在本实施方式中，作为一例，例如对在各种制品的制造设备(工厂)等中被使用的物品搬运设备2加入的检查系统1进行说明。物品搬运设备2具备搬运车10，前述搬运车10具有多个车轮13，沿预先确定的行进路径R行进。检查系统1将该搬运车10作为对象，检查该搬运车10具备的车轮13的老化程度。以下，对本实施方式的检查系统1及物品搬运设备2进行详细的说明。
首先，对物品搬运设备2的主要的结构进行说明。如图1~图4所示，物品搬运设备2具备沿行进路径R配设的行进轨道6、沿行进轨道6行进来搬运物品A的搬运车10。制造设备具有多个站(工序)，行进路径R(搬运车10的行进路径)构成为包括设置于每个站的站内路径Ra和将多个站内路径Ra彼此连接的站间路径Re。沿站内路径Ra设置有多个处理装置21。在与各个处理装置21相邻且在上下方向上观察时与行进轨道6重叠的位置(在本例中为行进轨道6的正下方的位置)设置有载置台22。处理装置21可以是例如进行半导体基板的加工等的半导体处理装置等。
如图3所示，行进轨道6被左右一对地设置，被从顶棚悬挂支承。搬运车10构成为在该行进轨道6的上表面行进。即，本实施方式的搬运车10构成为有轨道式的顶棚搬运车。在行进路径R的分岔点设置有引导轨道8(也参照图4)。引导轨道8在左右一对行进轨道6的宽度方向的中央位置，被设置于比行进轨道6靠上方的位置。引导轨道8在分岔点分岔，呈两条状。
如图2及图3所示，搬运车10具备行进体11和移载单元17。行进体11具有车体主体12和被旋转自如地支承于该车体主体12的多个车轮1。车体主体12被设置成前后一对。车轮13在前后一对车体主体12的每一个处，设置成左右一对。这样，本实施方式的行进体11具有右前轮、左前轮、右后轮及左后轮共计4个车轮13。车轮13在行进轨道6上滚动。多个车轮13中的至少1个是被驱动马达旋转驱动的驱动轮，对搬运车10施加推进力。
行进体11还具有引导辊14。引导辊14包括下部辊14D和上部辊14U。下部辊14D在比车体主体12靠下方处，被旋转自如地支承于该车体主体12。下部辊14D与行进轨道6的侧面接触来滚动。上部辊14U在比车体主体12靠上方处，被旋转自如地支承于设置于该车体主体12的切换机构。切换机构构成为将上部辊14U的位置向左右自由地切换。上部辊14U在行进路径R的分岔点，与切换机构的状态对应地，与引导轨道8的某个侧面接触来滚动。
连结轴15被连结于前后一对车体主体12的每一个，经由这些连结轴15，主体壳16被悬挂支承于行进体11。在主体壳16的内部，容纳有把持物品A来进行该物品A的移载动作的移载单元17。移载单元17构成为，在把持有物品A的状态下，使该物品A升降自如。
在这样的物品搬运设备2，搬运车10沿行进路径R(行进轨道6)行进，在不同的载置台22彼此之间搬运物品A。如上所述，在处理装置21为半导体处理装置的情况下，物品A例如可以是容纳半导体基板的容器(前端开启式晶圆传送盒，FOUP，Front Opening UnifiedPod)等。
搬运车10的车轮13随着时间(更具体地是随着累积行进距离变长)而磨损，削减。若车轮13的磨损发展，则车轮13的外径变小，由此与基于该车轮13的旋转角推定的推定行进距离相比，实行进距离变短。结果，搬运车10的控制精度(例如停止精度)下降。此外，若车轮13的磨损发展到某种程度，则磨损变得容易发展，有灰尘的产生量增加的可能性。
因此，在本实施方式的物品搬运设备2，以搬运车10为对象，加入检查该搬运车10具备的车轮13的老化程度(具体地为磨损程度)的检查系统1。检查系统1构成为，能够自动检查车轮13的磨损程度。检查系统1具备拍摄装置32、识别标记40、检查部54，前述拍摄装置32设置于行进轨道6的附近(参照图3)，前述识别标记40被标于搬运车10具有的多个车轮13的每一个的侧面(参照图5)，前述检查部54进行磨损检查的实体的处理(参照图6)。另外，检查部54能够由安装有检查用的程序(应用)的计算机构成。
如图3所示，在行进轨道6(行进路径R)的两侧的与该行进轨道6高度相同的位置，分别设置有支承台31。在这两侧的支承台31，拍摄装置32以朝向行进轨道6侧(即，能够将行进轨道6侧拍摄)的方式被分别设置。拍摄装置32将沿行进路径R行进的搬运车10的车轮13从行进路径R的侧方拍摄。拍摄装置32被设置成，能够将在行进路径R行进的搬运车10的车轮13的整体像收纳于该拍摄装置32的拍摄范围S(参照图7)内。作为拍摄装置32，例如能够使用能够以100万左右像素在1秒拍摄2000帧以上的高速相机。当然，这样的规格并非必须，拍摄装置32的性能也可以与要求程度对应地适当设定。
