CN114733848A - 一种amhs天车（oht）在轨清洗检测机 - Google Patents

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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust

Abstract

本发明公开了一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，包括分支轨道，所述分支轨道上吊装设置有清洁舱，所述清洁舱位于入口处设置有可开启关闭的自动门，所述清洁舱的内壁上设置有风浴机构，风浴机构用于吹落天车车身和天车动件部位的颗粒物，所述清洁舱的底部设置有真空清洁机构，真空清洁机构用于将吹落的颗粒物从清洁舱内吸出，所述分支轨道内还设置有图像抓取机构，所述图像抓取机构用于捕捉天车车轮图像并判断使用状态。本发明能够在线检测保养，效率高，使用成本低。

Description

一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机
技术领域
本发明涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机。
背景技术
AMHS是一种自动物料搬送系统，也称为天车系统，AMHS天车在半导体晶圆厂运用广泛，晶圆厂会大规模的采用AMHS,它可以快速准确的将载体搬送到目的地，较少晶圆的周转时间。
AMHS天车在使用过程中，是需定期进行保养维护的，在维护时，需要将天车从轨道降下来在地面检测、清洁、保养，这样的做法导致需要一个专用的场地作为处理使用，并且还需要人工介入，处理效率慢，直接影响天车正常周转使用的频率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，能够在线检测保养，效率高，使用成本低。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，包括分支轨道，所述分支轨道上吊装设置有清洁舱，所述清洁舱位于入口处设置有可开启关闭的自动门，所述清洁舱的内壁上设置有风浴机构，风浴机构用于吹落天车车身和天车动件部位的颗粒物，所述清洁舱的底部设置有真空清洁机构，真空清洁机构用于将吹落的颗粒物从清洁舱内吸出，所述分支轨道内还设置有图像抓取机构，所述图像抓取机构用于捕捉天车车轮图像并判断使用状态。
进一步的，所述风浴机构包括风刀，所述风刀与上下摆动机构连接，上下摆动机构带动风刀上下吹扫。
进一步的，所述真空清洁机构包括真空腔，所述真空腔与真空管道连接，所述真空腔位于清洁舱内的表面上设置有多孔盖板。
进一步的，所述图像抓取机构包括四个摄像仪，四个摄像仪分别设置在天车四处车轮对应的分支轨道外侧壁上。
进一步的，根据摄像仪拍摄的画面设置基准高度线，基准高度线为水平线且经过标准车轮的轮轴中心，然后在摄像仪抓拍过程中，捕捉待检测的车轮的轮轴中心点，以轮轴中心点为起点至基准高度线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与最大磨损量比较，得到车轮磨损结果。
进一步的，所述图像抓取机构包括两个摄像仪，两个摄像仪均设置在分支轨道外侧壁上，在天车清洗时，两个摄像仪位于天车两侧，所述摄像仪还与伸缩组件连接，所述伸缩组件带动摄像仪伸入分支轨道内捕捉车轮图像。
进一步的，通过捕捉的车轮图像先识别车轮车轴的轴线，通过轴线与水平线的对比判断车轴是否存在压弯情倾斜情况，通过识别并确定车轮底部与分支轨道的接触点，通过接触点为起点至轴线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与车轮半径尺寸比较，得到车轮磨损结果。
进一步的，先捕捉车轴位于车轮图像中的上边线和下边线，在上边线和下边线中间位置做平行线，得到轴线。
本发明的有益效果：
1、通过分支轨道的设计，能够直接接入原有轨道，天车通过原有轨道进入分支轨道内，可以快速的进行清洁检测，无需落地以及人工介入处理，节约底面场地，提高效率。
2、风浴机构和真空清洁机构配合，能够快速的实现表面颗粒物清洁效果，同时采用图像抓取机构，检测准确且可追溯。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图；
图2是本发明第一实施例的图像抓取结构示意图；
图3是图2中判断车轮磨损的示意图；
图4是本发明第二实施例的图像抓取结构示意图；
图5是图4中判断车轮磨损的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1和图2所示，本发明的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机的一实施例，包括分支轨道1，分支轨道与主轨道连接，天车在主轨道上运行，当需要清洁时，从主轨道上进入分支轨道即可，分支轨道固定在顶部，因此不占用地面空间，分支轨道上吊装设置有清洁舱2，清洁舱位于入口处设置有可开启关闭的自动门3，清洁舱的内壁上设置有风浴机构4，风浴机构用于吹落天车7车身和天车动件部位的颗粒物，清洁舱的底部设置有真空清洁机构5，真空清洁机构用于将吹落的颗粒物从清洁舱内吸出，分支轨道内还设置有图像抓取机构6，图像抓取机构用于捕捉天车车轮图像并判断使用状态。
使用时，自动门为敞开状态，天车通过分支轨道移动进入清洁舱内，自动门关闭，关闭后清洁舱内形成一个相对密封的环境，真空清洁机构动作，将清洁舱内的空气抽离，风浴机构动作，将天车表面的一些颗粒物吹落，吹落的颗粒物因真空清洁机构的动作而被定向集中吸收，吹落的颗粒物不会污染无尘室环境，起到有效清洁效果。
其中，风浴机构包括风刀，风刀与上下摆动机构连接，上下摆动机构带动风刀上下吹扫，风刀吹落效果好，结构简单，并且上下摆动机构提供了风刀吹吹落范围，提高吹落效果。真空清洁机构包括真空腔，真空腔与真空管道连接，真空腔位于清洁舱内的表面上设置有多孔盖板，结构简单，提高吸收效果。
同时，图像抓取机构用于捕捉天车车轮图像并判断使用状态，参照图2和图3所示，图像抓取机构包括四个摄像仪，四个摄像仪分别设置在天车四处车轮8对应的分支轨道外侧壁上，通过直接对车轮的侧表面抓拍图像并进行识别。
根据摄像仪拍摄的画面设置基准高度线l1，摄像仪拍摄的画面高度是固定的，当基准高度线为水平线且经过标准车轮的轮轴9中心时，即每次拍摄的画面中，均可以标识有标准车轮的轮轴高度，然后在摄像仪抓拍过程中，捕捉待检测的车轮的轮轴中心点，以轮轴中心点A为起点至基准高度线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与最大磨损量比较，得到车轮磨损结果，从而判断是否需要更换车轮。
在一实施例中，参照图4和图5所示，图像抓取机构包括两个摄像仪，两个摄像仪均设置在分支轨道外侧壁上，在天车清洗时，两个摄像仪位于天车两侧，摄像仪还与伸缩组件10连接，伸缩组件带动摄像仪伸入分支轨道内捕捉车轮图像，伸缩组件的设置主要是为了天车在移动过程中，摄像仪能够进行避让。
通过捕捉的车轮图像先识别车轮车轴的轴线l3，具体的，先捕捉车轴位于车轮图像中的上边线和下边线，在上边线和下边线中间位置做平行线，得到轴线，通过轴线与水平线的对比判断车轴是否存在压弯情倾斜情况，通过识别并确定车轮底部与分支轨道的接触点B，通过接触点为起点至轴线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与车轮半径尺寸比较，得到车轮磨损结果，从而判断是否需要更换车轮。
以上实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (8)