拍摄装置32的设置位置没有特别限定，能够在行进路径R的任意的位置设置拍摄装置32。但是，在行进路径R形成为环状而包括直线区间和转弯区间的情况下，从确保设置空间的观点来看，拍摄装置32适合设置于直线区间。此外，从拍摄各搬运车10的车轮13时的效率的观点来看，拍摄装置32适合设置于与站内路径Ra相比更多的搬运车10会行进的站间路径Re。
此外，拍摄装置32适合设置于行进路径R的搬运车10的预先确定的停止位置P(参照图1)。在物品搬运设备2，例如存在设定待机位置W的情况，前述待机位置W为如下位置：在从站间路径Re向站内路径Ra分岔的分岔点的跟前，在欲从此进入的站内路径Ra存在其他搬运车10的情况下，搬运车10停止而待机。这样的待机位置W作为停止位置P的一例被例示。拍摄装置32适合被设置于设定于多个部位的待机位置W(停止位置P)中的某个部位。拍摄装置32的设置位置也能够称作“检查位置”。
拍摄装置32经由通信缆线33连接于检查部54。即，拍摄装置32和检查部54的信息通信通过有线通信进行。包括被拍摄装置32拍摄的搬运车10的车轮13的侧面的图像数据I(参照图7)通过经由通信缆线33的有线通信被向检查部54传送。若拍摄装置32被设置于位于距设置有物品搬运设备2的建筑物的控制室或服务器室最近的位置的待机位置W(停止位置P)，则有线局域网(LAN，Local Area Network)的构筑比较容易，所以被优选。
如图3所示，在左右一对行进轨道6的一方的下表面，固定有向下突出的支承部件35。支承部件35形成为，沿行进路径R(行进轨道6)观察呈コ字形(带角的U字形)。在该支承部件35固定有例如由投光部和受光部的组构成的光传感器36 (在图3中省略图示，参照图6)。投光部固定于コ字形的支承部件35的一方的支承脚，受光部固定于另一方的支承脚。
另一方面，在搬运车10的主体壳16的上表面，固定有向上突出的不透明的屏蔽板38。屏蔽板38固定成，能够通过固定于行进轨道6的コ字形的支承部件35的一对支承脚之间。搬运车10沿行进路径R(行进轨道6)行进，若屏蔽板38通过支承部件35，则来自投光部的光被屏蔽板38遮挡，不能被受光部检测。利用该现象，拍摄装置32构成为，与受光部从检测向非检测的变化对应，进行一定时间拍摄。
如图5所示，在搬运车10的车轮13，对每个车轮13标有固有的识别标记40。识别标记40中包含给予每个车轮13的识别号码(车轮ID)的信息。作为这样的识别标记40，在本实施方式中使用二维条形码41(二维码：例如QRcode(注册商标)等)。若是二维条形码41，则能够与旋转方向的倾斜无关地读取，所以即使在搬运车10的行进中(车轮13的旋转中)也能够读取，所以被优选。在本实施方式中，对于全部车轮13都粘贴有作为识别标记40的二维条形码41。
此外，二维条形码41的粘贴位置没有特别限定，能够在车轮13的侧面的任意位置粘贴二维条形码41。在本实施方式中，二维条形码41被粘贴于车轮13的中心位置(车轴的位置)。这样，二维条形码41的旋转轨迹的直径被抑制成较小，所以能够在较窄的读取区域将二维条形码41高精度读取而被优选。
在图6表示检查系统1及物品搬运设备2的控制系统。该控制系统具备上位控制部50、搬运控制部52、检查部54。上位控制部50综合控制搬运控制部52及检查部54。搬运控制部52控制搬运车10的动作。在本实施方式中，搬运控制部52和搬运车10的信息通信通过无线通信被进行。由搬运控制部52生成的搬运车10的控制指令通过无线通信被向各搬运车10传送。
检查部54基于借助拍摄装置32所得到的车轮13的侧面的图像数据I，检查车轮13的磨损程度，同时进行作为检查对象的车轮13的个体特定。为了实现这样的功能，检查部54具备图像数据取得部55、个体特定部56、图像处理部57、判定部58。此外，在本实施方式中，检查部54还具备通知部59，并且被连接于表示装置60。
图像数据取得部55取得借助拍摄装置32所得到的车轮13的侧面的图像数据I。若拍摄装置32拍摄车轮13的侧面而生成图像数据I，则图像数据取得部55将该图像数据I经由通信缆线33接收来取得。已取得的图像数据I也可以储存于快闪式存储器、硬盘等储存装置。该车轮13的侧面的图像数据I(参照图7)为了检查该车轮13的磨损程度而被使用。
个体特定部56基于车轮13的侧面的图像数据I，进行作为检查对象的车轮13的个体特定。如图7的上层右侧所示，个体特定部56将包括图像数据I中的车轮13的中心部的一定区域作为对象，进行读取处理。在车轮13的中心部包括作为识别标记40的二维条形码41的图像，所以个体特定部56通过读取该二维条形码41来取得该车轮13的识别号码的信息，基于该识别号码，将检查对象的车轮13唯一地特定。另外，关于物品搬运设备2具备的全部搬运车10具有的全部车轮13，其所在(是哪个搬运车10的哪个位置的车轮)的信息被与识别号码建立关联地储存于检查部54。因此，个体特定部56能够将检查对象的车轮13是哪个搬运车10的哪个位置的车轮特定。
图像处理部57进行相对于车轮13的侧面的图像数据I的图像处理。如图7的下层所示，图像处理部57例如通过进行二值化处理、边缘检测处理等，将车轮13的侧面的图像数据I所包括的车轮13的轮郭线E抽出。
判定部58判定检查对象的车轮13的磨损程度。判定部58基于被抽出的车轮13的轮郭线E的信息，通过计算检查对象的车轮13的外径D来取得，基于该推定值判定检查对象的车轮13的磨损程度。各车轮13的初始直径的信息被储存于检查部54。判定部58比较车轮13的外径D的推定值和被预先设定成比初始直径小的值的基准直径的大小关系，在推定值为基准直径以下的情况下，判定成该车轮13的磨损已发展成不能忽略的程度。该情况下，基准直径例如能够设定成初始直径的95%~99%左右的外径。
不限于仅1个基准直径被设定的方案，也可以设定多个基准直径。例如也可以设定预先设定成比初始直径小的值的第一基准直径、预先设定成比该第一基准直径还小的值的第二基准直径。该情况下，也可以构成为，判定部58将车轮13的外径D的推定值和第一基准直径及第二基准直径的每一个的大小关系进行比较，在推定值为第一基准直径以下的情况下判定成该车轮13的磨损继续发展，在推定值为第二基准直径以下的情况下判定成该车轮13的磨损已经发展成不能忽略的程度。该情况下，第一基准直径例如能够设定成初始直径的99%~99.5%左右的外径，第二基准直径例如能够设定成初始直径的95%~99%左右的外径。
这样，在本实施方式的检查系统1，检查部54基于借助拍摄装置32所得到的车轮13的侧面的图像数据I，检查车轮13的磨损程度，并且进行作为检查对象的车轮13的个体特定。更具体地，检查部54通过相对于图像数据I的图像处理检测车轮13的外径，基于其检测值检查车轮13的磨损程度，并且通过从图像数据I中检测识别标记40，进行车轮13的个体特定。基于借助拍摄装置32拍摄所得到的图像数据I，进行车轮13的个体特定，并且检查该车轮13的磨损程度，所以能够对于各个车轮13高效率地检查磨损程度。
通知部59在判断成车轮13的外径D的推定值为基准直径以下(或第一基准直径以下或第二基准直径以下)的情况下，进行与该情况对应的内容的通知。例如通知部59对于连接于构成检查部54的计算机的监视器等显示装置60，将对象的车轮13的所在特定，显示警告信息、引起注意信息。警告信息例如能够是督促立即更换该车轮13的信息，引起注意信息例如能够是督促对于该车轮13接受精密检查的信息。通知部59例如也可以将该车轮13的外径D的推定值、该车轮13的侧面的图像数据I一并在显示装置60显示。
这样，能够在几乎不需要基于作业者的特别的作业时间的情况下，将磨损发展的车轮13在早期更换。由此，能够抑制随着车轮13的磨损而搬运车10的控制精度下降，此外，能够将灰尘的发生量抑制成较少。
〔其他实施方式〕
(1)在上述实施方式中，以识别标记40仅由二维条形码41构成、对全部车轮13粘贴作为识别标记40的二维条形码41的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，例如图8所示，识别标记40也可以对于每个搬运车10，通过第一识别标记40A和第二识别标记40B的组合来构成。第一识别标记40A是每个搬运车10固有的标记，第一识别标记40A含有给予每个搬运车10的识别号码(搬运车ID)的信息。第一识别标记40A例如可以是二维条形码44。第二识别标记40B是表示搬运车10的每个车轮13的设置位置的标记，在每个设置位置呈不同的形状。第二识别标记40B例如可以是几何学标记45，在图示的例中为1~4个同心圆标记。第二识别标记40B被分别在全部车轮13的侧面的中心位置与该车轮13的设置位置对应地粘贴。第一识别标记40A对于每个搬运车10被粘贴于该搬运车10具有的全部车轮13中的一个车轮13的侧面。在这样的结构中，在行进路径R的两侧中的在车轮13处仅第二识别标记40B被粘贴的一侧设置的拍摄装置32不需要读取二维条形码44，仅能够判断互相不同的几何学标记45即可。因此，作为该拍摄装置32，具有如下优点：能够使用更低规格的低速相机，能够实现系统整体的低成本化。