1.一种AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，包括分支轨道，所述分支轨道上吊装设置有清洁舱，所述清洁舱位于入口处设置有可开启关闭的自动门，所述清洁舱的内壁上设置有风浴机构，风浴机构用于吹落天车车身和天车动件部位的颗粒物，所述清洁舱的底部设置有真空清洁机构，真空清洁机构用于将吹落的颗粒物从清洁舱内吸出，所述分支轨道内还设置有图像抓取机构，所述图像抓取机构用于捕捉天车车轮图像并判断使用状态。
2.如权利要求1所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，所述风浴机构包括风刀，所述风刀与上下摆动机构连接，上下摆动机构带动风刀上下吹扫。
3.如权利要求1所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，所述真空清洁机构包括真空腔，所述真空腔与真空管道连接，所述真空腔位于清洁舱内的表面上设置有多孔盖板。
4.如权利要求1所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，所述图像抓取机构包括四个摄像仪，四个摄像仪分别设置在天车四处车轮对应的分支轨道外侧壁上。
5.如权利要求4所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，根据摄像仪拍摄的画面设置基准高度线，基准高度线为水平线且经过标准车轮的轮轴中心，然后在摄像仪抓拍过程中，捕捉待检测的车轮的轮轴中心点，以轮轴中心点为起点至基准高度线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与最大磨损量比较，得到车轮磨损结果。
6.如权利要求1所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，所述图像抓取机构包括两个摄像仪，两个摄像仪均设置在分支轨道外侧壁上，在天车清洗时，两个摄像仪位于天车两侧，所述摄像仪还与伸缩组件连接，所述伸缩组件带动摄像仪伸入分支轨道内捕捉车轮图像。
7.如权利要求6所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，通过捕捉的车轮图像先识别车轮车轴的轴线，通过轴线与水平线的对比判断车轴是否存在压弯情倾斜情况，通过识别并确定车轮底部与分支轨道的接触点，通过接触点为起点至轴线做垂线，并测量尺寸，得到磨损偏位量，将磨损偏位量与车轮半径尺寸比较，得到车轮磨损结果。
8.如权利要求7所述的AMHS天车(OHT)在轨清洗检测机，其特征在于，先捕捉车轴位于车轮图像中的上边线和下边线，在上边线和下边线中间位置做平行线，得到轴线。
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