(2)在上述实施方式中，以拍摄装置32被设置于行进路径R(行进轨道6)的两侧的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，例如图9所示，也可以利用光学系70，并且仅将拍摄装置32设置于行进路径R的两侧中的一方。该光学系70作为连结拍摄装置32和车轮13的光路，具备两个光路(第一光路71及第二光路72)。第一光路71将拍摄装置32和设置有该拍摄装置32的一侧的车轮13直线地连结。第二光路72将拍摄装置32和与设置有该拍摄装置32的一侧相反的一侧的车轮13借助多个(在本例中为3个)镜子74折线状地连结。第一光路71及第二光路72将拍摄装置32侧的一部分共用，在分岔部B分岔成两个光路。并且，在第一光路71和第二光路72的分岔部B，设置有光路切换装置76。光路切换装置76例如能够由液晶快门构成。在这样的结构中，将伴随液晶快门的打开/关闭的光的透过/非透过以一定周期切换，由此借助1台拍摄装置32，能够将一对车轮13的各自的侧面的图像数据I分时（時分割）地同步得到。在这样的结构中，例如图10所示，在左右一对车轮13，也可以使识别标记40的粘贴位置不同。这样，能够将个体特定部56的读取区域在左右一对车轮13明确地分开，所以能够减少拍摄装置32的设置台数，并且能够由此抑制个体特定的精度下降。
(3)在上述实施方式中，以使用二维条形码41作为识别标记40的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，识别标记40例如可以使一维条形码，也可以是简单的文字列(例如每个车轮13的识别号码本身)等。
(4)在上述实施方式中，以拍摄装置32的设置位置被设置为行进路径R的搬运车10的停止位置P、进而该停止位置P被设置为设定于站间路径Re的向站内路径Ra分岔的分岔点跟前的待机位置W的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，例如也可以在用于进行相对于搬运车10的其他的检查的维护位置、修正每个搬运车10的个体差的校准位置、或搬运车10搭载有电池的情况的充电位置等设置拍摄装置32。此外，不限于站间路径Re，也可以在设定于站内路径Ra的停止位置P设置拍摄装置32。作为站内路径Ra的停止位置P，例如能够例示有在搬运车10的停止状态进行物品A的交接的情况的载置台22的位置。或不限于搬运车10的停止位置P，拍摄装置32也可以设置于转弯区间，例如在预先设定有徐行区间的情况下，也可以在该徐行区间设置拍摄装置32。
(5)在上述实施方式中，例如可以构成为上位控制部50基于磨损检查的结果进行车轮13的零件管理。更具体地，例如也可以构成为，上位控制部50自动进行，在判定成某个车轮13的外径D的推定值为基准直径以下的情况下，订购与该车轮13相同型号的车轮等，面向零件更换的安排。或例如也可以构成为，上位控制部50基于磨损检查的结果管理各个搬运车10的工作率。更具体地，例如也可以是，在某个车轮13的外径D的推定值被判定成基准直径以下的情况下，上位控制部50在零件更换完成为止使具有该车轮13的搬运车10的工作率下降。
(6)在上述实施方式中，以拍摄装置32和检查部54的信息通信通过有线通信进行的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，也可以通过无线通信进行拍摄装置32和检查部54的信息通信。
(7)在上述实施方式中，以检查对象的搬运车10是有轨道式的顶棚搬运车的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，例如有轨道式的地上搬运车也能够是检查系统1的检查对象。进而，若是沿预先确定的行进路径行进，则例如无轨道式的地上搬运车也可以是检查系统1的检查对象。
(8)在上述实施方式中，以物品A是容纳半导体基板的容器(前端开启式晶圆传送盒，FOUP)的结构为例进行了说明。但是，不限于这样的结构，物品A例如也可以是容纳中间掩膜的小型的中间掩膜夹、容纳食品、医药品等的容器。
(9)另外，上述各实施方式(包括上述实施方式及其他实施方式；下同)所公开的方案只要不产生矛盾，就也能够与其他实施方式所公开的方案组合来应用。关于其他方案，在本说明书中所公开的实施方式在所有的方面都是例示，在不脱离本发明的宗旨的范围内，能够适当地进行改变。
〔实施方式的概要〕
综上，本发明的检查系统优选地具备以下各结构。
一种检查系统，前述检查系统以搬运车为对象，检查车轮的老化程度，前述搬运车具有多个前述车轮，沿预先确定的行进路径行进，前述检查系统具备识别标记和拍摄装置，前述识别标记被标于多个前述车轮的各自的侧面，是每个前述车轮固有的，前述拍摄装置将在前述行进路径行进的前述搬运车的前述车轮以该车轮的整体像收纳于拍摄范围内的方式从前述行进路径的侧方拍摄，前述检查系统具备检查部，前述检查部基于借助前述拍摄装置所得到的前述车轮的侧面的图像数据，检查前述车轮的磨损程度，并且进行作为检查对象的前述车轮的个体特定。
根据该方案，能够仅通过将标有识别标记的车轮的侧面借助被设置于行进路径的侧方的拍摄装置拍摄，基于所得到的图像数据，进行车轮的个体特定，并且检查该车轮的磨损程度。由此，高效率地检查关于各个车轮的磨损程度，能够将其结果与该车轮建立对应关系。此外，能够基于被共通的拍摄装置拍摄的图像数据进行磨损检查和个体特定二者，所以在这样的情况下能够实现系统结构的简单化。
作为一个方式，优选的是，前述检查部通过相对于前述图像数据的图像处理检测前述车轮的外径，基于其检测值检测前述车轮的磨损程度，并且通过从前述图像数据中检测前述识别标记来进行前述车轮的个体特定。
根据该方案，利用相对于图像数据的图像处理技术、图像数据中的特定的标记的读取技术，进行车轮的个体特定，并且能够良好地检查该车轮的磨损程度。
作为一个方式，优选的是，前述识别标记包括二维条形码。
根据该方案，利用与图像数据中的倾斜无关地能够读取的二维条形码，即使在搬运车的行进中(车轮的旋转中)，也能够适当地进行车轮的个体特定。
作为一个方式，优选的是，前述拍摄装置被设置于前述行进路径的前述搬运车的被预先确定的停止位置。
根据该方案，在搬运车在停止位置停止、车轮也停止的状态下，能够良好地读取图像数据中的特定的标记。由此，能够使用比较低成本的拍摄装置，或能够提高车轮的个体特定的精度。
作为一个方式，优选的是，还具备控制前述搬运车的动作的搬运控制部，前述搬运控制部和前述搬运车的信息通信被通过无线通信进行，前述拍摄装置和前述检查部的信息通信被通过有线通信进行。
根据该方案，能够相对于沿行进路径行进自如的搬运车，通过无线通信，与其位置无关地适当地传送来自搬运控制部的指令。关于拍摄装置，基本其设置位置固定于特定位置，所以向通过拍摄得到的图像数据的检查部的数据传送通过有线通信也能够没有问题地进行。并且，通过实际利用有线通信，在限制用于无线通信的频率带的情况下，能够为了无线通信的必要性较高的其他的机器空出频率带。
作为一个方式，优选的是，前述识别标记通过每个前述搬运车固有的第一识别标记、表示前述搬运车的每个前述车轮的设置位置的第二识别标记的组合来构成，前述第二识别标记被与该车轮的设置位置对应地分别标于全部前述车轮的侧面，并且前述第一识别标记在每个前述搬运车被标于该搬运车具有的全部前述车轮中的一部分前述车轮的侧面。
根据该方案，读取每个搬运车固有的第一识别标记，并且读取各搬运车的表示每个车轮的设置位置的第二识别标记，将由此所得到的信息组合，由此，能够适当地进行车轮的个体特定。此外，例如也能够将能够读取第一识别标记的第1拍摄装置和能够读取第二识别标记的第2拍摄装置分为行进路径的两侧来设置。在这样的情况下，作为第2拍摄装置，使用比第1拍摄装置性能低的拍摄装置，由此与构成为将高性能的拍摄装置设置于行进路径的两侧的结构相比，能够实现系统整体的低成本化。
作为一个方式，优选的是，前述拍摄装置仅被设置于前述行进路径的两侧中的一方，具备第一光路、第二光路、光路切换装置，前述第一光路将前述拍摄装置和设置有该拍摄装置的一侧的前述车轮连结，前述第二光路经由多个镜子，将前述拍摄装置和与设置有该拍摄装置的一侧相反的一侧的前述车轮连结，前述光路切换装置被设置于前述第一光路和前述第二光路的分岔部，能够将相对于前述搬运车的进行方向位于两侧的一对前述车轮的各自的侧面的图像数据，通过使用前述光路切换装置分时地同步得到。
根据该方案，利用使用多个镜子和光路切换装置来构筑的光学系统，能够借助设置于行进路径的一侧的共通的拍摄装置，拍摄相对于进行方向位于两侧的一对车轮的各自的侧面。由此，与将两台拍摄装置分成在行进路径的两侧设置的结构相比，能够实现系统整体的低成本化。
本发明的检查系统能够具备上述各效果中的至少一个即可。
附图标记说明
1　 检查系统
10　 搬运车
13　 车轮
32　 拍摄装置
40　 识别标记
41　 二维条形码
40A　第一识别标记
40B　第二识别标记
52　 搬运控制部
54　 检查部
71　 第一光路
72　 第二光路
74　 镜子
76　 光路切换装置
R　 行进路径
P　 停止位置
I　 图像数据
S　 拍摄范围。

Claims (7)

1.一种检查系统，前述检查系统以搬运车为对象，检查车轮的老化程度，前述搬运车具有多个前述车轮，沿预先确定的行进路径行进，前述检查系统具备识别标记和拍摄装置，前述识别标记被标于多个前述车轮的各自的侧面，是每个前述车轮固有的，前述拍摄装置将在前述行进路径行进的前述搬运车的前述车轮以该车轮的整体像收纳于拍摄范围内的方式从前述行进路径的侧方拍摄，其特征在于，
具备检查部，前述检查部基于借助前述拍摄装置所得到的前述车轮的侧面的图像数据，检查前述车轮的磨损程度，并且进行作为检查对象的前述车轮的个体特定。
2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，
前述检查部通过相对于前述图像数据的图像处理检测前述车轮的外径，基于其检测值检测前述车轮的磨损程度，并且通过从前述图像数据中检测前述识别标记来进行前述车轮的个体特定。
3.如权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，
前述识别标记包括二维条形码。
4.如权利要求1至3中任一项所述的检查系统，其特征在于，
前述拍摄装置被设置于前述行进路径的前述搬运车的被预先确定的停止位置。
5.如权利要求1至4中任一项所述的检查系统，其特征在于，
还具备控制前述搬运车的动作的搬运控制部，
前述搬运控制部和前述搬运车的信息通信被通过无线通信进行，
前述拍摄装置和前述检查部的信息通信被通过有线通信进行。
6.如权利要求1至5中任一项所述的检查系统，其特征在于，
前述识别标记通过每个前述搬运车固有的第一识别标记、表示前述搬运车的每个前述车轮的设置位置的第二识别标记的组合来构成，
前述第二识别标记被与该车轮的设置位置对应地分别标于全部前述车轮的侧面，并且前述第一识别标记在每个前述搬运车被标于该搬运车具有的全部前述车轮中的一部分前述车轮的侧面。
7.如权利要求1至6中任一项所述的检查系统，其特征在于，
前述拍摄装置仅被设置于前述行进路径的两侧中的一方，
前述检查系统具备第一光路、第二光路、光路切换装置，
前述第一光路将前述拍摄装置和设置有该拍摄装置的一侧的前述车轮连结，
前述第二光路经由多个镜子，将前述拍摄装置和与设置有该拍摄装置的一侧相反的一侧的前述车轮连结，
前述光路切换装置被设置于前述第一光路和前述第二光路的分岔部，
前述检查系统能够将相对于前述搬运车的进行方向位于两侧的一对前述车轮的各自的侧面的图像数据，通过使用前述光路切换装置分时地同步得到。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20210213983A1 (en) * 2020-01-14 2021-07-15 Daifuku Co., Ltd. Article Transport Facility
CN114733848A (zh) * 2022-02-28 2022-07-12 江苏道达智能科技有限公司 一种amhs天车（oht）在轨清洗检测机

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018215319A1 (de) * 2018-09-10 2020-03-12 Dürkopp Fördertechnik GmbH Rollenprüfeinrichtung für einen Rolladapter eines Hängefördersystems
US20220144557A1 (en) * 2019-03-22 2022-05-12 Murata Machinery, Ltd. Transfer vehicle system
JP7014204B2 (ja) * 2019-06-04 2022-02-01 株式会社ダイフク 車輪径計測装置
JP7318589B2 (ja) 2020-05-25 2023-08-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102513276B1 (ko) * 2020-09-09 2023-03-22 손성효 이동체의 감지 장치 및 감지 방법
JP2023048904A (ja) * 2021-09-28 2023-04-07 株式会社日立インダストリアルプロダクツ 搬送システム、搬送方法及び制御装置

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63127376A (ja) * 1986-11-18 1988-05-31 Hitachi Zosen Corp 車輪形状測定装置
EP0880009A2 (en) * 1997-05-22 1998-11-25 SAMUELSSON, Jonas Method and device for the measuring of wheel angles
CN1358266A (zh) * 1999-07-24 2002-07-10 罗伯特·博施有限公司 确定机动车的车轮和/或轴的定位的装置
CN100999220A (zh) * 2006-12-18 2007-07-18 杭州电子科技大学 车辆轮对直径在线检测方法及装置
EP2064518A1 (de) * 2006-09-08 2009-06-03 Robert Bosch GmbH Verfahren zum bestimmen von abständen zur fahrwerksvermessung eines kraftfahrzeugs sowie messgerät, fahrwerksvermessungseinrichtung und prüfstrasse
JP2011053058A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Hitachi Ltd 車両検査装置
CN102016602A (zh) * 2008-04-30 2011-04-13 意法半导体(鲁塞)公司 相对于旋转轴线的距离变化的检测
CN102060037A (zh) * 2010-12-07 2011-05-18 安徽科富光电装备有限公司 机车轮对全周外形尺寸在线动态检测装置
CN102121821A (zh) * 2010-12-23 2011-07-13 江西洪都航空工业集团有限责任公司 落震试验轮胎压缩量和轮轴位移的图像测量方法
CN204771145U (zh) * 2015-07-21 2015-11-18 昆山润昆自动化科技有限公司 轮胎条码读取雕刻一体机
CN105136024A (zh) * 2015-05-11 2015-12-09 上海交通大学 光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5636026A (en) * 1995-03-16 1997-06-03 International Electronic Machines Corporation Method and system for contactless measurement of railroad wheel characteristics
JPH10300426A (ja) * 1997-05-01 1998-11-13 Tsubakimoto Chain Co ローラチェーンの摩耗検出方法及び摩耗検出装置
JP3726828B2 (ja) 2003-08-11 2005-12-14 中西金属工業株式会社 トロリローラ等の軸受部劣化検査方法とその検査装置
CN103307982B (zh) * 2013-06-24 2016-03-02 南京理工大学 轮对尺寸在线监测装置
JP6330714B2 (ja) * 2015-04-09 2018-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63127376A (ja) * 1986-11-18 1988-05-31 Hitachi Zosen Corp 車輪形状測定装置
EP0880009A2 (en) * 1997-05-22 1998-11-25 SAMUELSSON, Jonas Method and device for the measuring of wheel angles
CN1358266A (zh) * 1999-07-24 2002-07-10 罗伯特·博施有限公司 确定机动车的车轮和/或轴的定位的装置
EP2064518A1 (de) * 2006-09-08 2009-06-03 Robert Bosch GmbH Verfahren zum bestimmen von abständen zur fahrwerksvermessung eines kraftfahrzeugs sowie messgerät, fahrwerksvermessungseinrichtung und prüfstrasse
CN100999220A (zh) * 2006-12-18 2007-07-18 杭州电子科技大学 车辆轮对直径在线检测方法及装置
CN102016602A (zh) * 2008-04-30 2011-04-13 意法半导体(鲁塞)公司 相对于旋转轴线的距离变化的检测
JP2011053058A (ja) * 2009-09-01 2011-03-17 Hitachi Ltd 車両検査装置
CN102060037A (zh) * 2010-12-07 2011-05-18 安徽科富光电装备有限公司 机车轮对全周外形尺寸在线动态检测装置
CN102121821A (zh) * 2010-12-23 2011-07-13 江西洪都航空工业集团有限责任公司 落震试验轮胎压缩量和轮轴位移的图像测量方法
CN105136024A (zh) * 2015-05-11 2015-12-09 上海交通大学 光路切换装置及集成多个测头的微纳米测量系统
CN204771145U (zh) * 2015-07-21 2015-11-18 昆山润昆自动化科技有限公司 轮胎条码读取雕刻一体机

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ALEKSANDER TONKOVICH等: "Experimental observations of tyre deformation characteristics on heavy mining vehicles under static and quasi-static loading", 《JOURNAL OF TEREAMECHANICS》 *
张超等: "改进闭值法的轮胎表面磨损的特征提取", 《北京交通大学学报》 *
王德超等: "汽车四轮定位参数测量技术综述", 《拖拉机与农用运输车》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20210213983A1 (en) * 2020-01-14 2021-07-15 Daifuku Co., Ltd. Article Transport Facility
US11904915B2 (en) * 2020-01-14 2024-02-20 Daifuku Co., Ltd. Article transport facility
CN114733848A (zh) * 2022-02-28 2022-07-12 江苏道达智能科技有限公司 一种amhs天车（oht）在轨清洗检测机

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Publication number Publication date
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KR102417868B1 (ko) 2022-07-05

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